KR20060113158A - 베이크 유니트를 포함하는 스피너 - Google Patents

베이크 유니트를 포함하는 스피너 Download PDF

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KR20060113158A
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Abstract

반도체 소자 제조를 위한 사진 공정에 사용되는 베이크 유니트를 포함하는 스피너(spinner)에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 스피너는 핫플레이트와 커버 부재로 구성되는 베이크 챔버를 구비하는 베이크 유니트와, 상기 베이크 챔버에서의 웨이퍼의 반입 또는 반출을 위하여 수평 이동 가능한 로봇암을 구비하는 구동 유니트와, 상기 베이크 챔버의 오픈 상태를 판단하기 위하여 상기 커버 부재의 위치를 확인하기 위한 수평 센서를 포함한다. 상기 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재의 높이에 따라 선택적으로 상기 구동 유니트의 동작을 정지시키기 위하여 제어 장치가 구비되어 있다.
스피너, 베이크 유니트, 커버 부재, 오픈, 구동 유니트, 수평 센서

Description

베이크 유니트를 포함하는 스피너{Spinner including bake unit}
도 1은 종래 기술에 따른 스피너의 베이크 유니트(10) 및 구동 유니트(20)의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스피너의 요부 구성을 도시한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110: 베이크 유니트, 112: 핫플레이트, 114: 커버 부재, 116: 지지핀, 118: 실린더, 120: 구동 유니트, 122: 로봇암, 150: 수평 센서, 152: 발광 센서, 154: 수광 센서, 160: 제어 장치.
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 특히 반도체 소자 제조를 위한 사진 공정에 사용되는 베이크 유니트를 포함하는 스피너(spinner)에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자 제조 공정은 이온 주입 공정, 증착 공정, 확산 공정, 사진 공정, 식각 공정 등과 같은 일련의 공정들로 이루어진다. 이러한 공정들 중에서 사진 공정은 식각 또는 이온 주입이 될 부위와 보호될 부위를 선택적으로 정의하기 위해 마스크 또는 레티클의 패턴을 웨이퍼 위에 형성하는 공정으로서 포토레지스트 도포 공정, 노광 공정 및 현상 공정을 포함하며, 특히 포토레지스트 도포 후 포토레지스트 내에 함유된 용제를 제거하기 위한 베이크 공정을 포함한다.
사진 공정시 사용되는 반도체 공정 설비 중 하나인 스피너는 웨이퍼의 표면에 포토레지스트를 도포하고 이를 스텝퍼(stepper)로 노광하고 다시 현상해 주는 설비이다. 스피너의 베이크 유니트 (bake unit)에서는 주로 DUV (deep ultraviolet)에 의한 PEB (post exposure bake) 공정이 행해진다. 상기 스피너의 베이크 유니트에서는 챔버 내의 핫플레이트 상에 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 장착하여 소정의 온도로 포토레지스트를 베이크하는 챔버식 베이크 장치가 사용된다.
도 1은 종래 기술에 따른 스피너의 베이크 유니트(10) 및 구동 유니트(20)의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 베이크 유니트(10)의 베이크 챔버는 베이크 공정을 진행하기 위해 웨이퍼를 올려 놓는 핫플레이트(12)와, 상기 핫플레이트(12)의 상부에 설치되어 있는 커버 부재(14)로 구성된다. 상기 핫플레이트(12)의 상면에는 웨이퍼와의 접촉 면적을 최대로 감소시킬 수 있는 상태로 웨이퍼가 그 위에 수평 방향으로 놓이도록 지지하는 지지핀(16)이 설치되어 있다. 상기 커버 부재(14)는 실린더(18)에 의하여 상하 이동 가능하게 설치되어 있다.
