JP6116788B2 - 複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置 - Google Patents
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Description
前記投影対物レンズの少なくとも1つが、前記基板平面に対して垂直に延びない前記投影対物レンズの光軸の部分区間を有し、かつ
前記部分区間の投影が基板平面の中で走査方向と平行に延びない。
Claims (25)
- 少なくとも6つの投影対物系(20)のうち各々が1つの物体視野(50)を1つの像視野(60、60’、60”)の中に結像させる投影対物系を有し、
前記像視野(60、60’、60”)が基板領域(40)に配置され、前記基板領域が所定の走査方向(S)で複数の投影対物系(20)と相対的に移動可能であり、
前記像視野(60、60’、60”)の少なくとも1つが、直線的に延びる複数の側辺によって、前記側辺の最も長い側辺の法線(y1−y7)が走査方向(S)と平行に延びないように制限されており、
様々な像視野の少なくとも2つの前記のような法線の間の角度が量に関して2°以上であり、
前記投影対物系(20)のうち、少なくとも3つの投影対物系が2つの曲線それぞれに沿って配置されており、該2つの曲線は、該2つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され、
投影対物系(20)が1つの結像倍率β=1を有し、
前記物体視野(50)が、対応する前記像視野(60、60’、60”)の真上に配置されている
ことを特徴とする投影露光装置。 - 前記法線と走査方向(S)との間の角度が量に関して2°以上、好ましくは3°以上、かつさらに好ましくは4°以上であることを特徴とする請求項1記載の投影露光装置。
- 様々な像視野の少なくとも2つの前記のような法線の間の角度が量に関して3°以上、かつ好ましくは4°以上であることを特徴とする請求項1または2記載の投影露光装置。
- 少なくとも幾つかの投影対物系の中に各投影対物系の全部分系の光軸が前記投影対物系の統一的な光軸を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 隣接する投影対物系(230、240、250、260)は、その光学素子の配列が、互いに逆になっていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系(20)の少なくとも1つが折畳ミラーを備えていないことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系(20)の少なくとも1つが少なくとも1つの中間像を生成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系(20)の少なくとも1つが奇数の中間像を生成することを特徴とする請求項7記載の投影露光装置。
- 投影対物系の少なくとも1つが少なくとも1つの凹面鏡を備えた少なくとも1つのカタジオプトリック部分系を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系(140,150、160)の少なくとも1つが、少なくとも1つのリッジ型プリズム(141、151、164)またはリッジ型ミラー配列(171〜174)を有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系の少なくとも1つが少なくとも1つのオフナー型部分系を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系の少なくとも1つが少なくとも1つのダイソン型部分系を有することを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系の少なくとも1つが少なくとも1つのオフナー型部分系と、少なくとも1つのダイソン型部分系とを有することを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 第1の投影対物系(230)が第1のオフナー型部分系(230a)と、第2のダイソン型部分系(230b)とを有し、かつ第1の投影対物系に隣接する第2の投影対物系(240)が第1の投影対物系(230)の第1の部分系(230a)に隣接する第1のダイソン型部分系(240a)と、第1の投影対物系(230)の第2の部分系(230b)に隣接する第2のオフナー型部分系(240b)とを有することを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
- 第1の投影対物系が第1のオフナー型部分系と、第2の純屈折性の部分系とを有し、かつ第1の投影対物系に隣接する第2の投影対物系が第1の投影対物系の第1の部分系に隣接する第1の純屈折性の部分系と、第1の投影対物系の第2の部分系に隣接する第2のオフナー型部分系とを有することを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
- 第1の投影対物系(260)が第1のダイソン型部分系(260a)と、第2の純屈折性の部分系(260b)とを有し、かつ第1の投影対物系(260)に隣接する第2の投影対物系(250)が第1の投影対物系(260)の第1の部分系(260a)に隣接する第1の純屈折性の部分系(250a)と、第1の投影対物系(260)の第2の部分系(260b)に隣接する第2のダイソン型部分系(250b)とを有することを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
- 投影対物系の少なくとも1つが2つのオフナー型部分系を有し、該部分系の間に1つの中間像が生成されることを特徴とする請求項1〜16のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 投影対物系の少なくとも1つが2つのダイソン型部分系を有し、該部分系の間に1つの中間像が生成されることを特徴とする請求項1〜17のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 物体視野(50)がレチクル領域(30)の中に配置され、前記レチクル領域が所定の走査方向で複数の投影対物系(20)と相対的に移動可能であることを特徴とする請求項1〜18のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 物体視野(50)が複数の投影対物系(20)と相対的に一定の位置に配置されたことを特徴とする請求項1〜18のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 物体視野の少なくとも1つの中に投影対物系によって結像されるパターンが超小型電子機械システム(MEMS)によって生成可能であることを特徴とする請求項20記載の投影露光装置。
- 超小型電子機械システム(MEMS)が少なくとも1つのディジタルマイクロミラー装置(DMD)を有することを特徴とする請求項21記載の投影露光装置。
- 物体視野の少なくとも1つの中にそれぞれ投影対物系によって結像されるパターンが複数のDMDによって生成されることを特徴とする請求項22記載の投影露光装置。
- 複数のDMDによって生成されたパターンが1つの共通の物体視野と組み合わされることを特徴とする請求項23記載の投影露光装置。
- 動作波長が、250nm以下、好ましくは200nm以下、さらに好ましくは160nm以下に指定されていることを特徴とする請求項1〜24のいずれか1項に記載の投影露光装置。
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