JP2013044969A - 投影光学系、露光装置及びデバイス製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 投影光学系は、物体面に配置された物体の中間像を形成する第1の反射光学系と前記中間像を像面に投影する第2の反射光学系とを含む。前記第1の反射光学系は、前記物体面から出射され前記物体面に直交する第1方向に沿って入射した光を反射する第1の平面鏡と、前記第1の平面鏡からの光を反射する第1の光学系と、前記第1の光学系からの光を反射して前記中間像の形成位置に向け前記第1方向に沿って出射する第2の平面鏡とを有する。前記第2の平面鏡における光の反射位置と前記中間像の形成位置との間の前記第1方向における距離は前記第1の平面鏡における光の反射位置と前記物体面との間の前記第1方向における距離よりも短い。
【選択図】 図1
Description
〔第1実施形態〕
図1は第1実施形態のマスク(原版)の等倍正立像を基板上に投影して基板を露光する露光装置の図である。本実施形態の露光装置は、図1に示すように、照明光学系IL,投影光学系PO、所定のパターンが描画されたマスク1、マスク1を保持するためのマスクステージ2、基板3と基板3を保持する基板ステージ4を備える。マスクステージ2と基板ステージ4は同期してy方向に走査することにより、より広い領域を露光することが可能となる。投影光学系POはマスク1の中間像を形成する第1の反射光学系PO1と、第1の反射光学系PO1により形成された中間像を基板3に結像する第2の反射光学系PO2を含む。第1の反射光学系PO1は、所定の平面に平行な物体面に配置された物体であるマスク1の中間像を形成し、第2の反射光学系PO2は、中間像を前記平面に平行な像面に投影する。
〔第2実施形態〕
図2に基づいて第2実施形態の露光装置について説明する。本実施形態の露光装置は、照明光学系ILから出た照明光はマスク201を通り第1の平面鏡203を通り第1の凹面鏡204により反射され、第1の凸面鏡205、第2の凹面鏡206を通る。その後、光は、第2の平面鏡207により反射され、マスク201に対して共役な位置221に中間像を結ぶ。第1の平面鏡203と第2の平面鏡207はプリズム状で一体的に構成されて互いに直角なしている。中間像を結んだ後、第2の反射光学系PO2に含まれる第3の平面鏡208により反射された光は第3の凹面鏡209、第2の凸面鏡210、第4の凹面鏡211を通り、第4の平面鏡212により反射され基板213上に結像する。第2の反射光学系PO2に含まれる第3の平面鏡208と第4の平面鏡212はプリズム状で一体的に構成され互いに直角をなしている。マスク201にはデバイスを製造するための所定のパターンが描画されており基板213上にパターンを形成することができる。マスク201は駆動可能なマスクステージ202に固定されている。また基板213は駆動可能な基板ステージ214に固定されている。マスクステージ202と基板ステージ214は同期してy方向に走査することにより広い領域を露光可能である。
〔第3実施形態〕
図3に基づいて第3実施形態の露光装置について説明する。不図示の照明光学系から出た照明光はマスク301を通り第1の反射光学系PO1によりマスク301に対して共役な位置314に中間像を形成しその後第2の反射光学系PO2により基板303上にマスクパターンが形成される。マスク301はマスクステージに302に保持されており、基板303は基板ステージ304に保持されている。マスクステージ302と基板ステージ304は同期してy方向に走査することにより広い範囲を露光可能となる。第1の反射光学系PO1は第1の平面鏡305、第1の凹面鏡306、第1の凸面鏡307、第2の凹面鏡308、第2の平面鏡311を有している。第3実施形態の第1の光学系は、第2の凹面鏡308と第2の平面鏡311との間に配置された一対の平面鏡309,310をさらに含んでいる。一対の平面鏡309,310は、互いに平行に配置され、第2の凹面鏡308で反射され第2の平面鏡311に入射する光のz方向(第2方向)における位置を物体面の側にシフトさせる。
本発明の好適な実施形態のデバイス製造方法は、例えば、半導体デバイス、FPDのデバイスの製造に好適である。前記方法は、感光剤が塗布された基板を、上記の露光装置を用いて露光する工程と、前記露光された基板を現像する工程とを含みうる。さらに、前記デバイス製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含みうる。
Claims (8)
- 所定の平面に平行な物体面に配置された物体の中間像を形成する第1の反射光学系と前記中間像を前記平面に平行な像面に投影する第2の反射光学系とを含む投影光学系であって、
前記第1の反射光学系は、前記物体面から出射され前記平面に直交する第1方向に沿って入射した光を反射する第1の平面鏡と、前記第1の平面鏡からの光を反射する第1の光学系と、前記第1の光学系からの光を反射して前記中間像の形成位置に向け前記第1方向に沿って出射する第2の平面鏡とを有し、
前記第2の反射光学系は、前記中間像の形成位置から出射され前記第1方向に沿って入射した光を反射する第3の平面鏡と、前記第3の平面鏡からの光を反射する第2の光学系と、前記第2の光学系からの光を反射して前記像面に向け前記第1方向に沿って出射する第4の平面鏡とを有し、
