JP2011060799A - 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置が、マスク2の合焦状態を検出し、マスク2の合焦状態が検出された時のマスク2のパターン面の裏面の形状を計測し、計測結果を格納部11に予め格納する。露光装置が、基板5の露光前に、マスク2のパターン面の裏面の形状を計測し、該計測結果と上記格納部11に予め格納された形状の計測結果とを比較する。そして、露光装置が、上記比較結果に基づいて、マスク2の変形を補正する。
【選択図】図1
Description
次に、図1に示す露光装置を利用したデバイスの製造方法の実施形態について説明する。半導体素子、液晶表示素子、撮像素子(CCD等)、薄膜磁気ヘッド等のデバイスは、レジストが塗布された基板5を、上記露光装置を用いて露光する工程と、露光された基板を現像する工程と、その他の周知の工程と、を経ることによって製造される。該周知の工程は、例えば、酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、及びパッケージング等の少なくとも1つの工程を含む。
2 マスク
3 マスクステージ
4 投影光学系
5 基板
6 基板ステージ
7 マスク面計測系
8 補正板
9 合焦検出用センサー
10 計測値処理部
11 格納部
12 演算部
13 制御部
14 圧力調整部
Claims (8)
- 原版に光を照明する照明光学系と、
前記照明された原版からの光を基板に導く投影光学系と、
前記原版のパターンの合焦状態を検出する合焦状態検出系と、
前記原版のパターン面の裏面の形状を計測する形状計測手段と、
前記原版の変形を補正する補正手段と、
前記原版のパターンが合焦された状態における前記形状計測手段による前記原版のパターン面の裏面の形状の計測結果が予め記憶される記憶手段と、
前記形状計測手段によって計測される原版のパターン面の裏面の形状と前記記憶手段に予め記憶された前記原版のパターン面の裏面の形状の計測結果とを比較し、該比較結果に基づいて、前記補正手段に指示して前記原版の変形を補正させる制御手段とを備える
ことを特徴とする露光装置。 - 前記補正手段が、前記原版のパターン面の裏面上に載置される板部材と、前記原版と前記板部材との間に形成される密閉領域の圧力を調整する圧力調整手段とを備える
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記形状計測手段が、複数の形状検出点について前記原版のパターン面の裏面の形状を検出する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の露光装置。 - 前記合焦状態検出系は、前記基板を保持する基板ステージと光量を検出する光量検出手段とを備え、
前記原版に第1の基準マークが設けられており、
前記基板ステージに第2の基準マークが設けられており、
前記基板ステージは、前記第1の基準マークの結像位置近傍に前記第2の基準マークが配置されるように駆動し、
前記光量検出手段は、前記第1の基準マークの結像位置近傍に前記第2の基準マークが配置された時の、前記第2の基準マークを透過した光の光量を検出し、該光量の検出結果に基づいて前記原版の合焦状態を検出する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第1の基準マークが、結像時の像高が異なる位置に複数設けられており、
前記合焦状態検出系が、各々の前記第1の基準マークについて、前記第2の基準マークを透過した光の光量を検出し、該光量の検出結果に基づいて前記原版の合焦状態を検出する
ことを特徴とする請求項4に記載の露光装置。 - 前記合焦状態検出系が、前記基板の露光結果に基づいて前記原版の合焦状態を検出する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程を有する
ことを特徴とする露光方法。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程とを有する
ことを特徴とするデバイスの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009205442A JP2011060799A (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
KR1020100083992A KR20110026383A (ko) | 2009-09-07 | 2010-08-30 | 노광 장치, 노광 방법, 및 그것을 이용한 디바이스 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009205442A JP2011060799A (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011060799A true JP2011060799A (ja) | 2011-03-24 |
Family
ID=43933479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009205442A Pending JP2011060799A (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011060799A (ja) |
KR (1) | KR20110026383A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019061142A (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | 露光装置、搬送装置及び物品の製造方法 |
US11009800B2 (en) | 2016-03-10 | 2021-05-18 | Asml Netherlands B.V. | Measurement system, lithographic apparatus and device manufacturing method |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03231420A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-15 | Nikon Corp | 投影光学装置 |
JPH07219212A (ja) * | 1994-02-01 | 1995-08-18 | Orc Mfg Co Ltd | フォトマスクの撓み矯正装置およびその方法 |
JPH10214780A (ja) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JP2004095653A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2006032807A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2006135087A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2008066543A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レチクル平坦度計測装置、およびレチクル平坦度計測装置を搭載した露光装置、並びにレチクル平坦度計測方法、およびレチクル平坦度計測方法を用いた露光方法、並びに露光装置を用いたデバイスの製造方法 |
JP2009010139A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
-
2009
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-
2010
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03231420A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-15 | Nikon Corp | 投影光学装置 |
JPH07219212A (ja) * | 1994-02-01 | 1995-08-18 | Orc Mfg Co Ltd | フォトマスクの撓み矯正装置およびその方法 |
JPH10214780A (ja) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
JP2004095653A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2006032807A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2006135087A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2008066543A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レチクル平坦度計測装置、およびレチクル平坦度計測装置を搭載した露光装置、並びにレチクル平坦度計測方法、およびレチクル平坦度計測方法を用いた露光方法、並びに露光装置を用いたデバイスの製造方法 |
JP2009010139A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11009800B2 (en) | 2016-03-10 | 2021-05-18 | Asml Netherlands B.V. | Measurement system, lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2019061142A (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | 露光装置、搬送装置及び物品の製造方法 |
JP7025165B2 (ja) | 2017-09-27 | 2022-02-24 | キヤノン株式会社 | 露光装置、搬送装置及び物品の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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