JP2012156539A5

JP2012156539A5 - 露光装置、デバイス製造方法、及びクリーニング方法

Info

Publication number: JP2012156539A5
Application number: JP2012082595A
Authority: JP
Filing date: 2012-03-30
Publication date: 2013-07-25

Claims

露光光で基板を露光する露光装置であって、
露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
第１液体を供給可能な第１供給口と前記第１液体を回収可能な第１回収口とを有し、前記第１供給口からの液体供給動作と前記第１回収口からの液体回収動作とによって、前記射出面側で移動可能な物体の表面の一部の領域が前記第１液体で覆われるように、前記物体との間に前記第１液体で第１液浸空間を形成可能な第１ノズル部材と、を備え、
前記第１供給口からの液体供給量及び前記第１回収口からの液体回収量の少なくとも一方の調整により、前記第１液浸空間の前記第１液体の界面を振動させる露光装置。
前記第１ノズル部材は、前記射出面からの前記露光光が通過可能な開口と、前記開口の周囲に配置され前記物体が対向可能な第１下面と、を有し、
前記第１液体の界面は、前記第１下面と前記物体との間に配置され、
前記第１液体の界面の振動により、前記第１下面の少なくとも一部がクリーニングされる請求項１に記載の露光装置。
前記第１ノズル部材は、前記開口を囲むように配置された平坦面と、前記平坦面を囲むように配置された前記第１回収口と、を含む請求項１又は２に記載の露光装置。
前記第１ノズル部材から離れて配置され、前記物体との間に第２液体で第２液浸空間を形成可能な第２ノズル部材を備える請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
前記第２ノズル部材は、前記第２液体を供給可能な第２供給口と、前記第２液体を回収可能な第２回収口と、を有する請求項４に記載の露光装置。
前記第１液浸空間が形成された状態で、前記第１ノズル部材と前記物体とが相対移動する請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
第１物体と第２物体とが接近又は接触された状態で前記第１ノズル部材に対して前記第１物体及び前記第２物体が移動することにより、前記第１液浸空間が前記第１物体上及び前記第２物体上の一方から他方へ移動する請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
前記物体は、前記基板を保持可能な第１ステージ、前記第１ステージに保持された前記基板、及び前記基板を保持しない第２ステージの少なくとも一つを含む請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
前記第２ステージは、露光に関する計測に用いられる計測器を搭載する請求項８に記載の露光装置。
前記物体は、前記基板とは異なる、前記第１ステージに保持されたダミー基板を含む請求項８又は９に記載の露光装置。
請求項１〜１０のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
液浸露光装置で用いられるクリーニング方法であって、
露光光が射出される光学部材の射出面側で移動可能な物体の表面の一部の領域が第１液体で覆われるように、第１ノズル部材に設けられた第１供給口からの前記第１液体の供給動作と前記第１ノズル部材に設けられた第１回収口からの前記第１液体の回収動作とによって、前記第１ノズル部材と前記物体との間に前記第１液体で第１液浸空間を形成することと、
前記第１供給口からの液体供給量及び前記第１回収口からの液体回収量の少なくとも一方の調整により、前記第１液浸空間の前記第１液体の界面を振動させることと、を含むクリーニング方法。
前記第１ノズル部材は、前記射出面からの前記露光光が通過可能な開口と、前記開口の周囲に配置され、前記物体が対向可能な第１下面と、を有し、
前記第１液体の界面は、前記第１下面と前記物体との間に配置され、
前記第１液体の界面の振動により、前記第１下面の少なくとも一部がクリーニングされる請求項１２に記載のクリーニング方法。
前記第１液浸空間が形成された状態で、前記第１ノズル部材と前記物体とを相対移動することを含む請求項１２又は１３に記載のクリーニング方法。