JP2016167024A5 - - Google Patents
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Claims (8)
- 放電ランプから発光された光を用いて被照明領域を照明する照明光学系であって、
前記放電ランプから発光された光を集光する集光鏡と、
前記集光鏡から前記被照明領域までの光路中に配置され、多角形の断面形状を有する内面反射型のオプティカルインテグレータと、
前記集光鏡から前記オプティカルインテグレータに向かう光路を横切って前記放電ランプの電極に接続される電源ケーブルと、
を有し、
前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記電源ケーブルの影が前記多角形の各辺に対して非平行かつ非垂直になるように前記電源ケーブルが配置されていることを特徴とする照明光学系。 - 前記断面形状は四角形であることを特徴とする請求項１に記載の照明光学系。
- 前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記電源ケーブルの影が前記四角形の各辺に対して４５度になるように前記電源ケーブルが配置されていることを特徴とする請求項２に記載の照明光学系。
- 前記放電ランプを冷却するための冷却ノズルを更に有し、
前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記冷却ノズルの影が前記電源ケーブルの影と重複するように前記冷却ノズルが配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の照明光学系。 - 前記放電ランプを冷却するための冷却ノズルを更に有し、
前記冷却ノズルは、オプティカルインテグレータの入射面において、前記冷却ノズルの影が前記電源ケーブルの影に対して９０度又は１８０度になるように前記冷却ノズルが配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の照明光学系。 - 放電ランプから発光された光を用いて被照明領域を照明する照明光学系であって、
前記放電ランプから発光された光を集光する集光鏡と、
前記集光鏡から前記被照明領域までの光路中に配置され、多角形の断面形状を有する内面反射型のオプティカルインテグレータと、
前記集光鏡から前記オプティカルインテグレータに向かう光路を横切って配置された、前記放電ランプを冷却するための冷却ノズルと、
を有し、
前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記冷却ノズルの影が前記多角形の各辺に対して非平行かつ非垂直になるように前記冷却ノズルが配置されていることを特徴とする照明光学系。 - マスクを照明する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の照明光学系と、
前記照明されたマスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系と、
を有する露光装置。 - 請求項７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含み、前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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