JP2016167024A - 照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放電ランプから発光された光を用いて被照明領域を照明する照明光学系が提供される。照明光学系は、放電ランプから発光された光を集光する集光鏡と、集光鏡から被照明領域までの光路中に配置され、多角形の断面形状を有する内面反射型のオプティカルインテグレータと、集光鏡からオプティカルインテグレータに向かう光路を横切って放電ランプの電極に接続される電源ケーブルと有する。オプティカルインテグレータの入射面において、電源ケーブルの影が上記多角形の各辺に対して非平行かつ非垂直になるように電源ケーブルが配置される。
【選択図】 図1
Description
図1は、照明光学系101を有する露光装置100の構成を示す概略図である。露光装置100は、例えば、半導体デバイスの製造工程におけるリソグラフィー工程で用いられるものであり、走査露光方式にて、レチクルR(マスク)に形成されているパターンの像をウエハW(基板)上に露光(転写)する投影型露光装置である。なお、図1以下の各図では、ウエハWの法線方向に沿ってZ軸をとり、ウエハW面と平行な面内で互いに垂直な方向にX軸とY軸をとっている。露光装置100は、照明光学系101と、レチクルステージ102と、投影光学系103と、ウエハステージ104とを備える。
本発明の実施形態に係るデバイス製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (8)
- 放電ランプから発光された光を用いて被照明領域を照明する照明光学系であって、
前記放電ランプから発光された光を集光する集光鏡と、
前記集光鏡から前記被照明領域までの光路中に配置され、多角形の断面形状を有する内面反射型のオプティカルインテグレータと、
前記集光鏡から前記オプティカルインテグレータに向かう光路を横切って前記放電ランプの電極に接続される電源ケーブルと、
を有し、
前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記電源ケーブルの影が前記多角形の各辺に対して非平行かつ非垂直になるように前記電源ケーブルが配置されていることを特徴とする照明光学系。 - 前記断面形状は四角形であることを特徴とする請求項1に記載の照明光学系。
- 前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記電源ケーブルの影が前記四角形の各辺に対して45度になるように前記電源ケーブルが配置されていることを特徴とする請求項2に記載の照明光学系。
- 前記放電ランプを冷却するための冷却ノズルを更に有し、
前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記冷却ノズルの影が前記電源ケーブルの影と重複するように前記冷却ノズルが配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の照明光学系。 - 前記放電ランプを冷却するための冷却ノズルを更に有し、
前記冷却ノズルは、オプティカルインテグレータの入射面において、前記冷却ノズルの影が前記電源ケーブルの影に対して90度又は180度になるように前記冷却ノズルが配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の照明光学系。 - 放電ランプから発光された光を用いて被照明領域を照明する照明光学系であって、
前記放電ランプから発光された光を集光する集光鏡と、
前記集光鏡から前記被照明領域までの光路中に配置され、多角形の断面形状を有する内面反射型のオプティカルインテグレータと、
前記集光鏡から前記オプティカルインテグレータに向かう光路を横切って配置された、前記放電ランプを冷却するための冷却ノズルと、
を有し、
前記オプティカルインテグレータの入射面において、前記冷却ノズルの影が前記多角形の各辺に対して非平行かつ非垂直になるように前記電源ケーブルが配置されていることを特徴とする照明光学系。 - マスクを照明する請求項1乃至6のいずれか1項に記載の照明光学系と、
前記照明されたマスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系と、
を有する露光装置。 - 請求項7に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むデバイス製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015047413A JP6494339B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法 |
TW105104765A TWI636335B (zh) | 2015-03-10 | 2016-02-18 | 照明光學系統、曝光設備及製造物品的方法 |
KR1020160024852A KR101985059B1 (ko) | 2015-03-10 | 2016-03-02 | 조명 광학계, 노광 장치, 및 물품 제조 방법 |
CN201610126205.3A CN105974742B (zh) | 2015-03-10 | 2016-03-07 | 照明光学系统、曝光设备以及制造物品的方法 |
US15/064,771 US9946056B2 (en) | 2015-03-10 | 2016-03-09 | Illumination optical system, exposure apparatus, and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015047413A JP6494339B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016167024A true JP2016167024A (ja) | 2016-09-15 |
JP2016167024A5 JP2016167024A5 (ja) | 2018-02-08 |
JP6494339B2 JP6494339B2 (ja) | 2019-04-03 |
Family
ID=56887738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015047413A Active JP6494339B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 照明光学系、露光装置、及び物品の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9946056B2 (ja) |
JP (1) | JP6494339B2 (ja) |
KR (1) | KR101985059B1 (ja) |
CN (1) | CN105974742B (ja) |
TW (1) | TWI636335B (ja) |
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EP0658811B1 (de) | 1993-12-13 | 1998-06-17 | Carl Zeiss | Beleuchtungseinrichtung für eine Projektions-Mikrolithographie-Belichtungsanlage |
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JP4640688B2 (ja) | 2000-07-10 | 2011-03-02 | 株式会社ニコン | 照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置 |
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DE102005004216A1 (de) | 2005-01-29 | 2006-08-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Beleuchtungssystem, insbesondere für eine Projektionsbelichtungsanlage in der Halbleiterlithographie |
-
2015
- 2015-03-10 JP JP2015047413A patent/JP6494339B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-18 TW TW105104765A patent/TWI636335B/zh active
- 2016-03-02 KR KR1020160024852A patent/KR101985059B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-07 CN CN201610126205.3A patent/CN105974742B/zh active Active
- 2016-03-09 US US15/064,771 patent/US9946056B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101985059B1 (ko) | 2019-05-31 |
KR20160110113A (ko) | 2016-09-21 |
TW201633010A (zh) | 2016-09-16 |
TWI636335B (zh) | 2018-09-21 |
US20160266497A1 (en) | 2016-09-15 |
US9946056B2 (en) | 2018-04-17 |
CN105974742B (zh) | 2019-05-10 |
JP6494339B2 (ja) | 2019-04-03 |
CN105974742A (zh) | 2016-09-28 |
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