KR102584913B1 - 디스크 형상 기판 처리 장치 및 서포트 어뎁터 - Google Patents

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Abstract

디스크 형상 기판을 처리하기 위한 장치(10)로서, 상기 디스크 형상 기판에 대한 지지면(16)을 갖는 서포트(14) 및 상기 서포트(14)에 결합될 수 있고 상기 디스크 형상 기판을 처리하는데 이용되는 마스크(22)를 지지할 수 있는 서포트 어뎁터(20)를 포함하며, 상기 서포트(14)로의 상기 서포트 어뎁터(20)의 결합을 검출하는 인터페이스(24)가 제공되며, 상기 인터페이스(24)와 협력하여 상기 서포트 어뎁터(20)가 상기 서포트(14)에 결합되는지 여부를 특히 상기 인터페이스(24)가 점유되는지 여부를 검출하는 제어 시스템(36)이 제공된다.

Description

디스크 형상 기판 처리 장치 및 서포트 어뎁터{DEVICE FOR TREATING A DISC-SHAPED SUBSTRATE AND SUPPORT ADAPTER}
본 발명은 디스크 형상 기판 처리 장치 및 이러한 유형의 장치에 이용되는 서포트 어뎁터에 관한 것이다.
포토리소그래피 방법과 결부하여 이용되는 디스크 형상 기판 처리 장치가 당해 분야에 공지된다. 포토리소그래피 방법에 의해, 예를 들면 집적 회로, 반도체 칩 또는 마이크로전자기계 시스템(MEMS)과 같은 마이크로 구조의 구성 요소가 제조된다. 제조 방법에서, 마스크가 초기에 장치 내에 로딩된다. 그후, 기판("웨이퍼")이 포토레지스트("레지스트")로 코팅되고, 다음으로 마스크를 통해 조사된다. 조사는 기판에 가해지는 포토레지스트의 물리적 및/또는 화학적 특성을 부분적으로 변화시킨다. 다음으로, 포토레지스트는 마스크에 의해 한정된 영역 내에서 제거될 수 있다. 처리된 기판은 다음으로 더욱 프로세스될 수 있다.
마이크로 구조 구성 요소를 제조하는데 이용되는 마스크는 이를 서포트("척(chuck)")을 이용하여 장치에 위치지정함에 의해 장치에 로딩된다. 서포트는 일반적으로 마스크가 소정 위치에 있는 장치로 도입되는 것을 보장하기 위하여 일반적으로 정확하게 마스크 쪽으로 배향된다. 이러한 유형의 서포트는 마스크-로딩 서포트로 공지된다. 장치 내에서, 적어도 하나의 유지 수단이 제공되며, 이는 마스크가 장치에 의해 로딩되도록 서포트로부터 마스크를 수용하고 이를 유지할 수 있다. 다음으로, (코팅된) 기판이 장치에 놓이며, 초기에 기판을 지지하기에 적합한 다른 서포트가 이 목적을 위하여 장치 내에 설치될 필요가 있다. 이러한 유형의 서포트가 프로세스 서포트로 공지된다.
상이한 마이크로 구조의 구성 요소가 상이한 마스크를 이용하여 제조되는 경우, 서포트는 새로운 마스크가 로딩될 때마다 변경되어야 함이 밝혀졌다.
본 발명의 목적은 상이한 마이크로 구조 구성 요소가 효율적으로 제조될 수 있는 옵션을 제공하는 것이다.
상기 목적은 디스크 형상 기판을 처리하는 장치에 의해 달성되는데, 이 장치는 디스크 형상 기판에 대한 지지면을 갖는 서포트 및 상기 서포트에 결합될 수 있고 상기 디스크 형상 기판을 처리하는데 이용되는 마스크를 지지할 수 있는 서포트 어뎁터를 포함하며, 상기 서포트로의 상기 서포트 어뎁터의 결합을 검출하는 인터페이스가 제공되며, 상기 인터페이스와 협력하여 상기 서포트 어뎁터가 상기 서포트에 결합되는지 여부를 특히 상기 인터페이스가 점유되는지 여부를 검출하는 제어 시스템이 제공된다.
