JP5006513B2 - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図1、図2及び図3において、露光装置EXは、パターンが形成されたマスクMを保持して移動するマスクステージMSTと、感光基板Pを支持する基板ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されたマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンを基板ステージPSTに保持された感光基板Pに投影し転写する投影光学系PLと、マスクローダーMLとを備えている。露光装置EXは、更に、マスクMの撓み量を測定する撓み測定装置60を備えることが好ましい。
撓み制御ユニット1に異物が付着していると、露光時に照度ムラを引き起こしうる。そこで、図15に例示的に示すように、露光装置には、異物を除去するためのクリーナを設けることが好ましい。図15に示す例では、マスク操作ロボットMXによって、撓み制御ユニット1、又は、マスクMを伴う撓み制御ユニット1がクリーナCに搬送される。クリーナCは、例えば、撓み制御ユニット1に付着した異物を検知する異物検知センサDSと、異物検知センサDSによって異物が検知された場合に異物を撓み制御ユニット1から除去する異物除去機構B、例えば、ブロアーを備えうる。
Claims (7)
- パターンを感光基板に転写する露光装置であって、
マスクを保持するマスクホルダを有していて、前記マスクの前記マスクホルダと反対側の面を境界とする空間を定義する空間定義部材とともに前記マスクを移動させるマスクステージと、
前記空間の圧力を制御する圧力制御器と、
複数の空間定義部材のうち露光処理に使用すべきマスクに適合した空間定義部材を当該マスクに組み合わせるための操作機構と、
前記マスクのみを、もしくは前記マスク及びそれに組み合わされている空間定義部材を一時的に保持するバッファと、
を備え、
前記操作機構は、前記空間定義部材のみを、もしくは前記空間定義部材が組み合わされたマスクを、選択的に搬送可能に構成され、
前記マスクステージに一対の前記マスク及び前記空間定義部材が搬送され、前記マスクホルダに保持させることによって、前記空間定義部材に設けられた第1流路と前記マスクステージに設けられた第2流路とが接続され、前記第1及び第2流路を通じて前記圧力制御器が前記空間の圧力を制御可能にし、
露光処理を終了したマスクと次に使用するマスクとで同一の空間定義部材を使用する場合に、前記操作機構は、露光処理の終了後に前記マスクステージに配置されている第1空間定義部材が組み合わされた第1マスクを前記バッファに搬送した後に前記バッファによって保持されている前記第1空間定義部材を次に使用すべく所定位置に準備されている第2マスクに組み合わせ、次いで、前記所定位置に準備されている前記第1空間定義部材が組み合わされた第2マスクを前記マスクステージに搬送し、
露光処理を終了したマスクと次に使用するマスクとで異なる空間定義部材を使用する場合に、前記操作機構は、露光処理の終了後に前記マスクステージに配置されている第1空間定義部材が組み合わされた第1マスクを前記バッファに搬送し、その後、次に使用すべく前記所定位置に準備されている第2空間定義部材が組み合わされた第2マスクを前記マスクステージに搬送し、
前記圧力制御器によって前記空間の圧力を制御しながら、前記マスクステージに搭載されたマスクのパターンを感光基板に転写することを特徴とする露光装置。 - 複数のマスクを収容可能なストッカーを更に備え、
前記操作機構は、前記ストッカーから前記マスクステージにマスクを搬送する途中において、当該搬送に係るマスクに対して空間定義部材を組み合わせることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 複数のマスク及び空間定義部材を収容可能なストッカーと、
次に使用すべきマスクを前記ストッカーから取り出して前記所定位置に配置する第2操作機構とを更に備えることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記ストッカーは、複数のマスクを収容する第1収容部と、複数の空間定義部材を収容する第2収容部とを含み、前記第2操作機構は、前記第1収容部から任意のマスクを取り出して、前記第2収容部に収容されている複数の空間定義部材のうちの1つと組み合わせ、その後、組み合わせに係る一対のマスク及び空間定義部材を前記所定位置に搬送するように駆動されることを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 空間定義部材を清浄化するクリーナを更に備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記クリーナは、空間定義部材に付着している異物を検知するセンサと、空間定義部材に付着している異物を除去する異物除去機構とを含むことを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- デバイス製造方法であって、
請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の露光装置を使用して感光基板にマスクのパターンを転写する工程と、
パターンが転写された感光基板を現像処理する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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