JP4505666B2 - 露光装置、照明装置及びマイクロデバイスの製造方法 - Google Patents
露光装置、照明装置及びマイクロデバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロデバイス(液晶表示素子、半導体素子、CCD等の撮像素子、薄膜磁気ヘッド等)を製造するためのリソグラフィ工程においてに好適な露光装置および良好なるマイクロデバイスを製造するのに好適な方法等に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、パソコン、テレビ等の表示素子として、液晶表示基板が多用されるようになった。この液晶表示基板は、ガラス基板上に透明薄膜電極をフォトリソグラフィの手法で所望の形状にパターニングして作られる。このフォトリソグラフィの為の装置として、マスク上に形成された原画パターンを投影光学系を介してガラス基板上のフォトレジスト層に露光する投影光学装置が用いられている。
【0003】
また、最近では液晶表示基板の大面積化が要求されており、それに伴って上記の投影露光装置においても露光領域の拡大が望まれている。この露光領域の拡大の手段として、複数の投影光学系を備えた走査型露光装置が提案されている。即ち、複数の照明光学系をもつ照明光学装置を設け、各照明光学系から射出した光束でマスクを照明し、照明されたマスクの像を複数の投影光学系のそれぞれを介してガラス基板上の投影領域に投影する。そして、マスクとガラス基板とを同期して投影光学系に対して、走査することによって、マスク上のパターン領域の全面をガラス基板上に転写する。
【0004】
上記の如き走査型露光装置に必要な複数の照明光学装置においては、露光量制御を正確、且つ容易に行う為、各照明領域の照度が揃っていることと、マスクとガラス基板の走査中、各照射領域の光強度は一定であることが望まれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような露光装置によれば、良好なるパターンを感光性基板に転写するためには、マスクや基板上の被照射面での照度分布を均一にする必要があり、特に、その被照射面の照度分布の傾斜成分を補正する必要がある。
【0006】
また、特に、複数の照明光学系を備えた露光装置を用いてマスク上のパターン領域の全面を大型の感光性基板上に転写するするには、複数の照明光学系により被照射面上に形成される照明領域において、照度分布の傾斜成分のみならず、照明領域の非傾斜成分を良好に補正する必要がある。
【0007】
そこで、本発明は、被照射面での照度分布の傾斜成分を補正し得る露光装置およびその露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法を提供することを主たる目的とする。また、本発明は、被照射面での照度分布の傾斜成分のみならず非傾斜成分をも補正し得る露光装置およびその露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法を提供することを副次的な目的とする。
【0008】
上記目的を達成するために、本発明に係る露光装置は、照明光をマスクへ導き前記マスク上に照明領域を形成する照明装置と、前記照明領域内の前記マスクのパターンの像を感光性基板に投影する投影光学系とを備える露光装置において、前記照明装置は、前記照明光を伝達するライトガイド部材と、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を前記マスクへ導く照明光学系と、前記ライトガイド部材の射出端を前記照明光学系の光軸に対して傾斜させる傾斜装置とを有する構成としたものである。
【0009】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記マスクを保持して移動可能なマスク移動装置と、前記感光性基板を保持して移動可能な基板移動装置と、前記マスク移動装置と前記基板移動装置とを所定の走査方向へ移動させて、前記マスクのパターンの像を前記感光性基板へ走査露光するために、前記マスク移動装置及び前記基板移動装置を制御する制御系とをさらに有する構成としたものである。
【0010】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記照明装置は、前記照明光学系の照明条件を変更する変更手段をさらに有し、前記傾斜装置は、前記変更手段により変更される前記照明条件に応じて前記ライトガイド部材の射出端を傾斜させる構成としたものである。
【0011】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記照明領域に関する照明特性又は前記投影光学系により前記照明領域に対応して前記感光性基板上に形成される投影領域に関する照明特性を計測する計測系と、前記計測系の計測結果に基づいて前記傾斜装置の駆動制御を行う制御系とをさらに有する構成としたものである。
【0012】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記照明特性は、照度分布及び強度分布の少なくとも一方を含む構成としたものである。