본 발명의 바탕에 깔린 아이디어는 동일 서포트가 기판을 지지하고 또한 각 마스크를 지지하는데 이용되는 방식으로 서포트와 협력할 수 있는 서포트 어뎁터를 제공하는 것이다. 결과적으로, 다른 마스크가 로딩되는 경우 서포트가 변경될 필요가 없으므로 효율이 증가될 수 있다. 대신에, 서포트 어뎁터가 놓일 수 있고 단순한 방식으로 서포트에 결합될 수 있으며, 결과적으로 시간이 절약된다. 인터페이스를 통해, 제어 시스템은 서포트 어뎁터가 실제로 서포트에 결합되는지 여부를 검출한다. 제어 시스템은 따라서 기판 또는 마스크가 서포트 상에 배치되는지 여부에 대한 정보를 간접적으로 수신한다.
기판을 지지하는 단일 서포트가 이용될 수 있으며, 마스크를 이송하기 위하여 서포트 어뎁터가 그 위에 로딩될 수 있다. 로딩된 서포트 어뎁터는 서포트 상의 지정된 위치에 놓여서, 마스크는 로딩된 및 고정적으로 위치된 서포트 어뎁터 상에 로딩될 수 있다.
서포트 어뎁터가 서포트 상에 로딩되는지 여부가 인터페이스 및 제어를 통해 결정된다. 그러므로, 서포트 및 서포트 상에 로딩된 서포트 어뎁터 상에 어떤 마스크가 로딩될 수 있는지가 각각 검출될 수 있다. 이는 인터페이스가 마스크의 로딩 공정이 시작되기 이전에 서포트 상에 서포트 어뎁터가 로딩되는지 여부를 검출함을 의미한다.
특히, 인터페이스는 전자기계적 인터페이스이다. 서포트 및/또는 서포트 어뎁터에서 전자기계적 요소가 제공되는데, 여기서 전자기계적 요소는 인터페이스의 일부로서 검출을 위하여 이용된다. 전자기계적 요소는 상태가 전자적으로 분석되는 기계 요소일 수 있다.
인터페이스 및 제어는 일반적으로 서포트 상에 로딩된 서포트 어뎁터가 검출 가능하도록 형성된다. 마스크가 서포트 상에 로딩되는지 또는 서포트에 결합된 서포트 어뎁터 상에 로딩되는지가 인터페이스에 의해 검출되지 않는다. 서포트 어뎁터가 서포트 상에 배치는지 또는 아닌지를 인터페이스를 통해 체크되기 전에 마스크의 로딩 공정이 발생하지 않는다.
서포트는 기판이 처리되는 경우에 장치 내에서 일반적으로 이용되는 서포트이다. 이 서포트는 이하에서 공정 서포트로 칭한다.
일 측면에서, 서포트 어뎁터는 특히 제어 시스템이 소프트웨어 내의 다른 프로그램에 억세스하는 방식으로 인터페이스를 통해 서포트를 코딩한다. 인터페이스의 코딩의 결과로서, 제어 시스템의 소프트웨어에 마스크를 지지하기 위해 제공되는 서포트 다시 말하면 마스크-로딩 서포트가 설치됨이 제시된다. 따라서, 제어 시스템은 코딩된 인터페이스를 기초로 마스크가 서포트 상에 배치됨을 검출하고, 결과로서 제어 시스템은 마스크가 로딩되지 않거나 로딩되는 경우에 제공되는 일반적 프로그램 시퀀스를 시작할 수 있다.
다른 측면에서, 제어 시스템은 메모리에 결합되거나 또는 메모리를 포함하며, 상기 메모리에는 서포트 또는 서포트 어뎁터의 값 특히, 무게(weight) 및/또는 치수가 저장된다. 결과적으로, 제어 시스템은 장치 내에서 진행중인 공정을 엄밀하게 제어할 수 있도록 하기 위하여 중요한 관련 데이터에 억세스할 수 있다. 제어 장치는 따라서 마스크가 서포트 어뎁터가 사이에 배치되는 서포트 상에 위치되는 높이를 설정할 수 있어서, 예를 들면 마스크가 로딩 동안 손상되지 않도록 보장한다.
또한, 마스크를 유지할 수 있는 적어도 하나의 방사원 및/또는 유지 수단이 제공될 수 있다. 마스크가 로딩되는 경우, 유지 수단은 마스크를 점유하고, 이는 서포트 및 서포트 어뎁터 상에 배치되어, 서포트 어뎁터는 이어서 동일 서포트 상에 서포트 어뎁터가 배치되도록 연장될 수 있다. 적어도 하나의 방사원을 이용하여, 서포트 상에 놓인 기판은 이어서 마이크로 구조 구성 요소를 제조하도록 마스크를 통한 방사선으로 조사될 수 있다.
