JP2006330441A - 投影露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 照度ロス及び照明ムラが生じることなく反射率モニタ等の反射光検出手段により反射光を高精度に検出することができる投影露光装置を提供する。
【解決手段】 光源から射出される照明光をマスクに導く照明光学系と、前記照明光学系を介した前記照明光により照明された前記マスクのパターン像を感光性基板上に投影する投影光学系を備える投影露光装置において、前記照明光学系は、前記光源から射出した前記照明光が入射する入射端20aと、前記照明光が前記マスク側へ射出する射出端20b,20cとを結ぶ第1のライトガイドF1,F2と、前記マスクまたは前記感光性基板を照射した前記照明光の反射光を検出する反射光検出手段2と、前記射出端20b,20cと近接して設けられた一方の端部と、前記マスクまたは前記感光性基板からの前記反射光を前記反射光検出手段2に導く他方の端部とを備えた第2のライトガイドF3,F4とを備える。
【選択図】 図3
【解決手段】 光源から射出される照明光をマスクに導く照明光学系と、前記照明光学系を介した前記照明光により照明された前記マスクのパターン像を感光性基板上に投影する投影光学系を備える投影露光装置において、前記照明光学系は、前記光源から射出した前記照明光が入射する入射端20aと、前記照明光が前記マスク側へ射出する射出端20b,20cとを結ぶ第1のライトガイドF1,F2と、前記マスクまたは前記感光性基板を照射した前記照明光の反射光を検出する反射光検出手段2と、前記射出端20b,20cと近接して設けられた一方の端部と、前記マスクまたは前記感光性基板からの前記反射光を前記反射光検出手段2に導く他方の端部とを備えた第2のライトガイドF3,F4とを備える。
【選択図】 図3
Description
この発明は、液晶表示素子等のフラットパネル表示素子等のマイクロデバイスをリソグラフィ工程で製造するための投影露光装置及び該投影露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法に関するものである。
マイクロデバイスの一つである液晶表示素子は、通常、ガラス基板(プレート)上に透明薄膜電極をフォトリソグラフィの手法で所望の形状にパターニングして、TFT(Thin Film Transistor)等のスイッチング素子及び電極配線を形成して製造される。このフォトリソグラフィの手法を用いた製造工程では、マスク上に形成された原画となるパターンを、投影光学系を介してフォトレジスト等の感光剤が塗布されたプレート上に投影露光する投影露光装置が用いられている。
従来は、マスクとプレートとの相対的な位置合わせを行った後で、マスクに形成されたパターンをプレート上に設定された一つのショット領域に一括して転写し、転写後にプレートをステップ移動させて他のショット領域の露光を行う、ステップアンドリピート方式の投影露光装置が多用されていた。
近年、液晶表示素子の大面積化が要求されてきており、これに伴ってフォトリソグラフィ工程において用いられる投影露光装置は露光領域の拡大が望まれている。投影露光装置の露光領域を拡大するためには投影光学系を大型化する必要があるが、残存収差が極力低減された大型の投影光学系を設計及び製造するにはコスト高となってしまう。そこで、投影光学系の大型化を回避するために、投影光学系の物体面(マスク側)における投影光学系の有効径と同程度に長手方向の長さが設定されたスリット状の光が投影光学系を介してプレートに照射されている状態で、形成されたパターンの一部を順次プレートに設定された一つのショットに転写し、転写後にプレートをステップ移動させて他のショット領域に対する露光を行う、所謂ステップアンドスキャン方式の投影露光装置が案出されている。
近年、液晶表示素子の大面積化に伴い、フォトリソグラフィ工程において用いられる投影露光装置の露光領域の拡大が望まれている。そこで、露光領域の拡大を図るため、1つの大型の投影光学系を用いるのではなく、複数の小型の投影光学ユニットを用いる所謂マルチレンズ方式の投影光学系を備える投影露光装置が案出されている。
ここで、上述の投影露光装置においては、レンズが大エネルギの照射を受けるうちに熱膨張や屈折率等が変化することによってフォーカスずれやディストーション変動等の悪影響の発生による照射変動が生じる。したがって、プレート等の被照射面により反射される反射光を測定する反射率モニタを搭載し、この反射率モニタによる測定結果に基づいてレンズが受けている照射エネルギを算出している(例えば、特許文献1参照)。
ところで、従来においては反射率モニタによる測定を行うために、照明光の光路中に配置したハーフミラーにより反射光を分岐させ、この分岐された反射光を反射率モニタにより計測していた。しかしながら、近年の投影露光装置においては、照明光学系も大型化しており、反射光を分岐させるためのハーフミラーも大型のものを設置しなければならない。また、ハーフミラーを設置することによる照度ロス及び照明ムラが生じていた。