【0013】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系と、前記2次光源が形成される位置に前側焦点が設けられるコンデンサ光学系とを含み、前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸に沿って移動可能に設けられる光学素子を含む構成としたものである。
【0014】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸と直交する方向に移動可能に設けられる光学素子を含む構成としたものである。
【0015】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系を含み、前記光源像形成光学系は、前記照明光学系の光軸に沿った方向及び該光軸に対して直交する面に沿った方向の少なくとも一方の方向に移動可能に設けられるオプティカルインテグレータを含む構成としたものである。
【0016】
また、本発明に係る露光装置は、上記の露光装置において、前記ライトガイド部材の射出端は、第1及び第2の射出端を含み、前記照明光学系は、前記第1の射出端から射出する前記照明光を前記マスクへ導く第1の照明光学系、及び前記第2の射出端から射出する前記照明光を前記マスクへ導く第2の照明光学系を含み、前記傾斜装置は、前記第1の射出端を前記第1の照明光学系の光軸に対して傾斜させる第1の傾斜装置、及び前記第2の射出端を前記第2の照明光学系の光軸に対して傾斜させる第2の傾斜装置を含み、前記投影光学系は、前記第1の照明領域内の前記マスクのパターンの像を前記感光性基板に投影する第1の投影光学系、及び前記第2の照明領域内の前記マスクのパターンの像を前記感光性基板に投影する第2の投影光学系を含む構成としたものである。
【0017】
また、本発明に係るマイクロデバイスの製造方法は、上記いずれかの露光装置を用いて前記マスクのパターンの像を前記感光性基板に露光する露光工程と、前記露光工程によって露光された前記感光性基板を現像する現像工程とを含む構成としたものである。
また、本発明にかかる照明装置は、照明光によって被照射面を照明する照明装置において、前記照明光を伝達するライトガイド部材と、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を前記被照射面へ導く照明光学系と、前記射出端を前記照明光学系の光軸に対して傾斜させる傾斜装置と、を有する構成としたものである。
また、本発明にかかる照明装置は、上記の照明装置において、前記照明光学系の照明条件を変更する変更手段を有し、前記傾斜装置は、前記変更手段により変更される前記照明条件に応じて前記ライトガイド部材の射出端を傾斜させる構成としたものである。
また、本発明にかかる照明装置は、上記の照明装置において、前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系と、前記2次光源が形成される位置に前側焦点が設けられるコンデンサ光学系とを含み、前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸に沿って移動可能に設けられる光学素子を含む構成としたものである。
また、本発明にかかる照明装置は、上記の照明装置において、前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸と直交する方向に移動可能に設けられる光学素子を含む構成としたものである。
また、本発明にかかる照明装置は、上記の照明装置において、前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系を含み、前記光源像形成光学系は、前記照明光学系の光軸に沿った方向及び該光軸に対して直交する面に沿った方向の少なくとも一方の方向に移動可能に設けられるオプティカルインテグレータを含む構成としたものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる実施形態を図1および図2を参照して説明する。図1においては、マスクM(又はレチクル)およびワークWがXY平面に沿って配置され、XY平面のうち走査方向をX方向、X方向と直交する非走査方向をY方向とし、XY平面に直交する方向をZ方向として説明する。
【0019】
本実施形態の投影露光装置は、後述する照明装置によりマスクM上の複数の照明領域IAA,IAB,IACを照明し、これら複数の照明領域IAA〜IACのそれぞれに対応して配置された複数の投影光学系PLA,PLB,PLCにより、複数の照明領域IAA〜IAC内のマスクMのパターンの正立正像をワークW上の投影領域PAA,PAB,PAC内に形成するものである。
【0020】
図2に示すように、投影領域PAA〜PACは、平面視台形状であり、Y方向に沿って隣り合う領域どうし(例えばPAAとPAB、PABとPAC)が図のX方向に所定量変位するように、且つ隣り合う領域の端部同士がY方向に重複するように、Y方向に沿って並列配置されている。なお、上記各投影光学系PLA〜PLCも各投影領域PAA〜PACの配置に応じてX方向に所定量変位すると共にY方向に重複して配置されている。
【0021】
これらの各投影領域PAA〜PACがワークW上を走査することにより、ワークW上には、投影領域PAAによる露光領域141,142、投影領域PABによる露光領域142,143,144、及び投影領域PACによる露光領域144,145が実質的に同時に形成される。ここで、露光領域141,143,145が非重複露光領域であり、露光領域142,144が重複露光領域である。
