JP2010107596A - 反射型投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 照明系ミラーの配置の自由度を高め、全ての有効画面領域にわたって良好なCD均一性を達成可能であり、オーバーレイ性能の劣化を低減させる反射型投影光学系を提供する。
【解決手段】 本発明は、物体面に配置されたパターンを反射鏡を介して像面に投影する反射型投影光学系であって、前記物体面側と前記像面側との両方でテレセントリックであり、かつ、前記物体面と前記像面とを、シャインプルーフの条件を満たすように、前記反射型投影光学系の光軸に垂直な面に対してそれぞれ傾けて配置した。
【選択図】図1
【解決手段】 本発明は、物体面に配置されたパターンを反射鏡を介して像面に投影する反射型投影光学系であって、前記物体面側と前記像面側との両方でテレセントリックであり、かつ、前記物体面と前記像面とを、シャインプルーフの条件を満たすように、前記反射型投影光学系の光軸に垂直な面に対してそれぞれ傾けて配置した。
【選択図】図1
Description
本発明は、反射型投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法に関する。特に、紫外線や極端紫外線(EUV:Extreme ultraviolet)光を用いて半導体ウエハ用の単結晶基板、液晶ディスプレイ(LCD)用のガラス基板などの被処理体を投影露光する反射型投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法に関する。
半導体製造用の代表的な露光装置である投影露光装置は、マスク(レチクル)上に形成されたパターンをウエハに投影する投影光学系を備えている。投影露光装置の解像度(正確に転写できる最小寸法)Rは、光源の波長λと投影光学系の開口数(NA)を用いて次に数式1で与えられる。
R=k1×(λ/NA)・・・(1)
従って、波長を短くすればするほど、又は、NAを上げれば上げるほど、解像度はよくなる。近年では、解像度はより小さい値を要求され、NAを上げるだけではかかる要求を満足するには限界となっており、短波長化により解像度の向上を見込んでいる。現在では、露光光源は、KrFエキシマレーザー(波長約248nm)及びArFエキシマレーザー(波長約193nm)が主流であるが、EUV(extreme ultraviolet)光を利用した露光装置の実用化も進行中である。
従って、波長を短くすればするほど、又は、NAを上げれば上げるほど、解像度はよくなる。近年では、解像度はより小さい値を要求され、NAを上げるだけではかかる要求を満足するには限界となっており、短波長化により解像度の向上を見込んでいる。現在では、露光光源は、KrFエキシマレーザー(波長約248nm)及びArFエキシマレーザー(波長約193nm)が主流であるが、EUV(extreme ultraviolet)光を利用した露光装置の実用化も進行中である。
露光光がEUV光になると使用できる硝材は存在しなくなり、投影光学系にレンズを含めることは不可能となるため、投影光学系をミラーのみで構成する反射型縮小投影光学系が種々提案されている。同様な理由により、EUV光を透過する透過型レチクルは存在しないため、多層膜からなる反射膜パターンを施した反射型レチクルを使用することになる。
従来から反射型レチクルを使用する上では、照明系からの反射光を取り込むために投影光学系の入射瞳を例えば物体面から有限距離に設定した非テレセントリック系としなければならなかった。この場合、走査露光時において、物体面位置の光軸方向の相対位置にずれが生じた場合、像面での倍率や歪曲収差の変化を起こし易く結像性能を劣化させてしまうという問題があった。この影響を軽減するべく物体面側でテレセントリックを確保した従来技術が、特許文献1乃至4に示されている。
特開2000−100703号公報
特開2001―332489号公報
特開2003−045782号公報
特開2003−233001号公報
反射型レチクルを使う従来技術の構成では、物体側でのテレセントリックが十分でなかったり、照明系ミラーの配置自由度や結像領域の確保、高NA化の達成が不十分であったりした。例えば、特許文献1では、第一凹面鏡が物体面に接近しているため照明系のミラーを配置する為のスペースが狭い。また、物体側でのテレセントリックも完全ではなく、0.1程度のNAを達成しているがこれ以上の高NA化を達成しようとすると光束が大きくなるために、物体側でのテレセントリックがさらに悪化してしまう。