この発明の課題は、照度ロス及び照明ムラが生じることなく反射率モニタ等の反射光検出手段により反射光を高精度に検出することができる投影露光装置及び該投影露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法を提供することである。
この発明の投影露光装置は、光源から射出される照明光をマスクに導く照明光学系と、前記照明光学系を介した前記照明光により照明された前記マスクのパターン像を感光性基板上に投影する投影光学系を備える投影露光装置において、前記照明光学系は、前記光源から射出した前記照明光が入射する入射端と、前記照明光が前記マスク側へ射出する射出端とを結ぶ第1のライトガイドと、前記マスクまたは前記感光性基板を照射した前記照明光の反射光を検出する反射光検出手段と、前記射出端と近接して設けられた一方の端部と、前記マスクまたは前記感光性基板からの前記反射光を前記反射光検出手段に導く他方の端部とを備えた第2のライトガイドとを備えることを特徴とする。
この発明の投影露光装置によれば、マスクまたは感光性基板からの反射光を反射光検出手段に導く端部を備えた第2のライトガイドを備え、反射光検出手段が該端部からの反射光を検出する。したがって、マスクまたは感光性基板からの反射光を反射光検出手段に導くためのハーフミラー等の光学部材を設置する必要がないため、ハーフミラー等を設置することにより生じる照度ロスや照明ムラを防止することができる。
また、従来の投影露光装置においては、近年の基板の大型化等に伴い照明光学系も大型化しており、ハーフミラー等も大型のものを設置しなければならず、高コスト化の問題あるいは要求されるサイズのハーフミラーを作製することが不可能な場合もあったが、この発明の投影露光装置においては、ハーフミラー等の光学部材を設置することなく、かつ新たな機構を備える必要もないため、低コスト化を実現することができる。
また、この発明のマイクロデバイスの製造方法は、この発明の投影露光装置を用いて所定のパターンを感光性基板上に露光する露光工程と、前記露光工程により露光された前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とする。
この発明のマイクロデバイスの製造方法によれば、この発明の投影露光装置を用いて露光を行うため、マスクに形成された微細なパターンを感光性基板上に高精度に露光することができ、良好なマイクロデバイスを得ることができる。
この発明の投影露光装置によれば、マスクまたは感光性基板からの反射光を反射光検出手段に導く端部を備えた第2のライトガイドを備え、反射光検出手段が該端部からの反射光を検出する。したがって、マスクまたは感光性基板からの反射光を反射光検出手段に導くためのハーフミラー等の光学部材を設置する必要がないため、ハーフミラー等を設置することにより生じる照度ロスや照明ムラを防止することができる。
また、この発明のマイクロデバイスの製造方法によれば、この発明の投影露光装置を用いて露光を行うため、マスクに形成された微細なパターンを感光性基板上に高精度に露光することができ、良好なマイクロデバイスを得ることができる。
このように、従来においては、近年の基板の大型化等に伴い照明光学系も大型化しており、ハーフミラー等も大型のものを設置しなければならず、高コスト化の問題あるいは要求されるサイズのハーフミラーを作製することが不可能な場合もあったが、この発明においては、ハーフミラー等の光学部材を設置する必要がないため、低コスト化を実現でき、外径が500mmよりも大きい大型の感光性基板に対して露光を行う投影露光装置、該投影露光装置を用いてマイクロデバイスの製造を行う方法に対して特に有効である。
以下、図面を参照して、この発明の第1の実施の形態にかかる投影露光装置について説明する。図1は、この第1の実施の形態にかかる投影露光装置の全体の概略構成を示す斜視図である。この第1の実施の形態においては、図1に示すように、マスクM2のパターンの一部を外径が500mmよりも大きい感光性基板としてのプレートP2上に部分的に投影する複数(この実施の形態においては5つ)の投影光学ユニットPM6,PM8,PM9,PM10及び図示しない投影光学ユニット(以下、投影光学ユニットPM7という。)からなる投影光学系PL2を備え、この投影光学系PL2に対してマスクM2とプレートP2とを走査方向に同期移動させてマスクM2に形成されたパターンの像をプレートP2上に走査露光するステップアンドスキャン方式の走査型投影露光装置を例に挙げて説明する。なお、プレートP2の外径が500mmよりも大きいとは、プレートP2の一辺若しくは対角線が500mmよりも大きいことをいう。
