JP5687013B2 - 露光装置および光源装置 - Google Patents
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Description
2 ステージ
4 ヘッド部
5 制御部
9 基板
31 ステージ移動機構
32 ヘッド部移動機構
41 光源ユニット
42 DMD
411 第1のLEDアレイ
411a LEDチップ
411c 発光部
412 第1のレンズアレイ
413 第2のLEDアレイ
413a LEDチップ
413c 発光部
414 第2のレンズアレイ
415 ダイクロイックミラー
416 第3のレンズアレイ
417 第1の結像光学系
Claims (6)
- 第1の波長特性の光を出射する発光部を有する光源素子を複数配列した第1の光源アレイと、
前記第1の光源アレイの各光源素子の発光部の拡大像を形成するレンズを複数配列した第1のレンズアレイと、
第2の波長特性の光を出射する発光部を有する光源素子を複数配列した第2の光源アレイと、
前記第2の光源アレイの各光源素子の発光部の拡大像を形成するレンズを複数配列した第2のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイが形成した前記第1の光源アレイの発光部の像と、前記第2のレンズアレイが形成した前記第2の光源アレイの発光部の像とを重ね合わせて合成像を形成する光学合成素子と、
前記光学合成素子が合成した合成像の光束を均一な照度分布の光束にして出射する均一化素子と、
を備え、
前記第1のレンズアレイは、前記第1の光源アレイの各光源素子の発光部を、当該光源素子の配列ピッチの大きさに拡大投影するものであり、
前記第2のレンズアレイは、前記第2の光源アレイの各光源素子の発光部を、当該光源素子の配列ピッチの大きさに拡大投影するものであり、
前記光学合成素子が形成した各光源素子の発光部ごとの合成像の光束の主光線を光軸と平行にする第3のレンズアレイと、
前記第3のレンズアレイから出射される前記合成像を前記均一化素子の入射端に縮小投影する両側テレセントリックな第1の結像光学系と、
をさらに備えたことを特徴とする光源装置。 - 請求項1に記載の光源装置において、
前記均一化素子が出射する光束を所定の照明領域に投影する第2の結像光学系をさらに備えたことを特徴とする光源装置。 - 請求項1または2に記載の光源装置において、
前記均一化素子はインテグレータ光学系であることを特徴とする光源装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の光源装置において、
前記光学合成素子はダイクロイックミラーであることを特徴とする光源装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の光源装置と、
この光源装置によって照明される光変調素子と、
前記光変調素子で変調された光を描画対象物に照射する投影光学系と、
前記投影光学系と前記描画対象物とを相対移動させて前記描画対象物を走査する走査機構と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 請求項4に記載の光源装置と、
この光源装置によって照明される光変調素子と、
前記光変調素子で変調された光をソルダーレジストの被膜が形成された描画対象物に照射する投影光学系と、
前記投影光学系と前記描画対象物とを相対移動させて前記描画対象物を走査する走査機構とを備え、
前記第1の光源アレイの発光素子は、波長385nm付近にピークを有する光を出射する発光部を有し、
前記第2の光源アレイの発光素子は、波長365nm付近にピークを有する光を出射する発光部を有し、
前記ダイクロイックミラーは前記第1の光源アレイからの光を透過するとともに、前記第2の光源アレイからの光を反射して合成像を形成するよう配置されたことを特徴とする露光装置。
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