웨이퍼의 베이크 처리를 위해서는, 웨이퍼를 상기 지지핀(16)위에 올려 놓은 상태에서 실린더(18)를 이용하여 상기 커버 부재(14)를 상기 핫플레이트(12) 쪽으 로 다운(down)시킨다. 이 상태에서 웨이퍼의 베이크 공정이 완료된 후 후속의 웨이퍼 베이크 공정을 진행하기 위하여 상기 커버 부재(14)는 다시 업(up) 동작에 의하여 챔버 오픈(open) 위치로 이동하게 된다. 상기 베이크 챔버에서 웨이퍼의 로딩 및 언로딩은 구동 유니트(20)의 로봇 암(22)에 의하여 이루어진다. 상기 로봇 암(22)은 상기 베이트 챔버의 오픈 상태, 즉 상기 커버 부재(14)가 완전히 올라간 상태에서 화살표 "A"로 표시한 바와 같은 수평 방향 이동에 의하여 웨이퍼를 상기 베이크 챔버로부터 꺼내거나 상기 베이크 챔버에 웨이퍼를 넣는 동작을 한다.
지금까지 사용되어 온 종래의 베이크 유니트에서는 베이크 챔버가 오픈 상태임을 인식할 수 있는 센서로서 실린더(18)에 구비된 업센서 (up sensor) (도시 생략) 만을 이용하였다. 그러나, 상기 업센서에 의존하여 베이크 챔버의 오픈 상태를 판단하는 경우에는 상기 베이크 챔버의 오픈 상태를 정확하게 파악하는 데 한계가 있다. 즉, 예를 들면 상기 실린더(18)의 위치가 정상 위치로부터 어긋나 있는 경우에는 베이크 챔버가 정상적으로 오픈되지 않았음에도 불구하고 상기 실린더(18)의 업센서는 정상적으로 오픈되었다고 인식하여 베이크 유니트에서의 다른 부분도 정상 동작되도록 제어되는 경우가 발생할 수 있다. 그 결과, 상기 구동 유니트(20)의 로봇 암(22)도 정상적인 동작을 행하기 위하여 상기 베이크 챔버로의 인(in) 또는 아웃(out) 동작을 진행하게 된다. 그러나, 상기 베이크 챔버가 정상적으로 오픈되지 않은 상태에서는 상기 커버 부재(14)는 도 1에 예시된 바와 같이 정상 오픈 위치에서의 높이(H) 보다 낮게 위치될 수 있다. 이와 같은 경우에 상기 구동 유니트(20)에서 로봇 암(22)이 정상 동작을 위해 수평 이동을 하면서 상기 베이크 챔버 내측으로 이동할 때 상기 로봇 암(22)이 상기 베이크 챔버에 충돌하는 경우가 발생된다. 이는 설비 파손 및 위험 가능성을 초래한다.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 베이크 유니트의 베이크 챔버가 정상적으로 오픈된 상태에서만 설비가 전체적으로 정상 동작되도록 함으로써 설비 파손 및 위험 가능성을 제거하고 설비 가동율을 증가시킬 수 있는 구성을 가지는 베이크 유니트를 포함하는 스피너를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 스피너는 웨이퍼를 가열하기 위하여 상기 웨이퍼가 지지되는 지지핀을 구비하는 핫플레이트와, 상기 핫플레이트를 덮을 수 있도록 상기 핫플레이트 위에 설치된 커버 부재로 구성되는 베이크 챔버를 구비한 베이크 유니트를 포함한다. 상기 커버 부재는 상기 베이크 챔버가 오픈(open) 상태 또는 클로즈(close) 상태로 될 수 있도록 실린더에 의하여 상하 이동된다. 상기 베이크 챔버에서의 웨이퍼의 반입 또는 반출을 위하여 수평 이동 가능한 로봇암을 구비하는 구동 유니트를 포함한다. 또한, 상기 베이크 챔버의 오픈 상태를 판단하기 위하여 상기 커버 부재의 위치를 확인하기 위한 수평 센서를 포함한다. 상기 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재의 높이에 따라 선택적으로 상기 구동 유니트의 동작을 정지시키기 위하여 제어 장치가 구비되어 있다.
바람직하게는, 상기 수평 센서는 상기 베이크 유니트의 양 단부에 각각 위치 되는 발광 센서 및 수광 센서로 이루어진다. 또한, 상기 수평 센서는 상기 베이크 챔버가 완전한 오픈 상태로 되도록 상기 커버 부재가 상향 이동된 위치 보다 낮은 위치에 설치된다.
상기 제어 장치는 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재가 상기 수평 센서의 높이 보다 낮은 위치에 위치할 때 상기 구동 유니트의 동작을 정지시킨다.
본 발명에 의하면, 스피너의 베이크 유니트에서 커버 부재가 정상적으로 오픈된 경우에만 후속의 구동 유니트의 정상 동작이 가능하고, 커버 부재가 정상적으로 오픈되지 않은 경우에는 후속의 구동 유니트의 동작이 중단될 수 있다. 따라서, 설비간의 충돌과, 그에 따른 설비 파손 및 사고 발생 등의 위험 요소를 제거할 수 있다.
