JP2009093175A - 空間光変調ユニット、照明装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 空間光変調ユニットSM1は、光学系中に配置可能であって、且つ当該光学系の光軸に沿って配置可能である。空間光変調ユニットSM1は、光学系の光軸Axと平行に入射した光を反射する第1の反射面R11と、第1の反射面R11で反射した光を反射する反射型の空間光変調器S1と、空間光変調器S1で反射した光を反射して光学系中に射出する第2の反射面R12と、を備える。空間光変調器S1は、第1の反射面R11で反射した光の当該空間光変調器S1に入射する位置に応じて、その光に空間的な変調を与える。
【選択図】 図4
Description
上記空間光変調ユニットは、入射する位置に応じて、その光に空間的な変調を与える空間光変調器を備える。そのため、例えば二極、四極等の所望の瞳輝度分布を形成することが可能である。また、反射型の空間光変調器の他に第1及び第2の反射面を備える。そのため、所望の光路を形成するように光学系中に配置することが可能である。
図1を参照して、第1実施形態に係る露光装置EA1の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置を概略的に示す構成図である。
図10を参照して、第2実施形態に係る露光装置EA3の構成について説明する。図10は、第2実施形態に係る露光装置を概略的に示す構成図である。
Claims (40)
- 光学系中に配置可能であって、且つ当該光学系の光軸に沿って配置可能な空間光変調ユニットであって、
前記光学系の光軸と平行に入射した光を反射する第1の偏向面と、
前記第1の偏向面で偏向した光を反射する反射型の空間光変調器と、
前記空間光変調器で反射した光を偏向して前記光学系中に射出する第2の偏向面と、を備え、
前記空間光変調器は、前記第1の偏向面で偏向した光の当該空間光変調器に入射する位置に応じて、その光に空間的な変調を与えることを特徴とする空間光変調ユニット。 - 前記第2の偏向面は反射面を有することを特徴とする請求項1に記載の空間光変調ユニット。
- 前記第1の偏向面は反射面を有することを特徴とする請求項2に記載の空間光変調ユニット。
- 前記第1及び第2の偏向面は内面反射面を有することを特徴とする請求項3に記載の空間光変調ユニット。
- 前記第1及び第2の反射面は何れも1つのプリズムの反射面であり、前記空間光変調器が前記プリズムに一体的に取り付けられていることを特徴とする請求項4に記載の空間光変調ユニット。
- 前記プリズムへの入射位置から前記プリズムからの射出位置までの空気換算長と、前記プリズムが前記光学系中に配置されていない場合における前記入射位置に相当する位置から前記射出位置に相当する位置までの空気換算長が同じであることを特徴とする請求項4又は5に記載の空間光変調ユニット。
- 前記空間光変調器は、前記光学系の前記光軸に沿った方向で、前記第1及び第2の偏向面に対して相対的に移動することが可能であることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項記載の空間光変調ユニット。
- 前記第1及び第2の偏向面は表面反射面を有することを特徴とする請求項3に記載の空間光変調ユニット。
- 前記第1及び第2の偏向面は、所定の角度をなして反射部材上に設けられた一対の反射面であることを特徴とする請求項8に記載の光変調ユニット。
- 前記反射部材と前記空間光変調器とは、前記光学系の前記光軸と交差する方向での位置関係を相対的に変更することが可能であることを特徴とする請求項9に記載の空間光変調ユニット。
- 前記第1及び第2の偏向面と前記前記空間光変調器とは、前記光学系の前記光軸と交差する方向での位置関係を相対的に変更することが可能であることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の空間光変調ユニット。
- 前記空間光変調器は、二次元的に配列された複数の反射素子を有し、
前記複数の反射素子はそれぞれ独立に制御可能であることを特徴とする請求項1〜11の何れか一項記載の空間光変調ユニット。 - 前記空間光変調器の前記複数の反射素子はそれぞれ反射面を有し、
前記複数の反射素子の反射面の傾きを独立に制御することが可能であることを特徴とする請求項12記載の空間光変調ユニット。 - 前記空間光変調器は、前記第2の反射面で反射して前記光学系中に射出する光が前記第1の反射面への入射光と平行になるように光を変調できることを特徴とする請求項1〜13の何れか一項記載の空間光変調ユニット。
- 光学系中に配置可能であって、且つ当該光学系の光軸に沿って配置可能な空間光変調ユニットであって、
前記光学系の光軸に対して斜設される第1の反射面と、
前記光学系の光軸に対して斜設される第2の反射面と、
前記第1の反射面と前記第2の反射面との間の光路中に配置可能に設けられた空間光変調器と、を備え、
前記空間光変調器は、前記空間光変調器に入射する光の前記空間光変調器での位置に応じて、その光に空間的な変調を与えることを特徴とする空間光変調ユニット。 - 前記第1の反射面は第1の平面上に位置し、
前記第2の反射面は前記第1の平面と交差する第2の平面上に位置することを特徴とする請求項15に記載の空間光変調ユニット。 - 前記第1及び第2の平面によって形成される稜線は前記第1及び第2の反射面に対して前記空間光変調器側に向けられ、前記第1及び第2の反射面同士のなす角は鈍角であることを特徴とする請求項16に記載の空間光変調ユニット。
- 光源から供給される光によって第1の面を照明する照明装置において、
請求項1〜17の何れか一項記載の空間光変調ユニットを備えることを特徴とする照明装置。 - 所望の瞳輝度分布を形成する回折光学素子をさらに備え、
前記空間光変調器は、前記回折光学素子と共役な位置に配置することが可能であることを特徴とする請求項18に記載の照明装置。 - 所望の瞳輝度分布を形成し、所定の設置面に設置することが可能な回折光学素子をさらに備え、
