JP2013205613A - 近接露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板に形成された透明電極パターンとマスクに形成されたパターンの高精度な位置決めが可能となり、高精細にカラーフィルタ付電極基板を製造することが出来る近接露光装置を提供することにある。
【解決手段】基板W上に透明導電性被膜よりなるアライメントマーク2を形成し、前記アライメントマーク2を形成する透明導電性被膜部分を還元して着色し、透明電極パターン1を有する基板上にレジスト層3を設け、次に前記アライメントマーク2を利用して、前記マスクに備えられたアライメントマーク2と位置合わせをすることによって、前記基板Wに形成された透明電極パターン1とマスクに形成されたパターン5の位置決めをすることを特徴とする近接露光装置。
【選択図】図6
【解決手段】基板W上に透明導電性被膜よりなるアライメントマーク2を形成し、前記アライメントマーク2を形成する透明導電性被膜部分を還元して着色し、透明電極パターン1を有する基板上にレジスト層3を設け、次に前記アライメントマーク2を利用して、前記マスクに備えられたアライメントマーク2と位置合わせをすることによって、前記基板Wに形成された透明電極パターン1とマスクに形成されたパターン5の位置決めをすることを特徴とする近接露光装置。
【選択図】図6
Description
本発明は、液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ基板の露光転写に好適な近接露光装置に関する。
近年、フラットパネルディスプレイ装置には、画素の開口率の向上のため、カラーフィルタ等においても高精細が要求されてきている。高精細を得る露光装置として、フラットパネルディスプレイを構成する電極基板はガラス等の透明な基板に透明電極パターンが設けられ、且つ透明電極パターン上にカラーフィルタが設けられているもので、この電極基板は透明電極パターンに対し位置決めを行い、カラーフィルタを形成して製造しなければならない。
従来、この透明電極パターンとカラーフィルタ電極付基板の位置出しを透明電極パターンと同一工程で製造された透明導電性材料よりなるアライメントマークを利用して行っていた。
しかしながら、前記のようにして透明電極パターンに対するカラーフィルタの位置出しを行なう場合、透明電極パターンがレジストにより被覆されているときは、被覆されていないときに比して、透明電極パターンの輪郭(エッジ)の視認容易性はるかに劣ることが正確な位置の位置合わせを困難化し、それに加え、レーザー光、或いはCCDカメラ等による自動位置合わせ機構をカラーフィルタ付電極基板の製造過程に適用することも困難化している。
一方、近年、フラットパネルディスプレイにおいて、表示画像の精細化の要求から、表示電極が益々微細化し、それに伴い、透明電極パターンとカラーフィルタのパターンの位置合わせがより難しくなってきており、従来法では高精細なフラットパネルディスプレイの電極基板の製造は実用上限界がある。
そこで、本発明が解決しようとする課題は基板に形成された透明電極パターンとマスクに形成されたパターンの高精度な位置決めが可能となり、高精細にカラーフィルタ付電極基板を製造することが出来る近接露光装置を提供することにある。
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
(1) 基板を保持する基板保持部と、
前記基板と対向するように、マスクを保持するマスク保持部と、
前記マスクに向けてパターン露光用の光を照射する照明光学系に設けられた複数の光源部と、を有し、前記基板と前記マスクとを所定のギャップに近接させた状態で、前記複数の光源部からの光を、前記マスクを介して前記基板に照射し、前記マスクのパターンを前記基板に転写する近接露光装置であって、
前記基板上に透明導電性被膜よりなるアライメントマークを形成し、前記アライメントマークを形成する透明導電性被膜部分を還元して着色し、透明電極パターンを有する基板上にレジスト層を設け、次に前記アライメントマークを利用して、前記マスクに備えられたアライメントマークと位置合わせをすることによって、前記基板に形成された透明電極パターンとマスクに形成されたパターンの位置決めをすることを特徴とする近接露光装置。
(2) 前記複数の光源部のうち少なくとも1つにフィルタを設けることを特徴とする(1)に記載の近接露光装置。
(3) 前記複数の光源部がLED、または、ハロゲンのうち少なくとも1つであることを特徴とする(1)に記載の近接露光装置。
(1) 基板を保持する基板保持部と、
前記基板と対向するように、マスクを保持するマスク保持部と、
前記マスクに向けてパターン露光用の光を照射する照明光学系に設けられた複数の光源部と、を有し、前記基板と前記マスクとを所定のギャップに近接させた状態で、前記複数の光源部からの光を、前記マスクを介して前記基板に照射し、前記マスクのパターンを前記基板に転写する近接露光装置であって、