【0022】
図1に戻って、マスクステージMSは、不図示の駆動装置によってX方向に移動自在とされている。このマスクステージMS上の端縁には、直交する方向に移動鏡31a、31bがそれぞれ設置されている。移動鏡31aにはレーザ干渉計32aが対向して配置されている。また、移動鏡31bにはレーザ干渉計32bが対向して配置されている。なお、マスクステージMSおよびそのステージMSを駆動させる不図示の駆動装置はマスク移動装置を構成する。
【0023】
これらのレーザ干渉計32a、32bがそれぞれ移動鏡31a、31bにレーザ光を射出して当該移動鏡31a、31bとの間の距離を計測することにより、マスクステージMSのX方向の移動距離及び走査時のマスクステージMSの回転量を検出することが可能になっている。そして、図1では不図示の制御系50(図3参照)は、レーザ干渉計32a,32bの出力によってマスクステージMSの位置をモニターし、上記駆動装置をサーボ制御している。この制御系50が上記駆動装置を制御することでマスクステージMSを所望の位置へ移動することができるようになっている。
【0024】
ワークステージWSは、不図示の駆動装置によってX方向、Y方向、Z方向にそれぞれ移動自在になっている。このワークステージWSの端縁には、直交する方向に移動鏡33a、33bがそれぞれ設置されている。移動鏡33aにはレーザ干渉計34aが対向して配置されており、移動鏡33bにはレーザ干渉計34bが対向して配置されている。
【0025】
これらのレーザ干渉計34a、34bがそれぞれ移動鏡33a、33bにレーザ光を射出して当該移動鏡33a、33bとの間の距離を計測することにより、ワークステージWSのX方向・Y方向の移動距離、及び走査時のワークステージWSの回転量を検出することが可能になっている。そして、、図1では不図示の制御系50(図3参照)は、レーザ干渉計34a、34bの出力によってワークステージWSの位置をモニターしている。この制御系50が上記駆動装置を制御することで上記駆動装置をサーボ制御することでワークステージWSを所望の位置へ移動することができるようになっている。
【0026】
さらに、ワークステージWSの一端には、ワークW上に形成される各投影光学系(PLA,PLB,PLC)の投影領域又は結像領域(PAA,PAB,PAC)内での2次元的な照度分布(照明特性)を計測する計測装置(計測系)IDSが設けられている。そして、この計測装置IDSからの出力信号は、不図示の制御系50(図3参照)を介して不図示の表示装置にて計測結果が表示される。
【0027】
次に、本実施形態の照明装置(照明光学系)について説明する。図1に示すように、本実施形態の照明装置は、1つの光源11と、当該光源11からの光を3分岐するライトガイド部材(光ファイバー束)40と、ライトガイド部材40の複数の射出端からの光をそれぞれの光軸AxA、AxB、AxCに沿ってマスクM上の照明領域IAA〜IACへ導く複数の照明光学系とを備えるものである。
【0028】
なお、図1では、ライトガイド部材40が有する複数の射出端のうちの2つの射出端42A,42Cのみを図示し、複数の照明光学系も光軸AxAに沿って配置されるものしか図示していない。ただし、ライトガイド部材40が有する複数の射出端は、光軸AxB,AxC上にも配置されており、これらの光軸AxB,AxC上には、光軸AXAに沿って配置される照明光学系と等価な照明光学系が配置されている。以下の説明においては、光軸AxAに沿って配置される照明光学系について代表させて説明し、光軸AxB,AxCに関する照明光学系の説明は省略する。
【0029】
図1において、例えば超高圧水銀ランプ等からなる光源11は、楕円鏡12の第1焦点位置に配置されており、光源11からの光は楕円鏡12の第2焦点位置に集光し、この位置に光源像を形成する。楕円鏡12の第2焦点位置の近傍には、ライトガイド部材40の入射端41が位置決めされている。このライトガイド部材40は、ランダムに束ねられた複数の光ファイバーを有し、これらの光ファイバーの入射端が一つにまとめられ、射出側が複数(本実施形態では3つ)にまとめられている。従って、ライトガイド部材40の入射端41から入射した光束は、3つの射出端(図12では射出端42Aのみ図示)からほぼ均等に射出する。
【0030】
ここで、各ライトガイド部材40の各射出端には、後述するが、各光軸(AxA〜AxC)に対して対応する射出端(42A〜42C)が傾斜するように、不図示の傾斜機構(図3参照)がそれそれ設けられている。そして、各傾斜機構(図3参照)を介して各ライトガイド部材40の各射出端(42A〜42C)を傾斜させることにより、マスクM上に形成される各照明領域(IAA〜IAC)の照明分布(照度分布、光強度分布)における光軸(AxA〜AxC)に関して傾斜する傾斜成分、ひいてはワークW上に形成される各投影領域(PAA〜PAC)における光軸に関して傾斜する傾斜成分を独立的に調整することができる。
【0031】
