JP2008191352A - 露光装置、及び露光装置の負圧室の天板を交換する方法 - Google Patents
露光装置、及び露光装置の負圧室の天板を交換する方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】透明な天板21は、マスクホルダ20の開口の上方に設けられ、マスク及びマスクホルダ20と共に負圧室を形成する。負圧室にマスクの単位面積当たりの質量を相殺する負圧をかけることによって、マスクのたわみが抑制される。Xステージ5は、チャック10をマスクホルダ20の下方から離れた受け渡し位置へ移動する。マスクホルダ20は、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部20a,20b,20c,20dを有し、ホルダ部20a,20b,20c,20dを移動して開口を天板21より大きく広げる。マスク搬送ロボット50は、天板搬送用パレット41に搭載された天板21を、マスクホルダ20の広げた開口を通して、マスクホルダ20の下方へ搬出し又はマスクホルダ20の下方から搬入する。
【選択図】図5
Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 Z−チルト機構
10 チャック
20 マスクホルダ
20a,20b,20c,20d ホルダ部
21 天板
22a,22b,22c,22d エアシリンダ
23 吸着溝
30 照射光学系
40 マスクストッカー
41 天板搬送用パレット
42 天板ケース
43,44 支持片
50 マスク搬送ロボット
51 ロボットアーム
Claims (4)
- 基板を搭載するチャックと、
前記チャックを移動するステージと、
露光光が通過する開口を有し、開口の下方にマスクを保持するマスクホルダと、
前記マスクホルダの開口の上方に設けられ、マスク及び前記マスクホルダと共に負圧室を形成する透明な天板と、
前記マスクホルダの上方に設けられ、前記天板を介して露光光をマスクへ照射する照射光学系とを備え、
負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、前記照射光学系から照射した露光光により、マスクのパターンを基板へ転写する露光装置であって、
前記天板を搭載するパレットと、
前記パレットを移動して前記天板を搬送する搬送手段とを備え、
前記ステージは、前記チャックを前記マスクホルダの下方から離れた位置へ移動し、
前記マスクホルダは、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部を有し、該ホルダ部を移動して開口を前記天板より大きく広げ、
前記搬送手段は、前記パレットに搭載された前記天板を、前記マスクホルダの広げた開口を通して、前記マスクホルダの下方へ搬出し又は前記マスクホルダの下方から搬入することを特徴とする露光装置。 - 前記天板を収納するケースを備え、
前記搬送手段は、前記マスクホルダの下方へ搬出した前記天板を前記ケースに収納することを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 基板を搭載するチャックと、
チャックを移動するステージと、
露光光が通過する開口を有し、開口の下方にマスクを保持するマスクホルダと、
マスクホルダの開口の上方に設けられ、マスク及びマスクホルダと共に負圧室を形成する透明な天板と、
マスクホルダの上方に設けられ、天板を介して露光光をマスクへ照射する照射光学系とを備え、
負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、照射光学系から照射した露光光により、マスクのパターンを基板へ転写する露光装置の負圧室の天板を交換する方法であって、
天板を搭載するパレットと、パレットを移動して天板を搬送する搬送手段とを設け、
ステージにより、チャックをマスクホルダの下方から離れた位置へ移動し、
マスクホルダを、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部で構成し、ホルダ部を移動してマスクホルダの開口を天板より大きく広げ、
搬送手段により、パレットに搭載された天板を、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入することを特徴とする露光装置の負圧室の天板を交換する方法。 - 天板を収納するケースを設け、
搬送手段により、マスクホルダの下方へ搬出した天板をケースに収納することを特徴とする請求項3に記載の露光装置の負圧室の天板を交換する方法。
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