特許文献2の図6には、反射型レチクルを使用した実施例が示されている。その実施例では、オフナー型の投影系を使用し物体側と像側の両方でテレセントリックとしつつ、レチクルとウエハを光軸に対し傾けながら対称に配置している。しかしながら、物体面と像面とがシャインプルーフの条件を満たさない特許文献2記載の前記レチクルとウエハの配置では、物像面の光学的共役関係上は結像像面が悪化するため、十分な有効像面幅が確保できず、高NA化の達成も困難となってしまう。
特許文献3は、本件特許出願の発明者による提案であり、物体側でテレセントリックを確保しやすい構成としている。しかし、物体面からの光束高が増加又は光軸と平行になっているため、反射型レチクルを照明するための照明系ミラーの配置が困難になっている。反射型レチクルを使用するには、実質的にもう少し物体側でのテレセントリックを悪化させる必要がある。特許文献4も、本件特許出願の発明者による提案であるが、前記特許文献3同様、物体面からの光束高が増加しており、ほぼ物体側でテレセントリックを達成している。したがって反射型レチクルを照明するための照明系ミラー配置が困難になっている。また、特許文献3及び特許文献4に記載の反射型投影光学系では、物体面と像面とが光軸に垂直な面に対して傾斜して配置させることが示されていない。
一方、投影光学系の入射瞳を物体面から有限距離に設定した非テレセントリック系である反射型投影光学系を用いる場合に、有効領域内での像高毎のNA差が問題になることがわかってきた。有効領域内での像高毎のNA差は、光束中心である主光線が入射瞳に張る角度が像高毎に異なるために発生する。図4に示すように物高1と物高2からの主光線と物体側NAの角度を各々、2点鎖線とθ1、点線とθ2としたときθ1<θ2となっているためである。加えて、投影光学系の入射瞳に適合するように照明系の射出瞳も物体面から有限距離に設定されるため、物体面の照明領域内でも物体高毎に主光線の角度が異なってしまう。すなわち、反射型レチクル上の3次元構造パターンを照射する際に物高毎に吸収層の影になる部分の影響が物体高によって異なってしまう。そのため、像高による反射光量差を引き起こし、有効画面内のCD(Critical Dimension)の均一性が悪化してしまうことがわかってきた。これは、図5に示すように吸収層の高さによって、反射型レチクルへの入射角が異なる2本の光束の幅が異なることからわかる。この影響を低減するためには吸収層の厚さや透明度を電磁場解析等から最適化してレチクルを設計しなければならなかった。EUV用の投影光学系では、32nm以下という微細化ターゲットの厳しさや全光学素子がミラーから構成されCD均一性に対する敏感度が厳しい。そのため、前述したようなNAの像高差やパターンの物体高による反射光量差を抑制させることが重要になってくる。更にレチクル平坦度が像面上で像シフトとなり、オーバーレイ性能を劣化させる要因となっている。
本発明は、照明系ミラーの配置の自由度を高め、全ての有効画面領域にわたって良好なCD均一性を達成可能であり、オーバーレイ性能の劣化を低減させる反射型投影光学系を提供することを目的とする。
本発明は、物体面に配置されたパターンを反射鏡を介して像面に投影する反射型投影光学系であって、前記物体面側と前記像面側との両方でテレセントリックであり、かつ、前記物体面と前記像面とを、シャインプルーフの条件を満たすように、前記反射型投影光学系の光軸に垂直な面に対してそれぞれ傾けて配置したことを特徴とする。
本発明によれば、照明系ミラーの配置の自由度を高め、全ての有効画面領域にわたって良好なCD均一性を達成可能であり、オーバーレイ性能の劣化を低減させる反射型投影光学系を提供することができる。
以下、図面を参照して、本発明に係る反射型投影光学系100及び露光装置200について説明する。但し、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、本発明の目的が達成される範囲において、各構成要素が代替的に置換されてもよい。なお、各図において同一の部材については同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、本発明に係る反射型投影光学系100の例示的一形態及びその光路を示した概略断面図である。また、図6は、従来技術による物体側で非テレセントリックである反射型投影光学系300及びその光路を示す概略断面図である。
図1を参照するに、本発明に係る反射型投影光学系100(以下単に、「投影光学系100」と呼ぶ。)は、物体面MS(例えば、反射レチクル面)上のパターンを像面W(例えば、基板等の被処理体)上に縮小投影する反射型縮小投影光学系である。特に、EUV光(例えば、波長13.4nm)に好適な投影光学系であり、開口数(NA)0.25を達成している。
