JP2011049607A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 液体を介して基板上にパターンの像を投影光学系により投影し、前記基板を露光する露光方法であって、
   前記投影光学系の像面側に配置された物体を揺動させながら前記物体上に液体を供給して前記液体の液浸領域を形成することと、
   前記液浸領域を介して前記基板上に前記パターンの像を投影して該基板を露光することと、
   を含む露光方法。
2. 前記物体は前記基板を保持して前記投影光学系下を移動可能な基板ステージを含む請求項１に記載の露光方法。
3. 前記基板ステージの上面に対して前記液体を供給する請求項２に記載の露光方法。
4. 前記物体は前記基板を含む請求項１に記載の露光方法。
5. 前記液浸領域に気泡が存在しないように前記物体を揺動させつつ前記液体の供給を行なう請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光方法。
6. 前記像面と平行な平面に関して前記物体を揺動させる請求項５に記載の露光方法。
7. 前記像面と平行な第１の方向と第２の方向に前記物体を移動させる請求項６に記載の露光方法。
8. 前記第１の方向と前記第２の方向は、前記像面と平行な面内で交差する方向である請求項７に記載の露光方法。
9. 前記第１の方向と前記第２の方向は、前記像面と平行な面内で直交する方向である請求項７に記載の露光方法。
10. 前記液体の供給は、前記パターンの像が投影される投影領域の両側のうちの一方のみで開始される請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光方法。
11. 前記液体の供給は、前記パターンの像が投影される投影領域の両側から開始される請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光方法。
12. 前記投影領域の両側から異なる量の液体が供給される請求項１１に記載の露光方法。
13. 前記物体の揺動を開始してから前記液体の供給を開始する請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光方法。
14. 前記液体の供給を開始してから前記物体を揺動させる請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光方法。
15. 前記物体を前記投影光学系下に位置させて前記物体上に前記液体の供給を開始する請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光方法。
16. 請求項１〜１５のいずれか一項に記載の露光方法を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法。