JP2012181196A5 - 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents

Claims (30)

1. 投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
   前記投影光学系の光軸に直交する所定面とほぼ平行に並置される反射型の格子部をそれぞれ有する複数の格子部材と、
   前記複数の格子部材に対して前記格子部と反対側に配置され、前記複数の格子部材が固定されるベース部材と、
   前記複数の格子部材が前記所定面と平行な方向に移動可能となるように前記ベース部材が接続される支持部材と、
   前記基板を載置し、前記ベース部材に固定される前記複数の格子部材の下方で移動可能なステージと、
   前記ステージに設けられ、前記複数の格子部に対してその下方からそれぞれビームを照射する複数の検出部材を有し、前記ステージの位置情報を計測する計測装置と、を備える。
2. 請求項１に記載の露光装置において、
   前記投影光学系を支持するフレーム部材を、さらに備え、
   前記支持部材は、前記フレーム部材に取り付けられる。
3. 請求項１又は２に記載の露光装置において、
   前記支持部材は、複数箇所でそれぞれフレキシャー部材を介して前記ベース部材が接続される。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記複数の格子部材は、前記格子部と反対側の面が前記ベース部材と接触して固定される。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記支持部材は、弾性変形可能である。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記投影光学系の下端側に配置されるとともに、前記ステージが対向して配置される下面側に前記照明光が通過する開口を有し、前記投影光学系と前記基板の一部との間に液浸領域を形成するノズルユニットを、さらに備え、
   前記複数の格子部材は、前記ノズルユニットに対してその外側に配置され、
   前記基板は、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して前記照明光で露光される。
7. 請求項６に記載の露光装置において、
   前記ベース部材はその一部に開口が形成されるとともに、前記所定面と平行な方向に関して前記ノズルユニットが前記開口内に位置するように設けられる。
8. 請求項６又は７に記載の露光装置において、
   前記複数の格子部材は、前記ノズルユニットを囲むように設けられるとともに、前記格子部が前記ノズルユニットの下面よりも高く配置されるように設けられる。
9. 請求項６〜８のいずれか一項に記載の露光装置において、
   前記ノズルユニットはその下面側で前記照明光が通過する開口の周囲に配置される回収口を有し、
   前記ノズルユニットを介して前記液浸領域に液体が供給されるとともに、前記回収口を介して前記液浸領域から液体が回収される。
10. 請求項６〜９のいずれか一項に記載の露光装置において、
    前記投影光学系と前記ノズルユニットとはそれぞれ異なるフレーム部材で支持される。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置において、
    前記ステージはその上面に形成される凹部内に設けられ、前記基板を保持するホルダを有し、
    前記複数の検出部材はそれぞれ、前記上面よりも外側に位置するように前記ステージに設けられる。
12. 請求項１１に記載の露光装置において、
    前記ステージは、それぞれ前記検出部材が固定され、前記上面よりも外側に延びる複数の固定部材を有する。
13. 請求項１２に記載の露光装置において、
    前記複数の固定部材は、前記検出部材が互いに異なる前記格子部と対向するように前記ステージに設けられる。
14. 請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置において、
    前記複数の格子部材はそれぞれ、前記格子部を覆う保護部材を有する。
15. デバイス製造方法であって、
    請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
    前記露光された基板を現像することと、を含む。
16. 投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
    前記投影光学系の光軸に直交する所定面とほぼ平行に並置される反射型の格子部をそれぞれ有する複数の格子部材の下方で、前記基板を載置するステージを移動することと、
    前記ステージに設けられ、前記複数の格子部に対してその下方からそれぞれビームを照射する複数の検出部材を有する計測装置によって、前記ステージの位置情報を計測することと、
    前記計測される位置情報に基づいて、前記ステージの位置を制御することと、を含み、
    前記複数の格子部材は、前記格子部と反対側に配置されるベース部材に固定され、
    前記ベース部材は、前記複数の格子部材が前記所定面と平行な方向に移動可能となるように支持される。
17. 請求項１６に記載の露光方法において、
    前記ベース部材を支持する支持部材は、前記投影光学系を支持するフレーム部材に取り付けられる。
18. 請求項１６又は１７に記載の露光方法において、
    前記ベース部材は、複数箇所でそれぞれフレキシャー部材を介して支持部材に接続される。
19. 請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の露光方法において、
    前記複数の格子部材は、前記格子部と反対側の面が前記ベース部材と接触して固定される。
20. 請求項１６〜１９のいずれか一項に記載の露光方法において、
    前記支持部材は、弾性変形可能である。
21. 請求項１６〜２０のいずれか一項に記載の露光方法において、
    前記投影光学系の下端側に配置されるとともに、前記ステージが対向して配置される下面側に前記照明光が通過する開口を有するノズルユニットによって、前記投影光学系と前記基板の一部との間に液浸領域が形成され、前記基板は、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して前記照明光で露光され、
    前記複数の格子部材は、前記ノズルユニットに対してその外側に配置される。
22. 請求項２１に記載の露光方法において、
    前記ベース部材はその一部に開口が形成されるとともに、前記所定面と平行な方向に関して前記ノズルユニットが前記開口内に位置するように設けられる。
23. 請求項２１又は２２に記載の露光方法において、
    前記複数の格子部材は、前記ノズルユニットを囲むように設けられるとともに、前記格子部が前記ノズルユニットの下面よりも高く配置されるように設けられる。
24. 請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の露光方法において、
    前記ノズルユニットはその下面側で前記照明光が通過する開口の周囲に配置される回収口を有し、
    前記ノズルユニットを介して前記液浸領域に液体が供給されるとともに、前記回収口を介して前記液浸領域から液体が回収される。
25. 請求項２１〜２４のいずれか一項に記載の露光方法において、
    前記投影光学系と前記ノズルユニットとはそれぞれ異なるフレーム部材で支持される。
26. 請求項１６〜２５のいずれか一項に記載の露光方法において、
    前記基板は、前記ステージの上面に形成される凹部内でホルダによって保持され、
    前記複数の検出部材はそれぞれ、前記上面よりも外側に位置するように前記ステージに設けられる。
27. 請求項２６に記載の露光方法において、
    前記上面よりも外側に延びて前記ステージに設けられる複数の固定部材にそれぞれ前記検出部材が固定される。
28. 請求項２７に記載の露光方法において、
    前記複数の固定部材は、前記検出部材が互いに異なる前記格子部と対向するように前記ステージに設けられる。
29. 請求項１６〜２８のいずれか一項に記載の露光方法において、
    前記複数の格子部材はそれぞれ、前記格子部を覆う保護部材を有する。
30. デバイス製造方法であって、
    請求項１６〜２９のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
    前記露光された基板を現像することと、を含む。