投影光学系100は、6枚の反射鏡110〜160を有している。物体面MSは、図3に示されるように、基本的に、光軸外のリング状である。物体面MS(図5)からの光を反射する順番に、第1〜第6の反射鏡が順次配置されている。第1、第3及び第6の反射鏡110,130,160は凹面鏡である。第2、第4及び第5の反射鏡120,140,150は凸面鏡である。そして第1の反射鏡110乃至第4の反射鏡140までの4枚の反射鏡が実像の中間像MIを結像させ、かかる中間像MIを第5の反射鏡150及び第6の反射鏡160の2枚の反射鏡で像面W上に再結像する。本発明の投影光学系100は、基本的には、共軸系をなすように配置されており、1本の光軸OAの回りに軸対称な共軸光学系となっており、開口絞りSTは、第2の反射鏡120の位置に配置される。開口絞りSTの径は、固定であっても可変であってもよい。可変の場合には、開口絞りSTの径を変化させることにより、光学系のNAを変化させることができる。開口絞りSTを可変とすることで、深い焦点深度を得られ、像を安定させることができる。
図3は、軸外のリング状の物体面MSを示している。投影像を形成可能な有効画面領域CRは、平行な直線からなる2つの辺CR1と、曲率と中心角が等しい2つの円弧CR2とから囲まれた形状を有しており、光軸OAを含んではいない。
このような配置において、本発明の投影光学系100は、物体面側と像面側の両方でほぼ完全なテレセントリックを形成している。反射型レチクルを物体面MSに配置するために物体面MSを光軸OAに垂直な面に対し傾ける。そのことによって、照明系からの反射型レチクルへの照明光と、反射型レチクルからの投影光学系への反射光を分離することに成功している。このため、反射型レチクルの傾き角の設定に応じて照明系のミラーの配置の自由度を増加させることができる。またこのとき像面Wは、物体面MSの傾きに応じていわゆるシャインプルーフの条件を満足するように光軸OAに垂直な面に対して傾いている。したがって、本発明の投影光学系100では、有効画面領域CR内で十分な像面幅を確保することができている。
本実施例の投影光学系100では、1つの実像の中間像MIを有し、投影光学系100全体では2回結像するため、物体面MSと像面Wは共に、光軸OAに垂直な面に対して紙面内で反時計回りに傾いている。すなわちシャインプルーフの条件に従って、投影光学系100が全体で偶数回結像する場合には物体面MSと像面Wは共に同方向へ、全体で奇数回結像する場合には物体面MSと像面Wは互いに逆方向へ傾くことになる。
また、本発明の投影光学系100は、物体面側と像面側の両方でほぼ完全なテレセントリックを形成している。そのため、レチクルと基板とを走査露光するときに、物体面の位置や像面の位置の光軸方向における相対位置にずれが生じた場合でも、像面での倍率や歪曲収差の変化を抑制して結像性能を良好に維持することができる。加えて、非テレセントリックの場合の課題であったレチクル平坦度がオーバーレイ性能の劣化を低減させることができる。
物体側でテレセントリックであることは、従来の非テレセントリック系に比較し有効画面領域内での像高毎のNA差を小さくする。また、テレセントリックであれば反射型レチクルに入射する照明光の主光線も照明範囲に依らず一定角度で入射するため、3次元パターンの吸収層の影になる部分に物体高による差が発生しないことは自明である。総じて、像高毎のNA差やレチクル反射光量差を抑制することができるので有効画面内のCD均一性の悪化要因を従来の投影光学系も減少させることが可能となる。
以上により、本発明の投影光学系100では、照明系ミラーの配置の自由度を高め、全ての有効画面領域にわたって良好なCD均一性を達成可能であり、オーバーレイ性能の劣化を低減させることができる。
物体面MSの光軸OAに垂直な面に対する傾きの角度をθ(°)、投影光学系100の前記物体面側の開口数をNAOとしたとき次の数式2を満足することが好ましい。
Sin−1(NAO)<θ<Sin−1(NAO)+5.0・・・(2)
数式2は、物体面MSの傾き角θと投影光学系100の物体側のNAとの関係を規定している。傾き角θが下限のSin−1(NAO)を下回ると、反射型レチクルへの入射光と反射型レチクルにおける反射光とを分離することが困難となったり、また実質的に照明系ミラーを配置することが困難になったりする。傾き角θが上限の[Sin−1(NAO)+5.0]を超えると、照明光の反射型レチクルへの入射角が大きくなりすぎるために、パターンの吸収層の影が投影像に悪影響を及ぼす。またレチクルの設計上で吸収層の厚さや透過性を最適化することが困難になってくるため好ましくない。照明系ミラーの配置を考慮しつつ、最小の傾き角とすることが投影像の忠実性、レチクルの設計上からなお良い。したがって次の数式3を満足することがより好ましい。
