JP2004093953A - 投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターンDPが配置される第1面の中間像を形成する第1結像光学系30aと、中間像をプレートPの表面が配置される第2面上に再結像させる第2結像光学系30bとを備え、第1面と第1結像光学系30aとの間の距離を第1距離L1、第1結像光学系30aと中間像形成面との間の距離を第2距離L2、中間像形成面と第2結像光学系30bとの間の距離を第3距離L3、第2結像光学系30bと第2面との間の距離を第4距離とするとき、第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bの少なくとも一方は、L1≠L2,及びL3≠L4のうちの少なくとも一方の条件を満足するよう構成される。
【選択図】 図5
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法に係り、特にマイクロデバイスの製造工程の1つであるリソグラフィー工程においてマスクに形成されたパターンの像を基板上に投影する際に用いて好適な投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
パーソナルコンピュータ又はテレビ等の表示装置で用いられている液晶表示素子は、通常、ガラス基板(プレート)上に透明薄膜電極をフォトリソグラフィの手法で所望の形状にパターニングして、TFT(Thin Film Transistor)等のスイッチング素子及び電極配線を含む回路パターンを形成して製造される。このフォトリソグラフィの手法を用いた製造工程では、マスク上に形成された原画となるパターンを、投影光学系を介してフォトレジスト等の感光剤が塗布されたプレート上に投影露光する投影露光装置が用いられている。
【0003】
従来は、マスクとプレートとの相対的な位置合わせを行った後で、マスクに形成されたパターンをプレート上に設定された1つのショット領域に一括して転写し、転写後にプレートをステップ移動させて他のショット領域の露光を行う、ステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(所謂、ステッパー)が多用されていた。また、近年、液晶表示素子の大面積化に伴って投影光学系の口径を有効利用するために、物体面側(マスク側)における投影光学系の有効径と同程度の長さを有するスリット状の照明光をマスクに照射し、マスクを介したスリット状の光が投影光学系を介してプレートに照射されている状態で、マスクとプレートとを投影光学系に対して相対的に移動させて走査し、マスクに形成されたパターンの一部を順次プレートに設定された1つのショットに転写し、転写後にプレートをステップ移動させて他のショット領域に対する露光を同様にして行う、所謂ステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置が案出されている。
【0004】
また、近年においては、更なる露光領域の拡大を図るため、1つの大型の投影光学系を用いるのではなく、小型の部分投影光学系を走査方向に直交する方向(非走査方向)に所定間隔をもって複数配列した第1の配列と、この第1の配列をなす部分投影光学系の間に部分投影光学系を配列した第2の配列とを走査方向に配置した、所謂マルチレンズ方式の投影光学系を備える投影露光装置が案出されている(例えば、特開平7−57986号公報を参照されたい)。
【0005】
液晶表示素子の製造においては、プレート上にフォトレジストを塗布し、以上の投影露光装置の何れかを用いてマスクに形成されたパターンをプレートに転写し、フォトレジストの現像、エッチング、及びフォトレジストの剥離といった工程を繰り返すことにより、TFT等のスイッチング素子及び電極配線が形成された素子基板が形成される。そして、この素子基板と別工程で製造されたカラーフィルタを備える対向基板とを張り合わせ、これらの間に液晶を挟持させることにより液晶表示素子が製造される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、液晶表示素子の大型化に伴って、投影露光装置の露光対象であるプレート自体も益々大型化している。例えば、近年においては1m角を越える大きさのプレートが用いられることが多くなっている。一方でプレートの厚みは0.5〜1.5mm程度であるため、プレートの大型化に伴ってプレートの撓みも大きくなる。プレートの撓みが大きくなると、投影露光装置のステージ(プレートステージ)上にプレートを載置するとき又は搬出するときにプレートが投影光学系又はステージ自体に接触してしまうという不具合が生ずる。
【0007】
かかる不具合を防止するためには、プレートの搬入及び搬出時にプレートの撓みが少なくなるように搬入・搬出方法を工夫するか、又は、投影光学系とステージとの間の距離(作動距離)を広げる必要がある。前者の場合には、プレートの搬入及び搬出の度にプレートの撓みを小さくする処置に時間を要し、スループット(単位時間当たりに露光処理を行うことができるプレートの枚数)の低下を招く虞がある。また、後者の場合において、視野の大きさ及び開口数を変更せずに作動距離を広げるには、投影光学系を構成するレンズの口径を大型化する必要があるため、投影光学系の大型化は避けられない。特に、上述したマルチレンズ方式の投影光学系においては、各部分投影光学系を構成するレンズの各々を大型化する必要があるが、各部分投影光学系の配列間隔は視野の大きさによってほぼ一義的に定まってしまうため、配列上の制約から部分投影光学系を構成するレンズの大型化を図ることはできない。
【0008】
また、従来の投影露光装置は、光源として超高圧水銀ランプを備え、この超高圧水銀ランプから射出されるg線(436nm)の光及びh線(405nm)の光、更にはi線(365nm)の光を照明光として用いている。ここで、350〜450nm程度の短波長の波長域の光であって多波長の光を用いるのは、主に照明光として高い光パワーを確保するとともに、液晶表示装置に設けられるカラーフィルタ用の着色レジストの短波長側の感度特性が高いからである。
【0009】
このように、従来の投影露光装置は、照明光として多波長の光を含む光を用いているため、作動距離を広げるために単純にレンズを大型化すると、投影光学系の収差(色収差)が悪化してしまう。一般に、可視光の波長域においては色収差を補償する硝材は多々あるが、上記の短波長の波長域においては、ソラリゼーション又はレンズの透過率の低下が生ずるため使用可能な硝材の種類は数種類に制限される。このような状況下において、投影光学系の色収差を補正するためには、レンズ枚数の増加等の工夫を施して投影光学系を設計するか、又は、上記の波長域で色分散が小さい高価な蛍石等の硝材を使用する必要があり、投影光学系のコストが上昇してしまうという問題がある。特に、マルチレンズ方式の投影光学系は、全体でのレンズ枚数が多いため、個々の部分投影光学系のレンズ枚数の増加がさほど多くなく、又は、さほど高価な硝材を使用していないとしても、全体としてはコストが大幅に上昇してしまうという問題があった。
【0010】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、収差の大幅な悪化を招かず、且つコストを増大させることなく作動距離を広げることができる投影光学系を提供するとともに、当該投影光学系を備えることで大型の基板の交換が容易であり、その結果としてスループットを向上させることができる露光装置及び当該露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第1の観点による投影光学系は、第1面の像を第2面上に形成する投影光学系(PL、PL1〜PL5)において、前記第1面の中間像を形成する第1結像光学系(30a)と、前記中間像を前記第2面上に再結像させる第2結像光学系(30b)とを備え、前記第1面と前記第1結像光学系(30a)との間の距離を第1距離L1とし、前記第1結像光学系(30a)と前記中間像形成面と間の距離を第2距離L2とし、前記中間像形成面と前記第2結像光学系(30b)との間の距離を第3距離L3とし、前記第2結像光学系(30b)と前記第2面との間の距離を第4距離L4とするとき、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)の少なくとも一方は、L1≠L2,及びL3≠L4のうちの少なくとも一方の条件を満足することを特徴としている。