前記基板上に透明導電性被膜よりなるアライメントマークを形成し、前記アライメントマークを形成する透明導電性被膜部分を還元して着色し、透明電極パターンを有する基板上にレジスト層を設け、次に前記アライメントマークを利用して、前記マスクに備えられたアライメントマークと位置合わせをすることによって、前記基板に形成された透明電極パターンとマスクに形成されたパターンの位置決めをすることを特徴とする近接露光装置。
(2) 前記複数の光源部のうち少なくとも1つにフィルタを設けることを特徴とする(1)に記載の近接露光装置。
(3) 前記複数の光源部がLED、または、ハロゲンのうち少なくとも1つであることを特徴とする(1)に記載の近接露光装置。
以上詳記した通り、本発明の近接露光装置によれば、高精度に基板に形成された透明電極パターンとマスクに形成されたパターンの位置決めが可能となり、高精細にカラーフィルタ付電極基板を製造することが出来ることを特徴とする近接露光装置を提供することにある。
以下、本発明の各実施形態に係る近接露光装置を図面に基づいて詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1及び図2に示すように、一実施形態の分割逐次近接露光装置PEは、マスクMを保持するマスクステージ10と、ガラス基板(以下、単に「基板W」とも称する。)Wを保持する基板ステージ20と、パターン露光用の光を照射する照明光学系70(図6参照)と、を備えている。
図1及び図2に示すように、一実施形態の分割逐次近接露光装置PEは、マスクMを保持するマスクステージ10と、ガラス基板(以下、単に「基板W」とも称する。)Wを保持する基板ステージ20と、パターン露光用の光を照射する照明光学系70(図6参照)と、を備えている。
マスクステージ10は、中央部に矩形形状の開口11aが形成されるマスクステージベース11と、マスクステージベース11の開口11aにX軸,Y軸,θ方向に移動可能に装着されるマスク保持部であるマスク保持枠12と、マスクステージベース11の上面に設けられ、マスク保持枠12をX軸,Y軸,θ方向に移動させて、マスクMの位置を調整するマスク駆動機構16と、を備える。
マスクステージベース11は、装置ベース50上に立設される支柱51、及び支柱51の上端部に設けられるZ軸移動装置52によりZ軸方向に移動可能に支持され(図2参照)、基板ステージ20の上方に配置される。
図3に示すように、マスクステージベース11の開口11aの周縁部の上面には、平面ベアリング13が複数箇所配置されており、マスク保持枠12は、その上端外周縁部に設けられるフランジ12aを平面ベアリング13に載置している。これにより、マスク保持枠12は、マスクステージベース11の開口11aに所定のすき間を介して挿入されるので、このすき間分だけX軸,Y軸,θ方向に移動可能となる。
また、マスク保持枠12の下面には、マスクMを保持するチャック部14が間座15を介して固定されている。このチャック部14には、マスクMのマスクパターンが描かれていない周縁部を吸着するための複数の吸引ノズル14aが開設されており、マスクMは、吸引ノズル14aを介して図示しない真空式吸着装置によりチャック部14に着脱自在に保持される。また、チャック部14は、マスク保持枠12と共にマスクステージベース11に対してX軸,Y軸,θ方向に移動可能である。
マスク駆動機構16は、マスク保持枠12のX軸方向に沿う一辺に取り付けられる2台のY軸方向駆動装置16yと、マスク保持枠12のY軸方向に沿う一辺に取り付けられる1台のX軸方向駆動装置16xと、を備える。
Y軸方向駆動装置16yは、マスクステージベース11上に設置され、Y軸方向に伸縮するロッド16bを有する駆動用アクチュエータ(例えば、電動アクチュエータ等)16aと、ロッド16bの先端にピン支持機構16cを介して連結されるスライダ16dと、マスク保持枠12のX軸方向に沿う辺部に取り付けられ、スライダ16dを移動可能に取り付ける案内レール16eと、を備える。なお、X軸方向駆動装置16xも、Y軸方向駆動装置16yと同様の構成を有する。
そして、マスク駆動機構16では、1台のX軸方向駆動装置16xを駆動させることによりマスク保持枠12をX軸方向に移動させ、2台のY軸方向駆動装置16yを同等に駆動させることによりマスク保持枠12をY軸方向に移動させる。また、2台のY軸方向駆動装置16yのどちらか一方を駆動することによりマスク保持枠12をθ方向に移動(Z軸回りの回転)させる。
さらに、マスクステージベース11の上面には、図1に示すように、マスクMと基板Wとの対向面間のギャップgを測定するギャップセンサ17と、チャック部14に保持されるマスクMの取り付け位置を確認するためのアライメントカメラ18と、が設けられる。これらギャップセンサ17及びアライメントカメラ18は、移動機構19を介してX軸,Y軸方向に移動可能に保持され、マスク保持枠12内に配置される。
また、マスク保持枠12上には、図1に示すように、マスクステージベース11の開口11aのX軸方向の両端部に、マスクMの両端部を必要に応じて遮蔽するアパーチャブレード38が設けられる。このアパーチャブレード38は、モータ、ボールねじ、及びリニアガイド等からなるアパーチャブレード駆動機構39によりX軸方向に移動可能とされて、マスクMの両端部の遮蔽面積を調整する。なお、アパーチャブレード38は、開口11aのX軸方向の両端部だけでなく、開口11aのY軸方向の両端部に同様に設けられている。