Sin−1(NAO)<θ<Sin−1(NAO)+3.0・・・(3)
本実施例において、第1の反射鏡110乃至第6の反射鏡160は、上述したように、それぞれ凹面鏡又は凸面鏡より構成され、その反射面が非球面形状を有している。しかし、第1の反射鏡110乃至第6の反射鏡160は、その少なくとも1枚以上が非球面であればよい。反射鏡を非球面で構成することは収差を補正する上で好ましいので、反射鏡の構成枚数に限らず本発明の投影光学系100では、できるだけ多くの反射鏡を非球面で構成するとよい。非球面の形状は、数式4に示す一般的な非球面の式で表される。
Sin−1(NAO)<θ<Sin−1(NAO)+5.0・・・(2)
数式2は、物体面MSの傾き角θと投影光学系100の物体側のNAとの関係を規定している。傾き角θが下限のSin−1(NAO)を下回ると、反射型レチクルへの入射光と反射型レチクルにおける反射光とを分離することが困難となったり、また実質的に照明系ミラーを配置することが困難になったりする。傾き角θが上限の[Sin−1(NAO)+5.0]を超えると、照明光の反射型レチクルへの入射角が大きくなりすぎるために、パターンの吸収層の影が投影像に悪影響を及ぼす。またレチクルの設計上で吸収層の厚さや透過性を最適化することが困難になってくるため好ましくない。照明系ミラーの配置を考慮しつつ、最小の傾き角とすることが投影像の忠実性、レチクルの設計上からなお良い。したがって次の数式3を満足することがより好ましい。
Sin−1(NAO)<θ<Sin−1(NAO)+3.0・・・(3)
本実施例において、第1の反射鏡110乃至第6の反射鏡160は、上述したように、それぞれ凹面鏡又は凸面鏡より構成され、その反射面が非球面形状を有している。しかし、第1の反射鏡110乃至第6の反射鏡160は、その少なくとも1枚以上が非球面であればよい。反射鏡を非球面で構成することは収差を補正する上で好ましいので、反射鏡の構成枚数に限らず本発明の投影光学系100では、できるだけ多くの反射鏡を非球面で構成するとよい。非球面の形状は、数式4に示す一般的な非球面の式で表される。
・・・(4)
数式4において、Zは光軸方向の座標、cは曲率(曲率半径rの逆数)、hは光軸からの高さ、kは円錐係数、A、B、C、D、E、F、G、H、Jは各々4次、6次、8次、10次、12次、14次、16次、18次、20次の非球面係数である。
数式4において、Zは光軸方向の座標、cは曲率(曲率半径rの逆数)、hは光軸からの高さ、kは円錐係数、A、B、C、D、E、F、G、H、Jは各々4次、6次、8次、10次、12次、14次、16次、18次、20次の非球面係数である。
また、本実施例では6枚の第1の反射鏡110乃至第6反射鏡160は、投影光学系100の像面Wを平坦にするためにペッツバール項の和がゼロ近傍、好ましくはゼロになっている。即ち、反射鏡の枚数に限らず、反射鏡各面の屈折力の和をゼロ近傍にすることが望ましい。換言すれば、物体面MSから第i番目のミラーの曲率半径をriとすると、数式5又は数式6を満たすことが好ましい。
・・・(6)
更に、第1の反射鏡110乃至第6の反射鏡160の表面にはEUV光を反射させる多層膜が施されており、かかる多層膜は光を強め合う作用を奏する。本実施例の第1〜第6の反射鏡110〜160に適用可能な多層膜は、例えば、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を反射面に交互に積層したMo/Si多層膜、又は、Mo層とベリリウム(Be)層を反射面に交互に積層したMo/Be多層膜等である。波長13.4nm付近の波長域を用いた場合、Mo/Si多層膜からなる反射鏡は67.5%の反射率を得ることができ、また、波長11.3nm付近の波長域を用いた場合、Mo/Be多層膜からなる反射鏡は70.2%の反射率を得ることができる。但し、本発明で使用可能な多層膜は、上記した材料に限定されず、これと同様の作用及び効果を有する多層膜の使用を妨げるものではない。
更に、第1の反射鏡110乃至第6の反射鏡160の表面にはEUV光を反射させる多層膜が施されており、かかる多層膜は光を強め合う作用を奏する。本実施例の第1〜第6の反射鏡110〜160に適用可能な多層膜は、例えば、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を反射面に交互に積層したMo/Si多層膜、又は、Mo層とベリリウム(Be)層を反射面に交互に積層したMo/Be多層膜等である。波長13.4nm付近の波長域を用いた場合、Mo/Si多層膜からなる反射鏡は67.5%の反射率を得ることができ、また、波長11.3nm付近の波長域を用いた場合、Mo/Be多層膜からなる反射鏡は70.2%の反射率を得ることができる。但し、本発明で使用可能な多層膜は、上記した材料に限定されず、これと同様の作用及び効果を有する多層膜の使用を妨げるものではない。