さて、ライトガイド部材40の射出端42Aから射出される光は、この射出端42Aの近傍に前側焦点が位置決めされたインプットレンズ群14Aを介してほぼ平行光束に変換される。この平行光束は、不図示の波長選択フィルターによって、所定の波長の光(例えば、g線、h線及びi線の3つの波長の光)が抽出された後、多数のレンズ素子の集合体で構成されるフライアイレンズ(オプティカルインテグレータ)16Aに入射する。これにより、フライアイレンズ16Aの射出面にはレンズ素子の数に応じた多数の光源像が形成され、すなわち、その面には、面光源としての2次光源が形成される。この2次光源位置には図1では不図示の照明開口絞りASA(図3参照)が配置される。なお、照明領域IAA(投影領域PAA)でのテレセン性(テレセントリシティ)を調整するために、フライアイレンズ16Aは、光軸に沿った方向(X方向)に移動可能な構成であると共に、光軸に対して直交する面(YZ平面)に沿って移動可能な構成である。これは、他の照明領域(IAB,IAC)を形成する照明装置中に設けられているフライアイレンズ(オプティカルインテグレータ)も同様に調整可能に設けられているため、各照明領域(IAA〜IAC)又は投影領域(PAA〜PAC)でのテレセン性(テレセントリシティ)は独立的に調整することができる。
【0032】
2次光源からの光は、この2次光源が形成される位置に前側焦点が位置決めされたコンデンサレンズ系(コンデンサ光学系)17Aにより集光され、照明領域IAA(投影領域PAA)と相似形状である等脚台形状の開口部を有する照明視野絞りIFSを重畳的に照明する。なお、コンデンサレンズ系17Aは、後述するが、このレンズ系17Aを構成する少なくも1つの光学系を光軸方向は移動させることにより、マスクMの上に形成される照明領域IAAの照明分布(照度分布、光強度分布)における光軸AxAに関して回転対称な成分(非傾斜成分等)、ひいてはワークW上に形成される投影領域PAAにおける光軸に関して回転対称な成分を調整することができる。これは、他の照明領域(IAB,IAC)を形成する照明装置中に設けられているコンデンサレンズ系(コンデンサ光学系)も同様に調整可能に設けられているため、各照明領域(IAA〜IAC)又は投影領域(PAA〜PAC)での光軸に関して回転対称な成分(非傾斜成分等)は独立的に調整することができる。
【0033】
さて、照明視野絞りIFSを通過した光束は、照明視野絞りIFSとマスクMのパターン面(ワークW面)とを光学的に共役にする結像光学系(19aA,19bA)、及び結像光学系(19aA,19bA)内に配置された光路折り曲げ鏡FLAを通過してマスクM上に達する。このとき、マスクM上には、照明視野絞りIFSの開口部の像である照明領域IAAが形成される。
【0034】
このように、ライトガイド部材40の複数の射出端(42A、42B、42C)からの各光束は、各照明光学系に光軸(AxA、AxB、AxC)に沿って導かれ、走査露光方向(X方向)と交差する方向(Y方向)に沿って各照明領域(IAA〜IAC)をマスクM上に形成する。
【0035】
以上の各照明装置によりマスクM上の複数の照明領域IAA,IAB,IACを照明し、これら複数の照明領域IAA〜IACのそれぞれに対応して配置された複数の投影光学系PLA,PLB,PLCにより、複数の照明領域IAA〜IAC内のマスクMのパターンの正立正像をワークW上の投影領域PAA,PAB,PAC内に形成される。そして、図1では不図示の制御系50(図3参照)は、マスク側及びワーク側の双方の不図示の駆動装置を介してマスクステージMS及びワークステージWSを所定の走査方向(X方向)へ移動させることにより、ワークW上にマスクMのパターンの全面の像が走査露光される。
【0036】
さて、次に、図3乃至図6を参照しながら図1に示した各照明装置の調整について説明する。
【0037】
図3は、図1に示した照明領域IAAを形成する照明装置の構成を示す図であり、図3において、(A)はマスクM上に形成される照明領域IAAの照明分布(照度分布、光強度分布)において傾斜むら成分が発生している様子を示しており、(B)はマスクM上に形成される照明領域IAAの照明分布(照度分布、光強度分布)において発生した傾斜むら成分を補正した様子を示している。なお、図3において、他の照明領域(IAB、IAC)を形成する照明装置も照明領域IAAを形成する照明装置と同一な構成を有しているため、それらの構成は図3においては図示することを省略する。
【0038】
図3に示す照明装置を構成する多数の光学素子(光学部品)が製造誤差なく製造され、また照明装置が組立誤差なく製造された場合には、図3のAA’断面で示すようにフライアイレンズ(オプティカルインテグレータ)16Aに入射する光束は、図4の実線で示すように、光軸に対して回転対称な凸型に光強度分布を有することになる。これによって、マスクM上の照明領域IAA又はワークW上の投影領域PAAには、図5の実線で示すように、照明むらの無い均一な照明分布(照度分布、光強度分布)が形成される。
【0039】
しかしながら、図3(A)に示す照明装置を構成する多数の光学素子(光学部品)の製造誤差や照明装置の組立誤差が存在する場合には、図3のAA’断面で示すようにフライアイレンズ(オプティカルインテグレータ)16Aに入射する光束は、図4の点線で示すように、光軸に対して回転非対称な傾斜した光強度分布を有することになる。この結果、マスクM上の照明領域IAA又はワークW上の投影領域PAAには、図5の点線で示すように、光軸に対して回転非対称な傾斜した照明むらが発生する。