基板ステージ20は、図1及び図2に示すように、基板Wを保持する基板保持部21と、基板保持部21を装置ベース50に対してX軸,Y軸,Z軸方向に移動する基板駆動機構22と、を備える。基板保持部21は、図示しない真空吸着機構によって基板Wを着脱自在に保持する。基板駆動機構22は、基板保持部21の下方に、Y軸テーブル23、Y軸送り機構24、X軸テーブル25、X軸送り機構26、及びZ−チルト調整機構27と、を備える。
Y軸送り機構24は、図2に示すように、リニアガイド28と送り駆動機構29とを備えて構成され、Y軸テーブル23の裏面に取り付けられたスライダ30が、装置ベース50上に延びる2本の案内レール31に転動体(図示せず)を介して跨架されると共に、モータ32とボールねじ装置33とによってY軸テーブル23を案内レール31に沿って駆動する。
なお、X軸送り機構26もY軸送り機構24と同様の構成を有し、X軸テーブル25をY軸テーブル23に対してX方向に駆動する。また、Z−チルト調整機構27は、くさび状の移動体34,35と送り駆動機構36とを組み合わせてなる可動くさび機構をX方向の一端側に1台、他端側に2台配置することで構成される。なお、送り駆動機構29,36は、モータとボールねじ装置とを組み合わせた構成であってもよく、固定子と可動子とを有するリニアモータであってもよい。また、Z-チルト調整機構27の設置数は任意である。
これにより、基板駆動機構22は、基板保持部21をX方向及びY方向に送り駆動するとともに、マスクMと基板Wとの対向面間のギャップを微調整するように、基板保持部21をZ軸方向に微動且つチルト調整する。
基板保持部21のX方向側部とY方向側部にはそれぞれバーミラー61,62が取り付けられ、また、装置ベース50のY方向端部とX方向端部には、計3台のレーザー干渉計63,64,65が設けられている。これにより、レーザー干渉計63,64,65からレーザー光をバーミラー61,62に照射し、バーミラー61,62により反射されたレーザー光を受光して、レーザー光とバーミラー61,62により反射されたレーザー光との干渉を測定して基板ステージ20の位置を検出する。
図4に示すように、基板W上に透明導電被膜からなる透明電極パターン1、及びアライメントマーク2を形成し、アライメントマーク2を形成する透明導電被膜を着色する。本発明の本実施形態において、透明導電性被膜としてはITO膜を適用する。つぎに、透明電極パターン1、及びアライメントマーク2を形成した基板W上にレジスト3を塗布する。
図5に示すように、基板W側に備えられたアライメントマーク2とマスクM側に備えられたアライメントマーク4の位置合わせをし、基板Wに形成された透明電極パターン1に対して、マスクMに形成されたパターン5の位置決めを決定する。パターン5に描かれたマスクMを介して、レジスト3を塗布した基板Wへ露光をすることにより、基板W上にパターン化したレジスト3が形成され、高精細にカラーフィルタ付電極基板を製造することができる。
図6に示すように、照明光学系70は、発光部としての超高圧水銀ランプ71a,71bと、これらランプ71a,71bから発生された光に指向性をもたせて射出する反射鏡72a,72bと、それぞれを含む第1及び第2の光源部73a,73bと、複数のレンズセルからなるフライアイレンズによって構成され、光源部73a,73bからの光の強度を均一化するインテグレータ74と、インテグレータ74の出射面から出射された光路の向きを変える平面鏡75と、コリメーションミラー76と、第1及び第2の光源部73a,73bの前方でそれぞれ配置されて、照射された光を通過・遮断するように開閉制御する機械式のフィルタ77を備える。
各光源部73a,73bの発光部71a,71bとしては、超高圧水銀ランプに限らず、LED、または、ハロゲンのうち少なくとも一つを取り付けてもよい。また、第1の光源部73aからの光を遮光可能なフィルタ77は、各光源部73aからの光を通過・遮断可能な機械式のものであればよく、各光源部73aの波長の種類、照射時間、照射方向に応じて、開閉角度や、開閉間隔を変えることができる。また、各フィルタ77の機械式に開閉する機構も任意であり、回転式やスライド式であってもよい。
このような露光装置PEにおいて、図6に示すように、基板ステージ20上に載置された基板Wと、マスク保持枠12に保持された、マスクパターンを有するマスクMとが、これらの対向面間を所定のギャップ、例えば100〜150μm程度に調整して近接対向配置される。そして、まず、フィルタ77を閉制御とし、第2の光源部73bからの光が、インテグレータ74に入射され、平面鏡75およびコリメーションミラー76で反射されてマスクMに入射する。また、所定の時間が経過した後、フィルタ77も開制御することで、第1の光源部73aから短波長の光が、インテグレータ74に入射され、平面鏡75およびコリメーションミラー76で反射されてマスクMに入射する。そして、マスクMを透過した第1の光源部73a及び第2の光源部73bの各光は、基板Wの表面に塗布されたポジ型レジストを感光させてマスクMのマスクパターンが基板Wに露光転写される。この際、第1の光源部73aからの短波長の光によって細線化されたパターンを転写することができると共に、第2の光源部73bからの光によって、基板Wとの接触部分のレジストも感光することができる。
