JP2015191998A - 固体光源、照明光学系、および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この固体光源は、ベース部材に配置される発光素子と、発光素子の発散光の一部を反射する第1反射部と、第1反射部からベース部材に向かう光をさらに反射する第2反射部と、発散光の一部および第2反射部により反射した光を通過させる開口部とを備え、第1反射部からの反射光のベース部材の法線に対する角度φは、第1反射部への入射光の該法線に対する角度θよりも小さい。
【選択図】図1
Description
次に、本発明の第2実施形態に係る固体光源の構成について説明する。第1実施形態では、発光素子の発散光の一部を反射する第1反射部として、回転楕円形状の反射鏡を用いた場合を例に挙げたが、本実施形態では、第1反射部として円錐台形状の反射鏡を用いた場合を例に挙げる。図5は、本実施形態の固体光源の構成を示す概略図である。図5において、図1に示す第1実施形態に係る固体光源110の構成要素と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の反射鏡114は、円錐台形状であり、その上面と底面とを開放し、上面を開口部とする形状を有する。この反射鏡114の発光素子側の側面には、反射膜が形成される。第1実施形態同様、本実施形態の反射鏡114の角度は、反射鏡114からの反射光と実装基板112に対する垂直方向とがなす角φが、入射光と該垂直方向との角度θよりも小さくなるよう設定されている。この構成により、本実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を有し、さらに、反射鏡114と実装基板112との間が接合されていないため、発光素子111近傍の熱をより発散することができる。
次に、本発明の第3実施形態に係る固体光源の構成について説明する。本実施形態では、の発光素子の発散光の一部を反射する第1反射部として、板状の部材に円錐台形状の穴を開け、形成した反射鏡115を用いた場合を例に挙げる。図6は、本実施形態の固体光源110の構成を示す概略図である。図6において、図1に示す第1実施形態に係る固体光源110の構成要素と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の反射鏡115は、板状の部材に円錐台形状の穴を開けることにより形成され、その円錐台形の上面を開口部とする形状を有し、その円錐台形の側面には、反射膜が形成される。第1実施形態同様、本実施形態の反射鏡115の角度は、反射鏡115からの反射光と実装基板112に対する垂直方向とがなす角φが、入射光と該垂直方向との角度θよりも小さくなるよう設定されている。この構成により、本実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を有し、さらに、反射鏡115と実装基板112との間が接合されていないため、発光素子111近傍の熱をより発散することができる。
次に、本発明の第4実施形態に係る固体光源の構成について説明する。本実施形態では、上述したように実装基板112の実装面上に第2反射部を別体で設けた場合の構成例を挙げる。図7は、本実施形態の固体光源110の構成を示す概略図である。図7において、図1に示す第1実施形態に係る固体光源110の構成要素と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。第1実施形態の実装基板112の実装面は、高い反射率を有していたのに対し、本実施形態の実装基板112は、光を反射する構成を有さない。そこで、本実施形態の固体光源110は、実装基板112上に、第2反射部として反射部材116を備える。反射鏡113から実装基板へ向かう光は、反射部材116で反射され、開口部を通過し、集光される。第1実施形態同様、本実施形態の反射鏡113の角度は、反射鏡113からの反射光と実装基板112に対する垂直方向とがなす角φが、入射光と該垂直方向との角度θよりも小さくなるよう設定されている。この構成により、本実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を有し、さらに、製造の点から実装基板112の反射率を高めるができない場合にも、第1実施形態同様の効果を得ることができる。
次に、本発明の第5実施形態に係る固体光源の構成について説明する。上述した各実施形態では、1つの光学素子を設けた場合を例に挙げて説明したが、本実施形態では、発光素子を複数配置する場合を例に挙げる。図8は、本実施形態の固体光源110の構成を示す概略図である。図8において、図1に示す第1実施形態に係る固体光源110の構成要素と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の固体光源110は、2つの発光素子111を有し、固体光源110の発光光量を増加させている。第1実施形態同様、本実施形態の反射鏡115の角度は、反射鏡115からの反射光と実装基板112に対する垂直方向とがなす角φが、入射光と該垂直方向との角度θよりも、小さくなるよう設定されている。そのため、本実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を有し、さらに、増加した光量を効率的に集光することができる。なお、本実施形態においては、発光素子111を2つ有する構成としたが、これに限定されるものではなく、3つ以上の発光素子111を有する構成としてもよい。
以上に説明した固体光源は、懐中電灯、自転車・自動車のライト、プリンタまたは液晶プロジェクタ等の機器の照明光学系において有用である。ここでは、一例として、露光装置の照明光学系への適用例を説明する。なお、露光装置は、半導体デバイスや液晶表示装置等の製造工程であるリソグラフィ工程において、例えば、(極端)紫外光を用いて基板(上のレジスト)に(潜像)パターンを形成する装置である。
112 実装基板
113 反射鏡
Claims (7)
- ベース部材に配置される発光素子と、
前記発光素子の発散光の一部を反射する第1反射部と、
前記第1反射部から前記ベース部材に向かう光をさらに反射する第2反射部と、
前記発散光の一部および前記第2反射部により反射した光を通過させる開口部と、を備え、
前記第1反射部からの反射光の前記ベース部材の法線に対する角度は、前記第1反射部への入射光の前記法線に対する角度よりも小さいことを特徴とする固体光源。 - 前記第1反射部は、前記ベース部材に対向して配置され、前記開口部を囲む回転楕円形状の反射面を有することを特徴とする請求項1に記載の固体光源。
- 前記第1反射部は、前記ベース部材に対向して配置され、前記開口部を囲む円錐台形状の反射面を有することを特徴とする請求項1に記載の固体光源。
- 前記発光素子は、複数配置されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の固体光源。
- 前記固体光源は、前記第1反射部と前記第2反射部で形成される空間を冷却する冷却装置をさらに備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の固体光源。
- 請求項1〜5に記載の固体光源を有し、前記固体光源からの光を用いて被照明面を照明することを特徴とする照明光学系。
- 基板を露光する露光装置であって、
原版を照明するように構成された請求項6に記載の照明光学系と、
前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
を備えることを特徴とする露光装置。
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2014
- 2014-03-28 JP JP2014067499A patent/JP2015191998A/ja active Pending
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