【0040】
従って、傾斜装置15Aを介してライトガイド部材40の射出端42Aを光軸AxAに対して傾斜させて、図5の点線に示す逆の傾斜むら成分を発生させることにより、図5の実線で示す照明むらの無い均一な照明分布(照度分布、光強度分布)を形成することができる。ここで、傾斜装置15Aは、これと電気的に接続された制御系50によって制御されており、この制御系50は、ワークステージWSに一端に設けられた計測装置(計測系)IDSからの出力信号に基づいて照明むらの傾斜成分の補正量を算出し、その算出結果に基づいて傾斜装置15Aの駆動量を制御する。なお、制御系50は、図3に図示していない照明領域(IAB、IAC)を形成する照明装置の各傾斜装置(15B、15C)の駆動を制御して、ライトガイド部材40の各射出端(42B、42C)の傾きを制御する。これにより、各照明装置により形成される照明領域(IAA〜IAC)にて発生する照明むらの傾斜成分を独立的に補正することができる。
【0041】
また、図3に示す照明装置を構成する多数の光学素子(光学部品)の製造誤差や照明装置の組立誤差が存在する場合には、図6の点線で示すように、マスクM上の照明領域IAA又はワークW上の投影領域PAAには、光軸に対して回転対称な照明分布(照度分布、光強度分布)が形成される。この結果、マスクM上の照明領域IAA又はワークW上の投影領域PAAには、図6の点線で示すように、光軸に対して回転非対称な照明むら(照明むらの非傾斜成分)が発生する。
【0042】
従って、駆動装置117Aを介してコンデンサーレンズ系17Aを構成する少なくとも1つの光学素子(レンズ等)を光軸方向に沿って移動させて、図6の点線に示す逆の回転対称な照明むら成分を発生させることにより、図6の実線で示す照明むらの無い均一な照明分布(照度分布、光強度分布)を形成することができる。
【0043】
ここで、駆動装置117Aは、これと電気的に接続された制御系50によって制御されており、この制御系50は、ワークステージWSに一端に設けられた計測装置(計測系)IDSからの出力信号に基づいて照明むらに回転対称成分の補正量を算出し、その算出結果に基づいて駆動装置117Aの駆動量を制御する。なお、制御系50は、図3に図示していない照明領域(IAB、IAC)を形成する照明装置の各傾斜装置(117B、117C)の駆動を制御して、各コンデンサーレンズ系(17B、17C)に光軸方向の移動量を制御する。これにより、各照明装置により形成される照明領域(IAA〜IAC)にて発生する照明むらの回転対称成分(照明むらの非傾斜成分)を独立的に補正することができる。
【0044】
以上の照明むら補正は、露光装置を立ち上げて露光動作開始時、環境変化時あるいは所定の露光動作が完了する毎に定期的に行うことが好ましい。さらに、各照明装置の照明条件を変更するために、各照明装置中のオプティカルインテグレータ(16A〜16C)の射出側に配置されている光制限部材としての開口絞り(ASA〜ASC)の開口部の円形口径の大きさを可変あるいは開口部形状そのもの可変(輪帯形状、4極形状等)とすると、図5または図6の点線で示すような照明むらが発生する場合がある。この場合には、開口絞り(ASA〜ASC)等の変更手段による照明条件の変更に伴い、照明不均一性を各補正手段(15A〜15C、117A〜117C)によって補正することが望ましい。なお、制御系50は、不図示の駆動装置を介して開口絞り(ASA〜ASC)の形状を変更するように構成しても良い。
【0045】
また、以上の照明むらの補正を各補正手段(15A〜15C、117A〜117C)によって補正する事によって副作用としてある光学特性(例えば、テレセン性)が悪化する場合がある。この場合には、各照明装置中のオプティカルインテグレータ(16A〜16C)を、作業者が調整機構を介して光軸に沿った方向(X方向)あるいは光軸に対して直交する面(YZ平面)に沿って移動させて、各照明領域(IAA〜IAC)又は投影領域(PAA〜PAC)でのテレセン性(テレセントリシティ)は独立的に調整することができる。但し、オプティカルインテグレータ(16A〜16C)の光軸方向の移動によって倍率テレセンが調整され、オプティカルインテグレータ(16A〜16C)の光軸方向と直交した方向での移動によって傾斜テレセンが調整される。なお、上記調整機構が駆動装置を含む構成とするともに計測装置(計測系)IDSが投影領域(PAA〜PAC)でのテレセン性(テレセントリシティ)を計測する構成とすれば、制御系50は、その駆動装置を介して各オプティカルインテグレータ(16A〜16C)の位置を制御する構成とすることができる。
【0046】
以上においては、各種の照明むらの補正を各補正手段(15A〜15C、117A〜117C)の駆動を制御系50が電気的に制御して自動調整することについて述べたが、各補正手段(15A〜15C、117A〜117C)を手動で動作するような調整機構に構成して、作業者が各傾斜調整機構(15A〜15C)又は各移動調整機構(15A〜15C、117A〜117C)を介して各光学部材(42A〜42C、17A〜17C)を調整しても良い。
【0047】