この発明によれば、第1結像光学系及び第2結像光学系の少なくとも一方を、第1面と中間像形成面との間、及び、中間像形成面と第2面との間において不等間隔に配置しているため、コストを増大させることなく投影光学系の作動距離を広げることができる。また、かかる配置とすることで大幅な収差の悪化は引き起こされない。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記投影光学系(PL、PL1〜PL5)がほぼ等倍であり、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)のうちの一方は拡大倍率を有し、他方は縮小倍率を有することが好ましい。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)の双方が、L1≠L2,及びL3≠L4の条件を満足することが好適である。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)の双方が、前記中間像形成面に関してほぼ対称に配置されることが好ましい。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)が、L1>L2,及びL4>L3の条件を満足することが好適である。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)が、ほぼ等しい光学系であることが好適である。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)が、反射屈折光学系であることが好ましい。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)が、屈折光学素子群(32a、32b、33a、33b)と、前記屈折光学素子群(32a、32b、33a、33b)側に凹面を向けて配置されて、前記屈折光学素子群(32a、32b、33a、33b)を介した光を前記屈折光学素子群(32a、32b、33a、33b)へ向けて反射する凹面反射光学素子(34a、34b)とをそれぞれ含むことを特徴としている。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記屈折光学素子群(32a、32b、33a、33b)は、正屈折力を有する第1屈折光学素子群(32a、32b)と、前記第1屈折光学素子群(32a、32b)と前記凹面反射光学素子(34a、34b)との間の光路中に配置されて負屈折力を有する第2屈折光学素子群(33a、33b)とを含むことが好ましい。
また、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記中間像形成面又はその近傍に配置された視野絞り(AS)を備えることを特徴としている。
更に、本発明の第1の観点による投影光学系は、前記視野絞り(AS)の開口部が、前記第2結像光学系(30b)を介して前記第2面に投影される際に該開口部の像の形状が所望の形状となるように、前記第2結像光学系(30b)の収差を考慮した開口形状を有していることが好適である。
上記課題を解決するために、本発明の第2の観点による投影光学系は、第1面の等倍像を第2面上に形成する投影光学系(PL、PL1〜PL5)において、前記第1面の中間像を形成する第1結像光学系(30a)と、前記中間像を前記第2面上に再結像させる第2結像光学系(30b)とを備え、前記第1結像光学系(30a)及び前記第2結像光学系(30b)のうちの一方は拡大倍率を有し、他方は縮小倍率を有することを特徴としている。
また、本発明の露光装置は、上記の何れかに記載の投影光学系を備え、前記第1面に位置決めされたマスク(M)のパターン像を、前記投影光学系(PL、PL1〜PL5)を介して前記第2面に位置決めされた基板(P)へ転写することを特徴としている。
また、本発明の露光装置は、上記の何れかに記載の投影光学系を部分投影光学系として複数備え、前記第1面に位置決めされたマスク(M)のパターン像の一部を、前記部分投影光学系(PL、PL1〜PL5)の各々を介して前記第2面に位置決めされた基板(P)上に転写することで、前記パターンの全部を前記基板(P)へ転写することを特徴としている。
また、本発明の露光装置は、前記マスク(M)を前記第1面に設定した状態で少なくとも前記第1面内の所定の方向に移動可能に構成されたマスクステージ(MS)と、基板(P)を前記第2面に設定した状態で少なくとも前記第2面の所定の方向に移動可能に構成された基板ステージ(PS)とを備え、前記部分投影光学に対して前記マスクステージ(MS)及び前記基板ステージ(PS)を相対的に移動させつつ前記マスク(M)のパターン像の一部を前記基板(P)に逐次転写することを特徴としている。
また、本発明の露光装置は、水銀ランプ(1)を含み、当該水銀ランプ(1)から射出される少なくとも2つの輝線を含む照明光で前記マスク(M)を照明する照明光学系(IL)を備えることを特徴としている。
また、本発明の露光装置は、前記照明光が、少なくともg線、h線、及びi線を含むことが好適である。
本発明のマイクロデバイスの製造方法は、上記の何れかに記載の露光装置を用いて前記マスク(M)のパターンを前記基板(P)に転写する露光工程と、前記露光工程により露光された前記基板(P)を現像する現像工程とを含むことを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法について詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態による露光装置の全体の概略構成を示す斜視図である。本実施形態においては、複数の反射屈折型の投影光学ユニットPL1〜PL5からなる投影光学系PLに対してマスクMと基板としてのプレートPとを相対的に移動させつつマスクMに形成された液晶表示素子のパターンDPの像を基板としてのプレートP上に転写するステップ・アンド・スキャン方式の露光装置に適用した場合を例に挙げて説明する。
【0013】
尚、以下の説明においては、各図中に示したXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸がプレートPに対して平行となるよう設定され、Z軸がプレートPに対して直交する方向に設定されている。図中のXYZ座標系は、実際にはXY平面が水平面に平行な面に設定され、Z軸が鉛直上方向に設定される。また、本実施形態ではマスクM及びプレートPを移動させる方向(走査方向)をX軸方向に設定している。
【0014】
本実施形態の露光装置は、マスクステージ(図1では不図示)上においてマスクホルダ(不図示)を介してXY平面に平行に支持されたマスクMを均一に照明するための照明光学系ILを備えている。図2は、照明光学系ILの側面図であり、図1に示した部材と同一の部材には同一の符号を付してある。図1及び図2を参照すると、照明光学系ILは、例えば水銀ランプ又は超高圧水銀ランプからなる光源1を備えている。光源1は楕円鏡2の第1焦点位置に配置されているため、光源1から射出された照明光束は、ダイクロイックミラー3を介して、楕円鏡2の第2焦点位置に光源像を形成する。
【0015】
尚、本実施形態では、光源1から射出された光が楕円鏡2の内面に形成された反射膜及びダイクロイックミラー3で反射されることにより、g線(436nm)の光、h線(405nm)の光、及びi線(365nm)の光を含む300nm以上の波長域の光による光源像が楕円鏡2の第2焦点位置に形成される。つまり、g線、h線、及びi線を含む波長域以外の露光する上で不必要となる成分は楕円鏡2及びダイクロイックミラー3で反射される際に除去される。
【0016】
楕円鏡2の第2焦点位置にはシャッタ4が配置されている。シャッタ4は、光軸AX1に対して斜めに配置された開口板4a(図2参照)と開口板4aに形成された開口を遮蔽又は開放する遮蔽板4b(図2参照)とから構成される。シャッタ4を楕円鏡2の第2焦点位置に配置するのは、光源1から射出された照明光束が集束されているため遮蔽板4bの少ない移動量で開口板4aに形成された開口を遮蔽することができるとともに、開口を通過する照明光束の光量を急激に可変させてることによりパルス状の照明光束を得るためである。
【0017】
楕円鏡2の第2焦点位置に形成された光源像からの発散光束は、コリメートレンズ5によってほぼ平行光束に変換されて波長選択フィルタ6に入射する。波長選択フィルタ6はg線、h線、及びi線を含む波長域の光束のみを透過させるものである。波長選択フィルタ6を通過した光はリレーレンズ8を介して再び結像する。この結像位置の近傍にはライトガイド9の入射端9aが配置されている。ライトガイド9は、例えば多数のファイバ素線をランダムに束ねて構成されたランダムライトガイドファイバであって、光源1の数(図1では1つ)と同じ数の入射端9aと、投影光学系PLを構成する投影光学ユニットの数(図1では5つ)と同じ数の射出端9b〜9f(図2では射出端9bだけを示す)とを備えている。こうして、ライトガイド9の入射端9aへ入射した光は、その内部を伝播した後、5つの射出端9b〜9fから分割されて射出される。尚、1つの光源1のみでは光量が不足する場合には、複数の光源を設けるとともに、各光源に対して設けられた複数の入射端を有し、各々の入射端から入射した光をほぼ同じ光量に分割して各射出端9b〜9fから射出するライトガイドを設けることが好ましい。
【0018】
図2に示したように、ライトガイド9の入射端9aには、連続的に位置を可変することができるように構成されたブレード10が配置されている。このブレード10は、ライトガイド9の入射端9aの一部を遮光することによって、ライトガイド9の5つの射出端9b〜9f各々から射出される光の強度を連続的に可変するためのものである。ブレード10のライトガイド9の入射端9aに対する遮光量の制御は、図2中の主制御系20が駆動装置19を制御することによって行われる。
