JP2016191935A5 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明は、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法に係り、更に詳しくは、物体を光学系に対して相対駆動させ走査露光を行う露光装置、前記露光装置を用いるフラットパネルディスプレイの製造方法、及び前記露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
本発明の第１の態様によれば、物体を光学系に対して相対駆動させ走査露光を行う露光装置であって、前記物体を非接触支持し第１方向へ移動可能な第１支持部と、非接触支持された前記物体を保持し、前記第１方向と前記第１方向に交差する第２方向とへ移動可能な保持部と、前記第１方向に関して、前記第１支持部と前記保持部とをそれぞれ駆動させ、前記第２方向に関して、前記物体を保持する前記保持部を前記第１支持部に対して相対駆動させる制御部と、を備える露光装置が、提供される。
本発明の第２の態様によれば、本発明の露光装置を用いて前記基板を露光することと、露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法が、提供される。
本発明の第３の態様によれば、本発明の露光装置を用いて前記物体を露光することと、露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。
以上説明したように、本発明の露光装置は、物体に所定のパターンを形成するのに適している。また、本発明のフラットパネルディスプレイの製造方法は、フラットパネルディスプレイの製造に適している。また、本発明のデバイス製造方法は、マイクロデバイスの生産に適している。
Claims (11)
- 物体を光学系に対して相対駆動させ走査露光を行う露光装置であって、
前記物体を非接触支持し第１方向へ移動可能な第１支持部と、
非接触支持された前記物体を保持し、前記第１方向と前記第１方向に交差する第２方向とへ移動可能な保持部と、
前記第１方向に関して、前記第１支持部と前記保持部とをそれぞれ駆動させ、前記第２方向に関して、前記物体を保持する前記保持部を前記第１支持部に対して相対駆動させる制御部と、を備える露光装置。 - 前記第２方向に関して前記第１支持部に並んで配置され、前記物体を非接触支持可能な第２支持部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１及び第２支持部の一方の支持部により支持された前記物体が他方の支持部に支持されるように前記保持部を前記第２方向へ駆動させる請求項１に記載の露光装置。 - 前記第１支持部は、前記物体の下面と前記第１支持部との間に空気を供給する複数の第１供給孔を有する請求項１又は２に記載の露光装置。
- 前記物体を保持する前記保持部は、前記走査露光時に前記第２方向へ駆動する請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記第１支持部と前記保持部とを前記第１方向へ駆動し前記物体内の前記走査露光の対象領域を変更する請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部は、前記支持部よりも上方に設けられる請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記走査露光時に前記第１方向へ前記保持部を駆動する請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部に設けられ、前記第１および第２方向に関する前記保持部の位置を計測可能な計測部を更に備え、
前記制御部は、前記計測部の出力に基づいて前記保持部の前記第１および第２方向の位置が制御する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項９に記載の露光装置を用いて前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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