JP4310349B2 - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
<絞り配置例>
絞りは、基板と投影光学系106との間ではなく、投影光学系106の中に配置されても良い。例えば、図8のように、投影光学系106が複数回結像の光学系である場合には、絞り108は、投影光学系106の中にある中間結像面607に面する2つの光学素子612、610の間に配置されてもよい。
<絞りの開口形状>
露光装置の露光領域は、一般的には回転対称な形状ではない。したがって、絞り108の開口も回転対象ではない形状にすることが好ましい。図9(a)〜(d)は、絞りの開口の形状を例示している。図9(a)、(b)、(c)、(d)に例示された絞りは、それぞれ開口705、706、707、708を有する。
<応用例>
次に上記の露光装置を利用したデバイス製造方法を説明する。図14は、半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(レチクル作製)では設計した回路パターンに基づいてレチクル(原版またはマスクともいう)を作製する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハ(基板ともいう)を製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記のレチクルとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これを出荷(ステップ7)する。 図15は、上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す図である。ステップ11(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を成膜する。ステップ13(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ14(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ15(CMP)ではCMP工程によって絶縁膜を平坦化する。ステップ16(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ17(露光)では上記の露光装置を用いて、回路パターンが形成されたマスクを介し感光剤が塗布されたウエハを露光してレジストに潜像パターンを形成する。ステップ18(現像)ではウエハ上のレジストに形成された潜像パターンを現像してレジストパターンを形成する。ステップ19(エッチング)ではレジストパターンが開口した部分を通してレジストパターンの下にある層又は基板をエッチングする。ステップ20(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
101:光源ユニット
102:第1照明光学ユニット
103:第2照明光学ユニット
104:第3照明光学ユニット
105:原板駆動機構
106:投影光学系
107:光学素子
108:絞り
109:基板
110:基板駆動機構
111:原板
120:照明光学系
403:絞りの開口
203:結像光束
204:フレア光束
501:絞り基板
502:可動遮光部
503:ガイド
504:操作部
Claims (9)
- 原板の矩形の照明領域を照明し、投影光学系を介して該原板のパターンを基板の各ショット領域に投影して該基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系から前記基板に向かう光束のうちフレアを生じさせるフレア光束の一部を遮断し、該フレア光束の他の一部を通過させるように形成された絞りを備え、
前記絞りの開口は、前記基板の走査方向に平行な第1方向における長さが前記開口の中心からの前記第1方向に垂直な第2方向における距離に応じて変化した部分を含み、前記走査方向に平行な辺を含まない、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記部分は、前記開口の中心から前記第2方向に離れる従って前記第1方向における長さが小さくなった部分を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記開口の形状が変更可能であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記絞りは、前記基板が配置される面と前記投影光学系との間に配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記投影光学系は、前記投影光学系の中に中間結像面を有し、前記絞りは、前記投影光学系を構成する光学素子のうち前記中間結像面を挟んで前記中間結像面に面する2つの光学素子の間に配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 原板の矩形の照明領域を照明し、投影光学系を介して該原板のパターンを基板の各ショット領域に投影して該基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系から前記基板に向かう光束のうちフレアを生じさせるフレア光束の一部を遮断し、該フレア光束の他の一部を通過させるように形成された絞りを備え、
前記絞りの開口は、ショット領域の1組の対辺に平行な第1方向における長さが前記開口の中心からの前記第1方向に垂直な第2方向における距離に応じて変化した部分を含み、
前記開口は、少なくとも原板のパターンの光学像を基板の上に形成するための結像光束を通過させる主開口と、基板に入射するフレア光束の分布を制御するためにフレア光束を通過させる補助開口とを含む、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記開口は、矩形の両側に三角形を連結した形状を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記絞りの面における露光領域の中心位置と前記露光領域のうち中心から最も遠い位置との間の距離をRとしたときに、前記開口の面積はπR 2 よりも小さい、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- デバイス製造方法であって、
請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光装置を用いて、感光剤が塗布された基板を露光する露光工程と、
該基板の該感光剤を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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