また、図1に示した例では、1つの光源ユニット(水銀アーク灯11、楕円鏡12)からの光を各照明装置に振り分ける構成とするために、1つの入射端と複数の射出端とを持つライトガイド部材40を用いたが、各照明装置それぞれに光源ユニット(水銀アーク灯11、楕円鏡12)を設けても良い。この場合、例えば、ライトガイド部材40の構成を省略し、各光源ユニットの楕円鏡の第2焦点位置に対応するコリメータレンズ群(14A〜14C)の前側焦点が一致するように構成すれば良い。この時、傾斜むら補正は、各コリメータレンズ群(14A〜14C)をそれぞれ光軸と直交した方向にシフトさせれば良い。但し、傾斜むら補正のために各コリメータレンズ群(14A〜14C)をそれぞれシフトさせる構成すると、各コリメータレンズ群(14A〜14C)の有効径を大きく構成せざるを得ず、生産コストの低減及び小型化という観点からすると図1及び図3にて説明した例の方が好ましい。
【0048】
また、以上の例では、各コンデンサレンズ系(17A〜17C)を構成する少なくも1つの光学系を光軸方向は移動させることにより、照明分布(照度分布、光強度分布)に関する回転対称な成分を調整する例を説明したが、各コンデンサレンズ系(17A〜17C)において、照明分布(照度分布、光強度分布)に関する回転対称な成分を調整する第1調整要素(第1レンズ群)、および照明分布(照度分布、光強度分布)に関する傾斜成分を調整する第2調整要素(第2レンズ群)をそれぞれ配置しても良い。この場合、第1調整要素(第1レンズ群)は調整時に光軸方向へ移動し、第2調整要素(第2レンズ群)は、光軸に対して傾斜することが好ましい。なお、各コンデンサレンズ系(17A〜17C)中の第2調整要素(第2レンズ群)を光軸方向と直交した方向に移動させることによって傾斜テレセンが調整される。
【0049】
また、本実施形態では3組の投影光学系を用いたが、投影光学系の数(照明領域の数、投影領域の数)は3組には限られず、例えば5組、7組等の複数組の投影光学系を用いることができる。また、本実施形態では、1つの光源からの光を複数の光束に分岐したが、光源の数は1組には限られず、例えば特開平8-17223 号公報や特開平10-199800 号公報に開示されるような複数の光源からの光を複数の光束に分岐するものも適用できる。
【0050】
また、本実施形態のように複数の投影光学系PLA〜PLCは、各種の光学系を適用でき、例えば、等倍の屈折光学系、等倍の反射屈折光学系(例えば、ダイソン型光学系を直列的に2組組み合わせた光学系)あるいは等倍の反射光学系(例えば、オフナー型光学系を直列的に2組組み合わせた光学系)を用いることができる。この本実施形態における投影光学系PLA〜PLCの具体例としては、例えば特開平8-211294号公報、特開平8-255746号公報、特開平11-329935 号公報、特開2000-39557号公報に開示されているものを用いることができる。
【0051】
なお、上述の各実施形態における投影露光装置を液晶表示素子やプラズマディスプレイパネル(PDP)等の表示デバイス製造の製造のリソグラフィ工程で用いる場合、ワークWとしてガラス基板を用いる。なお、上述の各実施形態における投影露光装置は、ワークWとしてウエハを用いる半導体デバイス製造のリソグラフィ工程、ワークWとしてローバーと呼ばれるバー形状の基板を用いる磁気ヘッド製造のリソグラフィ工程、ワークWとしてエポキシ樹脂等の樹脂基板を用いるプリント配線基板のリソグラフィ工程等の様々な用途のリソグラフィ工程に適用することができる。
【0052】
また、上述の実施形態では、投影光学系PLとして等倍の正立正像を形成するものを用いたが、投影光学系の倍率は縮小倍率であっても良く、また拡大倍率であっても良い。
【0053】
また、上述の実施形態では、オプティカルインテグレータとして、実像からなる複数の光源像を形成するフライアイレンズを用いたが、虚像からなる複数の光源像を形成する内面反射型インテグレータ(ロッド型インテグレータ、光パイプ、光トンネル)を用いても良く、さらには、各照明装置の瞳(例えば、開口絞りASA〜ASCの開口部)に所望形状(円形形状、輪帯形状、4極形状等)の光強度分布又は2次光源を形成する回折光学素子やフレネル型光学素子を用いても良い。
【0054】
さて、次に、図1および図3に示す例における露光装置を用いてワークW(感光性基板)としてのウエハ等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図7のフローチャートを参照して説明する。
【0055】
先ず、図7のステップ301において、1ロットのウエハ上に金属膜が蒸着される。次のステップ302において、そのlロットのウエハ上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップ303において、図1および図3に示す投影露光装置を用いて、マスク(レチクル)上のパターンの像がその投影光学系(投影光学ユニット〉を介して、その1ロットのウエハ上の各ショット領域に順次露光転写される。その後、ステップ304において、その1ロットのウエハ上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップ305において、その1ロットのウエハ上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各ウエハ上の各ショット領域に形成される。その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。
【0056】