일반적으로, 마스크는 유지 수단, 이는 또한 위치 지정 수단으로 칭함, 을 통해 서포트 및 서포트 상에 로딩된 서포트 어뎁터(선택적)로 전달될 수 있다. 서포트 어뎁터 자체는 고정된 위치를 갖는 중간 모듈을 나타내며, 마스크는 서포트 어뎁터를 통해 로딩되고 위치 지정된다. 따라서, 고정 서포트 어뎁터는 단순히 마스크를 서포트 및 서포트 어뎁터에 각각 전달하는 이동 가능 유지 수단과 구별된다.
실제로, 인터페이스를 통해 특정 서포트 어뎁터가 서포트 상에 놓이고 각각이 로딩되거나 또는 서포트 상에 위치 지정되는 서포트 어뎁터가 없음이 검출된 이후에만 마스크의 로딩 공정이 시작된다.
예를 들면, 서포트 어뎁터는 먼저 서포트 상에 로딩되고 다음으로 이것이 인터페이스에 의해 검출된다. 이 때, 서포트 어뎁터에 적합한 적절한 마스크를 로딩하기 위하여 마스크 로딩 프로그램의 시퀀스가 시작된다. 이러는 동안, 마스크는 유지 수단을 통해 이동되고, 마스크는 서포트 어뎁터로 인하여 선정 위치에 도달한다. 마스크가 선정 위치에 도달한 이후에, 서포트 어뎁터는 제거되어, 기판이 서포트 상에 로딩될 수 있으며, 기판은 로딩된 마스크를 통해 광에 노광될 것이다.
그러므로, 종래 기술과 대조하여 단지 단일 서포트가 제공되므로 마스크 및 기판을 로딩하기 위하여 어뎁터를 분리할 필요가 없다. 종래 기술에서는, 공정 서포트 및 마스크-로딩 서포트가 제공된다.
특히, 제어 시스템은 바람직하게는 인터페이스의 상태의 함수로서 방사원 및/또는 유지 수단을 동작시킨다. 서포트 시스템이 인터페이스가 점유됨을 다시 말하면 서포트 어뎁터가 서포트에 결합됨을 검출하는 경우, 제어 시스템은 유지 수단이 서포트 어뎁터 상에 위치되는 마스크를 로딩하는 방식으로 유지 수단을 동작시킨다. 마스크가 이미 로딩된 경우, 유지 수단은 또한 마스크를 언로딩하도록 서포트 어뎁터 상에 배치될 수 있다. 인터페이스가 코딩되지 않고 마스크가 이미 로딩된 경우, 제어 시스템은 서포트 상에 배치된 기판이 조사되는 방식으로 방사원을 동작시킬 수 있다. 인터페이스가 점유된 결과로서, 제어 시스템 내에 저장된 일부 프로그램이 억세스 가능할 수 있고, 저장된 다른 프로그램은 차단된다. 이는 역으로 비점유된 인터페이스에 대해서도 적용된다.
일 실시예에서, 인터페이스는 서포트 어뎁터 상의 제1 코딩 요소 및 서포트 상의 제2 코딩 요소를 포함하며, 서포트 어뎁터가 서포트를 코딩하도록 서포트에 결합되는 경우에 협력한다. 이는 간략한 방식으로 서포트의 코딩을 제공한다. 두개의 코딩 요소가 서포트 어뎁터 및 서포트 상애 배치되어, 이들은 결합된 상태에서 협력한다.
특히, 제1 코딩 요소는 코딩 핀(coding pin)일 수 있고, 제2 코딩 요소는 코딩 오프닝(coding opening)일 수 있으며, 서포트 어뎁터가 서포트에 결합되는 경우 코딩 핀은 코딩 오프닝에 맞물린다. 따라서 인터페이스는 이행이 특히 용이한 전자기계적 코딩을 포함할 수 있다. 또한, 전자기계적 코딩은 전자 코딩 보다 결함에 덜 민감하다. 전자 기계적 코딩은 상태가 전자적으로 분석되는 기계적 수단에 의해 이행될 수 있다.
