JP2020112605A - 露光装置およびその制御方法、および、物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)基板ステージ6の駆動。
(b)マスクステージ3の駆動。
(c)投影光学系4の光学素子の駆動。
(d)照明光学系1の光学素子の駆動。
(e)照明光学系1の光源のパルス発振周波数の調整。
(1)S401で取得されたテレセントリシティ情報(像高毎のテレセン度)、
(2)S402で取得された高さ情報(基板表面の高さ分布(デフォーカス量))、
(3)メモリ7bに保持されているベストフォーカス位置。
DF=BF−H
で表される。また、テレセン誤差[rad]をθ、像ずれ量をSとすると、像ずれ量Sは、次式により表される。
S=DF・cosθ
ここで定義されるテレセン誤差は、1umデフォーカス時のテレセン変化nmを表す単位[nm/um]となる。
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (10)
- 基板を露光する露光装置であって、
マスクのパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
前記基板を保持して移動する基板ステージと、
前記基板ステージに保持された前記基板の露光を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記投影光学系の像高毎のテレセントリシティに関する情報であるテレセントリシティ情報と、前記基板の表面の高さに関する情報である高さ情報とに基づいて、前記マスクのパターンに対する、前記基板に投影される前記パターンの像のずれ量を求め、該求められたずれ量に基づいて前記像のずれを補正して前記基板を露光する
ことを特徴とする露光装置。 - 前記制御部は、
前記投影光学系の光軸方向におけるベストフォーカス位置と前記高さ情報から得られる前記基板の表面の高さとの差をデフォーカス量として求め、
該デフォーカス量と前記テレセントリシティ情報とに基づいて前記ずれ量を求める
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記高さ情報が持つ前記基板の表面の高さの分解能は、前記基板ステージのフォーカス駆動の分解能よりも高いことを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記基板の表面の高さを計測する高さ計測器を有し、
前記制御部は、前記高さ計測器を用いた計測の結果から前記高さ情報を取得する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記制御部は、前記基板の設計情報に基づいて前記高さ情報を取得することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記投影光学系の像高毎のテレセントリシティを計測するテレセントリシティ計測器を有し、
前記制御部は、前記テレセントリシティ計測器を用いた計測の結果から前記テレセントリシティ情報を取得する
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記制御部は、前記投影光学系の設計情報に基づいて前記テレセントリシティ情報を取得することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記マスクを保持するマスクステージと、
前記マスクステージに保持された前記マスクを照明する照明光学系と、を有し、
前記制御部は、前記基板のショット領域に対する露光処理の間に、前記求められたずれ量を低減するように、前記基板ステージの駆動、前記マスクステージの駆動、前記投影光学系の光学素子の駆動、前記照明光学系の光学素子の駆動、前記照明光学系の光源のパルス発振周波数の調整のうちの少なくともいずれか1つを行うことにより、前記像のずれを補正することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の露光装置。 - 投影光学系を介してマスクのパターンを基板に投影し前記基板を露光する露光装置の制御方法であって、
前記投影光学系の像高毎のテレセントリシティに関する情報であるテレセントリシティ情報を取得する工程と、
前記基板の表面の高さに関する情報である高さ情報を取得する工程と、
前記テレセントリシティ情報と前記高さ情報とに基づいて、前記マスクのパターンに対する、前記基板に投影される前記パターンの像のずれ量を求める工程と、
前記求められたずれ量に基づいて前記像のずれを補正して前記基板を露光する工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
前記現像された基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品製造方法。
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