本実施例の反射型投影光学系100、及び比較対象としての反射型投影光学系300を用いて照明実験した結果について説明する。反射型投影光学系300は本実施例の反射型投影光学系100とほぼ同じ仕様であるが、物体側で非テレセントリックである。
[実施例1]
図1において、MSは物体面に配置された反射型のレチクル、Wは像面に配置された基板(ウエハ)を示している。反射型レチクルMSは光軸OAに垂直な面(不図示)に対し紙面上反時計周りに6.0°傾いて配置されている。そしてシャインプルーフの条件を満足するように、ウエハWは光軸OAに垂直な面(不図示)に対し紙面上反時計周りに1.2°傾いて配置されている。反射型投影光学系100において、波長13.4nm付近のEUV光を放射する図示しない照明系により反射型レチクルMSが照明される。このとき反射型レチクルMSに入射する照明光の主光線も照明範囲に依らず一定角度で入射し、反射型投影光学系100の物体側でのテレセントリックに一致するように設定されている。反射型レチクルMSからの反射EUV光は、第1〜第6の反射鏡110〜160の順で反射する。第1、第3及び第6の反射鏡110,130,160は凹面鏡である。第2、第3及び第4の反射鏡120,140,150は凸面鏡である。そして像面に配置されたウエハW上に、反射型レチクルMSのパターンの縮小像を形成し、光路に沿って第4の反射鏡140と第5の反射鏡150の間で実像の中間像MIを形成している。なお、本実施例の反射型投影光学系100の性能は以下のとおりである。
NA=0.25
縮小倍率=1/5倍
物高=130mm乃至140mm、像高=26mm乃至28mmの2.0mm幅の円弧状像面(図3における円弧スリットでX方向26mm、Y方向2mm幅)
全長=1386mm(物高=135mmでの光軸方向全長)
図1に示される本実施例の反射型投影光学系100の数値(曲率半径R、面間隔D、屈折率N、傾き角θ、非球面係数)を表1に示す。ここでDは光軸OA上の距離である。
図1において、MSは物体面に配置された反射型のレチクル、Wは像面に配置された基板(ウエハ)を示している。反射型レチクルMSは光軸OAに垂直な面(不図示)に対し紙面上反時計周りに6.0°傾いて配置されている。そしてシャインプルーフの条件を満足するように、ウエハWは光軸OAに垂直な面(不図示)に対し紙面上反時計周りに1.2°傾いて配置されている。反射型投影光学系100において、波長13.4nm付近のEUV光を放射する図示しない照明系により反射型レチクルMSが照明される。このとき反射型レチクルMSに入射する照明光の主光線も照明範囲に依らず一定角度で入射し、反射型投影光学系100の物体側でのテレセントリックに一致するように設定されている。反射型レチクルMSからの反射EUV光は、第1〜第6の反射鏡110〜160の順で反射する。第1、第3及び第6の反射鏡110,130,160は凹面鏡である。第2、第3及び第4の反射鏡120,140,150は凸面鏡である。そして像面に配置されたウエハW上に、反射型レチクルMSのパターンの縮小像を形成し、光路に沿って第4の反射鏡140と第5の反射鏡150の間で実像の中間像MIを形成している。なお、本実施例の反射型投影光学系100の性能は以下のとおりである。
NA=0.25
縮小倍率=1/5倍
物高=130mm乃至140mm、像高=26mm乃至28mmの2.0mm幅の円弧状像面(図3における円弧スリットでX方向26mm、Y方向2mm幅)
全長=1386mm(物高=135mmでの光軸方向全長)
図1に示される本実施例の反射型投影光学系100の数値(曲率半径R、面間隔D、屈折率N、傾き角θ、非球面係数)を表1に示す。ここでDは光軸OA上の距離である。
表1に示される投影光学系100において、θ=6.0°、NAO=0.05、Sin−1(NAO)=2.866°である。2.866°<6.0°<2.866°+5.0°であるから、表1の投影光学系は数式2を満足している。
また、物体面MSの傾き角θは照明系ミラーの配置を考慮して変更可能である。例えばθ=3.0°とすると、2.866°<3.0°<2.866°+3.0°となるから、数式3をも満足する。このとき表1の物体面(MS)のDは803.6179804mmとなる。
θ=7.0°とすると、2.866°<7.0°<2.866°+5.0°となるから、数式2を満足し、このとき表1の物体面(MS)のDは794.1322645mmとなる。