【0019】
ライトガイド9の射出端9bとマスクMとの間には、コリメートレンズ11b、フライアイ・インテグレータ12b、開口絞り13b(図1では図示省略)、ビームスプリッタ14b(図1では図示省略)、及びコンデンサーレンズ系15bが順に配置されている。同様に、ライトガイド9の各射出端9c〜9fとマスクMとの間には、コリメートレンズ11c〜11f、フライアイ・インテグレータ12c〜12f、開口絞り13c〜13f、ビームスプリッタ14c〜14f、及びコンデンサーレンズ系15c〜15fがそれぞれ順に配置されている。
【0020】
尚、ここでは、説明の簡単化のために、ライトガイド9の射出端9b〜9fとマスクMとの間に設けられる光学部材の構成を、ライトガイド9の射出端9bとマスクMとの間に設けられたコリメートレンズ11b、フライアイ・インテグレータ12b、開口絞り13b、ビームスプリッタ14b、及びコンデンサーレンズ系15bを代表させて説明する。
【0021】
ライトガイド9の射出端9bから射出された発散光束は、コリメートレンズ11bによりほぼ平行な光束に変換された後、フライアイ・インテグレータ12bに入射する。フライアイ・インテグレータ12bは、多数の正レンズエレメントをその中心軸線が光軸AX2に沿って延びるように縦横に且つ稠密に配列することによって構成されている。従って、フライアイ・インテグレータ12bに入射した光束は、多数のレンズエレメントにより波面分割され、その後側焦点面(即ち、射出面の近傍)にレンズエレメントの数と同数の光源像からなる二次光源を形成する。即ち、フライアイ・インテグレータ12bの後側焦点面には、実質的な面光源が形成される。
【0022】
フライアイ・インテグレータ12bの後側焦点面に形成された多数の二次光源からの光束は、フライアイ・インテグレータ12bの後側焦点面の近傍に配置された開口絞り13bにより制限された後、ビームスプリッタ14bを介して、コンデンサーレンズ系15bに入射する。尚、開口絞り13bは、対応する投影光学ユニットPL1の瞳面と光学的にほぼ共役な位置に配置され、照明に寄与する二次光源の範囲を規定するための可変開口部を有する。開口絞り13bは、この可変開口部の開口径を変化させることにより、照明条件を決定するσ値(投影光学系PLを構成する各投影光学ユニットPL1〜PL5の瞳面の開口径に対するその瞳面上での二次光源像の開口径の比)を所望の値に設定する。
【0023】
コンデンサーレンズ系15bを介した光束は、パターンDPが形成されたマスクMを重畳的に照明する。尚、パターンDPは、本発明にいう第1面に配置される。ライトガイド9の他の射出端9c〜9fから射出された発散光束も同様に、コリメートレンズ11c〜11f、フライアイ・インテグレータ12c〜12f、開口絞り13c〜13f、ビームスプリッタ14c〜14f、及びコンデンサーレンズ系15c〜15fを順に介してマスクMを重畳的にそれぞれ照明する。即ち、照明光学系ILは、マスクM上においてY軸方向に並んだ複数(図1では合計で5つ)の台形状の領域を照明する。
【0024】
一方、照明光学系ILに設けられる上記ビームスプリッタ14bを介した光は、図2に示すように、集光レンズ16bを介して光電変換素子よりなるインテグレータセンサ17bで受光される。このインテグレータセンサ17bの光電変換信号が、不図示のピークホールド回路及びA/D変換器を介して主制御系20に供給される。インテグレータセンサ17bの出力と、プレートPの表面(第2面)上に照射される光の単位面積当たりのエネルギー(露光量)との相関係数は予め求められて主制御系20内に記憶されている。
【0025】
主制御系20は、プレートPが載置されるプレートステージ及びマスクMが載置されるマスクステージMSを制御する不図示のステージコントローラからのステージ系の動作情報に同期してシャッタ4の開閉動作を制御するとともに、インテグレータセンサ17bから出力される光電変換信号に応じて駆動装置19に対して制御信号を出力し、マスクMに照明光学系ILからの照明光を照射するタイミング及び照明光の強度を制御する。
【0026】
尚、照明光学系ILは、その照明光学特性(テレセントリシティ及び照度むら)を可変することができるように構成されている。照明光学特性を調整する方法の詳細については、例えば特開2001−305743号公報、特開2001−313250号公報、及び特開平10−189427号公報を参照されたい。また、照度むらの調整については、マスク面(プレート面)近傍又はマスク面(プレート面)と光学的に共役な面若しくはその近傍に走査方向の開口の幅が走査方向と直交する方向(非走査方向)において異なるような視野絞りを配置することによって補正することも可能である。この補正方法の詳細については、例えば特開平7−142313号公報等を参照されたい。尚、かかる補正方法において、視野絞りの開口の幅を異ならせるのではなく、透過特性が非走査方向において照度むらを補正し得る分布を有する濃度分布フィルタを設ける構成であっても良い。
【0027】
マスクM上の各照明領域からの光は、各照明領域に対応するようにY軸方向に沿って配列された複数(図1では合計で5つ)の投影光学ユニットPL1〜PL5からなる投影光学系PLに入射する。次に、本発明の投影光学系PLの構成について説明する。図3は、投影光学系PLの一部をなす投影光学ユニットPL1の構成を示す側面図である。尚、投影光学ユニットPL2〜PL5の構成は投影光学ユニットPL1とほぼ同様の構成であるため、投影光学ユニットPL1の構成を説明し、投影光学ユニットPL2〜PL5の説明を省略する。
【0028】
図3に示す投影光学ユニットPL1は、マスクMからの光に基づいてパターンDPの中間像(一次像)を形成する第1結像光学系30aと、この中間像からの光に基づいてパターンDPの正立正像(二次像)をプレートP上に形成する第2結像光学系30bとを有する。尚、パターンDPの中間像の形成位置又はその近傍には、マスクM上における投影光学ユニットPL1の視野領域(照明領域)及びプレートP上における投影光学ユニットPL1の投影領域(露光領域)を規定する視野絞りASが設けられている。
【0029】
第1結像光学系30aは、マスクMから−Z軸方向に沿って入射する光を−X軸方向に反射するようにマスク面(XY平面)に対して45°の角度で斜設された第1反射面を有する第1直角プリズム31aを備えている。また、第1結像光学系30aは、第1直角プリズム31a側から順に、正の屈折力を有するレンズ群32aと、負の屈折力を有するレンズ群33aと、第1直角プリズム31a側に凹面を向けた反射光学素子としての第1凹面反射鏡34aとを備えている。レンズ群32a、レンズ群33a、及び第1凹面反射鏡34aはX軸方向に沿って配置され、全体として第1反射屈折光学系35aを構成している。第1反射屈折光学系35aから+X軸方向に沿って第1直角プリズム31aに入射した光は、マスク面(XY平面)に対して45°の角度で斜設された第2反射面によって−Z軸方向に反射される。
【0030】
一方、第2結像光学系30bは、第1直角プリズム31aの第2反射面から−Z軸方向に沿って入射する光を−X軸方向に反射するようにプレート面(XY平面)に対して45°の角度で斜設された第1反射面を有する第2直角プリズム31bを備えている。また、第2結像光学系30bは、第2直角プリズム31b側から順に、正の屈折力を有するレンズ群32bと、レンズ群33bと、第2直角プリズム31b側に凹面を向けた反射光学素子としての第2凹面反射鏡34bとを備えている。レンズ群32b、レンズ群33b、及び第2凹面反射鏡34bはX軸方向に沿って配置され、全体として第2反射屈折光学系35bを構成している。第2反射屈折光学系35bから+X方向に沿って第2直角プリズム31bに入射した光は、プレート面(XY平面面)に対して45°の角度で斜設された第2反射面によって−Z軸方向に反射される。上述した第1結像光学系30aの倍率は縮小倍率に設定され、第2結像光学系30bの倍率は拡大倍率に設定されており、第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bの総合的な倍率は等倍に設定されている。
【0031】
尚、投影光学ユニットPL1の開口数、焦点深度、及び解像度については、開口数が大きくなると解像度が向上するが、焦点深度が浅くなるという関係にある。このため、微細なパターンを形成するためには極力開口数が大きくなるように投影光学ユニットPL1を設計する必要がある。しかしながら、あまり解像度を高くすると焦点深度が浅くなり、大面積のプレートPに撓みが生じている場合には、パターンDP転写時に問題が生ずることが考えられる。このため、本実施形態においては、焦点深度及び解像度を考慮して投影光学ユニットPL1のプレートP側(第2面側)の開口数(N.A.)が0.3程度以下に設定されている。
【0032】
また、本実施形態では、マスクMと第1結像光学系30aの第1直角プリズム31aの第1反射面との間の光路中にフォーカス補正光学系36が付設され、視野絞りASの近傍に像シフターとしての第1平行平面板37及び第2平行平面板38が付設されている。更に、第2結像光学系30bの第2直角プリズム31bの第2反射面とプレートPとの間の光路中に倍率補正光学系39が付設されている。
