JP2014103171A5 - - Google Patents
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Description
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての投影光学系は、物体面のパターンを像面に投影する投影光学系であって、前記投影光学系の光軸の方向に並んだ２枚の第１光学部材を含み、前記２枚の第１光学部材により第１方向の前記投影光学系の投影倍率、および、前記第１方向に直交する第２方向の前記投影光学系の投影倍率をそれぞれ調整可能な第１光学系と、前記光軸の方向に並んだ２枚の第２光学部材を含み、前記２枚の第２光学部材により前記第１方向の投影倍率および前記第２方向の投影倍率のうち少なくとも一方を調整可能な第２光学系と、を含み、前記２枚の第１光学部材において互いに対面する面には、前記光軸に直交する方向における前記２枚の第１光学部材の位置を相対的にずらすことにより、前記第１方向の投影倍率および前記第２方向の投影倍率が変化する第１形状がそれぞれ形成され、前記第１光学系は、前記物体面および前記像面のうち一方と前記投影光学系の瞳との間の光路に配置され、前記第２光学系は、前記物体面および前記像面のうち他方と前記瞳との間の光路に配置されている、ことを特徴とする。
Claims (10)
- 物体面のパターンを像面に投影する投影光学系であって、
前記投影光学系の光軸の方向に並んだ２枚の第１光学部材を含み、前記２枚の第１光学部材により第１方向の前記投影光学系の投影倍率、および、前記第１方向に直交する第２方向の前記投影光学系の投影倍率をそれぞれ調整可能な第１光学系と、
前記光軸の方向に並んだ２枚の第２光学部材を含み、前記２枚の第２光学部材により前記第１方向の投影倍率および前記第２方向の投影倍率のうち少なくとも一方を調整可能な第２光学系と、
を含み、
前記２枚の第１光学部材において互いに対面する面には、前記光軸に直交する方向における前記２枚の第１光学部材の位置を相対的にずらすことにより、前記第１方向の投影倍率および前記第２方向の投影倍率が変化する第１形状がそれぞれ形成され、
前記第１光学系は、前記物体面および前記像面のうち一方と前記投影光学系の瞳との間の光路に配置され、
前記第２光学系は、前記物体面および前記像面のうち他方と前記瞳との間の光路に配置されている、ことを特徴とする投影光学系。 - 前記第１形状は、前記光軸に直交する面上において互いに直交する方向をｘ方向およびｙ方向とした場合、ｘの３次の項およびｙの３次の項を含む形状である、ことを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
- 前記２枚の第２光学部材において互いに対面する面には、前記光軸に直交する方向における前記２枚の第２光学部材の位置を相対的にずらすことにより、前記第１方向の投影倍率および前記第２方向の投影倍率のうち少なくとも一方が変化する第２形状がそれぞれ形成されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
- 前記第２形状は、前記光軸に直交する面上において互いに直交する方向をｘ方向およびｙ方向とした場合、ｘの３次の項およびｙの３次の項のうち少なくとも一方を含む形状である、ことを特徴とする請求項３に記載の投影光学系。
- 前記２枚の第１光学部材のうち少なくとも一方を、前記光軸に直交する方向に駆動する第１駆動部と、
前記２枚の第２光学部材のうち少なくとも一方を、前記光軸に直交する方向に駆動する第２駆動部と、
前記投影光学系の光学性能が目標性能となるように前記第１駆動部および前記第２駆動部を制御する制御部と、
を更に含むことを特徴とする請求項３又は４に記載の投影光学系。 - 前記２枚の第２光学部材において互いに対面する面には、前記光軸の方向における前記２枚の第２光学部材の位置を相対的にずらすことにより、前記第１方向の投影倍率および前記第２方向の投影倍率のうち少なくとも一方が変化するアナモルフィック形状がそれぞれ形成されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
- 前記２枚の第１光学部材のうち少なくとも一方を、前記光軸に直交する方向に駆動する第１駆動部と、
前記２枚の第２光学部材のうち少なくとも一方を、前記光軸の方向に駆動する第２駆動部と、
前記投影光学系の光学性能が目標性能となるように前記第１駆動部および前記第２駆動部を制御する制御部と、
を更に含むことを特徴とする請求項６に記載の投影光学系。 - 前記第１光学系は、前記物体面と前記瞳との間の光路に配置され、
前記第２光学系は、前記瞳と前記像面との間の光路に配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の投影光学系。 - 請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の投影光学系を有し、
前記投影光学系を用いて前記物体面に配置されたマスクのパターンを前記像面に配置された基板に投影し、前記基板を露光することを特徴とする露光装置。 - 請求項９に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記ステップで露光された前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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