また、以下の説明においては、図1中に示すXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸がプレートP2に対して平行となるよう設定され、Z軸がプレートP2に対して直交する方向に設定されている。図中のXYZ座標系は、実際にはXY平面が水平面に平行な面に設定され、Z軸が鉛直上方向に設定される。また、この実施の形態ではプレートP2を移動させる方向(走査方向)をX軸方向に設定している。
図1に示すように、この投影露光装置は、光源14から射出される照明光をマスクM2に導く照明光学系ILを備えている。図2は、図1に示す投影露光装置の光源14からマスクM2までの概略構成を示す図である。この投影露光装置は、図1及び図2に示すように、楕円鏡12の第1焦点位置に配置されている超高圧水銀ランプからなる光源14を備えており、光源14から射出した照明光は、楕円鏡12により反射され、楕円鏡の第2焦点位置に集光する。楕円鏡12の第2焦点位置またはその近傍にはシャッタ16が配置されており、シャッタ16を通過した照明光は、リレー光学系18を介して、光ファイババンドル20の入射端20aに入射する。
光ファイババンドル20は、例えば多数の光ファイバをランダムに束ねて構成されたランダムライトガイドファイバであって、入射端20aと5つの射出端20b,20c,20d,20e,20fを備えている。光ファイババンドル20の入射端20aに入射した光束は、光ファイババンドル20の内部を伝播することによりミキシングされて複数(この実施の形態においては5つ)に分割されて光ファイババンドル20の5つの射出端20b〜20fより射出する。
図3は、光ファイババンドル20の概略構成を示す図である。光ファイババンドル20は、光源14から射出した照明光が入射する入射端20aとマスクM2側へ射出する射出端20bとを結ぶ光ファイバ(第1のライトガイド)F1と、入射端20aとマスクM2側へ射出する射出端20cとを結ぶ光ファイバ(第1のライトガイド)F2とを備えている。即ち、入射端20aに入射し、光ファイバF1を通過した照明光は、射出端20bに導かれ、射出端20bから射出し、後述する照明光学ユニットIM6に入射する。また、入射端20aに入射し、光ファイバF2を通過した照明光は、射出端20cに導かれ、射出端20cから射出し、後述する照明光学ユニットIM7に入射する。
図4は、射出端20bの射出口の概略構成を示す図である。光ファイバF1は例えば図3に示す位置に配置され、図4に示すように、入射端20aと射出端20bとを結ぶ光ファイバF1と同様に入射端20aと射出端20bとを結ぶ光ファイバを多数備えている。また、光ファイバF2は例えば図3に示す位置に配置され、光ファイババンドル20は、入射端20aと射出端20cとを結ぶ光ファイバF2と同様に入射端20aと射出端20cとを結ぶ光ファイバを多数備えている。また、図3には示していないが、光ファイババンドル20は、入射端20aと射出端20d〜20fのそれぞれとを結ぶ光ファイバも多数備えている。
また、光ファイババンドル20は、図3に示すように、射出端20bに近接して設けられた一方の端部と後述する反射率モニタ(反射光検出手段)2に光を導く他方の端部を有する光ファイバ(第2のライトガイド)F3と、射出端20cに近接して設けられた一方の端部と反射率モニタ(反射光検出手段)2に光を導く他方の端部を有する光ファイバ(第2のライトガイド)F4とを備えている。図4に示すように、光ファイバF3の射出端20b側の端部と、入射端20aと射出端20bとを結ぶ光ファイバF1及び多数の光ファイバの射出端20b側の端部とは、一体的に構成されている。即ち、光ファイバF3の射出端20b側の端部は、光ファイバF1及び入射端20aと射出端20bとを結ぶ多数の光ファイバの射出端20b側の端部の束の中に配置されている。同様に、光ファイバF4の射出端20c側の端部と、入射端20aと射出端20cとを結ぶ光ファイバF2及び多数の光ファイバの射出端20c側の端部とは、一体的に構成されている。即ち、光ファイバF4の射出端20c側の端部は、光ファイバF2及び入射端20aと射出端20cとを結ぶ多数の光ファイバの射出端20c側の端部の束の中に配置されている。
照明光が照明光学ユニットIM6,IM7を介してマスクM2またはプレートP2上を照射し、マスクM2またはプレートP2により反射された反射光は、再度、照明光学ユニットIM6,IM7を通過して、射出端20b,20cに到達し、光ファイバF3,F4により反射率モニタ2に導かれる。反射率モニタ2は、マスクM2またはプレートP2に到達した照明光がマスクM2またはプレートP2により反射された反射光を検出する。なお、図3には示していないが、後述する照明光学ユニットIM8〜IM10のそれぞれを介してマスクM2またはプレートP2により反射された反射光を反射率モニタ2に導く光ファイバ(第2のライトガイド)をそれぞれ備えており、反射率モニタ2は、それぞれの光ファイバを通過した反射光をそれぞれ検出する。