【0033】
以下、フォーカス補正光学系36の構成及び作用について説明する。図4は、図3のフォーカス補正光学系36の構成を概略的に示す図であり、(a)は斜視図、(b)はZX断面図である。図3及び図4に示したように、フォーカス補正光学系36は、マスクMと第1直角プリズム31aとの間の光路中において、マスクM側から順に、光軸AX10を含む面内(ZX平面内)においてクサビ断面形状を有している第1クサビ型光学部材36aと、光軸AX10を含む面内(ZX平面内)においてクサビ断面形状を有している第2クサビ型光学部材36bとを有しており、第1クサビ型光学部材36aのマスクM側の屈折面はその法線が光軸AX10と一致する平面であり、第2クサビ型光学部材36bの第1直角プリズム31a側の屈折面はその法線が光軸AX10と一致している平面である。また、第1クサビ型光学部材36aの第1直角プリズム31a側の屈折面と第2クサビ型光学部材36bのマスクM側の屈折面とは互いにほぼ平行な平面となっている。
【0034】
そして、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36bの少なくとも何れか一方をX方向に沿って相対的に移動させることによって、マスクMと第1直角プリズム31aとの間の光路長を変化させることができ、これにより、投影光学ユニットPL1の光軸AX10方向の結像位置を変更することが可能である。尚、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36bの移動方向は、光軸AX10を含む面内方向(ZX面内方向)であって第1クサビ型光学部材36aの第1直角プリズム31a側の屈折面(第2クサビ型光学部材36bのマスクM側の屈折面)に沿った方向であっても良い。この場合、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36bの光軸方向の間隔を一定としつつ光路長を変更することができる。尚、本実施形態では、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36bの少なくとも何れか一方を、第1及び第2クサビ型光学部材36a,36bの対向する屈折面(第1クサビ型光学部材36aのプレートP側の屈折面及び第2クサビ型光学部材36bのマスクM側の屈折面)に垂直な軸AX15を軸として回転可能としている。
【0035】
第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36bの初期状態では、上述のように、第1クサビ型光学部材36aの第1直角プリズム31a側の屈折面と第2クサビ型光学部材36bのマスクM側の屈折面とが互いに平行であり、且つ第1クサビ型光学部材36aのマスクM側の屈折面と第2クサビ型光学部材36bの第1直角プリズム31a側の屈折面とが互いに平行である。即ち、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36b全体として平行平面板となっており、入射光束は実質的に偏向作用を受けない。
【0036】
そして、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36bの少なくとも何れか一方を光軸AX15を軸として回転させると、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36b全体として所定の頂角を有するクサビ型の光学部材となるため、入射光束が偏向され、その結果、投影光学ユニットPL1の像面のXY平面(プレートP面)に対する全体的な傾斜(X軸を軸とする回転方向の傾斜及びY軸を軸とする回転方向の傾斜)が変化する。このとき、第1クサビ型光学部材36a及び第2クサビ型光学部材36bの双方が光軸AX15を軸として回転可能とすることが好ましい。この構成により、投影光学ユニットPL1の像面の傾斜方向及び傾斜角の双方を任意に制御できる。このフォーカス補正光学系36は第1駆動部40により制御される。
【0037】
次に、像シフターとしての第1平行平面板37及び第2平行平面板38について説明する。第1平行平面板37は、基準状態においてその平行面が光軸AX10に垂直に設定され、X軸廻りに微小量だけ回転可能に構成されている。第1平行平面板37をX軸廻りに微小量だけ回転させると、プレートP上に形成される像がXY平面においてY方向に微動(像シフト)する。また、第2平行平面板38は、基準状態においてその平行面が光軸AX10に垂直に設定され、Y軸廻りに微小量だけ回転可能に構成されている。第2平行平面板38をY軸廻りに微小量だけ回転させると、プレートP上に形成される像がXY平面においてX方向に微動(像シフト)する。尚、第1平行平面板37は第2駆動部41によって駆動され、第2平行平面板38は第3駆動部42によって駆動されるように構成されている。本実施形態における倍率補正光学系39の構成及び作用の詳細については、例えば特開平7−183212号公報の図11に開示されている倍率制御装置20を参照されたい。この倍率補正光学系39は、第4駆動部44によって駆動される。
【0038】
また、本実施形態では、第2直角プリズム31bが像ローテーターとして機能するように構成されている。即ち、第2直角プリズム31bは、基準状態において第1反射面と第2反射面との交差線(稜線)がY軸方向に沿って延びるように設定され、光軸AX10廻り(Z軸廻り)に微小量だけ回転可能に構成されている。第2直角プリズム31bを光軸AX10廻りに微小量だけ回転させると、プレートP上に形成される像がXY平面において光軸AX10廻り(Z軸廻り)に微小回転(像回転)する。第2直角プリズム31bは、第5駆動部43によって駆動されるように構成されている。尚、第2直角プリズム31bに代えて第1直角プリズム31aが像ローテーターとして機能するように構成してもよいし、第2直角プリズム31b及び第1直角プリズム31aの双方が像ローテーターとして機能するように構成してもよい。
【0039】
以上、投影光学ユニットPL1の構成について詳細に説明したが、次に投影光学ユニットPL1に設けられる第1結像光学系30aと第2結像光学系30bとの位置関係について説明する。図5は、第1結像光学系30aと第2結像光学系30bとの位置関係を説明するための図である。尚、図5においては、図3に示す部材と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【0040】
図5に示すように、第1面に配置されるパターンDPと第1結像光学系30aが備えるレンズ群32aとの間の距離を第1距離L1とし、レンズ群32aとパターンDPの中間像の形成位置(中間像形成面)に配置される視野絞りASとの間の距離を第2距離とし、パターンDPの中間像の形成位置と第2結像光学系30bが備えるレンズ群32bとの間の距離を第3距離L3とし、レンズ群32bと第2面に配置されるプレートPの上面との距離を第4距離とする。このとき、第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bは、以下の(1)式及び(2)式をそれぞれ満たすように配置される。
L1>L2 ……(1)
L4>L3 ……(2)
【0041】
尚、本実施形態においては、上記の(1)式及び(2)式を満足した上で、以下の(3)式及び(4)式を満足するように第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bはそれぞれ配置される。
L1=L4 ……(3)
L2=L3 ……(4)
つまり、本実施形態においては、第1結像光学系30aと第2結像光学系30bとは、ほぼ等しい光学特性を有する光学系として設計されており、また、視野絞りASが配置されたパターンDPの中間像の形成面に関してほぼ対象に配置されている。
【0042】
上記の(1)式及び(2)式を満足するように、第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bを配置するのは、投影光学系PL、ひいては露光装置のコストを増大させることなく作動距離を広げるためである。つまり、マスクM又はプレートPの大型化に伴って撓みが生じていても作動距離(図5においては、距離L1,L2をいう)が広ければ、撓みの影響を考慮せずにマスクM及びプレートを容易に交換することとなり、その結果としてスループットの向上を図ることができる。
【0043】
ここで第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bに含まれるレンズの枚数を増やしたり、色分散の少ない高価な硝材を用いれば、従来と同様の構成、即ちL1=L2,L3=L4を満足する構成の投影光学ユニットPL1を設計することは不可能ではない。しかしながら、本実施形態においては、レンズ枚数を増加せず、且つ、蛍石等の高価な硝材を用いることなく、上記(1)式及び(2)式を満足するように第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bを配置するだけで作動距離を広げている。
