JP4724470B2 - 露光方法 - Google Patents
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Description
36 レチクルステージ
40 検出系
50 投影光学系
70 制御系
100 露光装置
Claims (3)
- レチクルと被露光体を同期走査しながら、前記レチクルのパターンを投影光学系を介して前記被露光体上に露光する露光方法において、
前記レチクルの面形状を表す面形状データを取得するステップと、前記取得ステップの取得結果に基づき、前記レチクルの面形状を計測するための計測位置において異常な計測結果を有する計測位置を誤計測位置として検出するステップと、を含み、前記レチクルの面形状を、露光に先立って計測するステップと、
前記誤計測位置の検出結果を含まない前記計測ステップの計測結果に基づいて、前記レチクルと前記被露光体の同期走査を制御するステップとを有し、
前記取得ステップは、所定間隔で走査方向に沿って計測位置をずらして複数回前記レチクルの面形状を計測するステップを有することを特徴とする露光方法。 - レチクルとウエハとを同期走査しながら、前記レチクルのパターンを投影光学系を介して前記ウエハ上に露光する露光方法において、
前記レチクルの面形状を計測する第1計測ステップと、
前記第1計測ステップの計測結果に基づいて、誤計測位置を判別するステップと、
前記誤計測位置は計測しないで、前記レチクルの面形状を再度計測する第2計測ステップと、
前記第2計測ステップの計測結果に基づいて、前記レチクルと前記ウエハとの同期走査を制御するステップと、を有し、
前記第1計測ステップは、
露光時の走査速度で前記レチクルを走査することで、走査方向に並んだ複数の計測位置における前記レチクルの面位置を計測する第1サブステップと、
露光時の走査速度で前記第1サブステップとは逆方向に前記レチクルを走査することで、前記複数の計測位置のそれぞれを走査方向に等距離だけシフトさせた位置における前記レチクルの面位置を計測する第2サブステップと、を含むことを特徴とする露光方法。 - レチクルとウエハとを同期走査しながら、前記レチクルのパターンを投影光学系を介して前記ウエハ上に露光する露光方法において、
前記レチクルの面形状を計測する第1計測ステップと、
前記第1計測ステップの計測結果に基づいて、誤計測位置を判別するステップと、
前記レチクルの面形状を再度計測する第2計測ステップと、
前記第2計測ステップの計測結果のうち前記誤計測位置以外の計測結果に基づいて、前記レチクルと前記ウエハとの同期走査を制御するステップと、を有し、
前記第1計測ステップは、
露光時の走査速度で前記レチクルを走査することで、走査方向に並んだ複数の計測位置における前記レチクルの面位置を計測する第1サブステップと、
露光時の走査速度で前記第1サブステップとは逆方向に前記レチクルを走査することで、前記複数の計測位置のそれぞれを走査方向に等距離だけシフトさせた位置における前記レチクルの面位置を計測する第2サブステップと、を含むことを特徴とする露光方法。
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