JP7154603B2 - 露光装置用光源 - Google Patents
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Description
複数のLEDランプと、複数の前記LEDランプを並べて配置するためのフレームとを備える露光装置用光源であって、
前記LEDランプは、
第1LEDと、第2LEDと、第3LEDと、
集光レンズと、
ダイクロイックミラーとを備えており、
前記集光レンズは、前記第1LEDの光軸上に配置されており、
前記ダイクロイックミラーは、前記第1LEDの光軸上であって、かつ、前記第1LEDと前記集光レンズとの間に配置されており、
前記第2LEDは、前記第2LEDの光軸が前記第1LEDの光軸と交差する位置に配置されており、
前記ダイクロイックミラーは、前記第1LEDからの光を透過するとともに、前記第2LEDからの光が前記第1LEDの光軸と略平行となるように反射させるものであり、
前記第3LEDは、前記第3LEDの光軸が前記第1LEDの光軸と略平行となる位置に配置されており、
前記第3LEDからの光は、前記ダイクロイックミラーを透過したり、前記ダイクロイックミラーで反射したりすることなく、前記集光レンズに直接的に入ることを特徴とする
露光装置用光源が提供される。
前記第1LED、前記第2LED、および前記第3LEDは、それぞれ互いに異なるピーク波長の光を放射する。
以下、図面を用いて、本発明に係るLEDランプ10の構成について説明する。
次に、上述したLEDランプ10を複数使用して構成された露光装置用光源100について簡単に説明する。
上述した実施形態に係るLEDランプ10によれば、第1LED14からの光L1と第2LED16からの光L2とがダイクロイックミラー22によって合成されて合成光LGを構成し、加えて、第3LED18からの光L3がこの合成光LGが入るのと同じ集光レンズ20に直接的に入ることにより、照射対象Sにおいて第3LED18からの光L3と合成光LGとがさらに合成される。
上述した実施形態では、LEDランプ10を露光装置用光源100に用いていたが、LEDランプ10の用途はこれに限定されるものではなく、他の用途にも使用できる。また、複数のLEDランプ10をまとめて使用することに限定されることもなく、1つのLEDランプ10を単体で使用してもよい。
上述した実施形態では、3種類のLED14,16,18を使用していたが、LEDの種類は3つに限定されるものではなく、4つ以上の種類のLEDを使用してもよい。例えば、4種類目のLEDを第2LED16に隣接配置し、この4種類目のLEDからの光を反射させるダイクロイックミラー22をさらに設けることが考えられる。もちろん、第1LED14や第3LED18に並べて別の種類のLEDを配置してもよい。
上述した実施形態では、各LED14,16,18からの光L1,L2,L3を均一化させるためにフライアイレンズ28を用いていたが、これに代えてロッドレンズを使用して光L1,L2,L3を均一化させてもよい。
100…露光装置用光源、102…フレーム、104…凹所
L1…(第1LED14からの)第1光、LL1…(第1LED14の)光軸、L2…第2光、LL2…(第2LED16の)光軸、L3…第3光、LL3…(第3LED18の)光軸
S…照射対象、LG…合成光
Claims (2)
- 複数のLEDランプと、複数の前記LEDランプを並べて配置するためのフレームとを備える露光装置用光源であって、
前記LEDランプは、
第1LEDと、第2LEDと、第3LEDと、
集光レンズと、
ダイクロイックミラーとを備えており、
前記集光レンズは、前記第1LEDの光軸上に配置されており、
前記ダイクロイックミラーは、前記第1LEDの光軸上であって、かつ、前記第1LEDと前記集光レンズとの間に配置されており、
前記第2LEDは、前記第2LEDの光軸が前記第1LEDの光軸と交差する位置に配置されており、
前記ダイクロイックミラーは、前記第1LEDからの光を透過するとともに、前記第2LEDからの光が前記第1LEDの光軸と略平行となるように反射させるものであり、
前記第3LEDは、前記第3LEDの光軸が前記第1LEDの光軸と略平行となる位置に配置されており、
前記第3LEDからの光は、前記ダイクロイックミラーを透過したり、前記ダイクロイックミラーで反射したりすることなく、前記集光レンズに直接的に入ることを特徴とする
露光装置用光源。 - 前記第1LED、前記第2LED、および前記第3LEDは、それぞれ互いに異なるピーク波長の光を放射することを特徴とする
請求項1に記載の露光装置用光源。
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