다른 측면에서, 서포트 어뎁터는 진공 인터페이스를 통해 서포트에 결합되며, 특히 진공 인터페이스는 디스크 형상 기판을 고정하기 위하여 제공된다. 진공 인터페이스를 통해, 디스크 형상 기판은 일반적으로 기판이 서포트 상의 소정 위치를 차지하는 방식으로 기판에 고정된다. 서포트가 서포트 어뎁터에 결합되는 경우, 이러한 진공 인터페이스가 서포트 상의 서포트 어뎁터의 규정된 위치 지정을 위하여 이용될 수 있다.
모서리 영역에서, 상기 서포트 어뎁터는 상기 마스크가 상기 서포트 어뎁터에 의해 유지될 수 있도록 하는 유지부를 더 포함하며, 상기 유지부는 특히 진공이 가해지는 흡입면을 포함한다. 마스크는 규정되는 위치에 있는 서포트 어뎁터에 진공에 의해 고정될 수 있다. 진공은 특히 서포트 어뎁터가 서포트에 고정되는 진공일 수 있다. 이는 마스크를 서포트 어뎁터에 고정하고, 서포트 어뎁터를 서포트에 고정하고, 이어서 기판을 소정 위치에 있는 서포트에 고정는데 단일 진공원으로 충분하다는 것을 의미한다. 이는 일반적으로 마스크가 서포트에 대한 규정된 위치를 점유하는 것을 보장한다.
다른 측면은 회전에 대한 방지 수단을 제공하며, 이는 서포트에 대한 서포트 어뎁터의 회전을 방지한다. 회전 방지 수단은 서포트 상의 평면에 서포트 어뎁터의 소정 위치를 보장한다. 마스크는 따라서 제공된 배향으로 로딩될 수 있다.
특히, 장치는 서포트를 위한 단일 부착 영역만을 포함한다. 디스크 형상 기판을 처리하기 위한 장치는 따라서 단지 작은 공간만을 필요로 하는 컴팩트한 장치이다. 그럼에도 불구하고, 상이한 마이크로 구조의 구성 요소가 효율적으로 제조될 수 있다.
본 발명은 전술한 유형의 디스크 형상 기판을 처리하기 위한 장치에 이용되기 위한 서포트 어뎁터에 관한 것으로, 서포트 어뎁터는 코딩 요소 특히 코딩 핀을 포함한다. 서포트 어뎁터를 이용하여, 디스크 형상 기판을 수용하도록 형성된 제공된 서포트가 마스크가 이 서포트 상에 배치될 수 있도록 하는 방식으로 재구성될 수 있음이 보장될 수 있다. 또한, 서포트 어뎁터는 서포트가 코딩됨을 보장하여, 장치 내에 설치된 서포트가 마스크를 위한 서포트임을 제어 시스템에게 제안한다.
본 발명의 추가 이점 및 특성이 이하의 설명 및 참조되는 도면으로부터 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 제1 공정 단계에서의 디스크 형상 기판을 처리하기 위한 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1의 제2 공정 단계에서의 본 발명에 따른 장치를 도시한다.
도 3은 도 1 및 도 2의 제3 공정 단계에서의 본 발명에 따른 장치를 도시한다.
도 4는 도 1 내지 도 3의 제4 공정 단계에서의 본 발명에 따른 장치를 도시한다.
도 5는 서포트 상에 배치된 본 발명에 따른 서포트 어뎁터를 도시한다.
도 6은 도 5에서의 투명한 서포트 어뎁터를 도시한다.
도 7은 아래로부터 본 서포트 어뎁터의 투시도이다.
도 8은 도 7의 상세도이다.
도 1 내지 도 4는 마이크로 구조 구성 요소의 제조 동안의 각종 공정 단계에서의 디스크 형상 기판을 처리하기 위한 장치(10)를 도시한다.
장치(10)는 대체로 디스크 형상으로 형성되는 기판(18)(도 4 참조)에 대한 지지면(16)을 갖는 서포트(14)가 배치되는 챔버(12)를 포함한다. 서포트(14)는 따라서 공정 서포트이다. 전술한 것처럼, 공정 서포트는 기판(18)의 처리 동안 다시 말하면 공정 동안 일반적으로 장치(10) 내에 배치되는 서포트(14)이다.