前記空間光変調器は、前記所定の設置面と光学的に等価な位置に配置することが可能であることを特徴とする請求項18に記載の照明装置。 - 前記回折光学素子は、前記照明装置の光路に対して挿脱可能であることを特徴とする請求項19又は20に記載の照明装置。
- 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明装置において、
二次元的に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する空間光変調器と;
前記照明装置中に配置可能な回折光学素子と;
前記空間光変調器が、その第1位置に配置され得る第1光路と;
前記回折光学素子が、その第2位置に配置され得る第2光路と;
前記光源と前記第1光路との間の光路であって、且つ前記光源と前記第2光路との間の光路である第3光路と;
前記第1光路と前記被照射面との間の光路であって、且つ前記第2光路と前記被照射面との間の光路である第4光路と;
を備え、
前記第1光路と前記第2光路とは切替可能であり、且つ前記第3光路の出口での光軸と前記第4光路の入り口での光軸とが共軸(coaxial)であることを特徴とする照明装置。 - 前記第3光路からの光を前記空間光変調器へ向ける第1光学面と、前記空間光変調器を介した光を前記第4光路へ向ける第2光学面とを備えていることを特徴とする請求項22に記載の照明装置。
- 前記第1光学面と前記第2光学面とは、前記照明装置の光路中に挿脱可能であることを特徴とする請求項23に記載の照明装置。
- 前記第1および第2光学面は、一体的に前記照明装置の光路中に挿脱可能であることを特徴とする請求項24に記載の照明装置。
- 前記空間光変調器は、前記照明装置の光路中に挿脱可能であることを特徴とする請求項22〜25の何れか一項に記載の照明装置。
- 前記空間光変調器は、所定の位置に固定されていることを特徴とする請求項22〜25の何れか一項に記載の照明装置。
- 前記第1光路と前記第2光路とを同時に用いることを特徴とする請求項22〜26の何れか一項に記載の照明装置。
- 前記第1および第2光学面は反射面を有することを特徴とする請求項23〜27の何れか一項に記載の照明装置。
- 前記空間光変調器は、二次元的に配列された複数の反射素子を有し、
前記複数の反射素子はそれぞれ独立に制御可能であることを特徴とする請求項22〜29の何れか一項記載の照明装置。 - 前記空間光変調器の前記複数の反射素子はそれぞれ反射面を有し、
前記複数の反射素子の反射面の傾きを独立に制御することが可能であることを特徴とする請求項30記載の照明装置。 - 第1の面の像を第2の面に投影する露光装置であって、
前記第1の面を照明する請求項18〜31の何れか一項に記載の照明装置と、
前記照明装置によって前記第1の面上に形成される照明領域からの光に基づいて、前記第2の面上に前記第1の面の像を形成する投影光学系と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 第1の面の像を第2の面に投影する露光装置であって、
前記第1の面を照明する照明装置と、
請求項1〜17の何れか一項に記載の空間光変調ユニットと、
前記照明装置によって前記第1の面上に形成される照明領域からの光に基づいて、前記第2の面上に前記第1の面の像を形成する投影光学系と、を備え、
前記空間光変調ユニットの空間光変調器は前記第1の面に配置されることを特徴とする露光装置。 - デバイスの製造方法であって、
感光性基板を準備する工程と、
請求項32又は33に記載の露光装置の前記第2の面に前記感光性基板を配置して、前記第1の面に位置する所定のパターンの像を前記感光性基板上に投影露光する工程と、
前記マスクのパターンの前記像が投影された前記感光性基板を現像し、前記パターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程と、
を備えることを特徴とするデバイスの製造方法。 - 光源から供給される光によって第1の面を照明する照明装置において、
請求項1〜17の何れか一項に記載の空間光変調ユニットと、
該空間光変調ユニットの空間光変調器を経由しない光によって第1の瞳輝度分布を形成する回折光学素子と、を備え、
前記空間光変調ユニットの空間光変調器からの光によって、前記第1の瞳輝度分布と少なくとも一部が重畳する第2の瞳輝度分布を形成することを特徴とする照明装置。 - 光源から供給される光によって第1の面を照明する照明装置において、
入射する位置に応じてその光に空間的な変調を与える空間光変調器を備える空間光変調ユニットと、
該空間光変調ユニットの空間光変調器を経由しない光によって第1の瞳輝度分布を形成する回折光学素子と、を備え、
前記空間光変調ユニットの空間光変調器からの光によって、前記第1の瞳輝度分布と少なくとも一部が重畳する第2の瞳輝度分布を形成することを特徴とする照明装置。 - 前記空間光変調器は、二次元的に配列された複数の反射素子を有し、
前記複数の反射素子はそれぞれ独立に制御可能であることを特徴とする請求項36記載の照明装置。 - 前記空間光変調器の前記複数の反射素子はそれぞれ反射面を有し、
前記複数の反射素子の反射面の傾きを独立に制御することが可能であることを特徴とする請求項37記載の照明装置。 - 第1の面の像を第2の面に投影する露光装置であって、
前記第1の面を照明する請求項36に記載の照明装置と、
前記照明装置によって前記第1の面上に形成される照明領域からの光に基づいて、前記第2の面上に前記第1の面の像を形成する投影光学系と、を備えることを特徴とする露光装置。 - デバイスの製造方法であって、
感光性基板を準備する工程と、
請求項39に記載の露光装置の前記第2の面に前記感光性基板を配置して、前記第1の面に位置する所定のパターンの像を前記感光性基板上に投影露光する工程と、
前記マスクのパターンの前記像が投影された前記感光性基板を現像し、前記パターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程と、
を備えることを特徴とするデバイスの製造方法。
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