JP2008545153A - 複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記投影対物レンズの少なくとも1つが、前記基板平面に対して垂直に延びない前記投影対物レンズの光軸の部分区間を有し、かつ
前記部分区間の投影が基板平面の中で走査方向と平行に延びない。
Claims (55)
- 少なくとも2つの投影対物レンズ(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を像視野(60、60’、60”)の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野(60、60’、60”)が、基板領域(40)において1つの基板平面の中に配置され、前記基板領域(40)が所定の走査方向(S)で複数の投影対物レンズ(20)と相対的に移動可能であり、
前記投影対物レンズ(20)の少なくとも1つが前記基板平面に対して垂直に延びないその投影対物レンズの光軸の部分区間を有し、かつ
前記部分区間の投影(p1−p7)が基板平面の中で走査方向(S)と平行に延びていないことを特徴とする投影露光装置。 - 前記投影(p1−p7)と走査方向との間の角度が量に関して2°以上、好ましくは3°以上、かつさらに好ましくは4°以上であることを特徴とする請求項1記載の投影露光装置。
- 様々な投影対物レンズの2つの前記のような投影(p1−p7)の間の角度が量に関して2°以上、好ましくは3°以上、かつさらに好ましくは4°以上であることを特徴とする請求項1または2記載の投影露光装置。
- 少なくとも2つの投影対物レンズ(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を1つの像視野(60、60’、60”)の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野(60、60’、60”)が基板領域(40)に配置され、前記基板領域が所定の走査方向(S)で複数の投影対物レンズ(20)と相対的に移動可能であり、
前記像視野(60、60’、60”)の少なくとも1つが、直線的に延びる複数の側辺によって、前記側辺の最も長い側辺の法線(y1−y7)が走査方向(S)と平行に延びないように制限されていることを特徴とする投影露光装置。 - 前記法線と走査方向(S)との間の角度が量に関して2°以上、好ましくは3°以上、かつさらに好ましくは4°以上であることを特徴とする請求項4記載の投影露光装置。
- 様々な像視野の少なくとも2つの前記のような法線の間の角度が量に関して2°以上、好ましくは3°以上、かつさらに好ましくは4°以上であることを特徴とする請求項4または5記載の投影露光装置。
- 少なくとも2つの投影対物レンズ(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を像視野(60、60’、60”)の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野(60、60’、60”)が1つの基板領域(40)に配置されており、前記基板領域が所定の走査方向(S)に複数の投影対物レンズ(20)と相対的に移動可能であり、
前記像視野(60、60’、60”)の各々が複数のコーナーポイントを有し、かつ
2つのコーナーポイントの間に発生する最も長い連結線(d1−d7)が、前記像視野の1つの中で2つのコーナーポイントの間に発生する最も長い連結線(d1−d7)と平行になっている前記像視野が他方の中にないように像視野が配置されていることを特徴とする投影露光装置。 - 前記の連結線の間の角度が量に関して2°以上、好ましくは3°以上、かつさらに好ましくは4°以上であることを特徴とする請求項7記載の投影露光装置。
- 複数の投影対物レンズ(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を像視野(60)の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野(60)が1つの基板領域(40)の中に配置されており、前記基板領域が所定の走査方向(S)に複数の投影対物レンズ(20)と相対的に移動可能であり、かつ
少なくとも3つの走査方向に横方向に連続して配置された像視野(60)が非直線状の曲線(A、B)上にあることを特徴とする投影露光装置。 - 複数の投影対物レンズ(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を像視野(60、60’、60”)の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野(60、60’、60”)が1つの基板領域(40)の中に配置されており、前記基板領域が所定の走査方向(S)に複数の投影対物レンズ(20)と相対的に走査過程中に移動可能であり、
前記像視野(60、60’、60”)が少なくとも2つのそれぞれ走査方向と横方向に延びるグループの中に、一方のグループの像視野が他方のグループの像視野を基準にして走査方向と横方向に変位しており、かつ
前記グループの少なくとも一方の像視野(60、60’、60”)が非直線状に延びる曲線(A、B)に沿って配置されるように配置されていることを特徴とする投影露光装置。 - 両グループの像視野(60、60’、60”)が非直線状に延びる曲線(A、B)に沿って配置されていることを特徴とする請求項10記載の投影露光装置。
- 第1の非直線状の曲線(A)と第2の非直線状の曲線とが互いに相対的に凹面状に湾曲していることを特徴とする請求項11記載の投影露光装置。