도 5 내지 도 8에서 상세히 도시되는 개별적으로 제조되는 서포트 어뎁터(20)가 서포트(14)에 결합될 수 있다(도 2 참조). 서포트 어뎁터(20)는 이하에 더욱 상세히 설명되는 것처럼 기판(18)을 처리하는데 이용되는 마스크(22)를 지지할 수 있다.
서포트(14)는 서포트 어뎁터(20)가 서포트(14)에 결합되는 경우(도 2 참조)에 점유되는 인터페이스(24)를 더 포함한다. 이러한 목적을 위하여, 서포트 어뎁터(20)는 제1 코딩 요소(26)를 포함한다. 결합된 상태에서, 제1 코딩 요소(26)는 서포트(14) 상에 제공되는 제2 코딩 요소(28)와 협력한다.
그러므로, 인터페이스(24)는 전자기계적 인터페이스이다.
도시된 실시예에서, 제1 코딩 요소(26)가 코딩 핀으로서 형성되고, 제2 코딩 요소(28)가 코딩 오프닝으로서 형성되며, 코딩 핀은 결합된 상태에서 코딩 오프닝에 맞물린다.
두 코딩 요소(26, 28)의 협력의 결과로서, 서포트(14)는 이하에 더욱 상세히 설명되는 것처럼 코딩된다.
서포트(14)는 서포트(14)가 서포트(14) 상의 소정 위치에 기판(18)을 고정할 수 있는 진공 인터페이스(30)를 추가적으로 포함한다(도 4 참조). 진공 인터페이스(30)는 서포트 어뎁터(20)가 동일하게 서포트(14)에 대해 소정 위치를 갖는 방식으로 서포트(14) 상에 서포트 어뎁터(20)를 고정하는 역할을 또한 한다(도 2 참조).
장치(10)는 챔버(12) 내에 특히 이동 가능하게 제공되는 적어도 하나의 유지 수단(32)을 추가적으로 포함한다. 유지 수단(32)을 이용하여, 마스크(20)는 서포트 어뎁터(20)로부터 제거될 수 있으며, 이하에 더 설명되는 것처럼 유지될 수 있다.
장치(10)는 기판을 처리하기 위하여 이용되는 방사원(34)을 더 포함한다. 도시된 실시예에서, 방사원(34)은 챔버(12) 내에 배치된다. 다르게는, 방사원(34)은 챔버(12) 외부에 배치될 수도 있으며, 방사원으로부터의 방사는 챔버(12)에 결합된다.
제어 시스템(36)은 더 제공되고 인터페이스(24), 유지 수단(32) 및 방사원(34)에 결합되어, 제어 시스템(36)은 유지 수단(32) 및 방사원(34)을 작동시킬 수 있다. 작동은 특히 제어 시스템(36)이 인터페이스(24)로부터 수신하는 정보의 함수로서 발생한다.
도시된 실시예에서, 제어 시스템(36)은 서포트(14) 및 서포트 어뎁터(20)를 위한 값이 저장되는 메모리(38)를 추가적으로 포함한다. 다르게는, 메모리(38)는 또한 제어 시스템(36)에 의해 억세스되는 외부 메모리일 수 있다.
도 5 내지 도 8은 서포트 어뎁터(20)를 상세히 도시한다.
도 5는 서포트(14)에 고정되는 서포트 어뎁터(20)의 평면도이다. 서포트 어뎁터(20)는 마스크(22)가 소정 위치에 서포트 어뎁터(20)에 고정될 수 있도록 하는 유지부(40)를 포함한다.
유지부(40)는 대체로 직사각형 및 판형상으로 형성되는 서포트 어뎁터(20)의 각 모서리에 제공된다. 또한, 유지부(40)는 마스크(22)가 서포트 어뎁터(20)에 고정되는 흡입면(42)을 포함한다. 이 목적을 위하여 흡입면(42)에 진공이 가해지고, 진공 인터페이스(30)에 또한 가해지는 진공일 수 있다. 따라서, 유지부(40)와 진공 인터페이스(30) 사이에 흐름 연결이 있고, 이는 도 5 및 도 6에서 튜브(44)로 표시된다.
유지부(40)로의 진공 인터페이스(30)의 흐름 연결은 도 5와 동일한 시점을 제공하는 도 6으로부터 특히 볼 수 있으나, 서포트(14)의 대체로 원형인 지지면(16)이 보일 수 있도록 서포트 어뎁터(20)가 투명한 점이 상이하다.