다음에, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스피너의 요부 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 스피너는 웨이퍼에 대하여 베이크 공정을 진행하기 위한 베이크 유니트(110)를 포함한다. 상기 베이크 유니크(110)는 웨이퍼를 가열하기 위하여 상기 웨이퍼가 지지되는 지지핀(116)이 구비된 핫플레이트(112)와, 상기 핫플레이트(112)를 덮을 수 있도록 상기 핫플레이트(112) 위에 설치되어 있는 커버 부재(114)로 구성되는 베이크 챔버를 구비한다. 상기 커버 부재 (114)는 실린더(118)에 의하여 상하 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 실린더(118)는 상기 베이크 챔버가 오픈(open) 상태 또는 클로즈(close) 상태로 될 수 있도록 상기 커버 부재(114)를 상하 이동시키는 역할을 한다.
본 발명에 따른 스피너는 웨이퍼를 이동시키는 구동 유니트(120)를 포함한다. 상기 구동 유니트(120)는 상기 핫플레이트(112) 및 커버 부재(114)로 구성되는 베이크 챔버에서의 웨이퍼의 반입 또는 반출을 위하여 화살표 "B"로 표시한 바와 같은 수평 방향으로 이동 가능한 로봇암(122)을 구비하고 있다.
또한, 본 발명에 따른 스피너는 상기 베이크 챔버의 오픈 상태를 판단하기 위하여 상기 커버 부재(114)의 위치를 확인하기 위한 수평 센서(150)를 구비한다. 상기 수평 센서(150)는 상기 베이크 유니트(110)의 양 단부에 각각 위치되는 발광 센서(152) 및 수광 센서(154)로 이루어질 수 있다. 바람직하게는, 상기 발광 센서(152) 및 수광 센서(154)는 상기 베이크 유니트에서 대각선 방향으로 빛을 감지하도록 상기 베이크 유니트의 양 단부에서 상호 대각선으로 대향하는 상태로 위치될 수 있다. 이와 같이 상기 발광 센서(152) 및 수광 센서(154)를 상기 베이크 유니트에서 대각선 방향으로 대향하도록 위치시키면, 상기 구동 유니트(120)의 로봇암(122)의 웨이퍼 인출 및 인입 동작에 전혀 영향을 미치지 않는다.
상기 수평 센서(150)는 상기 커버 부재(114)의 완전한 오픈 상태, 즉 상기 베이크 챔버가 완전히 오픈된 상태로 되도록 상기 커버 부재(114)가 그 설정된 높이까지 완전히 상향 이동된 위치보다 낮은 높이(H)의 위치에 설치되어 있다.
상기 수평 센서(150)의 감지 신호는 제어 장치(160)로 전달되며, 상기 제어 장치(160)에서는 상기 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재(114)의 높이(P)에 따라 선택적으로 상기 구동 유니트(120)의 동작을 정지시킨다. 즉, 상기 제어 장치(160)는 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재(114)가 상기 수평 센서(150)의 높이(H) 보다 낮은 위치에 위치할 때 상기 구동 유니트(120)의 동작을 정지시킨다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 스피너에서는 상기 실린더(118)의 업센서에 의하여 상기 커버 부재(114)의 위치가 정상 오픈 위치라고 감지되었음에도 불구하고 상기 커버 부재(114)가 완전히 오픈되지 않아 정상 위치에 있지 않는 경우, 상기 수평 센서(150)에 의하여 상기 커버 부재(114)의 높이가 정상인지 비정상인지를 검출하여 확인한 후 상기 구동 유니트(120)의 동작 여부를 결정할 수 있다. 상기 제어 장치(160)에서는 상기 커버 부재(114)가 정상적으로 오픈된 경우에만 후속의 정상 동작이 가능하게 하고, 커버 부재(114)가 정상적으로 오픈되지 않은 경우에는 후속의 구동 유니트(120)의 동작을 중단시킨다.
본 발명에 따른 스피너는 베이크 유니트에서 베이크 챔버의 오픈 상태를 판단하기 위하여 상기 커버 부재의 위치를 확인하기 위한 수평 센서와, 상기 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재의 높이에 따라 선택적으로 상기 구동 유니트의 동작을 정지시키기 위한 제어 장치를 포함한다. 웨이퍼에 대하여 베이크 공정을 행하는 데 있어서, 베이크 챔버를 구성하는 커버 부재가 완전히 오픈되지 않아 정상 위치에 있지 않는 경우, 상기 수평 센서에 의하여 상기 커버 부재의 높이가 정 상인지 비정상인지를 확인하고, 상기 제어 장치는 커버 부재의 위치의 정상 여부에 따라 후속의 구동 유니트의 동작 여부를 결정한다. 따라서, 커버 부재가 정상적으로 오픈된 경우에만 후속의 구동 유니트의 정상 동작이 가능하고, 커버 부재가 정상적으로 오픈되지 않은 경우에는 후속의 구동 유니트의 동작이 중단될 수 있다. 따라서, 설비간의 충돌과, 그에 따른 설비 파손 및 사고 발생 등의 위험 요소를 제거할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형 및 변경이 가능하다.