【0044】
尚、図5においては、パターンDPが配置された第1面、レンズ群32a、パターンDPの中間像の形成面、レンズ群32a、及びプレートPの表面が配置された第2面の間隔をそれぞれ第1距離L1〜第2距離L4と定義した。しかしながら、第1面と第1結像光学系30aとの間の距離である第1距離L1を第1面と第1結像光学系30aに設けられる第1直角プリズム31aとの間の距離で定義し、第1結像光学系30aと中間像形成面との間の距離である第2距離L2を第1直角プリズム31aと中間像形成面との間の距離で定義しても良い。
【0045】
同様に、中間像形成面と第2結像光学系30bとの間の距離である第3距離L3を中間像形成面と第2結像光学系30bに含まれる第2直角プリズム31bとの間の距離で定義し、第2結像光学系30bと第2面との距離である第4距離L4を第2直角プリズム31bと第2面との間の距離で定義しても良い。かかる定義を行った場合にも、図5に示すように、第1結像光学系30aに関して第1距離L1と第2距離L2との間にはΔL分の差があり、上記(1)式を満足していることが分かる。これは、第2結像光学系30bに関しても同様であり、上記(2)式を満足することになる。
【0046】
[投影光学系の実施例]
次に、本発明の一実施形態による投影光学系の実施例について説明する。ここでは、図5に示すように、レンズ群32a,32bがそれぞれ3枚のレンズからなり、レンズ群33a,33bがそれぞれ2枚のレンズからなる実施例について説明する。正の屈折力を有するレンズ群32aは、第1直角プリズム31aから第1凹面反射鏡34aへ配列された、1つの両凸レンズG11と第1凹面反射鏡34a側に凸面を向けた2つの正メニスカスレンズG12,G13とから構成されている。負の屈折力を有するレンズ群33aは、第1直角プリズム31aから第1凹面反射鏡34aへ配列された、第1直角プリズム31a側に凸面を向けた1つの負メニスカスレンズG14と第1凹面反射鏡34a側に凸面を向けた1つの正メニスカスレンズG15とから構成されている。
【0047】
また、正の屈折力を有するレンズ群32bはレンズ群32aと同様の構成であり、第2直角プリズム31bから第2凹面反射鏡34bへ配列された、1つの両凸レンズG21と第2凹面反射鏡34b側に凸面を向けた2つの正メニスカスレンズG22,G23とから構成されている。負の屈折力を有するレンズ群33bはレンズ群33aと同様の構成であり、第2直角プリズム31bから第2凹面反射鏡34bへ配列された、第2直角プリズム31b側に凸面を向けた1つの負メニスカスレンズG24と第2凹面反射鏡34b側に凸面を向けた1つの正メニスカスレンズG25とから構成されている。
【0048】
次の[表1]に、投影光学系の実施例の諸元の値を掲げる。[表1]において、面番号はパターンDPが配置された第1面から第1結像光学系31a及び第2結像光学系31bを介してプレートPの表面が配置された第2面に至るまでの光線の進行する方向に沿ったレンズ面(第1凹面反射鏡34a及び第2凹面反射鏡34bの反射面を含む)の面の順序を、rは各面の曲率半径(mm)を、dは各面の軸上間隔即ち面間隔(mm)を、ngはg線(波長λ=436nm)に対する屈折率を、nhはh線(波長λ=405nm)に対する屈折率を、niはi線(波長λ=365nm)に対する屈折率をそれぞれ示している。
【0049】
尚、以下の[表1]においては、第1直角プリズム31a及び第2直角プリズム31bを省略するとともに、フォーカス補正光学系36、第1平行平面板37、第2平行平面板38、及び倍率補正光学系39を便宜的に平行平面板としている。また、光線は第1結像光学系30a中においてレンズ群32a,33aを往復し、第2結像光学系30b中においてレンズ群32b,33bを往復するため、レンズの数に比べて面の数が多くなっている点に注意されたい。
【0050】
【0051】
次に、上記の通り設計された投影光学系の光学特性について説明する。図6は、実施例における第1結像光学系30aの球面収差、像面湾曲収差、及び歪曲収差を示す図であり、図7は、実施例における第1結像光学系30aのコマ収差を示す図である。また、図8は、実施例における投影光学ユニットPL1全体の球面収差、像面湾曲収差、及び歪曲収差を示す図であり、図7は、実施例における投影光学ユニットPL1全体のコマ収差を示す図である。各収差図において、NAは物体側での開口数を、Yは像高をそれぞれ示している。また、図6及び図8中の像面湾曲収差を示す収差図において、実線はメリデイオナル面(M面)における像面湾曲収差を示し、破線はサジタル面(S面)における像面湾曲収差を示している。
【0052】
図6及び図7を参照すると、第1結像光学系30aのみでは歪曲収差が極めて悪化していることが分かる。これは、第1結像光学系30aについて上記(1)式を満たすように構成して、縮小倍率を有するように設定したからである。これに対して、図8及び図9を参照すると、投影光学ユニットPL1全体では歪曲収差が殆ど生じていない。これは、図5に示すように、投影光学ユニットPL1は、視野絞りASに関して第1結像光学系30aと第2結像光学系30bとがほぼ対称となるように構成されているからである。つまり、第1結像光学系30aで歪曲収差が生じても、第2結像光学系30bが第1結像光学系30aで生じた歪曲収差を補正するように作用し、結果として投影光学ユニットPL1全体では歪曲収差が殆ど生じなくなる。
【0053】
また、本実施例における投影光学ユニットPL1の焦点深度は約40μmである。図8及び図9を参照すると、投影光学ユニットPL1の残存収差は余り小さくないことが分かるが、各収差が焦点深度内であれば露光処理を行う上での問題は小さい。図8を参照すると、g線、h線、及びi線各々に対する収差の全てが焦点深度内に収まっており、上記(1)式及び(2)式を満たすように第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bを構成しても、投影光学ユニットPL1全体としての収差は大幅に悪化しないことが分かる。
【0054】
尚、第2結像光学系30bが第1結像光学系30aで生じた歪曲収差を補正可能なのは、いわば第2結像光学系30b自体に第1結像光学系30aの収差特性とは逆の収差特性があるということである。このため、第1結像光学系30aと第2結像光学系30bとの間に配置された視野絞りASによって規定される投影光学ユニットPL1の投影領域が歪むことが考えられる。このため、第2結像光学系30bの収差を考慮して視野絞りASの形状を予め歪んだ形状としておき、露光時における投影光学ユニットPLの投影領域が所望の形状(例えば、台形形状)になるように設定することが好ましい。
【0055】
[投影光学系の比較例]
ここで、上述した実施例の光学特性を比較するための比較例について説明する。上記の実施例では前述の(1)式及び(2)式を満たしていたが、ここで挙げる比較例はL1=L2=L3=L4を満たし、上記の実施例と同様の作動距離を確保した投影光学系である。次の[表2]に、投影光学系の比較例の諸元の値を掲げる。本比較例の投影光学系は、上述した実施例と同数のレンズ、直角プリズム、凹面反射鏡を有している。また、各レンズの硝材は実施例と同様であり、各レンズの曲率及び面間隔が実施例と若干異なっている。尚、[表2]中の各物理量は[表1]と同様の物理量であり、[表1]中の各部材に対応する部材には、同一の符号と記号「′」を付加してある。
【0056】
【0057】
次に、以上の構成の比較例に示した投影光学系と前述した実施例の投影光学系との光学特性を比較する。図10は、比較例における投影光学ユニットPL1全体の球面収差、像面湾曲収差、及び歪曲収差を示す図であり、図11は、比較例における投影光学ユニットPL1全体のコマ収差を示す図である。尚、図6〜図9と同様に、各収差図において、NAは物体側での開口数を、Yは像高をそれぞれ示している。また、図10中の像面湾曲収差を示す収差図において、実線はメリデイオナル面(M面)における像面湾曲収差を示し、破線はサジタル面(S面)における像面湾曲収差を示している。
【0058】
図8及び図9と図10及び図11とをそれぞれ比較すると、球面収差、像面湾曲収差、歪曲収差、及びコマ収差は十分に値が小さく、各々の優劣はつけ難い。しかしながら、比較例においてはh線についての色収差が実施例よりも大きくなっている。前述したように、図8に示した実施例においては、収差が投影光学ユニットPLの焦点深度内に収まっていたが、図10に示す比較例ではh線の収差(球面収差及び像面湾曲収差)が焦点深度外となってしまう。
【0059】
このように、ある程度の作動距離を確保し、且つL1=L2=L3=L4を満たすように設計した比較例の投影光学系においては収差が悪化してしまうが、本実施例の投影光学系においては、収差の大幅な悪化を招かず、且つコストを増大させることなく作動距離を広げることができる。また、[表1]及び[表2]を参照すると、実施例におけるレンズG11のレンズ面から第1凹面反射鏡34aまでの距離は比較例におけるレンズG11′のレンズ面から第1凹面反射鏡34a′までの距離よりも短くなり、また第1面と第2面との間隔は比較例よりも実施例の方が狭くなっていることが分かる。よって、本実例の構成をとれば、必要となる光学性能を確保した上で、小型化及び軽量化を図ることができ、その結果として装置のコストを低減することができる。