일반적으로, 이 실시예에서 기판(18)을 서포트(14)에 고정하고, 서포트 어뎁터(20)를 서포트(14)에 고정하고, 마스크를 서포트 어뎁터(20)에 고정하는 것을 보장하는데 하나의 진공 소스로 충분하다.
도 7은 아래로부터의 서포트 어뎁터(20)를 도시하는데, 여기서 하부측으로부터 돌출하는 주변 링(46)이 제공되며, 이는 또한 도 6에 도시된다. 서포트 어뎁터(20)가 서포트(14) 상에 바르게 위치 지정되도록 배치될 수 있도록 링(46)은 서포트(14)의 지지면(16)의 외부 에지를 둘러싼다.
링(46)은 제2 코딩 요소(28)가 또한 제공되는 서포트(14)의 숄더부(48) 상에 위치 지정된다(도 1 및 도 2 참조). 도 8에 상세히 도시되는 제1 코딩 요소(26)가 링(46) 상에 배치된다.
링(46)은 의도치 않은 회전을 방지하는 방지부(50)를 더 포함하는데, 이는 링(46)이 숄더부(48)와 협력하는 링 요소(46)의 불규칙적 윤곽을 이용하여 형성된다. 기계적 회전 방지부(50)는 서포트 어뎁터(20)가 지지면(16)의 평면에 대해 서포트(14)를 바르게 배치될 뿐 만아니라, 상기 면의 다시 말하면 평면의 회전의 축을 중심으로 바르게 배치되는 것을 보장한다.
이하는 서포트 어뎁터(20)가 어떻게 상이한 마이크로 구조의 구성 요소를 효율적으로 제조하는데 이용되는지를 설명한다.
도 1에 도시된 초기 상태에서, 서포트(14)는 장치(10) 내에 설치되고, 이는 서포트(14)를 위한 단일 부착 영역을 단순히 포함한다. 서포트(14)는 기판(18)을 지지하는데 적합한 서포트(14), 다시 말하면 공정 서포트 이다.
초기 상태에서, 장치(10)는 아직 마스크를 로딩하지 않는다. 이 목적을 위하여, 종래 기술에서는, 서포트(14)가 복잡한 방식으로 변경되며, 마스크-로딩 서포트가 설치된다. 마스크(22)를 지지할 수 있는 서포트 어뎁터(20)가 장치(10) 내에 제공되는 서포트(14) 다시 말하면 공정 서포트 상에 배치되므로 더 이상 이것이 필요하지 않다. 공정 서포트는 따라서 마스크-로딩 서포트가 된다. 이는 도 2에 도시된다.
이러한 문맥에서, 서포트 어뎁터(20)는 진공 인터페이스(24)를 통해 서포트(14)에 고정되며, 서포트(14)의 숄더 영역(48) 상에 링(46)을 통해 위치 지정된다. 또한, 서포트 어뎁터(20)가 평면 내의 회전의 축 주위로 회전될 수 없도록 링(46) 상의 기계적 회전 방지부(50)는 서포트(14), 특히 그의 숄더 영역(48)과 협력한다.
또한 마스크(22)가 서포트 어뎁터(20) 상의 소정 위치에 고정되도록 마스크(22)는 유지부(40)의 흡입면(42)을 통해 진공을 이용하여 서포트 어뎁터(20) 상에 또한 유지된다.
진공 인터페이스(30), 기계적 꼬임 방지 방지부(50) 및 유지부(40)는 마스크(22)가 서포트(14)에 대해 소정 위치를 가짐을 보장한다. 이는 마스크(22)를 신뢰적으로 로딩하는데 중요하며, 이는 이하 단계에서 발생한다.
도 2에 도시된 상태에서, 제어 시스템(36)이 서포트(14)가 서포트 어뎁터(20)에 결합됨을 검출하는 방식으로 서포트 어뎁터(20)는 인터페이스(24)를 통해 서포트(14)를 코딩한다. 결과적으로, 제어 시스템(36)에서 제공되는 소프트웨어의 프로그램이 호출되고, 이는 마스크-로딩 프로그램으로 칭한다.