また、マスクM2またはプレートP2により反射された反射光は、射出端20b,20cのそれぞれに近接して設けられた光ファイバF3,F4の一方の端部をケーラー照明するため、反射率モニタ2は、均質な反射光を検出することができ、高精度な検出を行うことができる。同様に、マスクM2またはプレートP2により反射された反射光は、射出端20d〜20fのそれぞれに近接して設けられ、反射率モニタ2に反射光を導く光ファイバ(図示せず)の一方の端部をケーラー照明するため、反射率モニタ2は、均質な反射光を検出することができ、高精度な検出を行うことができる。
また、光ファイババンドル20は、光源14からの照明光が入射する入射端20aに近接して設けられた一方の端部と後述する入射光量測定モニタ(照明光検出手段)4に照明光を導く他方の端部を有する光ファイバ(第3のライトガイド)F5,F6を備えている。光ファイバF5,F6の入射端20a側の端部と、入射端20aと射出端20b〜20fとを結ぶ多数の光ファイバの入射端20a側の端部とは、一体的に構成されている。即ち、光ファイバF5,F6の入射端20a側の端部は、入射端20aと射出端20b〜20fとを結ぶ多数の光ファイバの入射端20a側の端部の束の中に均等に配置されている。
入射端20aに入射し、光ファイバF5,F6に入射した照明光は、光ファイバF5,F6により入射光量測定モニタ4に導かれる。入射光量測定モニタ4は、光ファイバF5,F6が多数の光ファイバの束の中に均等に配置されているため、光源14からの照明光の光量を精度良く検出することができる。このようにして、反射率モニタ2により検出される反射光の光量と、入射光量測定モニタ4により検出される照明光の光量とを検出することにより、マスクM2またはプレートP2の反射率を計測する。即ち、反射率モニタ2及び入射光量測定モニタ4の検出結果に基づいて、図示しない制御部等によりマスクM2またはプレートP2の反射率を算出する。
光ファイババンドル20の5つの射出端20b〜20fより射出した光束は、複数(この実施の形態においては5つ)の照明光学ユニットIM6,IK7,IM8,IM9,IM10にそれぞれ入射する。ここで、照明光学ユニットIM6,IM8,IM10は走査方向と直交する方向(Y方向)に所定間隔をもって第1列として配置されており、照明光学ユニットIM7,IM9は走査方向と直交する方向(Y方向)に所定間隔をもって第2列として配置されている。また、第1列の照明光学ユニットIM6,IM8,IM10と第2列の照明光学ユニットIM7,IM9は、X方向に所定間隔をもって配置されている。
光ファイババンドル20の射出端20bから射出した光束は、照明光学ユニットIM6を構成するインプットレンズ22bを通過して、フライアイインテグレータ24b、σ絞り26bを介して、メインコンデンサレンズ28b,30bを通過する。メインコンデンサレンズ28b,30bを通過した光束は、マスクM2の照明光学ユニットIM6に対応する照明領域をほぼ均一に照明する。マスクM2の照明光学ユニットIM6に対応する照明領域からの光は、図1に示すように、光ファイババンドル20の各射出端20b〜20f及び各照明光学ユニットIM6〜IM10に対応するように配列されている5つの投影光学ユニットPM6〜PM10のうち、投影光学ユニットPM6に入射する。
ここで、投影光学ユニットPM6,PM8,PM10はX方向(走査方向)と直交する方向(Y方向)に所定間隔をもって第1列として配置され、投影光学ユニットPM7,PM9はY方向に所定間隔をもって第2列として配置されている。また、第1列の投影光学ユニットPM6,PM8,PM10と第2列の投影光学ユニットPM7,PM9は、X方向に所定間隔をもって配置されている。投影光学ユニットPM6は、マスクM2の照明光学ユニットIM6に対応する照明領域に形成されているパターンの像をプレートP2上に投影する。投影光学ユニットPM6を通過した光は、プレートP2上にマスクM2のパターンの像を形成する。このときの像は、正立正像である。
なお、光ファイババンドル20の射出端20cから射出した光束は、図2に示すように、第2列の照明光学ユニットIM7を構成するインプットレンズ22c、フライアイインテグレータ24c、σ絞り26c、メインコンデンサレンズ28c,30cを介して、マスクM2の照明光学ユニットIM7に対応する照明領域をほぼ均一に照明し、照明領域からの光束は、投影光学ユニットPM7に入射し、プレートP2上に照明光学ユニットIM7に対応する照明領域に形成されているパターンの像を形成する。このときの像は正立正像である。
同様に、光ファイババンドル20の他の射出端20d〜20fから射出したそれぞれの光束は、照明光学ユニットIM8〜IM10のそれぞれが備えるインプットレンズ、フライアイインテグレータ、σ絞り、メインコンデンサレンズを介して、マスクM2の照明光学ユニットIM8〜IM10に対応する照明領域をそれぞれほぼ均一に照明し、各照明領域からの光束は、投影光学ユニットPM8〜PM10に入射し、プレートP2上に照明光学ユニットIM8〜IM10のそれぞれに対応する照明領域に形成されているパターンの像を形成する。このときのそれぞれの像は正立正像である。