像面側で完全テレセントリックとしたときの物体側でのテレセントリックは、最大値が物高130mmのタンジェント値で0.000342、最小値が物高140mmのタンジェント値で0.000022でありほぼ完全テレセントリックとなっている。
レチクルMSの平坦度の悪化が100nmとすれば、物高130mmの投影像はタンジェント値0.000342 であり、また縮小倍率=1/5倍であるから、像面上のズレは0.00684nmであり、オーバーレイ性能に与える影響は無視できる。
NA可変絞りSTは、第2の反射鏡120上に配置されており、全ての光束はこのNA可変絞りSTで規定されている。このときの各物高に対応する像面上のNAを表2に示す。
NA(meri) はmeridionalでのNA、NA(sagi) はsagitalでのNA、ΔNA像高差はすべての像高での最大NA差、ΔNA(m-s)は各像高毎のmeridionalとsagitalのNA差を示す。表2に示すように、NAの像高差が小さいことが確認される。
図6は、従来技術による物体側で非テレセントリックである反射型投影光学系300及びその光路を示す概略断面図である。物体面に配置された反射型レチクルMSは光軸OAに垂直な面となっている。したがって、像面に配置されたウエハWも光軸OAに垂直な面となっている。反射型投影光学系300において、波長13.4nm付近のEUV光を放射する図示しない照明系により反射型レチクルMSが照明される。このとき反射型レチクルMSに入射する照明光の主光線は、反射型投影光学系300の物体側での非テレセントリックに一致するように設定されている。反射型レチクルMSで反射されたEUV光は、第1〜第6の反射鏡310〜360の順に反射する。第1及び第4の反射鏡310,340は凹面鏡である。第2、第3、第5及び第6の反射鏡320,330,350,360は凸面鏡である。そして像面に配置されたウエハW上に、レチクルMSのパターンの縮小像を形成し、光路に沿って第4の反射鏡340と第5の反射鏡350の間で実像の中間像MIを形成している。
図6に示す反射型投影光学系300の性能は以下のとおりであり、図1に示す本実施例の反射型投影光学系100とほぼ同仕様となっている。。
NA=0.25
縮小倍率=1/5倍
物高=130mm乃至140mm、像高=26mm乃至28mmの2.0mm幅の円弧状像面(図3における円弧スリットでX方向26mm、Y方向2mm幅)
全長=1400mm
ここで、図6の反射型投影光学系300の数値(曲率半径R、面間隔D、屈折率N、傾き角θ、非球面係数)を表3に示す。ここでDは光軸OA上の距離である。
NA=0.25
縮小倍率=1/5倍
物高=130mm乃至140mm、像高=26mm乃至28mmの2.0mm幅の円弧状像面(図3における円弧スリットでX方向26mm、Y方向2mm幅)
全長=1400mm
ここで、図6の反射型投影光学系300の数値(曲率半径R、面間隔D、屈折率N、傾き角θ、非球面係数)を表3に示す。ここでDは光軸OA上の距離である。
像面側を完全テレセントリックとしたときの物体側でのテレセントリック性は、最小値が物高130mmのタンジェント値で0.099558、最大値が物高140mmのタンジェント値で0.107101の非テレセントリックとなっている。反射型レチクルMSに対する主光線角度はほぼ6°であり、比較する上で本実施例の反射型投影光学系100と同等としている。
レチクルMSの平坦度の悪化が100nmとすれば、物高140mmの投影像はタンジェント値0.107101 であり、縮小倍率=1/5倍であるから、像面上のズレは2.14nmであり、オーバーレイ性能に与える影響は大きく無視できない。
NA可変絞りSTは、第2の反射鏡320上に配置してあり、全ての光束はこのNA可変絞りSTで規定されている。このときの各物高に対応する像面上のNAを表4に示す。
ここで本実施例に係る表2と比較すると、ΔNA像高差のmeridionalが4.4倍、ΔNA像高差のsagitalが5.7倍、ΔNA(m-s)の最大値が1.5倍となっている。したがって本実施例の反射型投影光学系100では、有効画面領域内でNA差を小さくすることが可能である。
以上のように、本実施例の反射型投影光学系100は、照明系ミラーの配置の自由度を高め、全ての有効画面領域にわたって良好なCD均一性を達成可能であり、オーバーレイ性能劣化を低減させるEUV用結像システムとなっている。
[実施例2]
以下、図2を参照して、本発明に係る、反射型投影光学系100を適用した露光装置200について説明する。本実施例の露光装置200は、露光用の照明光としてEUV光(例えば、波長13.4nm)を用いて、ステップ・アンド・スキャン方式の露光を行う投影露光装置である。