점유된 인터페이스(24)를 이용하여, 설치된 서포트(14)가 마스크-로딩 서포트임이 제어 시스템(36)에 제안되어, 제어 시스템(36)이 대응하는 프로그램을 호출하도록 한다. 이러한 관점에서, 제어 시스템(36)은 메모리(38) 내에 저장된 값에 억세스한다.
마스크(20)가 로딩되고, 제어 시스템(36)이 서포트 어뎁터(20)로부터 마스크(22)를 제거하고 이를 유지하도록 유지 수단(32)을 변위한다. 이 목적을 위하여, 유지 수단(32)은 마스크(22)가 진공을 이용하여 유지 수단(32) 상에 유지될 수 있는 흡입 오프닝을 구비할 수 있다.
제어 시스템(36)은 따라서 단지 서포트 어뎁터(20) 상에 배치된 마스크(22)에 접촉하는 방식으로 유지 수단(32)을 작동시킨다. 이 목적을 위하여, 서포트(14) 및 서포트 어뎁터(20)의 치수와 관련된 값이 메모리(38) 내에 저장되고, 제어 시스템(36)은 이들에 억세스하여 그로부터 얼마나 멀리 유지 수단(32)이 변위될 수 있는지를 계산한다.
인터페이스(24)가 점유된 경우, 서포트(14)를 대응하게 코딩되도록 하고, 제어 시스템(36)은 일반적으로 마스크를 위한 서포트가 마치 장치(10) 내에 설치되는 것처럼 장치(10)의 구성 요소를 작동시킨다.
일단 마스크(22)가 로딩되었다면, 서포트(14)가 기판(18)을 수용하는 것을 준비하도록 서포트 어뎁터(20)는 서포트(14)로부터 제거될 수 있다. 이 상태는 도 3에 도시된다. 그러므로, 서포트(14)를 변경할 필요가 없다.
서포트 어뎁터(20)의 연장 이후로, 인터페이스(24)는 더이상 점유되지 않고, 제어 시스템(36)은 따라서 이를 검출하고 소프트웨어 내의 공정 프로그램으로 칭하는 다른 프로그램으로 스위칭시킨다.
기판(18)은 서포트(14)의 지지면 상에 놓일 수 있고, 진공 인터페이스(30)를 통해 서포트(14)에 고정된다.
이어서, 마스크(22)는 기판(18) 위로 직접 이동하거나 또는 기판(18)과 접촉하도록 다시 유지 수단(32)에 의해 변위될 수 있다. 이는 도 4에 도시된다.
일단 기판(18)이 챔버(12)로 도입되면, 제어 시스템(30)은 방사선을 마스크(22)를 통해 기판(18)에 인가하도록 방사 소스(34)를 작동시킬 수 있다. 처리된 기판(18)은 이어서 더욱 프로세싱될 수 있다.
다른 마스크가 로딩된 경우, 제조된 마이크로 구조 구성 요소, 다시 말하면 프로세싱된 기판(18)은 장치(10)로부터 제거될 수 있으며, 서포트 어뎁터(20)는 서포트(14) 상에 배치될 수 있어, 인터페이스(24)가 다시 점유되도록 한다. 제어 시스템(36)은 따라서 로딩되지 않은 프로그램이 호출될 수 있도록 이를 검출한다. 이때, 유지 수단(32)은 서포트 어뎁터(20) 상의 로딩된 마스크(22) 상에 놓이고(deposit) 이 마스크(22)가 제거되고 새로운 마스크가 놓일 수 있도록 한다. 이어서, 서포트 어뎁터(20)가 서포트(14)로부터 제거될 수 있으며, 새로운 기판이 다른 마이크로 구조 구성 요소의 제조를 시작하도록 서포트(14) 상에 놓일 수 있다.
결과적으로, 서포트(14)를 교체할 필요가 없으므로, 신규 마스크가 효율적으로 로딩될 수 있다.
따라서, 마스크(22) 외에도 기판(18)을 지지하는데 동일한 서포트(14)가 이용될 수 있으며, 마스크(22)는 중간의 서포트 어뎁터(20)를 통해 서포트(14) 상에 배치된다.
서포트(14)에 대한 마스크(22)의 정확한 소정 위치가 진공 인터페이스(30), 기계적 회전 방지부(50) 및 흡입면(42)을 포함하는 유지부(40)를 통해 보장된다. 따라서 유지 수단(32)은 마스크(22)가 신뢰할 수 있게 로딩되고 이어서 언로딩될 수 있도록 서포트 어뎁터(20) 상에 배치된 마스크(22)를 신뢰할 수 있게 수용 및 유지할 수 있다.