以上説明したように、本実施形態の近接露光装置によれば、照明光学系70は、第1の光源部73aと、第2の光源部73bと、第1の光源部73aからの光を遮光可能なフィルタ77と、を有する。そして、基板WとマスクMとを所定のギャップに近接させた状態で、フィルタ77の開タイミングを制御することで第1及び第2の光源部73a,73bからの光を異なるタイミングでマスクMを介して基板Wに照射し、マスクMのパターンを基板Wに転写する。従って、高解像度なパターンを得る事ができるとともに、スループットを向上することができ、さらに、各光源部73a,73bの切り替えを適切なタイミングで行うことができる。
1 透明電極パターン
2 アライメントマーク(基板側)
3 レジスト層
4 アライメントマーク(マスク側)
5 パターン
12 マスク保持枠(マスク保持部)
21 基板保持部
70 照明光学系
73 光源部
74 インテグレータ(フライアイレンズ)
77 フィルタ(光強度低減部材)
M マスク
PE 分割逐次近接露光装置(近接露光装置)
W 基板
g ギャップ
2 アライメントマーク(基板側)
3 レジスト層
4 アライメントマーク(マスク側)
5 パターン
12 マスク保持枠(マスク保持部)
21 基板保持部
70 照明光学系
73 光源部
74 インテグレータ(フライアイレンズ)
77 フィルタ(光強度低減部材)
M マスク
PE 分割逐次近接露光装置(近接露光装置)
W 基板
g ギャップ
Claims (3)
- 基板を保持する基板保持部と、
前記基板と対向するように、マスクを保持するマスク保持部と、
前記マスクに向けてパターン露光用の光を照射する照明光学系に設けられた複数の光源部と、を有し、前記基板と前記マスクとを所定のギャップに近接させた状態で、前記複数の光源部からの光を、前記マスクを介して前記基板に照射し、前記マスクのパターンを前記基板に転写する近接露光装置であって、
前記基板上に透明導電性被膜よりなるアライメントマークを形成し、前記アライメントマークを形成する透明導電性被膜部分を還元して着色し、透明電極パターンを有する基板上にレジスト層を設け、次に前記アライメントマークを利用して、前記マスクに備えられたアライメントマークと位置合わせをすることによって、前記基板に形成された透明電極パターンとマスクに形成されたパターンの位置決めをすることを特徴とする近接露光装置。 - 前記複数の光源部のうち少なくとも1つにフィルタを設けることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記複数の光源部がLED、または、ハロゲンのうち少なくとも1つであることを特徴とする請求項1に記載の近接露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012074499A JP2013205613A (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 近接露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012074499A JP2013205613A (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 近接露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013205613A true JP2013205613A (ja) | 2013-10-07 |
Family
ID=49524763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012074499A Pending JP2013205613A (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 近接露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2013205613A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220079549A (ko) | 2019-10-11 | 2022-06-13 | 가부시키가이샤 브이 테크놀로지 | 근접 노광 장치용 조명 장치, led 유닛, 근접 노광 장치 및 근접 노광 장치의 노광 방법 |
-
2012
- 2012-03-28 JP JP2012074499A patent/JP2013205613A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20220079549A (ko) | 2019-10-11 | 2022-06-13 | 가부시키가이샤 브이 테크놀로지 | 근접 노광 장치용 조명 장치, led 유닛, 근접 노광 장치 및 근접 노광 장치의 노광 방법 |
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