また、マスクM2はマスクホルダ(図示せず)にて固定されており、マスクステージ(図示せず)に載置されている。また、マスクステージに設けられている移動鏡MIF2にはマスクステージレーザ干渉計(図示せず)から射出されるレーザ光が入射し、入射したレーザ光は移動鏡MIF2により反射される。移動鏡MIF2により反射されたレーザ光の干渉に基づいてマスクステージの位置は計測及び制御されている。また、プレートP2はプレートホルダ(図示せず)にて固定されており、プレートステージ(図示せず)に載置されている。また、プレートステージに設けられている移動鏡PIF2にはプレートステージレーザ干渉計(図示せず)から射出されるレーザ光が入射し、入射したレーザ光は移動鏡PIF2により反射される。移動鏡PIF2により反射されたレーザ光の干渉に基づいてプレートステージの位置は計測及び制御されている。
また、プレートステージ上には、プレートステージ上に到達する照明光の照射量を計測する照度計(図示せず)が設けられている。露光前において、投影光学系PL2を介した照明光を計測することができる位置に照度計を配置するためにプレートステージを移動させ、照度計により投影光学系PL2を介した照明光の照射量を計測する。照度計の計測結果に基づいて照度計と入射光量測定モニタ4との相関関係を求め、露光時においては、入射光量測定モニタ4の計測結果に基づいて、プレートステージ(プレートP2)上を照射する照明光の照射量を計測する。
また、プレートステージ上には、反射率モニタ2の校正に用いられる基準反射板(図示せず)が設けられている。露光前において、投影光学系PL2(投影光学ユニットPM6〜PM10)を介した照明光が基準反射板を照明するようにプレートステージを移動させ、反射率モニタ2により基準反射板により反射される反射光の計測を行う。基準反射板の反射率は予め記憶されており、この記憶されている基準反射板の反射率と、反射率モニタ2により計測された反射光の光量とに基づいて、反射率モニタ2の校正値を求める。露光時においては、反射率モニタ2の校正値を加味して、プレートP2の反射率を求める。
この第1の実施の形態にかかる投影露光装置によれば、マスクまたはプレートからの反射光を反射率モニタに導く端部を備えた光ファイバを備え、反射率モニタがその光ファイバを介した反射光を検出する。したがって、マスクまたはプレートからの反射光を反射率モニタに導くためのハーフミラー等の光学部材を設置する必要がないため、ハーフミラー等を設置することにより生じる照度ロスや照明ムラを防止することができる。
また、従来の投影露光装置においては、近年の基板(プレート)の大型化等に伴い照明光学系も大型化しており、ハーフミラー等も大型のものを設置しなければならず、高コスト化の問題あるいは要求されるサイズのハーフミラーを作製することが不可能な場合もあったが、この実施の形態にかかる投影露光装置においては、ハーフミラー等の光学部材を設置することなく、かつ新たな機構を備える必要もないため、低コスト化を実現することができる。
次に、図面を参照して、この発明の第2の実施の形態にかかる投影露光装置について説明する。なお、この第2の実施の形態にかかる投影露光装置の構成は、第1の実施の形態にかかる投影露光装置を構成する光ファイババンドル20の射出端20b〜20fの近傍に開閉シャッタ(モジュールシャッタ)を加えたものである。したがって、第2の実施の形態の説明においては、第1の実施の形態にかかる投影露光装置の構成と同一の構成の詳細な説明は省略する。なお、この第2の実施の形態にかかる投影露光装置の説明においては、第1の実施の形態にかかる投影露光同一の構成には第1の実施の形態で用いたものと同一の符号を用いて説明を行う。
図5は、第2の実施の形態にかかる投影露光装置を構成する光源14からマスクM2までの概略構成を示す図である。図5に示すように、光ファイババンドル20の射出端20bの近傍に開閉シャッタ6bが設けられている。同様に、射出端20cの近傍に開閉シャッタ6c、射出端20d〜20fのそれぞれの近傍に図示しない開閉シャッタが設けられている。
図6は、第2の実施の形態にかかる光ファイババンドル20と開閉シャッタ6b,6cとの概略構成を示す図である。なお、図6においては、光ファイバF5,F6及び入射光量測定モニタ4の図示を省略している。図6に示すように、開閉シャッタ6bの開閉により図中矢印B方向(+Z方向)に進行する光の光量は異なる。即ち、開閉シャッタ6bが開いている場合、射出端20bを射出した照明光は開閉シャッタ6bの開口部を通過するため、マスクM2またはプレートP2により反射された照明光が反射光となって、矢印B方向(+Z方向)に進行し、光ファイバF3を介して、反射率モニタ2に到達する。一方、開閉シャッタ6bが閉まっている場合、射出端20bを射出した照明光は開閉シャッタ6bを通過することができないため、開閉シャッタ6bにより反射された照明光が反射光となって、矢印B方向(+Z方向)に進行し、光ファイバF3を介して、反射率モニタ2に到達する。