【0060】
以上、本発明の一実施形態による投影光学系PLの具体的な構成について説明したが、次に図3を参照してその動作について簡単に説明する。尚、以下の説明においては、各投影光学ユニットの基本的な構成の説明を簡略化するために、フォーカス補正光学系36、第1平行平面板37、第2平行平面板38、及び倍率補正光学系39が付設されていない状態について説明する。
【0061】
前述したように、マスクM上に形成されたパターンDPは、照明光学系ILからの照明光(露光光)により、ほぼ均一の照度で照明される。マスクM上の各照明領域に形成されたパターンDPから−Z軸方向に沿って進行した光は、第1直角プリズム31aの第1反射面により90°だけ偏向された後、−X軸方向に沿って第1反射屈折光学系35aに入射する。第1反射屈折光学系35aに入射した光は、レンズ群32a及びレンズ群33aを順に介して、第1凹面反射鏡34aに達する。第1凹面反射鏡34aで反射された光は、再びレンズ群33a及びレンズ群32aを順に介して、+X軸方向に沿って第1直角プリズム31aの第2反射面に入射する。第1直角プリズム31aの第2反射面で90°だけ偏向されて−Z軸方向に沿って進行した光は、視野絞りASの近傍にパターンDPの中間像を形成する。尚、形成される中間像はパターンDPを縮小したものとなる。
【0062】
パターンDPの中間像から−Z軸方向に沿って進行した光は、第2直角プリズム31bの第1反射面により90°だけ偏向された後、−X軸方向に沿って第2反射屈折光学系35bに入射する。第2反射屈折光学系35bに入射した光は、レンズ群32a及びレンズ群33bを順に介して、第2凹面反射鏡34bに達する。第2凹面反射鏡34bで反射された光は、再びレンズ群33b及びレンズ群32bを順に介して、+X軸方向に沿って第2直角プリズム31bの第2反射面に入射する。第2直角プリズム31bの第2反射面で90°だけ偏向されて−Z軸方向に沿って進行した光は、プレートP上において対応する露光領域にパターンDPの二次像を形成する。ここで、二次像のX軸方向における横倍率及びY軸方向における横倍率はともに+1倍である。即ち、各投影光学ユニットPL1〜PL5を介してプレートP上に形成されるパターンDPの像は等倍の正立正像であり、各投影光学ユニットPL1〜PL5は等倍正立系を構成している。
【0063】
尚、上述の第1反射屈折光学系35aでは、レンズ群33aの後側焦点位置の近傍に第1凹面反射鏡34aが配置されているため、マスクM側及び視野絞りAS側においてほぼテレセントリックとなる。また、第2反射屈折光学系35bにおいても、レンズ群33bの後側焦点位置の近傍に第2凹面反射鏡34bが配置されているため、視野絞りAS側及びプレートP側においてほぼテレセントリックとなる。その結果、各投影光学ユニットPL1〜PL5は、ほぼ両側(マスクM側及びプレートP側)にテレセントリックな光学系である。
【0064】
こうして、複数の投影光学ユニットPL1〜PL5から構成された投影光学系PLを介した光は、プレートステージ(図1では不図示)PS上において不図示のプレートホルダを介してXY平面に平行に支持されたプレートP上にパターンDPの像を形成する。即ち、上述したように、各投影光学ユニットPL1〜PL5は等倍正立系として構成されているので、感光性基板であるプレートP上において各照明領域に対応するようにY軸方向に並んだ複数の台形状の露光領域には、パターンDPの等倍正立像が形成される。
【0065】
図1に戻り、前述したマスクステージMSには、マスクステージMSを走査方向であるX軸方向に沿って移動させるための長いストロークを有する走査駆動系(不図示)が設けられている。また、マスクステージMSを走査直交方向であるY軸方向に沿って微小量だけ移動させるとともにZ軸廻りに微小量だけ回転させるための一対のアライメント駆動系(不図示)が設けられている。そして、マスクステージMSの位置座標が移動鏡25を用いたレーザ干渉計(不図示)によって計測され且つ位置制御されるように構成されている。更に、マスクステージMSは、Z方向の位置が可変に構成されている。
【0066】
同様の駆動系が、プレートステージPSにも設けられている。即ち、プレートステージPSを走査方向であるX軸方向に沿って移動させるための長いストロークを有する走査駆動系(不図示)、プレートステージPSを走査直交方向であるY軸方向に沿って微小量だけ移動させるとともにZ軸廻りに微小量だけ回転させるための一対のアライメント駆動系(不図示)が設けられている。そして、プレートステージPSの位置座標が移動鏡26を用いたレーザ干渉計(不図示)によって計測され且つ位置制御されるように構成されている。プレートステージPSもマスクステージMSと同様にZ方向に移動可能に構成されている。マスクステージMS及びプレートステージPSのZ方向の位置は、主制御系20によって制御される。
【0067】
更に、マスクMとプレートPとをXY平面に沿って相対的に位置合わせするための手段として、一対のアライメント系27a,27bがマスクMの上方に配置されている。アライメント系27a,27bとしては、投影光学ユニットPL1,PL5を介して計測された基準部材28(プレートステージPSの基準位置を定める部材)の位置と、プレートP上に形成されたプレートアライメントマークの位置との相対位置とによりプレートPの位置を求める方式のアライメント系(所謂、TTL(Through The Lens)方式のアライメント系)、又は、マスクM上に形成されたマスクアライメントマークとプレートP上に形成されたプレートアライメントマークとの相対位置を画像処理により求める方式のアライメント系(所謂、TTM(Through The Mask)方式のアライメント系)を用いることができる。本実施形態では、TTL方式のアライメント系が設けられているとする。
【0068】
また、本実施形態の露光装置は、プレートステージPS上に、投影光学系PLを介してプレートP上に照射される光の照度を測定するための照度測定部29が固定されており、またプレートP上に照射される光(像)の空間分布を計測するための空間像計測装置24が設けられている。以上、本発明の一実施形態による露光装置の構成について説明したが、次に露光時の動作について説明する。尚、以下の説明においては、複数枚のプレートに対して行われる1つの露光工程(例えば、TFTを形成する際に行われる露光工程、又は、カラーフィルタを形成する際に行われる露光工程)を行う際の露光装置の動作について説明する。
【0069】
工程が開始すると、まず主制御系20が露光動作に必要な各種の情報(レシピ)を読み込む。次に、主制御系20は、光源1から光を射出させて、光源1からの光が照明光学系IL及び投影光学ユニットPL1〜PL5各々を介してプレートステージPS上に照射されている状態にして、照度測定部29を用いてプレートステージPSに照射される光の照度むらを測定する。そして、照度むらの測定結果に基づいて、照明光学系ILの光学特性(照度むら、テレセントリシティー等)を調整する。
【0070】
次に、マスクステージMSに形成されている基準パターンを照明領域に移動させるとともに、空間像計測装置24に設けられている検出ユニットと投影光学ユニットPL1,PL3,PL5の投影領域とをX軸方向に整列させ、露光光を基準パターンに照射して基準パターンの像を検出ユニットで計測する。同様に、検出ユニットと投影光学ユニットPL2,PL4の投影領域とをX軸方向に整列させて、基準パターンの像を計測する。このようにして、主制御系20は、各投影光学ユニットPL1〜PL5各々から投影される基準パターンの像の配列、大きさ、位置、及び回転量、並びに各種の収差を求めて、投影光学ユニットPL1〜PL5の光学特性を検出する。
【0071】
投影光学ユニットPL1〜PL5の光学特性が得られると、主制御系20は投影光学ユニットPL1〜PL5各々の投影光学特性等を調整する。尚、具体的な調整方法は、図3に示す第1駆動部を介してフォーカス補正光学系36を駆動することにより、各投影光学ユニットPL1〜PL5における像面側(プレートP側)の焦点位置を調整する。また、必要に応じて第2駆動部41及び第3駆動部42を介して第1平行平面板37及び第2平行平面板38をそれぞれ駆動することにより、投影光学ユニットPL1〜PL5各々の像の投影位置の変動を補正する。
【0072】
更に、必要に応じて第5駆動部44を介して倍率補正光学系39を駆動することにより、各投影光学ユニットPL1〜PL5における倍率変動を調整(補正)する。また更に、必要に応じて、第4駆動部43を介して、像ローテーターとしての第2直角プリズム31bを駆動することにより、各投影光学ユニットPL1〜PL5における像回転を補正する。また、主制御系20は、必要に応じて、各収差の補正に有効なレンズを光軸方向又は光軸直交方向に沿って移動させたり、光軸に対して傾斜させたりすることにより、回転対称収差や非回転対称収差を補正する。また、主制御系20は、必要に応じて、視野絞りASをXY平面に沿って移動させたりZ軸廻りに回転させたりすることにより、視野絞り像の像位置の変動及び像回転を補正する。
【0073】
