JP2015119187A5

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Publication number: JP2015119187A5
Application number: JP2015003029A
Authority: JP
Filing date: 2015-01-09
Publication date: 2015-09-03
Anticipated expiration: 2028-07-16

Claims

投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系を支持するフレーム部材と、
前記投影光学系から離れて前記フレーム部材に支持され、前記基板のマークを検出する検出系と、
前記投影光学系および前記検出系の下方に配置されるベースと、
前記基板を保持するホルダを有し、前記ベース上で前記投影光学系および前記検出系に対して相対移動可能なステージと、
前記投影光学系の下端側で前記投影光学系の光軸に直交する所定面と平行に配置されるように前記フレーム部材に支持され、反射型格子を有する格子部材と、
前記ステージに設けられ、前記格子部材に対してその下方からそれぞれビームを照射する複数のヘッドを有し、前記ステージの位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記エンコーダシステムで計測される位置情報に基づいて前記ステージの移動を制御する制御装置と、を備え、
前記基板の露光動作および前記検出系による前記マークの検出動作でそれぞれ前記エンコーダシステムによって前記ステージの位置情報が計測される。
請求項１に記載の露光装置において、
前記格子部材は、前記反射型格子と反対側で支持部材を介して前記フレーム部材に吊り下げ支持される。
請求項１又は２に記載の露光装置において、
前記格子部材はフレキシャー部材を介して前記フレーム部材に支持される。
請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部材は、前記所定面と平行な方向に移動可能となるように前記フレーム部材に支持される。
請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部材は、前記反射型格子を覆う保護部材を有する。
請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記上面よりも外側に位置するように前記ステージに設けられる。
請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影光学系の下端側に配置されるとともに、前記ステージが対向して配置される下面側に前記照明光が通過する開口を有し、前記投影光学系と前記基板の一部との間に液浸領域を形成するノズルユニットを、さらに備え、
前記格子部材は、前記ノズルユニットに対してその外側に配置され、
前記基板は、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して前記照明光で露光される。
請求項７に記載の露光装置において、
前記格子部材はその開口内に前記ノズルユニットが位置するように設けられる。
請求項７又は８に記載の露光装置において、
前記格子部材は、前記ノズルユニットを囲むように設けられるとともに、前記反射型格子が前記ノズルユニットの下面よりも高く配置されるように設けられる。
請求項７〜９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ノズルユニットはその下面側で前記照明光が通過する開口の周囲に配置される回収口を有し、
前記ノズルユニットを介して前記液浸領域に液体が供給されるとともに、前記回収口を介して前記液浸領域から液体が回収される。
請求項７〜１０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ノズルユニットを支持する、前記フレーム部材と異なるフレーム部材を、さらに備える。
請求項７〜１０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ノズルユニットは、前記フレーム部材に設けられる。
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影光学系から離れて前記フレーム部材に支持され、前記所定面と直交する方向に関する前記基板の位置情報を検出する基板位置検出系を、さらに備える。
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ステージは、前記ホルダが配置される凹部が設けられる上面を有し、前記基板の表面が前記上面と同一面となるように前記凹部内で前記基板を前記ホルダで保持する。
デバイス製造方法であって、
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含む。
投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
互いに離れてフレーム部材に支持される前記投影光学系および前記基板のマークを検出する検出系の下方に配置されるベース上で、前記基板を保持するホルダを有するステージを移動することと、
前記投影光学系の下端側で前記投影光学系の光軸に直交する所定面と平行に配置されるように前記フレーム部材に支持され、反射型格子を有する格子部材に対してその下方からそれぞれビームを照射する、前記ステージに設けられる複数のヘッドを有するエンコーダシステムによって、前記ステージの位置情報を計測することと、
前記エンコーダシステムで計測される位置情報に基づいて前記ステージの移動を制御することと、を含み、
前記基板の露光動作および前記検出系による前記マークの検出動作でそれぞれ前記エンコーダシステムによって前記ステージの位置情報が計測される。
請求項１６に記載の露光方法において、
前記格子部材は、前記反射型格子と反対側で支持部材を介して前記フレーム部材に吊り下げ支持される。
請求項１６又は１７に記載の露光方法において、
前記格子部材はフレキシャー部材を介して前記フレーム部材に支持される。
請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部材は、前記所定面と平行な方向に移動可能となるように前記フレーム部材に支持される。
請求項１６〜１９のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部材は、前記ビームが保護部材を介して前記反射型格子に照射される。
請求項１６〜２０のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記上面よりも外側に位置するように前記ステージに設けられる。
請求項１６〜２１のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記投影光学系の下端側に配置されるとともに、前記ステージが対向して配置される下面側に前記照明光が通過する開口を有するノズルユニットによって、前記投影光学系と前記基板の一部との間に液浸領域が形成され、前記基板は、前記投影光学系と前記液浸領域の液体とを介して前記照明光で露光され、
前記格子部材は、前記ノズルユニットに対してその外側に配置される。
請求項２２に記載の露光方法において、
前記格子部材はその開口内に前記ノズルユニットが位置するように設けられる。
請求項２２又は２３に記載の露光方法において、
前記格子部材は、前記ノズルユニットを囲むように設けられるとともに、前記反射型格子が前記ノズルユニットの下面よりも高く配置されるように設けられる。
請求項２２〜２４のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記ノズルユニットはその下面側で前記照明光が通過する開口の周囲に配置される回収口を有し、
前記ノズルユニットを介して前記液浸領域に液体が供給されるとともに、前記回収口を介して前記液浸領域から液体が回収される。
請求項２２〜２５のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記ノズルユニットは前記フレーム部材と異なるフレーム部材で支持される。
請求項２２〜２５のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記ノズルユニットは、前記フレーム部材で支持される。
請求項１６〜２７のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記投影光学系から離れて前記フレーム部材に支持される基板位置検出系によって、前記所定面と直交する方向に関する前記基板の位置情報が検出される。
請求項１６〜２８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記基板はその表面が前記ステージの上面と同一面となるように前記上面の凹部内で保持される。
デバイス製造方法であって、
請求項１６〜２９のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含む。