前記第2の平面鏡における光の反射位置と前記中間像の形成位置との間の前記第1方向における距離は前記第1の平面鏡における光の反射位置と前記物体面との間の前記第1方向における距離よりも短いこと、及び、前記第3の平面鏡における光の反射位置と前記中間像の形成位置との間の前記第1方向における距離は前記第4の平面鏡における光の反射位置と前記像面との間の前記第1方向における距離よりも短いことの少なくともいずれかを満たすように、前記第1乃至第4の平面鏡並びに前記第1及び第2の光学系が配置されている、
ことを特徴とする投影光学系。 - 前記第1の光学系は、前記第1の平面鏡と前記第2の平面鏡との間の光路に、第1の凹面鏡と第1の凸面鏡と第2の凹面鏡とを含み、
前記第2の光学系は、前記第3の平面鏡と前記第4の平面鏡との間の光路に、第3の凹面鏡と第2の凸面鏡と第4の凹面鏡とを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。 - 前記第1及び第2の平面鏡の組と前記第3及び第4の平面鏡の組との少なくとも一方の組が一体に形成されている、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の投影光学系。
- 前記第2の平面鏡における光の反射位置と前記第1の光学系との間の前記第1方向に直交する第2方向における距離は前記第1の平面鏡における光の反射位置と前記第1の光学系との間の前記第2方向における距離よりも長いこと、及び、前記第3の平面鏡における光の反射位置と前記第2の光学系との間の前記第2方向における距離は前記第4の平面鏡における光の反射位置と前記第2の光学系との間の前記第2方向における距離よりも長いことの少なくともいずれかを満たすように、前記第1乃至第4の平面鏡並びに前記第1及び第2の光学系が配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の投影光学系。 - 前記第1の光学系は、前記第2の平面鏡に入射する光の前記第1方向における位置を前記物体面の側にシフトさせる互いに平行に配置された一対の平面鏡をさらに含むこと、及び、前記第2の光学系は、前記第3の平面鏡に入射する光の前記第1方向における位置を前記像面の側にシフトさせる互いに平行に配置された一対の平面鏡をさらに含むこと、の少なくともいずれかを満たす、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記第1の光学系及び前記第2の光学系は等倍の光学系であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の投影光学系を用いて前記物体面に配置された原版のパターンを前記像面に配置された基板に投影して前記基板を露光する露光装置。
- 請求項7に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0757986A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-03 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2004093953A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Nikon Corp | 投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 |
JP2008545153A (ja) * | 2005-07-01 | 2008-12-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置 |
JP2009158719A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2011039172A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
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JP2001215718A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-08-10 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
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Patent Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPH0757986A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-03 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2004093953A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Nikon Corp | 投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 |
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