JP2012134555A5 - 液浸部材、液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents

Claims (22)

1. 液体を介して基板を露光する液浸露光装置で用いられる液浸部材であって、
   液体回収部を有する第１液浸部材と、
   可動物体が対向可能な第１面、及び該第１面と反対側の第２面を有するプレートを有する第２液浸部材と、を備え、
   前記液体回収部は、前記第２面の一部と第１ギャップを介して対向し、前記第１ギャップ内の液体を回収可能である液浸部材。
2. 前記液体回収部は多孔部材を含み、
   前記多孔部材に接触した液体の少なくとも一部を前記多孔部材を介して回収する請求項１記載の液浸部材。
3. 前記多孔部材は、気体の通過が抑制されている請求項２記載の液浸部材。
4. 前記第１液浸部材と前記第２液浸部材との間に形成される第１開口部と、露光光の光路に対して前記第１開口部の外側に設けられた第２開口部とを備え、
   前記第１ギャップは、前記第２開口部を介して開放されている請求項１〜３のいずれか一項記載の液浸部材。
5. 前記第２開口部と前記可動物体との距離は、前記第１開口部と前記可動物体との距離より大きい請求項４記載の液浸部材。
6. 前記第２開口部は、前記可動物体に面していない請求項４又は５記載の液浸部材。
7. 露光光が通過可能な開口を有する第３液浸部材をさらに備える請求項１〜６のいずれか一項に記載の液浸部材。
8. 前記第１液浸部材と前記第３液浸部材との間に、前記可動物体と対向するように形成された第３開口部をさらに備える請求項７記載の液浸部材。
9. 前記第１液浸部材と前記第３液浸部材との間に設けられた第２ギャップと、
   前記第３開口部とは異なる第４開口部とを備え、
   前記第２ギャップは、前記第３開口部に接続され、前記第４開口部を介して大気開放されている請求項８記載の液浸部材。
10. 前記第３液浸部材は、前記開口の周囲に下面を有し、
    前記可動物体と前記第１面との距離は、前記可動物体と前記第３液浸部材の前記下面との距離より小さい請求項７〜９のいずれか一項記載の液浸部材。
11. 前記第１ギャップは、毛管路を形成する請求項１〜１０のいずれか一項記載の液浸部材。
12. 前記第１面は、露光光の光路を囲むように配置されている請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液浸部材。
13. 前記第１面の少なくとも一部は、前記露光光の光路から離れる方向において、前記第１面と対向する前記可動物体の表面から徐々に離れる傾斜部を有する請求項１〜１２のいずれか一項記載の液浸部材。
14. 前記第２面は、前記第１面に対して傾いた傾斜部を含む請求項１〜１３のいずれか一項記載の液浸部材。
15. 前記第２面は、前記第１面に対して傾いた傾斜部と、前記第１面と実質的に平行な平坦部とを含む請求項１〜１３のいずれか一項記載の液浸部材。
16. 前記傾斜部は、前記露光光の光路から離れる方向において、前記第１面と対向する前記可動物体の表面から徐々に離れる請求項１４又は１５記載の液浸部材。
17. 前記第２面は、前記液体に対して親液性である請求項１〜１６のいずれか一項記載の液浸部材。
18. 前記第１面は、前記液体に対して撥液性である請求項１〜１７のいずれか一項記載の液浸部材。
19. 基板を露光する液浸露光装置であって、
    露光光を射出する射出面を有する光学部材と、
    前記光学部材と前記光学部材の射出面と対向する位置に移動可能な前記可動物体との間に液体の液浸空間を形成する請求項１〜１８のいずれか一項記載の液浸部材と、を備える液浸露光装置。
20. 前記可動物体は、前記基板を含み、
    前記基板上の前記液体を介して前記露光光が前記基板に照射される請求項１９記載の液浸露光装置。
21. 請求項１〜２０のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
    前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
22. 基板を露光する液浸露光方法であって、
    請求項１〜１７のいずれか一項記載の液浸部材を用いて、露光光を射出する光学部材と基板との間の露光光の光路が液体で満たされるように液浸空間を形成し、
    前記液浸空間の液体を介して前記光学部材からの露光光で前記基板を露光する液浸露光方法。