上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
【0057】
また、上記の図1および図3に示す露光装置では、ワークW(感光性基板)としてのプレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等〉を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。以下、図8のフローチャートを参照して、このときの手法の一例につき説明する。
【0058】
図8において、パターン形成工程401では、本実施形態の露光装置を用いてレチクルのパターンを感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に転写露光する、所謂光リソグラフィー工程が実行される。この光リソグラフィー工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。
その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レチクル剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成され、次のカラーフィルター形成工程402へ移行する。
【0059】
次に、カラーフィルター形成工程402では、R(Red )、G(Green )、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列されたり、またはR、G、Bの3本のストライプのフィルターの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルターを形成する。そして、カラーフィルター形成工程402の後に、セル組み立て工程403が実行される。セル組み立て工程403では、パターン形成工程401にて得られた所定パターンを有する基板、およびカラーフィルター形成工程402にて得られたカラーフィルター等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。セル組み立て工程403では、例えば、パターン形成工程401にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルター形成工程402にて得られたカラーフィルターとの間に液晶を注入して、液晶パネル〈液晶セル〉を製造する。
【0060】
その後、モジュール組み立て工程404にて、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
【0061】
上述の液晶表示素子の製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する液晶表示素子をスループット良く得ることができる。
【0062】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、被照明面又は被露光面において照明傾斜むらをはじめとした各種の照明むら発生したとしても、これらの照明むらを良好に補正することできる露光装置を実現することができる。さらに、この露光装置を用いれば、良好な所定パターンを感光性基板に露光できるため、良好なるマイクロデバイスを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態である露光装置の構成を示す図である。
【図2】図1に示した露光装置により露光される露光領域の様子を示す図である。
【図3】図1に示した露光装置の1つの照明装置の構成を示す図である。
【図4】図3に示した露光装置のオプティカルインテグレータに入射する光束の光強度分布を示す図である。
【図5】被照射面又は被露光面にて発生する照明むらの傾斜成分を補正する様子を示す図である。
【図6】被照射面又は被露光面にて発生する照明むらの回転対称成分を補正する様子を示す図である。
【図7】マイクロデバイスとしての半導体デバイスを製造する一手法のフローチャートを示す図である。
【図8】マイクロデバイスとしての液晶表示素子を製造する一手法のフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
11・・・・・光源
12・・・・・楕円鏡
14A、14B、14C・・・・・コリメートレンズ群
16A、16B、16C・・・・・オプティカルインテグレータ
17A、17B、17C・・・・・コンデンサーレンズ系
19aA〜19aC、19bA〜19bC・・・・・結像光学系
40・・・・・ライトガイド
41・・・・・ライトガイド入射端
42A〜42C・・・・・ライトガイド射出端
PLA〜PLC・・・・・投影光学系
IDS・・・・・計測装置
MS・・・・・マスクステージ
WS・・・・・ワークステージ
Claims (15)
- 照明光をマスクへ導き前記マスク上に照明領域を形成する照明装置と、前記照明領域内の前記マスクのパターンの像を感光性基板に投影する投影光学系とを備える露光装置において、