更に、各投影光学ユニットPL1〜PL5の光学特性を調整するのみならず、投影光学ユニットPL1〜PL5各々のZ方向の位置、マスクステージMSのZ方向の位置、又はプレートステージPSのZ方向の位置を調整することにより、投影光学ユニットPL1〜PL5のベストフォーカス位置にマスクM及びプレートPが配置されるようにする。
【0074】
以上の照明光学系ILの照明光学特性の調整及び投影光学系PLの投影光学特性の調整が終了すると、アライメント系27a,27bを照明光学系ILの照明領域内に配置し、各々のアライメント系27a,27bで基準部材28の位置を計測する。ここで、アライメント系27a,27bは予め投影光学系PLを介して計測した基準部材28の位置とプレートPに形成されたプレートアライメントマークの位置との相対関係により、プレートステージPS上に載置されたプレートPの位置を求めている。
【0075】
以上の工程が終了すると、主制御系20は、レシピに従って、マスクMを搬入してマスクステージMS上に載置するとともに、プレートを搬入してプレートステージPS上に載置する。そして、アライメント系27a,27bを用いてプレートPSの位置を計測した後、この計測結果に基づいてマスクMとプレートPとの相対的な位置合わせを行う。尚、プレートPには複数のショット領域が予め設定されているため、主制御系20のマスクMのパターンを転写すべきショット領域が、露光領域の近傍に配置されるように位置合わせする。そして、照明光学系ILから射出される露光光をマスクMの一部に照射し、マスクMとプレートPとをX方向に移動させつつ、マスクMに形成されているパターンDPの一部を投影光学系PLを介してプレートPのショット領域に順次転写する。
【0076】
1つのショット領域の露光が終了すると、主制御系20はレシピの内容に基づいて、次に露光すべきショット領域が有るか否かを判断する。露光すべきショット領域が有ると判断した場合には、マスクステージMS上に載置されているマスクを交換し、他のショット領域の露光を行う。一方、露光すべきショット領域が無いと判断した場合には、全てのプレートに対して露光が終了したか否かが判断される。全てのプレートに対して露光が終了していない場合には、マスクステージMS上のマスクMを交換するとともに、露光を終えたプレートPを搬出して新たなプレートPを搬入し、新たに搬入されたプレートに対する露光処理を行う。一方、全てのプレートに対して露光が終了した場合には、一連の処理が終了する。
【0077】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されず、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態ではステップ・アンド・スキャン方式の露光装置を例に挙げて説明したが、ステップ・アンド・リピート方式の露光装置にも適用可能である。また、上記実施形態では、照明光学系IL内に光源1として超高圧水銀ランプを備え、必要となるg線(436nm)の光、h線(405nm)、及びi線(365nm)の光を選択するようにしていた。しかしながら、これに限らず、KrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、F2レーザ(157nm)を光源1として備え、これらのレーザから射出されるレーザ光を用いる場合であっても本発明を適用することが可能である。
【0078】
また、前述した実施形態においては、液晶表示素子を製造する場合を例に挙げて説明したが、もちろん、液晶表示素子等のフラット・パネル・ディスプレイの製造に用いられる露光装置だけではなく、半導体素子等を含むマイクロデバイスの製造に用いられてデバイスパターンを半導体基板上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられてデバイスパターンをセラミックウェハ上へ転写する露光装置、及びCCD等の撮像素子の製造に用いられる露光装置等にも本発明を適用することができる。
【0079】
また、上述の実施形態では、各投影光学ユニットPL1〜PL5が一対の結像光学系30a.30bを有するマルチ走査型投影露光装置について本発明を適用しているが、各投影光学ユニットが1つ又は3つ以上の結像光学系を有する型式のマルチ走査型投影露光装置に対しても本発明を適用することができる。また、上記実施形態では、投影光学系PLがマルチ型に構成された場合を例に挙げて説明したが、本発明はマルチ型以外の投影光学系、つまり鏡筒が1つの投影光学系にも適用することができる。
【0080】
また、上述した実施形態においては、第1距離L1〜第2距離L4が以下の(1)式〜(4)式を満たすように構成した場合について説明した。
L1>L2 ……(1)
L4>L3 ……(2)
L1=L4 ……(3)
L2=L3 ……(4)
【0081】
しかしながら、上記(1)式〜(4)式を満たす構成は、あくまでも一例であり、本発明は第1結像光学系30a及び第2結像光学系30bの少なくとも一方が、以下の(5)式及び(6)式のうちの少なくとも一方の条件を満足する構成に適用することができる。
L1≠L2 ……(5)
L4≠L3 ……(6)
【0082】
例えば、上記実施形態においては、作動距離を広げるために上記(1)式及び(2)式を満足する構成とした。しかしながら、例えば投影光学ユニットPLの光学特性を微調整するために設けられるフォーカス補正光学系36、第1平行平面板37、第2平行平面板38、及び倍率補正光学系39の全てを第1結像光学系30aと第2結像光学系30bとの間にまとめる場合には、以下の(7)式及び(8)式を満足する構成、又は、(7)式及び(8)式の何れか一方を満足する構成にすることも可能である。
L1<L2 ……(7)
L4<L3 ……(8)
また、第1結像光学系30aと第2結像光学系30bの双方がそれぞれ上記(1)式及び(2)式、又は、(7)式及び(8)式を満足するように構成する必要はなく、何れか一方が満足するように構成すればよい。また、上記の実施形態では、第1結像光学系30aが縮小倍率を有し、第2結像光学系30bが拡大倍率を有するように構成していたが、この逆であっても良い。
【0083】
次に本発明の一実施形態による露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法の実施形態について説明する。図12は、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを製造する際の製造工程の一部を示すフローチャートである。まず、図12のステップS10において、1ロットのウェハ上に金属膜が蒸着される。次のステップS12において、その1ロットのウェハ上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップS14において、図1に示す露光装置を用いて、マスクM上のパターンの像がその投影光学系(投影光学ユニット)を介して、その1ロットのウェハ上の各ショット領域に順次露光転写される(露光工程)。
【0084】
その後、ステップS16において、その1ロットのウェハ上のフォトレジストの現像(現像工程)が行われた後、ステップS18において、その1ロットのウェハ上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各ウェハ上の各ショット領域に形成される。その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
【0085】
また、図1に示す露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。以下、図13のフローチャートを参照して、このときの手法の一例につき説明する。図13は、マイクロデバイスとしての液晶表示素子の製造する際の製造工程の一部を示すフローチャートである。
【0086】
図13中のパターン形成工程S20では、本実施形態の露光装置を用いてマスクのパターンを感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に転写露光する、所謂光リソグラフィー工程が実行される。この光リソグラフィー工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レチクル剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成され、次のカラーフィルタ形成工程S22へ移行する。
【0087】
次に、カラーフィルタ形成工程S22では、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列されたり、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。そして、カラーフィルタ形成工程S22の後に、セル組み立て工程S24が実行される。セル組み立て工程S24では、パターン形成工程S20にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程S22にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。