したがって、予め、開閉シャッタ6bが開いている場合と閉まっている場合における反射率モニタ2による検出値をそれぞれ記憶させておき、反射率モニタ2による光ファイバF3を介した反射光の検出値に基づいて開閉シャッタ6bの開閉の判定を行う判定手段として機能させることができる。同様に、反射率モニタ2による光ファイバF4、図示しない射出端20d〜20fのそれぞれと反射率モニタ2とを結ぶ光ファイバを介した反射光の検出値に基づいて、開閉シャッタ6c、図示しない射出端20d〜20fのそれぞれの近傍に位置する開閉シャッタの開閉の判定を行うことができる。
この第2の実施の形態にかかる投影露光装置によれば、マスクまたはプレートからの反射光を反射率モニタに導く端部を備えた光ファイバを備え、反射率モニタがその光ファイバを介した反射光を検出する。したがって、マスクまたはプレートからの反射光を反射率モニタに導くためのハーフミラー等の光学部材を設置する必要がないため、ハーフミラー等を設置することにより生じる照度ロスや照明ムラを防止することができる。また、反射率モニタの検出値に基づいて、容易に開閉シャッタ(モジュールシャッタ)の開閉の判定を行うことができる。
なお、この第2の実施の形態にかかる投影露光装置においては、光ファイババンドル20の各射出端20b〜20fの近傍に開閉シャッタ6b,6c等を配置しているが、光ファイババンドル20の各射出端20b〜20fからマスクM2までの間の光路中のいずれかに配置するようにすればよい。
また、上述の各実施の形態においては、ステップアンドスキャン方式の走査型投影露光装置を例に挙げて説明しているが、ステップアンドリピート方式の投影露光装置にも本発明を適用することができる。
また、上述の各実施の形態においては、反射率モニタ2及び入射光量測定モニタ4に導く光ファイバを備えているが、反射率モニタ2に導く光ファイバのみを備えるようにしてもよい。この場合には、入射光量測定モニタ4を備えることなく、プレートステージ上に設けられている照度計により照明光の検出を行うようにしてもよく、または照明光学ユニットIM6〜IM10中のフライアイインテグレータ24b,24c等とメインコンデンサレンズ28b,28c,30b,30c等との間に光路分岐部材を備え、光路分岐部材により分岐された照明光を入射光量測定モニタ4により検出するようにしてもよい。
また、上述の実施の形態においては、各射出端20b〜20fと反射率モニタ2とを結ぶ光ファイバを1つ備えているが、各射出端20b〜20fと反射率モニタ2とを結ぶ光ファイバを2つ以上備えるようにしてもよい。この場合には、精度良く反射光の光量を検出するために、反射率モニタ2に導く光ファイバを射出端20b〜20fの端面内に散りばめるように配置するとよい。
また、上述の実施の形態においては、射出端20b〜20fと反射率モニタ2とを結ぶ光ファイバが入射端20aと射出端20b〜20fとを結ぶ多数の光ファイバの束の中に配置されているが、図7に示すように、例えば有効照明領域が領域Aの場合、A領域以外の近傍の領域A´に射出端20bと反射率モニタ2とを結ぶ光ファイバF7を配置するようにしてもよい。この場合においては、射出端20b、即ち領域A及びA´はマスクM2またはプレートP2からの反射光によりケーラー照明されているため、反射率モニタ2は均質な光を精度良く検出することができる。また、照明光の照度ロスを更に防止することができる。
また、上述の実施の形態においては、入射端20aと入射光量測定モニタ4とを結ぶ2つの光ファイバF5,F6を備えているが、入射端20aと入射光量測定モニタ4とを結ぶ光ファイバを1つまたは3つ以上備えるようにしてもよい。入射端20aと入射光量測定モニタ4とを結ぶ光ファイバを複数備える場合には、精度良く照明光の光量を検出するために、入射光量測定モニタ4に導く光ファイバを入射端20aの端面内に散りばめるように配置するとよい。
また、上述の各実施の形態にかかる投影露光装置を用いてプレートP2上における照度制御を行うことができる。即ち、反射率モニタ2及び入射光量測定モニタ4により検出された検出結果に基づいてプレートP2面の反射率が算出されるが、このプレートP2面の反射率に基づいてプレートP2面上における照明光の照度制御を行う。具体的には、光源14の電力制御、または光源14から光ファイババンドル20の入射端20aまでの光路中に配置される透過率フィルタ(図示せず)等の透過率の変更を行うことにより、プレートP2面上における照明光の照度制御を行う。この場合、投影光学ユニット及び照明光学ユニット毎に個別に反射率及び照度を検出することによりより細やかな照度制御を行うことが可能となる。
また、上述の各実施の形態にかかる投影露光装置においては、1つの光源を用いているが、各照明領域に応じてそれぞれ1つまたは複数の光源を有するようにしてもよい。また、複数の光源を有し、その複数の光源からの光束をランダム性の良い光ファイバ等のライトガイドファイバにより各照明領域に分割するようにしてもよい。