前記照明装置は、前記照明光を伝達するライトガイド部材と、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を前記マスクへ導く照明光学系と、前記ライトガイド部材の射出端を前記照明光学系の光軸に対して傾斜させる傾斜装置とを有することを特徴とする露光装置。 - 前記マスクを保持して移動可能なマスク移動装置と、前記感光性基板を保持して移動可能な基板移動装置と、前記マスク移動装置と前記基板移動装置とを所定の走査方向へ移動させて、前記マスクのパターンの像を前記感光性基板へ走査露光するために、前記マスク移動装置及び前記基板移動装置を制御する制御系とをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記照明装置は、前記照明光学系の照明条件を変更する変更手段をさらに有し、前記傾斜装置は、前記変更手段により変更される前記照明条件に応じて前記ライトガイド部材の射出端を傾斜させることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 前記照明領域に関する照明特性又は前記投影光学系により前記照明領域に対応して前記感光性基板上に形成される投影領域に関する照明特性を計測する計測系と、前記計測系の計測結果に基づいて前記傾斜装置の駆動制御を行う制御系とをさらに有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記照明特性は、照度分布及び強度分布の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系と、前記2次光源が形成される位置に前側焦点が設けられるコンデンサ光学系とを含み、前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸に沿って移動可能に設けられる光学素子を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸と直交する方向に移動可能に設けられる光学素子を含むことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系を含み、前記光源像形成光学系は、前記照明光学系の光軸に沿った方向及び該光軸に対して直交する面に沿った方向の少なくとも一方の方向に移動可能に設けられるオプティカルインテグレータを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ライトガイド部材の射出端は、第1及び第2の射出端を含み、
前記照明光学系は、前記第1の射出端から射出する前記照明光を前記マスクへ導く第1の照明光学系、及び前記第2の射出端から射出する前記照明光を前記マスクへ導く第2の照明光学系を含み、
前記傾斜装置は、前記第1の射出端を前記第1の照明光学系の光軸に対して傾斜させる第1の傾斜装置、及び前記第2の射出端を前記第2の照明光学系の光軸に対して傾斜させる第2の傾斜装置を含み、
前記投影光学系は、前記第1の照明領域内の前記マスクのパターンの像を前記感光性基板に投影する第1の投影光学系、及び前記第2の照明領域内の前記マスクのパターンの像を前記感光性基板に投影する第2の投影光学系を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の露光装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記マスクのパターンの像を前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記露光工程によって露光された前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。 - 照明光によって被照射面を照明する照明装置において、
前記照明光を伝達するライトガイド部材と、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を前記被照射面へ導く照明光学系と、前記射出端を前記照明光学系の光軸に対して傾斜させる傾斜装置と、を有することを特徴とする照明装置。 - 前記照明光学系の照明条件を変更する変更手段を有し、
前記傾斜装置は、前記変更手段により変更される前記照明条件に応じて前記ライトガイド部材の射出端を傾斜させることを特徴とする請求項11に記載の照明装置。 - 前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系と、前記2次光源が形成される位置に前側焦点が設けられるコンデンサ光学系とを含み、前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸に沿って移動可能に設けられる光学素子を含むことを特徴とする請求項11又は請求項12に記載の照明装置。
- 前記コンデンサ光学系は、前記照明光学系の光軸と直交する方向に移動可能に設けられる光学素子を含むことを特徴とする請求項13に記載の照明装置。
- 前記照明光学系は、前記ライトガイド部材の射出端から射出する前記照明光を集光して2次光源を形成する光源像形成光学系を含み、前記光源像形成光学系は、前記照明光学系の光軸に沿った方向及び該光軸に対して直交する面に沿った方向の少なくとも一方の方向に移動可能に設けられるオプティカルインテグレータを含むことを特徴とする請求項11又は請求項12に記載の照明装置。
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