JP2019016801A5 - 物体移動方法、物体移動装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、物体移動方法、物体移動装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法に関する。

本発明の第１の態様によれば、物体の第１面に対向するように配置され、前記第１面側から前記物体を非接触支持する第１支持装置と、前記物体の第２面に対向するように配置され、前記第２面側から前記物体を非接触支持する第２支持装置と、前記物体が前記第１支持装置および前記第２支持装置により非接触支持された状態で、前記第１支持装置と前記第２支持装置とに対して、前記物体を相対移動させる駆動部と、を備える物体移動装置が、提供される。

本発明の第２の態様によれば、第１の態様に係る物体移動装置と、前記保持装置に保持された前記別の物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置が、提供される。

本発明の第３の態様によれば、第２の態様に係る露光装置を用いて前記物体を露光することと、露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法が、提供される。

本発明の第４の態様によれば、第２の態様に係る露光装置を用いて前記物体を露光することと、露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。
本発明の第５の態様によれば、物体の第１面と第２面とをそれぞれ非接触支持することと、前記物体が非接触支持された状態で、前記物体を移動させることと、含む物体移動方法が、提供される。

Claims (19)

1. 物体の第１面に対向するように配置され、前記第１面側から前記物体を非接触支持する第１支持装置と、
   前記物体の第２面に対向するように配置され、前記第２面側から前記物体を非接触支持する第２支持装置と、
   前記物体が前記第１支持装置および前記第２支持装置により非接触支持された状態で、前記第１支持装置と前記第２支持装置とに対して、前記物体を相対移動させる駆動部と、を備える物体移動装置。
2. 前記第１支持装置は、前記物体が前記第１支持装置と前記第２支持装置とに非接触支持されるように、前記第２支持装置に対して相対移動する請求項１に記載の物体移動装置。
3. 前記物体を保持する保持装置を備え、
   前記第１支持装置は、前記保持装置上の前記物体を非接触支持する請求項１又は２に記載の物体移動装置。
4. 前記第１支持装置は、前記第１面側から非接触支持した状態で、前記物体を前記保持装置から離間させる請求項３に記載の物体移動装置。
5. 前記第２支持装置は、前記物体とは異なる別の物体を支持し、
   前記駆動部は、前記第１支持装置により前記物体が離間された前記保持装置に対して、前記第２支持装置上の前記別の物体を移動させる請求項４に記載の物体移動装置。
6. 前記駆動部は、前記物体と前記保持装置との間の位置に前記別の物体を挿入する請求項５に記載の物体移動装置。
7. 前記保持装置は、前記第２支持装置に近づくように移動し、
   前記駆動部は、前記保持装置の表面と前記第２支持装置との表面とに沿うように、前記別の物体を移動させる請求項５又は６に記載の物体移動装置。
8. 前記保持装置は、上下方向に関して、前記第１支持装置と重なる位置に移動する請求項７に記載の物体移動装置。
9. 前記保持装置は、前記別の物体を保持した状態で、前記第２支持装置から離れる方向へ移動する請求項５から８の何れか一項に記載の物体移動装置。
10. 請求項５〜９のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
    前記保持装置に保持された前記別の物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。
11. 前記第１支持装置と前記第２支持装置とに非接触支持される前記物体は、前記パターン形成装置により前記所定のパターンが形成された物体である請求項１０に記載の露光装置。
12. 前記物体及び前記別の物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項１０又は１１に記載の露光装置。
13. 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が５００ｍｍ以上である請求項１２に記載の露光装置。
14. 請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
    露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。
15. 請求項１０に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
    露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
16. 物体の第１面と第２面とをそれぞれ非接触支持することと、
    前記物体が非接触支持された状態で、前記物体を移動させることと、含む物体移動方法。
17. 前記非接触支持することでは、保持装置上の前記物体を非接触支持する請求項１６に記載の物体移動方法。
18. 前記移動させることでは、前記物体が離間された前記保持装置に対して、前記物体とは異なる別の物体を移動させる請求項１７に記載の物体移動方法。
19. 前記移動させることでは、前記物体と前記保持装置との間の位置に前記別の物体を挿入する請求項１８に記載の物体移動方法。