以下、図2を参照して、本発明に係る、反射型投影光学系100を適用した露光装置200について説明する。本実施例の露光装置200は、露光用の照明光としてEUV光(例えば、波長13.4nm)を用いて、ステップ・アンド・スキャン方式の露光を行う投影露光装置である。
露光装置200は、照明系210と、レチクルMSと、レチクルMSを載置するレチクルステージ220と、反射型投影光学系100と、被処理体である基板(ウエハ)Wと、基板Wを載置する基板ステージ230と、制御部240とを有する。制御部240は、照明系210、レチクルステージ220及び基板ステージ230に制御可能に接続されている。
また、図2には図示しないが、EUV光は大気に対する透過率が低いため、少なくともEUV光が通る光路は真空雰囲気であることが好ましい。なお、図2において、X、Y、Zは3次元空間を示し、XY平面の法線方向をZ方向としている。
照明系210は、反射型投影光学系100の円弧状の有効画面領域に対応する円弧状のEUV光(例えば、波長13.4nm)によりレチクルMSを照明する照明系である。照明系210は、図示しない光源と、照明光学系より構成される。反射型投影光学系100の光軸OAに垂直な面(不図示)に対し紙面上反時計周りに6.0°傾いて配置されたレチクルMSの反射面の法線に対し、照明光の主光線が6.0°で入射している。なお、照明系210を構成する光源及び照明光学系は当業界で周知のいかなるものをも適用可能であり、本明細書での詳細な説明は省略する。例えば、照明光学系は、集光光学系、オプティカルインテグレーター、開口絞り、ブレード等を含み、当業者が想達し得るいかなる技術も適用可能である。
レチクルMSは、反射型レチクルで、その上には転写されるべき回路パターン(又は像)が形成され、レチクルステージ220に支持され、傾き角6.0°を維持したままXY平面内で駆動される。レチクルMSから発せられた回折光は、反射型投影光学系100で反射されて基板W上に投影される。レチクルMSと基板Wとは、光学的に共役の関係に配置される。露光装置200は、ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置であるため、レチクルMSと基板Wを走査することによりレチクルMSのパターンを基板W上に縮小投影する。
レチクルステージ220は、レチクルMSを支持して図示しない移動機構に接続されている。レチクルステージ220は、当業界周知のいかなる構成をも適用することができる。図示しない移動機構はリニアモーターなどで構成され、制御部240に制御されながら少なくともY方向にレチクルステージ220を駆動することでレチクルMSを移動することができる。露光装置200は、レチクルMSと基板Wを制御部240によって同期した状態で走査する。
反射型投影光学系100は、レチクルMS面上のパターンを像面上に縮小投影する反射型光学系である。反射型投影光学系100は、上述した通りのいかなる形態をも適用可能であり、ここでの詳細な説明は省略する。なお、図2では、図1に示す反射型投影光学系100を使用するが、かかる形態は例示的であり本発明はこれに限定されない。
基板Wは、本実施形態ではウエハであるが、液晶基板その他の被処理体を広く含む。基板Wには、フォトレジストが塗布されている。フォトレジスト塗布工程は、前処理と、密着性向上剤を塗布する処理と、フォトレジストを塗布する処理と、プリベーク処理とを含む。前処理は、洗浄、乾燥などを含む。密着性向上剤を塗布する処理は、フォトレジストと下地との密着性を高めるための表面改質処理、即ち、界面活性剤の塗布による疎水性化処理であり、HMDS(Hexamethyl−disilazane)などの有機膜をコート又は蒸気処理する。プリベークは、ベーキング(焼成)工程であるが現像後のそれよりもソフトであり、溶剤を除去する。
基板ステージ230は、基板Wを支持する。基板ステージ230は、例えば、リニアモーターを利用してXYZ方向に被処理体Wを移動する。レチクルMSと基板Wは、制御部240により制御され同期して走査される。また、レチクルステージ220と基板ステージ230の位置は、例えば、レーザ干渉計などにより監視され、両者は一定の速度比率で駆動される。図2では光軸OAとX方向を平行としているが、光軸OAを1.2°傾けた配置とし、基板Wの表面及び基板ステージ230の表面をYZ平面と平行になるように装置を構成してもよい。この方が、通常装置では重力方向がX方向なので、従来と同様のステージ技術を応用できるためより望ましい。