【0088】
セル組み立て工程S24では、例えば、パターン形成工程S20にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程S22にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。その後、モジュール組立工程S26にて、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。上述の液晶表示素子の製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する液晶表示素子をスループット良く得ることができる。
【0089】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、第1結像光学系及び第2結像光学系の少なくとも一方を、第1面と中間像形成面との間、及び、中間像形成面と第2面との間において不等間隔に配置しているため、コストを増大させることなく投影光学系の作動距離を広げることができるという効果がある。また、かかる配置とすることで大幅な収差の悪化は引き起こされないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による露光装置の全体の概略構成を示す斜視図である。
【図2】照明光学系ILの側面図である。
【図3】投影光学系PLの一部をなす投影光学ユニットPL1の構成を示す側面図である。
【図4】図3のフォーカス補正光学系36の構成を概略的に示す図であり、(a)は斜視図、(b)はZX断面図である。
【図5】第1結像光学系30aと第2結像光学系30bとの位置関係を説明するための図である。
【図6】実施例における第1結像光学系30aの球面収差、像面湾曲収差、及び歪曲収差を示す図である。
【図7】実施例における第1結像光学系30aのコマ収差を示す図である。
【図8】実施例における投影光学ユニットPL1全体の球面収差、像面湾曲収差、及び歪曲収差を示す図である。
【図9】実施例における投影光学ユニットPL1全体のコマ収差を示す図である。
【図10】比較例における投影光学ユニットPL1全体の球面収差、像面湾曲収差、及び歪曲収差を示す図である。
【図11】比較例における投影光学ユニットPL1全体のコマ収差を示す図である。
【図12】マイクロデバイスとしての半導体デバイスを製造する際の製造工程の一部を示すフローチャートである。
【図13】マイクロデバイスとしての液晶表示素子の製造する際の製造工程の一部を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 光源(水銀ランプ)
30a 第1結像光学系
30b 第2結像光学系
32a,32b レンズ群(屈折光学素子群、第1屈折光学素子群)
33a,33b レンズ群(屈折光学素子群、第2屈折光学素子群)
34a 第1凹面反射鏡(凹面反射光学素子)
34b 第2凹面反射鏡(凹面反射光学素子)
AS 視野絞り
IL 照明光学系
M マスク
MS マスクステージ
P プレート(基板)
PL 投影光学系
PL1〜PL5 投影光学ユニット(投影光学系)
PS プレートステージ
Claims (18)
- 第1面の像を第2面上に形成する投影光学系において、
前記第1面の中間像を形成する第1結像光学系と、
前記中間像を前記第2面上に再結像させる第2結像光学系と
を備え、
前記第1面と前記第1結像光学系との間の距離を第1距離L1とし、前記第1結像光学系と前記中間像形成面と間の距離を第2距離L2とし、前記中間像形成面と前記第2結像光学系との間の距離を第3距離L3とし、前記第2結像光学系と前記第2面との間の距離を第4距離L4とするとき、
前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系の少なくとも一方は、
L1≠L2,及び
L3≠L4
のうちの少なくとも一方の条件を満足することを特徴とする投影光学系。 - 前記投影光学系はほぼ等倍であり、
前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系のうちの一方は拡大倍率を有し、他方は縮小倍率を有することを特徴とする請求項1記載の投影光学系。 - 前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系の双方は、
L1≠L2,及び
L3≠L4
の条件を満足することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の投影光学系。 - 前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系の双方は、前記中間像形成面に関してほぼ対称に配置されることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の投影光学系。
- 前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系は、
L1>L2,及び
L4>L3
の条件を満足することを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の投影光学系。 - 前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系は、ほぼ等しい光学系であることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか一項に記載の投影光学系。
- 前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系は、反射屈折光学系であることを特徴とする請求項1から請求項6の何れか一項に記載の投影光学系。
- 前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系は、
屈折光学素子群と、
前記屈折光学素子群側に凹面を向けて配置されて、前記屈折光学素子群を介した光を前記屈折光学素子群へ向けて反射する凹面反射光学素子と
をそれぞれ含むことを特徴とする請求項7記載の投影光学系。 - 前記屈折光学素子群は、正屈折力を有する第1屈折光学素子群と、
前記第1屈折光学素子群と前記凹面反射光学素子との間の光路中に配置されて負屈折力を有する第2屈折光学素子群と
を含むことを特徴とする請求項8記載の投影光学系。 - 前記中間像形成面又はその近傍に配置された視野絞りを備えることを特徴とする請求項1から請求項9の何れか一項に記載の投影光学系。
- 前記視野絞りの開口部は、前記第2結像光学系を介して前記第2面に投影される際に該開口部の像の形状が所望の形状となるように、前記第2結像光学系の収差を考慮した開口形状を有していることを特徴とする請求項10記載の投影光学系。
- 第1面の等倍像を第2面上に形成する投影光学系において、
前記第1面の中間像を形成する第1結像光学系と、
前記中間像を前記第2面上に再結像させる第2結像光学系と
を備え、
前記第1結像光学系及び前記第2結像光学系のうちの一方は拡大倍率を有し、他方は縮小倍率を有することを特徴とする投影光学系。 - 請求項1から請求項12の何れか一項に記載の投影光学系を備え、
前記第1面に位置決めされたマスクのパターン像を、前記投影光学系を介して前記第2面に位置決めされた基板へ転写することを特徴とする露光装置。 - 請求項1から請求項12の何れか一項に記載の投影光学系を部分投影光学系として複数備え、
前記第1面に位置決めされたマスクのパターン像の一部を、前記部分投影光学系の各々を介して前記第2面に位置決めされた基板上に転写することで、前記パターンの全部を前記基板へ転写することを特徴とする露光装置。 - 前記マスクを前記第1面に設定した状態で少なくとも前記第1面内の所定の方向に移動可能に構成されたマスクステージと、
基板を前記第2面に設定した状態で少なくとも前記第2面の所定の方向に移動可能に構成された基板ステージと
を備え、
前記部分投影光学に対して前記マスクステージ及び前記基板ステージを相対的に移動させつつ前記マスクのパターン像の一部を前記基板に逐次転写することを特徴とする請求項14記載の露光装置。 - 水銀ランプを含み、当該水銀ランプから射出される少なくとも2つの輝線を含む照明光で前記マスクを照明する照明光学系を備えることを特徴とする請求項13から請求項15の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記照明光は、少なくともg線、h線、及びi線を含むことを特徴とする請求項16記載の露光装置。
- 請求項13から請求項17の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記マスクのパターンを前記基板に転写する露光工程と、
前記露光工程により露光された前記基板を現像する現像工程と
を含むことを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。
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