- 複数の投影対物レンズ(20)が、さらに走査方向を基準に第1の非直線状の曲線(A)と第2の非直線状の曲線(B)との間に配置された像視野(60、60’、60”)の第3のグループを生成する投影対物レンズ(20)の第3のグループを有することを特徴とする請求項11または12記載の投影露光装置。
- 像視野の第3のグループの像視野(60、60’、60”)が直線に沿って走査方向と横方向に配置されていることを特徴とする請求項13記載の投影露光装置。
- 第1の非直線状の曲線(A)と第2の非直線状の曲線(B)とが互いに鏡像対称に配置されていることを特徴とする請求項11ないし14のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 第1の非直線状の曲線(A)と第2の非直線状の曲線(B)とがそれぞれ円の切片の形状を有することを特徴とする請求項11ないし15のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 像視野(60)の第3のグループの像視野(60、60’、60”)がそれぞれ1つの投影対物レンズ(300)によって生成され、その投影対物レンズが純屈折性の構造を有することを特徴とする請求項13ないし16のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 少なくとも幾つかの投影対物レンズの中に各投影対物レンズの全部分系の光軸が前記投影対物レンズの統一的な光軸を形成することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズの少なくとも幾つかが第1の部分系(210a、220a)と少なくとも1つの第2の部分系(210b、220b)とを有し、第1の部分系(210a、220a)がカタジオプトリック部分系であり、かつ第2の部分系(210b、220b)が純屈折性の部分系であることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 両部分系の光軸が互いに平行に変位されていることを特徴とする請求項19記載の投影露光装置。
- 第1の部分系(210a、220a)によって生成された中間像が、第2の部分系(210b、220b)の光軸に対して中心に配置されていることを特徴とする請求項20記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズ(20)がそれぞれ同一の構造を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 隣接する投影対物レンズ(230、240、250、260)がその投影対物レンズの光学素子の互いに逆になった配列を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズ(20)が1つの結像倍率β=1を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズ(20)の少なくとも1つが折畳ミラーを備えていないことを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズ(20)の少なくとも1つが少なくとも1つの中間像を生成することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズ(20)の少なくとも1つが奇数の中間像を生成することを特徴とする請求項26記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズの少なくとも1つが少なくとも1つの凹面鏡を備えた少なくとも1つのカタジオプトリック部分系を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズ(140,150、160)の少なくとも1つが、少なくとも1つのリッジ型プリズム(141、151、164)またはリッジ型ミラー配列(171〜174)を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズの少なくとも1つが少なくとも1つのオフナー型部分系を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズの少なくとも1つが少なくとも1つのダイソン型部分系を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズの少なくとも1つが少なくとも1つのオフナー型部分系と、少なくとも1つのダイソン型部分系とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 第1の投影対物レンズ(230)が第1のオフナー型部分系(230a)と、第2のダイソン型部分系(230b)とを有し、かつ第1の投影対物レンズに隣接する第2の投影対物レンズ(240)が第1の投影対物レンズ(230)の第1の部分系(230a)に隣接する第1のダイソン型部分系(240a)と、第1の投影対物レンズ(230)の第2の部分系(230b)に隣接する第2のオフナー型部分系(240b)とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 第1の投影対物レンズが第1のオフナー型部分系と、第2の純屈折性の部分系とを有し、かつ第1の投影対物レンズに隣接する第2の投影対物レンズが第1の投影対物レンズの第1の部分系に隣接する第1の純屈折性の部分系と、第1の投影対物レンズの第2の部分系に隣接する第2のオフナー型部分系とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 