制御部240は、図示しないCPU、メモリを有し、露光装置200の動作を制御する。制御部240は、照明装置210、レチクルステージ220(即ち、レチクルステージ220の図示しない移動機構)、基板ステージ230(即ち、基板ステージ230の図示しない移動機構)と電気的に接続されている。CPUは、MPUなど名前の如何を問わずいかなるプロセッサも含み、各部の動作を制御する。メモリは、ROM及びRAMより構成され、露光装置200を動作するファームウェアを格納する。
露光において、照明装置210から射出されたEUV光はレチクルMSを照明し、レチクルMS面上のパターンを基板W面上に結像する。本実施例において、像面は円弧状(リング状)の像面となり、レチクルMSと基板Wを縮小倍率比の速度比でスキャンすることにより、レチクルMSの全面を露光する。
次に、露光装置200を利用した半導体集積回路素子、液晶表示素子等のデバイス製造方法を例示的に説明する。 デバイスは、前述の露光方法を用いて、レチクルに形成されているパターンを基板に露光する工程と、露光された基板を現像する工程と、現像された基板を加工するその他の工程とを経ることによって製造される。その他の工程は、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等の工程である。 以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、反射型投影光学系100全体の結像回数が1回(図7参照)及び3回でも良い。また本実施例の反射型投影光学系100は、共軸系の回転対称な非球面としているが、必ずしもこれに限定する必要はなく、回転非対称な非球面としてもよい。また、収差補正上又は収差調整上、反射型投影光学系100の各反射鏡が完全に共軸系となるように配置される必要はなく、若干の偏芯をさせて収差を改善してもよい。更に、本発明は、ArFエキシマレーザーやF2レーザー等、EUV光以外の波長200nm以下の紫外線用の反射型投影光学系として用いることもでき、大画面をスキャン露光する露光装置にもスキャンしない露光をする露光装置にも適用可能である。
100:本発明に係る反射型投影光学系
110:第1の反射鏡
120:第2の反射鏡
130:第3の反射鏡
140:第4の反射鏡
150:第5の反射鏡
160:第6の反射鏡
200:本発明に係る露光装置
210:照明系
220:レチクルステージ
230:基板ステージ
240:制御部
300:従来技術による物体側での非テレセントリックの形態を示した反射型投影光学系
310:第1の反射鏡
320:第2の反射鏡
330:第3の反射鏡
340:第4の反射鏡
350:第5の反射鏡
360:第6の反射鏡
MS:レチクルク
W:基板
ST:開口絞り
MI:中間像
OA:光軸
110:第1の反射鏡
120:第2の反射鏡
130:第3の反射鏡
140:第4の反射鏡
150:第5の反射鏡
160:第6の反射鏡
200:本発明に係る露光装置
210:照明系
220:レチクルステージ
230:基板ステージ
240:制御部
300:従来技術による物体側での非テレセントリックの形態を示した反射型投影光学系
310:第1の反射鏡
320:第2の反射鏡
330:第3の反射鏡
340:第4の反射鏡
350:第5の反射鏡
360:第6の反射鏡
MS:レチクルク
W:基板
ST:開口絞り
MI:中間像
OA:光軸
Claims (5)
- 物体面に配置されたパターンを反射鏡を介して像面に投影する反射型投影光学系であって、
前記物体面側と前記像面側との両方でテレセントリックであり、かつ、
前記物体面と前記像面とを、シャインプルーフの条件を満たすように、前記反射型投影光学系の光軸に垂直な面に対してそれぞれ傾けて配置したことを特徴とする反射型投影光学系。 - 前記物体面の前記反射型投影光学系の前記光軸に垂直な面に対する傾きの角度をθ(°)、前記反射型投影光学系の前記物体面側の開口数をNAOとしたとき、θが
Sin−1(NAO)<θ<Sin−1(NAO)+5.0
を満足するように、前記物体面を前記反射型投影光学系の前記光軸に垂直な面に対して傾けて配置したことを特徴とする請求項1に記載の反射型投影光学系。 - 前記θが
Sin−1(NAO)<θ<Sin−1(NAO)+3.0
を満足するように、前記物体面を前記反射型投影光学系の前記光軸に垂直な面に対して傾けて配置したことを特徴とする請求項2に記載の反射型投影光学系。 - レチクルのパターンと投影光学系とを介して基板に露光する露光装置であって、
前記投影光学系は、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の反射型投影光学系を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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