JP2018060001A - 補助露光装置及び露光量分布取得方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】補助露光装置123は、ウェハW上に塗布されたレジスト膜にマスクのパターンを転写する露光処理とは別に、レーザ光源135からの所定の波長の光をウェハ上のレジスト膜に照射する補助露光を行う。補助露光装置123は、レーザ光源135からの光をウェハWに向けて反射する第1の全反射ミラー141と、該第1の全反射ミラー141に反射された後にウェハWに反射された光を反射する第2の全反射ミラー142と、第2の全反射ミラー142に反射された光を受光する受光部を有する撮像装置143、とを備える。
【選択図】図4
Description
露光装置では、例えば、ウェハ上の35mm×25mmの領域を、光源とNmm×25mm(Nは例えば1〜3)のスリットとで形成した細長いビームを走査して露光する。
そこで、レジストパターンの線幅の面内均一性を高めるため、従来は、上述のスリットを用いた露光において、露光ショット毎に均一な光を決められた時間だけ露光していた。ここで露光ショットとは、スリットを用いて走査する場合であって該スリットを介して複数回露光することによりウェハ全体を露光する場合にスリットを介した1回の露光により照射される領域のことをいう。なお、各露光ショットは隣接する露光ショットと一部重複する。
しかし、近年、微細化がさらに進み、露光ショット内での線幅のばらつきの問題が顕著になっている。この対策として、露光ショット毎に露光量を調整する方式が採用されている。
なお、特許文献2、3はこの点に関し開示するものではない。
以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る補助露光装置を含む露光ステーションを搭載した基板処理システム1の構成の概略を示す説明図である。図2及び図3は、各々基板処理システム1の内部構成の概略を模式的に示す、正面図と背面図である。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
補助露光装置123は、露光装置122による露光処理とは別に、所定の波長(例えば267nm)の紫外光をウェハ上のレジスト膜に照射する補助露光を行う。補助露光装置123による補助露光により、現像処理後に得られるレジストパターンの線幅の面内均一性を向上させることができる。
なお、第1の全反射ミラー141は、本発明に係る「第1の反射部材」の一例であり、該ミラー141により反射された光がウェハWに対して垂直ではない角度で入射するように設けられている。また、第1の全反射ミラー141のY方向の寸法はウェハWの直径と同じ、またはそれよりやや大きく、X方向の寸法は、該ミラー141により反射されさらにウェハWにより反射された光が当該ミラー141に入射しないような大きさである。
この撮像装置143は、不図示の受光部とレンズとを有する。撮像装置143において、受光部は、例えばラインセンサから構成され、第2の全反射ミラー142により反射された光を受光し、また、レンズは、第2の全反射ミラー142により反射された光を上記受光部に集光するものである。撮像装置143の受光部は、レーザ光源135から出力される紫外光と同じ波長の光に対して感度を有する素子から構成されることが好ましい。ただし、レーザ光源135から出力された光は、レジスト膜が形成されたウェハWに反射されること等によりその波長が可視光域に変化する場合もあり、かかる場合は紫外光ではなく可視光に感度を有する素子を用いてもよい。
ウェハWに対して補助露光処理を行う際は、まず、ウェハ搬送装置120のアーム(ARM1)が補助露光装置123内に挿入され、受渡位置P1にあるウェハチャック131に吸着された前のウェハWが保持される。それとともに、ウェハチャック131に接続されたポンプ(Chuck VAC)による吸着動作がOFFにされる。そして、前のウェハWを保持したアームが上下に動かされ、該アームが補助露光装置123から引き抜かれることにより前のウェハWが取り出される。次いで、補助露光対象のウェハWを保持した別のアーム(ARM2)が補助露光装置123内に挿入され、該アームが上下に動かされ、補助露光対象のウェハWがウェハチャック131に載置される。その後、上記ポンプによる吸着動作がONにされることにより、補助露光対象のウェハWが吸着され、該ウェハWがウェハチャック131に保持され、図7に示すように、ウェハWの受渡位置P1での受け渡しが完了する。ウェハWの受け渡し完了後、アームが補助露光装置123から引き抜かれる。