Claims (16)

  1. 디스크 형상 기판(18)을 처리하기 위한 장치(10)로서, 상기 디스크 형상 기판(18)에 대한 지지면(16)을 갖는 서포트(14) 및 상기 서포트(14)에 결합될 수 있고 상기 디스크 형상 기판(18)을 처리하는데 이용되는 마스크(22)를 지지할 수 있는 서포트 어뎁터(20)를 포함하며, 상기 서포트 어뎁터(20)의 상기 서포트(14)에 대한 결합을 검출하는 인터페이스(24)가 제공되며, 상기 인터페이스(24)와 협력하여(cooperate) 상기 서포트 어뎁터(20)가 상기 서포트(14)에 결합되는지 여부를 검출하는 제어 시스템(36)이 제공되는, 장치(10).
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 서포트 어뎁터(20)의 상기 서포트(14)에 대한 상기 결합은 상기 인터페이스(24)를 통해 코드화되어 있는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제어 시스템(36)은 메모리(38)에 결합되거나 또는 메모리를 포함하며, 상기 메모리에 상기 서포트(14) 및 상기 서포트 어뎁터(20)의 값이 저장되는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 적어도 하나의 방사원(34), 또는 상기 마스크(22)를 유지할 수 있는 하나의 유지 수단(32), 또는 상기 방사원(34) 및 상기 유지 수단(32)이 제공되는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 제어 시스템(36)은 상기 방사원(34) 및 상기 유지 수단(32) 중 적어도 하나를 동작시키는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 인터페이스(24)는 상기 서포트 어뎁터(20) 상의 제1 코딩 요소(26) 및 상기 서포트(14) 상의 제2 코딩 요소(28)를 포함하며, 상기 제1 코딩 요소(26) 및 상기 제2 코딩 요소(28)는 상기 서포트 어뎁터(20)가 상기 서포트(14)에 결합되는 경우 협력하여 상기 서포트 어뎁터(20)의 상기 서포트(14)에 대한 상기 결합을 코드화하는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 제1 코딩 요소(26)가 코딩 핀(coding pin)이고, 상기 제2 코딩 요소(28)가 코딩 오프닝(coding opening)이며, 상기 서포트 어뎁터(20)가 상기 서포트(14)에 결합되는 경우 상기 코딩 핀이 상기 코딩 오프닝에 맞물리는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  8. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 서포트 어뎁터(20)는 진공 인터페이스(30)를 통해 상기 서포트(14)에 결합되는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  9. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 서포트 어뎁터(20)는 직사각형의 판형상으로 형성되며, 상기 서포트 어뎁터(20)의 모서리 영역들에서, 상기 서포트 어뎁터(20)는 상기 마스크(22)가 상기 서포트 어뎁터(20)에 의해 유지될 수 있도록 하는 유지부(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  10. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 서포트 어뎁터(20)의 상기 서포트(14)에 대한 회전을 방지하는 회전 방지부(50)가 제공되는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  11. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 디스크 형상 기판(18)을 처리하는 장치(10)에 이용되는 서포트 어뎁터(20)로서, 상기 서포트 어뎁터(20)는 코딩 요소(26)를 포함하는, 서포트 어뎁터.
  12. 청구항 2에 있어서, 상기 서포트 어뎁터(20)의 상기 서포트(14)에 대한 상기 결합은 상기 제어 시스템(36)이 소프트웨어 내의 다른 프로그램에 억세스하는 방식으로 상기 인터페이스(24)를 통해 코드화되어 있는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  13. 청구항 3에 있어서, 상기 서포트(14) 및 상기 서포트 어뎁터(20)의 상기 값은 무게(weight) 및 치수 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 장치(10).
  14. 청구항 5에 있어서, 상기 제어 시스템(36)은 상기 방사원(34) 및 상기 유지 수단(32) 중 적어도 하나를 상기 인터페이스(24)의 상태의 함수로서 동작시키는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  15. 청구항 8에 있어서, 상기 진공 인터페이스(30)는 상기 디스크 형상 기판(18)을 고정하기 위하여 제공되는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  16. 청구항 9에 있어서, 상기 유지부(40)는 진공이 가해지는 흡입면(42)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치(10).
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