JP2017116769A5 - - Google Patents

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（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係る検出装置を含む露光装置の概略図である。露光装置は、照明光学系３と、投影光学系４と、基板ステージ７とを備える。照明光学系３は、露光装置本体２に対して不図示のアライメント機構により位置合わせされた原版１を照明する。原版１は、例えば、露光されるべき微細なパターン（例えば回路パターン）が描画されたガラス製の原版である。基板ステージ７は、基板５を保持する基板保持部６を備え、投影光学系４の光軸（Ｚ軸）に垂直なＸＹ平面上を移動する。基板５は、例えば、ガラス基板である。原版１のパターンは、投影光学系４を介して基板５上の露光領域に転写される。基板ステージ７は、ＸＹ方向だけでなく、Ｚ方向にも可動で、基板５と原版１の合焦のための駆動系ともなる。また、基板ステ−ジ７上には、ミラー８が載置され、レ−ザ干渉計９を用いてＸ方向の駆動が制御されている。Ｙ方向についても不図示であるが同様の構成がとられており、ＸＹ平面内での精密な駆動制御がなされている。
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