JP6401510B2 - 露光装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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- G03F7/70716—Stages
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Description
第2開口部分144は、第1開口部分142の走査方向に直交する第1方向(X軸方向)に沿った辺Sxから外側に走査方向に平行な第2方向(Y軸方向)に突き出た複数の第1開口144aを含む鋸歯形状の開口部分である。また、複数の第1開口144aのそれぞれのX軸方向における長さは、第1開口部分142のX軸方向に沿った辺Sxから外側にY軸方向に離れるにつれて小さくなっている(即ち、Y軸方向の距離に応じて変化している)。
このような条件を満たすことで、鋸歯形状の第2開口部分144が空間的にぼけた形状となって基板5に転写される効果を向上させることができる。
Claims (10)
- マスクと基板とを走査方向に走査しながら前記マスクのパターンを投影光学系を介して前記基板に転写する走査型の露光装置であって、
前記マスクを保持して移動するマスクステージ及び前記基板を保持して移動する基板ステージの少なくとも一方に設けられ、前記投影光学系から前記基板に入射するフレア光の影響を低減するための絞りを有し、
前記絞りの開口は、前記基板上の1つのショット領域に対応する第1開口部分と、前記第1開口部分の前記走査方向に直交する第1方向に沿った辺から前記走査方向に平行な第2方向に突き出た複数の第1開口を含む鋸歯形状の第2開口部分と、を含み、
前記複数の第1開口のそれぞれの前記第1方向における長さは、前記第1開口部分の前記第1方向に沿った辺から外側へ前記第2方向に離れるにつれて小さくなることを特徴とする露光装置。 - 前記絞りの開口は、前記第1開口部分の前記第2方向に沿った辺から前記第1方向に突き出た複数の第2開口を含む鋸歯形状の第3開口部分を含み、
前記複数の第2開口のそれぞれの前記第2方向における長さは、前記第1開口部分の前記第2方向に沿った辺から外側へ前記第1方向に離れるにつれて小さくなることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記複数の第1開口の前記第1方向のピッチは、前記絞りに入射する光線であって前記絞り面上でデフォーカスされた光線の径よりも小さいことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記絞りは、前記マスクステージに設けられ、
前記投影光学系の物体面から前記絞りまでの距離をZ、前記投影光学系の物体面側の開口数をNA、前記絞りに入射する光線であって前記絞り面上でデフォーカスされた光線の径をEAとすると、
EA=NA×Z×2
を満たすことを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 前記絞りは、前記基板ステージに設けられ、
前記投影光学系の像面から前記絞りまでの距離をZ、前記投影光学系の像面側の開口数をNA、前記絞りに入射する光線であって前記絞り面上でデフォーカスされた光線の径をEAとすると、
EA=NA×Z×2
を満たすことを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 前記ショット領域の大きさに応じて、前記絞りの開口の大きさを可変とする可変部を更に有することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記フレア光は、前記基板上のショット領域のうち、前記パターンを転写しようとする対象ショット領域に対して前記第2方向に隣接するショット領域に入射することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の露光装置。
- マスクと基板とを走査方向に走査しながら前記マスクのパターンを投影光学系を介して前記基板に転写する走査型の露光装置であって、
前記マスクは、前記パターンが形成されたパターン面を保護する保護膜を有し、
前記保護膜は、前記パターン面に対応する第1部分と、前記第1部分の前記走査方向に直交する第1方向に沿った辺から前記走査方向に平行な第2方向に突き出た第2部分と、を含み、
前記第2部分の前記第2方向に沿った透過率分布は、前記第1部分の前記第1方向に沿った辺から外側へ前記第2方向に離れるにつれて透過率が減少する分布であることを特徴とする露光装置。 - マスクと基板とを走査方向に走査しながら前記マスクのパターンを投影光学系を介して前記基板に転写する走査型の露光装置であって、
前記マスクの前記パターンが形成されたパターン面を保護する保護膜を保持する保持部材に設けられ、前記投影光学系から前記基板に入射するフレア光の影響を低減するための絞りを有し、
前記絞りの開口は、前記パターン面に対応する第1開口部分と、前記第1開口部分の前記走査方向に直交する第1方向に沿った辺から前記走査方向に平行な第2方向に突き出た複数の第1開口を含む鋸歯形状の第2開口部分と、を含み、
前記複数の第1開口のそれぞれの前記第1方向における長さは、前記第1方向に沿った辺から外側へ前記第2方向に離れるにつれて小さくなることを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光した前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014121850A JP6401510B2 (ja) | 2014-06-12 | 2014-06-12 | 露光装置及び物品の製造方法 |
US14/736,423 US9720333B2 (en) | 2014-06-12 | 2015-06-11 | Exposure apparatus and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014121850A JP6401510B2 (ja) | 2014-06-12 | 2014-06-12 | 露光装置及び物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016001710A JP2016001710A (ja) | 2016-01-07 |
JP2016001710A5 JP2016001710A5 (ja) | 2017-07-20 |
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Family
ID=54836066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014121850A Active JP6401510B2 (ja) | 2014-06-12 | 2014-06-12 | 露光装置及び物品の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9720333B2 (ja) |
JP (1) | JP6401510B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0477744A (ja) * | 1990-07-19 | 1992-03-11 | Canon Inc | 露光装置 |
US6778285B1 (en) * | 2000-01-21 | 2004-08-17 | Wafertech, Inc. | Automatic in situ pellicle height measurement system |
JP3679736B2 (ja) * | 2001-07-04 | 2005-08-03 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法、デバイス製造方法、並びに、デバイス |
JP2006222222A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Canon Inc | 投影光学系及びそれを有する露光装置 |
JP5058847B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2012-10-24 | 富士フイルム株式会社 | 光学フィルタ、及びそれを用いた液晶表示装置 |
JP4310349B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2009-08-05 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP4240151B2 (ja) | 2008-03-27 | 2009-03-18 | トヨタ自動車株式会社 | 駆動装置およびその運転制御方法 |
JP2010087392A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Nikon Corp | 光学系、露光装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
2014
- 2014-06-12 JP JP2014121850A patent/JP6401510B2/ja active Active
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2015
- 2015-06-11 US US14/736,423 patent/US9720333B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150362845A1 (en) | 2015-12-17 |
JP2016001710A (ja) | 2016-01-07 |
US9720333B2 (en) | 2017-08-01 |
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