上述の実施の形態にかかる投影露光装置では、照明光学装置によってレチクル(マスク)を照明し(照明工程)、投影光学系を用いてマスクに形成された転写用のパターンを感光性基板(プレート)に転写する(転写工程)ことにより、マイクロデバイス(半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等)を製造することができる。以下、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いて感光性基板としてのプレート等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図8のフローチャートを参照して説明する。
先ず、図8のステップS301において、1ロットのプレート上に金属膜が蒸着される。次のステップS302において、そのlロットのプレート上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップS303において、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いて、マスク上のパターンの像がその投影光学系を介して、その1ロットのプレート上の各ショット領域に順次露光転写される。その後、ステップS304において、その1ロットのプレート上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップS305において、その1ロットのプレート上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各プレート上の各ショット領域に形成される。
先ず、図8のステップS301において、1ロットのプレート上に金属膜が蒸着される。次のステップS302において、そのlロットのプレート上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップS303において、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いて、マスク上のパターンの像がその投影光学系を介して、その1ロットのプレート上の各ショット領域に順次露光転写される。その後、ステップS304において、その1ロットのプレート上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップS305において、その1ロットのプレート上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各プレート上の各ショット領域に形成される。
その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いて露光を行っているため、露光光の照度を適切に制御することができ、微細な回路パターンを有する半導体デバイスを得ることができる。なお、ステップS301〜ステップS305では、プレート上に金属を蒸着し、その金属膜上にレジストを塗布、そして露光、現像、エッチングの各工程を行っているが、これらの工程に先立って、プレート上にシリコンの酸化膜を形成後、そのシリコンの酸化膜上にレジストを塗布、そして露光、現像、エッチング等の各工程を行っても良いことはいうまでもない。
また、上述の実施の形態にかかる投影露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。以下、図9のフローチャートを参照して、このときの手法の一例につき説明する。図9において、パターン形成工程S401では、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いてマスクのパターンを感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に転写露光する、所謂光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成され、次のカラーフィルタ形成工程S402へ移行する。
次に、カラーフィルタ形成工程S402では、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列されたり、またはR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列されたりしたカラーフィルタを形成する。そして、カラーフィルタ形成工程S402の後に、セル組み立て工程S403が実行される。セル組み立て工程S403では、パターン形成工程S401にて得られた所定パターンを有する基板、およびカラーフィルタ形成工程S402にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。