JP2006135087A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置EXは、マスク面を境界とする空間を定義する空間定義部材1とともにマスクMを移動させるマスクステージMSTと、前記空間の圧力を制御する圧力制御器と、複数の空間定義部材1のうち露光処理に使用すべきマスクMに適合した空間定義部材を当該マスクMに組み合わせるための操作機構MLとを備える。
【選択図】図1
Description
本発明の好適な実施形態によれば、前記露光装置は、マスクを一時的に保持するバッファを更に備え、前記操作機構は、露光処理の終了後に前記マスクステージに配置されているマスク及び空間定義部材を前記バッファに搬送し、その後、次に使用すべく所定位置に準備されているマスク及び空間定義部材を前記マスクステージに搬送することが好ましい。ここで、前記操作機構は、露光処理の終了後に前記マスクステージに配置されているマスク及び空間定義部材を前記バッファに搬送した後に前記バッファによって保持されている空間定義部材を次に使用すべく前記所定位置に準備されているマスクに組み合わせ、次いで、前記所定位置に準備されているマスク及び空間定義部材を前記マスクステージに搬送してもよい。
図1、図2及び図3において、露光装置EXは、パターンが形成されたマスクMを保持して移動するマスクステージMSTと、感光基板Pを支持する基板ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されたマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンを基板ステージPSTに保持された感光基板Pに投影し転写する投影光学系PLと、マスクローダーMLとを備えている。露光装置EXは、更に、マスクMの撓み量を測定する撓み測定装置60を備えることが好ましい。
撓み制御ユニット1に異物が付着していると、露光時に照度ムラを引き起こしうる。そこで、図15に例示的に示すように、露光装置には、異物を除去するためのクリーナを設けることが好ましい。図15に示す例では、マスク操作ロボットMXによって、撓み制御ユニット1、又は、マスクMを伴う撓み制御ユニット1がクリーナCに搬送される。クリーナCは、例えば、撓み制御ユニット1に付着した異物を検知する異物検知センサDSと、異物検知センサDSによって異物が検知された場合に異物を撓み制御ユニット1から除去する異物除去機構B、例えば、ブロアーを備えうる。
Claims (11)
- パターンを感光基板に転写する露光装置であって、
マスク面を境界とする空間を定義する空間定義部材とともにマスクを移動させるマスクステージと、
前記空間の圧力を制御する圧力制御器と、
複数の空間定義部材のうち露光処理に使用すべきマスクに適合した空間定義部材を当該マスクに組み合わせるための操作機構と、
を備え、前記圧力制御器によって前記空間の圧力を制御しながら、前記マスクステージに搭載されたマスクのパターンを感光基板に転写することを特徴とする露光装置。 - 前記操作機構は、複数のマスクが収容されたストッカーから前記マスクステージにマスクを搬送する途中において、当該搬送に係るマスクに対して空間定義部材を組み合わせることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記マスクステージに一対のマスク及び空間定義部材が搬送された後に、前記空間定義部材に設けられた第1流路と前記マスクステージに設けられた第2流路とが接続され、前記第1及び第2流路を通じて前記圧力制御器が前記空間の圧力を制御可能になることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- マスクを一時的に保持するバッファを更に備え、
前記操作機構は、露光処理の終了後に前記マスクステージに配置されているマスク及び空間定義部材を前記バッファに搬送し、その後、次に使用すべく所定位置に準備されているマスク及び空間定義部材を前記マスクステージに搬送することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記操作機構は、露光処理の終了後に前記マスクステージに配置されているマスク及び空間定義部材を前記バッファに搬送した後に前記バッファによって保持されている空間定義部材を次に使用すべく前記所定位置に準備されているマスクに組み合わせ、次いで、前記所定位置に準備されているマスク及び空間定義部材を前記マスクステージに搬送することを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 次に使用すべきマスクをストッカーから取り出して前記所定位置に配置する第2操作機構を更に備えることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の露光装置。
- 前記ストッカーは、複数のマスクを収容する第1収容部と、複数の空間定義部材を収容する第2収容部とを含み、前記第2操作機構は、前記第1収容部から任意のマスクを取り出して、前記第2収容部に収容されている複数の空間定義部材のうちの1つと組み合わせ、その後、組み合わせに係る一対のマスク及び空間定義部材を前記所定位置に搬送するように駆動されることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 空間定義部材を清浄化するクリーナを更に備えることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記クリーナは、空間定義部材に付着している異物を検知するセンサと、空間定義部材に付着している異物を除去する異物除去機構とを含むことを特徴とする請求項8に記載の露光装置。
- パターンを感光基板に転写する露光装置であって、
マスク面を境界とする空間を定義する空間定義部材とともにマスクを移動させるマスクステージと、
前記空間の圧力を制御する圧力制御器と、
複数のマスクを収容する第1収容部及び複数の空間定義部材を収容する第2収容部を含むストッカーと、
前記第1収容部から任意のマスクを取り出して、前記第2収容部に収容されている複数の空間定義部材のうちの1つと組み合わせ、その後、組み合わせに係る一対のマスク及び空間定義部材を前記マスクステージに搬送する操作機構と、
を備え、前記圧力制御器によって前記空間の圧力を制御しながら、前記マスクステージに搭載されたマスクのパターンを感光基板に転写することを特徴とする露光装置。 - デバイス製造方法であって、
請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の露光装置を使用して感光基板にマスクのパターンを転写する工程と、
パターンが転写された感光基板を現像処理する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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