JP5327056B2 - 照明装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態に係る露光装置EXでは、各部分照明光学系IL1〜IL7におけるフライアイレンズの射出側近傍に、開口径および開口形状の少なくとも一方が変更可能な絞り機構を設けることで、各部分投影光学系PL1〜PL7に対応する照明光の照明条件を、ひいてはマスクMのパターンの投影条件(投影像の結像条件)を制御することができる。
その絞り機構として、例えば開口径および開口形状の少なくとも一方が異なる複数の絞りを照明光の光路上に選択的に配置可能(切換配置可能)なレボルバー機構あるいはスライダー機構を用いることができる。また、複数の絞りとして、例えば通常照明(コンベンショナル照明)を行うための第1の開口径を有する第1円形開口と、通常照明よりも照明光の開口数(NA)を小さく制限した小σ照明を行うために第1の開口径よりも小さい第2の開口径を有する第2円形開口と、輪帯照明を行うための輪帯状(リング状)の開口を有する輪帯開口とを備えることができる。
本実施形態に係る照明装置ILでは、各部分照明光学系IL1〜IL7のフライアイレンズの入射側近傍における照明光の光量分布が、光軸近傍の光量とその外周部の光量とが略均一な光量分布とされているため、上述のような絞り機構によって、例えば通常照明から小σ照明に切り換えた場合および通常照明から輪帯照明に切り換えた場合の照明光量の低下(すなわち、マスクMおよび基板Pにおける照明光の照度低下)をそれぞれ抑制することができる。言い換えると、図7(a)に実線で示したように光量分布が中抜けした従来の照明装置を用いる場合に比して、絞りを切り換えた場合の照度の低下率を小さくすることができるとともに、小σ照明時の照度と輪帯照明時の照度との照度バランスを均等にすることができる。
なお、本開示は、2008年1月21日に提出された日本国特許出願2008−10286号に含まれた主題に関し、その開示の全ては、ここに参照事項として明白に組み込まれる。
Claims (16)
- 光源手段から発せられる照明光を複数の入射口から受光し、該入射口ごとに受光した各照明光の少なくとも一部を共通の射出口から射出させる光伝送手段と、
前記光源手段からの前記照明光のうち第1部分照明光を光学的にリレーして第1の入射角を有する第1光束とし、複数の前記入射口のうちの第1入射口へ導入する第1リレー光学系と、
前記光源手段からの前記照明光のうち第2部分照明光を光学的にリレーして前記第1の入射角と異なる第2の入射角を有する第2光束とし、複数の前記入射口のうちの第2入射口へ導入する第2リレー光学系と、
を備えたことを特徴とする照明装置。 - 前記第1の入射角は、前記光源手段の発光部における前記照明光の発散角に対応する角度であることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記第1リレー光学系は、
前記発光部の像を前記第1入射口内に投射することを特徴とする請求項2に記載の照明装置。 - 前記第2の入射角は、前記光源手段の発光部の大きさ若しくは該発光部の像の大きさに対応する角度であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記第2リレー光学系は、前記第2部分照明光を、該第2リレー光学系の焦点面に設けられた前記第2入射口へ導入することを特徴とする請求項4に記載の照明装置。
- 前記第2リレー光学系は、前記発光部に対応するフーリエ変換像を前記第2入射口内に投射することを特徴とする請求項4または請求項5に記載の照明装置。
- 前記光源手段は、複数の発光部を有し、
前記第1リレー光学系および前記第2リレー光学系は、それぞれ異なる前記発光部から発せられる前記照明光を前記第1部分照明光および前記第2部分照明光として光学的にリレーすることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の照明装置。 - 前記光源手段は、該光源手段の発光部の像を形成する発光像形成手段を有し、
前記第1リレー光学系および前記第2リレー光学系は、それぞれ前記発光部の像から発せられる前記照明光を光学的にリレーすることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の照明装置。 - 前記発光像形成手段は、前記発光部の近傍に第1焦点を有する楕円鏡を含み、
前記第2入射口は、輪帯状に形成されることを特徴とする請求項8に記載の照明装置。 - 前記第1入射口および前記第2入射口は、光ファイバ束を用いて形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記第2リレー光学系は、前記第2部分照明光を光学的にリレーして前記第1の入射角を有する光束として前記第2入射口へ導入する第3リレー光学系と交換可能に設けられることを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記共通の射出口から射出される前記照明光のうち前記第1入射口を介した前記照明光と前記第2入射口を介した前記照明光との光量比を変化させる光量比調整手段を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記光源手段は、前記第1入射口または前記第2入射口に対応付けられた複数の発光部を有し、
前記光量比調整手段は、前記第1入射口に対応付けられた前記発光部へ供給する電力と、前記第2入射口に対応付けられた前記発光部へ供給する電力との電力比を変化させることを特徴とする請求項12に記載の照明装置。 - 請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の照明装置と、
前記照明装置が射出する照明光によって照明される物体の投影像を感光基板上に形成する投影光学系と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の照明装置が射出する照明光によって物体を照明する照明工程と、
前記照明光によって照明された前記物体の投影像を感光基板上に形成する投影工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の照明装置が射出する照明光によって物体を照明し、該物体の投影像を感光基板に転写する露光工程と、
前記投影像が転写された前記感光基板を現像し、前記投影像に対応する形状の転写パターン層を前記感光基板上に生成する現像工程と、
前記転写パターン層を介して前記感光基板を加工する加工工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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