セル組み立て工程S403では、例えば、パターン形成工程S401にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程S402にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、モジュール組み立て工程S404にて、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。上述の液晶表示素子の製造方法によれば、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いて露光を行っているため、露光光の照度の制御を適切に行うことができ、微細な回路パターンを有するマイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
2…反射率モニタ、4…入射光量測定モニタ、6b,6c…開閉シャッタ、12…楕円鏡、14…水銀ランプ、16…シャッタ、18…リレーレンズ、20…光ファイババンドル、20a…入射端、20b〜20f…射出端、22b,22c…インプットレンズ、24,24c…フライアイインテグレータ、26b,26c…σ絞り、28b,28c,30b,30c…メインコンデンサレンズ、F1〜F7…光ファイバ、IL…照明光学系、IM6〜IM10…照明光学ユニット、M2…マスク、P2…プレート、PL2…投影光学系、PM6〜PM10…投影光学ユニット、MIF2,PIF2…移動鏡。
Claims (10)
- 光源から射出される照明光をマスクに導く照明光学系と、前記照明光学系を介した前記照明光により照明された前記マスクのパターン像を感光性基板上に投影する投影光学系を備える投影露光装置において、
前記照明光学系は、前記光源から射出した前記照明光が入射する入射端と、前記照明光が前記マスク側へ射出する射出端とを結ぶ第1のライトガイドと、
前記マスクまたは前記感光性基板を照射した前記照明光の反射光を検出する反射光検出手段と、
前記射出端と近接して設けられた一方の端部と、前記マスクまたは前記感光性基板からの前記反射光を前記反射光検出手段に導く他方の端部とを備えた第2のライトガイドと、
を備えることを特徴とする投影露光装置。 - 前記反射光検出手段は、前記反射光を検出することにより前記マスクまたは前記感光性基板の反射率を計測することを特徴とする請求項1記載の投影露光装置。
- 前記射出端と近接した前記第2のライトガイドに設けられた前記一方の端部は、前記マスクまたは前記感光性基板からの前記反射光によりケーラー照明されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の投影露光装置。
- 前記反射光検出手段により前記反射光を検出することにより前記射出端と前記マスクとの間の光路中に配置されるシャッタの開閉の判定を行う判定手段を更に備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の投影露光装置。
- 前記第1のライトガイドに設けられた前記射出端と、前記第2のライトガイドに設けられた前記一方の端部とは、一体的に構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の投影露光装置。
- 前記光源からの前記照明光を検出する照明光検出手段と、
前記光源からの前記照明光を前記照明光検出手段に導く第3のライトガイドと、
を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の投影露光装置。 - 前記第1のライトガイドに設けられた前記入射端と、前記第3のライトガイドに設けられた前記光源からの前記照明光が入射する端部とは、一体的に構成されていることを特徴とする請求項6記載の投影露光装置。
- 前記感光性基板は、外径が500mmよりも大きいことを特徴とする請求項1乃至請求項7記載の投影露光装置。
- 前記投影光学系は、複数の投影光学ユニットからなり、
前記第1のライトガイドは、前記複数の投影光学ユニットのそれぞれに対応するように複数の射出端を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の投影露光装置。 - 請求項1乃至請求項9の何れか一項に記載の投影露光装置を用いて所定のパターンを感光性基板上に露光する露光工程と、
前記露光工程により露光された前記感光性基板を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。
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2005
- 2005-05-27 JP JP2005155165A patent/JP2006330441A/ja active Pending
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