Claims (5)

  1. 웨이퍼를 가열하기 위하여 상기 웨이퍼가 지지되는 지지핀을 구비하는 핫플레이트와, 상기 핫플레이트를 덮을 수 있도록 상기 핫플레이트 위에 설치된 커버 부재로 구성되는 베이크 챔버를 구비한 베이크 유니트와,
    상기 베이크 챔버가 오픈(open) 상태 또는 클로즈(close) 상태로 될 수 있도록 상기 커버 부재를 상하 이동시키기 위한 실린더와,
    상기 베이크 챔버에서의 웨이퍼의 반입 또는 반출을 위하여 수평 이동 가능한 로봇암을 구비하는 구동 유니트와,
    상기 베이크 챔버의 오픈 상태를 판단하기 위하여 상기 커버 부재의 위치를 확인하기 위한 수평 센서와,
    상기 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재의 높이에 따라 선택적으로 상기 구동 유니트의 동작을 정지시키기 위한 제어 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 스피너.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수평 센서는 상기 베이크 유니트의 양 단부에 각각 위치되는 발광 센서 및 수광 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스피너.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 수평 센서는 상기 베이크 유니트에 대하여 대각선 방향으로 빛을 감지하도록 상기 베이크 유니트의 양 단부에 각각 위치되어 있는 발광 센서 및 수광 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스피너.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수평 센서는 상기 베이크 챔버가 완전한 오픈 상태로 되도록 상기 커버 부재가 상향 이동된 위치 보다 낮은 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스피너.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어 장치는 베이크 챔버의 오픈 상태에서 상기 커버 부재가 상기 수평 센서의 높이 보다 낮은 위치에 위치할 때 상기 구동 유니트의 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 스피너.
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