上記ステップ1と後述のステップ3及びステップ4と並行して、制御部200は、補助露光用のデータをロードし、該データに基づいて、レーザ光源135を駆動するためのデータすなわちウェハW上の露光区域毎の照度のデータを算出し決定する。補助露光用のデータは例えば過去の補助露光結果等に基づいて定められ、制御部200の不図示の記憶部に予め記憶されている。なお、実際のウェハWの露光区域のピッチは上述のように例えば0.5mmであるが、補助露光用のデータ内におけるウェハWの露光区域はそれより大きくし、例えば3.5mmピッチとしてもよい、言い換えると、実際のウェハWにおいて所定の範囲にある露光区域に対しては共通の照度データを用いてもよい。
ステップ1において、受渡位置P1のウェハチャック131にウェハWが保持された後、チャック駆動部132によって、ウェハチャック131すなわちウェハWが図8に示すように補助露光位置P2に移動される。
ウェハWが補助露光位置P2に移動されると、チャック駆動部132によってウェハWが回転され、位置検出センサ144によりウェハWのノッチ部Nの位置が検出される。そして、制御部200が、位置検出センサ144での検出結果に基づいて、ウェハチャック131に保持されたウェハWの中心のウェハチャック131の中心からの偏心量及び偏心方向を算出する。
制御部200は、ステップ2で算出したレーザ光源135の駆動データを、ステップ4で算出したウェハWの上記偏心量及び偏心方向に基づいて補正する。なお、レーザ光源135の駆動データは、レーザ光源135を制御する不図示のレーザ制御手段に入力されるデータである。
ステップ5後またはステップ5と並行して、チャック駆動部132によってウェハチャック131が回転され、該ウェハチャック131に保持されたウェハWのノッチ部Nの位置が、ガイドレール133の延在する方向から所定の角度ずれるようにされる。
ステップ6と並行して、チャック駆動部132によってウェハチャック131がX軸方向に移動され、ウェハWの基準となる位置(例えば中心)がX軸方向に関し所定位置になるようにされる。
ステップ6及びステップ7の位置合わせ後、補助露光が行われる。具体的には、ステップ5で補正されたデータに基づいてレーザ光源135が駆動されると共に、ポリゴンミラー139が回転されることにより、レーザ光源135から出射された後ポリゴンミラー139で反射され次いで第1の全反射ミラー141で反射された光で、ウェハWをY方向に走査する。また、チャック駆動部132によってウェハチャック131すなわちウェハWが図9に示すようにX方向に移動されることにより、レーザ光源135から出射されポリゴンミラー139で反射され第1の全反射ミラー141で反射された光で、ウェハWがX方向に走査される。
ステップ8と並行して、第1の全反射ミラー141で反射されウェハWで反射された光が撮像装置143により受光され、これにより、第1の全反射ミラー141で反射された光で露光されたウェハW上の領域が、第2の全反射ミラー142を介して撮像装置143により撮像される。この撮像の際、撮像装置143のラインセンサは、より具体的には、該ラインセンサの画素露光時間は、レーザ光源135の発光タイミングを制御するパルス信号と、ポリゴンミラー139の回転角度を示すエンコーダ信号と、同期される。また、撮像装置143のラインセンサは、より具体的には、当該ラインセンサにおける撮像周期は、チャック駆動部132の位置すなわちウェハWのX方向の位置を示すエンコーダ信号と同期される。
ステップ8の補助露光が完了すると、チャック駆動部132によって、ウェハチャック131すなわちウェハWが受渡位置P1に移動される。
ステップ10と並行して、チャック駆動部132によってウェハWが所定角度回転される。これにより、補助露光装置123からウェハWを指定角度で送出することができる。
なお、一連の補助露光処理の終了後に、ステップ2においてロードした補助露光用のデータを露光量の分布の情報に基づいて補正し、該補正した補助露光用のデータを記憶し、次の補助露光処理時には、ステップ2において、補正した補助露光用のデータを読み出し、これに基づき、レーザ光源135の駆動データを算出してもよい。この場合も、レジストパターンの線幅の面内均一性をより確実に所望のものにすることができる。
図10は本発明の第2の実施形態に係る補助露光装置の構成の概略を説明する図である。