第1の投影対物レンズ(260)が第1のダイソン型部分系(260a)と、第2の純屈折性の部分系(260b)とを有し、かつ第1の投影対物レンズ(260)に隣接する第2の投影対物レンズ(250)が第1の投影対物レンズ(260)の第1の部分系(260a)に隣接する第1の純屈折性の部分系(250a)と、第1の投影対物レンズ(260)の第2の部分系(260b)に隣接する第2のダイソン型部分系(250b)とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズの少なくとも1つが2つのオフナー型部分系を有し、該部分系の間に1つの中間像が生成されることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物レンズの少なくとも1つが2つのダイソン型部分系を有し、該部分系の間に1つの中間像が生成されることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 複数の投影対物レンズ(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を像視野(60)の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野(60)が1つの基板領域(40)の中に配置されており、前記基板領域が所定の走査方向(S)へ複数の投影対物レンズ(20)と相対的に移動可能であり、かつ
投影対物レンズの少なくとも1つが第1の部分系(210a、220a)と、少なくとも1つの第2の部分系(210b、220b)とを有し、
第1の部分系(210a、220a)が、カタジオプトリック部分系であり、かつ第2の部分系(210b、220b)が、純屈折性の部分系であることを特徴とする投影露光装置。 - 両部分系の光軸が互いに平行に変位されることを特徴とする請求項38記載の投影露光装置。
- 第1の部分系(210a、220a)によって生成された中間像が第2の部分系(210b、220b)の光軸に対して中心に配置されていることを特徴とする請求項39記載の投影露光装置。
- 物体視野(50)がレチクル領域(30)の中に配置され、前記レチクル領域が所定の走査方向で複数の投影対物レンズ(20)と相対的に移動可能であることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 物体視野(50)が複数の投影対物レンズ(20)と相対的に一定の位置に配置されたことを特徴とする請求項1ないし40のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 物体視野の少なくとも1つの中に投影対物レンズによって結像されるパターンが超小型電子機械システム(MEMS)によって生成可能であることを特徴とする請求項42記載の投影露光装置。
- 超小型電子機械システム(MEMS)が少なくとも1つの1つのディジタルマイクロミラー装置(DMD)を有することを特徴とする請求項43記載の投影露光装置。
- 物体視野の少なくとも1つの中にそれぞれ投影対物レンズによって結像されるパターンが複数のDMDによって生成されることを特徴とする請求項44記載の投影露光装置。
- 複数のDMDによって生成されたパターンが1つの共通の物体視野と組み合わされることを特徴とする請求項45記載の投影露光装置。
- 動作波長が、250nm以下、好ましくは200nm以下、さらに好ましくは160nm以下に指定されていることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 複数の投影対物レンズ(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を像視野(60)の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野(60)が1つの基板領域(40)の中に配置されており、前記基板領域が所定の走査方向へ複数の投影対物レンズ(20)と相対的に移動可能であり、かつ
物体視野(50)が複数の投影対物レンズ(20)と相対的に一定の位置に配置されたことを特徴とする投影露光装置。 - 物体視野(50)の中にそれぞれ投影対物レンズ(20)によって結像されるパターンが超小型電子機械システム(MEMS)によって生成可能であることを特徴とする請求項48記載の投影露光装置。
- 超小型電子機械システム(MEMS)が少なくとも1つの1つのディジタルマイクロミラー装置(DMD)を有することを特徴とする請求項49記載の投影露光装置。
- 微細構造化素子のマイクロリソグラフィによる製造のための方法において、
少なくとも領域ごとに感光性材料からなる層が塗布された基板(40)を配置するステップと、
被結像構造を有するマスク領域(30)を設けるステップと、
請求項1ないし50のいずれか1項に記載の投影露光装置を形成するステップと、
投影露光装置を利用し、層の1つの領域へのマスク領域(30)の少なくとも一部を投影するステップとを有する方法。 - 微細構造化素子のマイクロリソグラフィによる製造のための方法において、
少なくとも領域ごとに感光性材料からなる層が塗布されている基板(40)を配置するステップと、
少なくとも1つのディジタルマイクロミラー装置(DMD)を利用する物体視野を生成するステップと、
上記請求項のいずれか1項に記載の投影露光装置を形成するステップと、
投影露光装置を利用し、層の1つの領域への物体視野の少なくとも一部を投影するステップとを有する方法。 - 請求項51または52記載の方法の適用下に製造される微細構造化素子。
- 請求項51または52記載の方法の適用下に製造されることを特徴とするLCD装置。
- 請求項51または52記載の方法の適用下に製造されることを特徴とするフラットパネルディスプレイ。
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