図10の補助露光装置123は、多重反射防止板150を有する。多重反射防止板150は、基板Wに照射され乱反射された光が、第1の全反射ミラー141及び/または第2の全反射ミラー142により再度反射され基板に戻るのを防ぐ多重反射防止材である。
多重反射防止板150は、例えば、図11に示すように、ポリゴンミラー139(図5参照)に反射され第1の全反射ミラー141に反射されウェハWに向かう光が通過する第1のスリット151と、第1の全反射ミラー141により反射されウェハWにより鏡面反射された光が通過する第2のスリット152とを有する。
なお、多重反射防止板150は、光を吸収する材料等から形成される。
図12の例では、第1と第2の二つの多重反射防止板161、162から成り、第1と第2の多重反射防止板161、162はそれぞれ所定の方向からの光のみを透過する部材から成る。
12…露光ステーション
122…露光装置
123…補助露光装置
130…筐体
131…ウェハチャック
132…チャック駆動部
133…ガイドレール
134…走査露光ユニット
135…レーザ光源
136〜138…ミラー
139…ポリゴンミラー
140…fθレンズ
141…第1の全反射ミラー
142…第2の全反射ミラー
143…撮像装置
144…位置検出センサ
200…制御部
Claims (9)
- 基板上に塗布されたレジスト膜にマスクのパターンを転写する露光処理とは別に、光源からの所定の波長の光を前記基板上のレジスト膜に照射する補助露光装置であって、
前記光源からの前記光を前記基板に向けて反射する第1の反射部材と、
該第1の反射部材に反射され前記基板に反射された光を反射する第2の反射部材と、
該第2の反射部材に反射された光を受光する受光部と、を備えることを特徴とする補助露光装置。 - 前記受光部での受光結果に基づいて、前記基板上のレジスト膜への露光量の分布を取得する取得部を備えることを特徴とする請求項1に記載の補助露光装置。
- 前記基板を所定の方向に移動させる移動機構と、
前記光源からの前記光を前記第1の反射部材に向けて反射するポリゴンミラーと、を備え、
前記移動機構により前記基板を移動させることにより、前記ポリゴンミラーで反射し前記第1の反射部材で反射した光で、前記基板を前記所定の方向に走査し、
前記ポリゴンミラーを回転させることにより、当該ポリゴンミラーで反射し前記第1の反射部材で反射した光で、前記基板を前記所定の方向と直交する方向に走査することを特徴とする請求項1または2に記載の補助露光装置。 - 前記第1の反射部材は、該第1の反射部材により反射された光が前記基板に対して垂直ではない角度で入射するように設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の補助露光装置。
- 前記受光部は、ラインセンサであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の補助露光装置。
- 前記受光部は、紫外線に対して感度を有することを特徴する請求項1〜5のいずれか1項に記載の補助露光装置。
- 基板上に塗布されたレジスト膜にマスクのパターンを転写する露光処理とは別に行われる補助露光処理における、前記基板上のレジスト膜に対する露光量の分布を取得する露光量分布取得方法であって、
前記補助露光処理において、所定の波長の光を出射する光源からの前記光を第1の反射部材により前記基板に向けて反射させ、前記第1の反射部材に反射され前記基板に反射された光を第2の反射部材により反射させ、
前記第2の反射部材に反射された光を受光部に受光させ、
該受光部での受光結果に基づいて、前記基板上のレジスト膜に対する露光量の分布を取得することを特徴とする露光量分布取得方法。 - 前記補助露光処理において、前記基板を所定の方向に移動させる移動機構により前記基板を移動させると共に、前記光源からの前記光を前記第1の反射部材に向けて反射するポリゴンミラーを回転させ、
前記ポリゴンミラーで反射し前記第1の反射部材で反射した光を前記受光部で受光させ、
該受光結果に基づいて、前記基板上のレジスト膜に対する露光量の分布を取得することを特徴とする請求項7に記載の露光量分布取得方法。 - 前記第1の反射部材により反射された光が前記基板に対して垂直ではない角度で入射するように当該第1の反射部材で反射させることを特徴とする請求項7または8に記載の露光量分布取得方法。
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