JP2016006511A5 - - Google Patents

Description

本発明の第１の態様によれば、互いに直交する第１及び第２軸を含む所定の二次元平面に沿って配置された平板状の物体を移動させる物体移動装置であって、前記物体の端部を保持し、前記二次元平面に沿って移動可能な移動体と、前記移動体を少なくとも前記二次元平面内の一軸方向に駆動する駆動装置と、前記移動体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体の下面に支持面を対向させて前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置と、複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得する取得部と、を備える物体移動装置が、提供される。

本発明の第５の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光装置であって、互いに直交する第１及び第２軸を含む所定の二次元平面に沿って配置された平板状の物体の端部を保持し、前記二次元平面に沿って移動可能な移動体と、前記移動体を少なくとも前記二次元平面内の一軸方向に駆動する駆動装置と、前記移動体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置と、複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得する取得部と、を備える第２の露光装置が、提供される。

本発明の第６の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光装置であって、水平面に平行な所定の二次元平面内の一部の領域に、前記パターンを介した前記エネルギビームを照射する光学系と、前記二次元平面に沿って配置された平板状の物体を、前記二次元平面内の前記一部の領域を含む所定の領域内で少なくとも一軸方向に駆動する駆動装置と、前記物体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体の前記エネルギビームが照射される一部の領域を含む部分を、前記物体の下方から非接触状態で保持し、前記部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する定点ステージと、複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得する取得部と、を備える第３の露光装置が、提供される。

本発明の第８の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光方法であって、前記パターンを介した前記エネルギビームが光学系により照射される一部の領域を含む水平面に平行な所定の二次元平面内の所定の領域内で、移動体により保持され前記二次元平面に沿って配置された平板状の物体を、少なくとも一軸方向に駆動することと、前記物体が駆動される際に、前記物体の前記エネルギビームが照射される一部の領域を含む部分を、前記物体の下方から非接触状態で保持し、前記部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整することと、複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得することと、を含む露光方法が、提供される。

Claims (52)

1. 互いに直交する第１及び第２軸を含む所定の二次元平面に沿って配置された平板状の物体を移動させる物体移動装置であって、
   前記物体の端部を保持し、前記二次元平面に沿って移動可能な移動体と、
   前記移動体を少なくとも前記二次元平面内の一軸方向に駆動する駆動装置と、
   前記移動体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体の下面に支持面を対向させて前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置と、
   複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得する取得部と、を備える物体移動装置。
2. 前記ヘッドは、前記移動体に設けられた格子部材に対向する位置に設けらえる請求項１に記載の物体移動装置。
3. 非接触支持装置は、前記端部が保持された前記物体の下面から第１距離離れて配置される第１支持面と、前記端部が保持された前記物体の前記下面から第２距離離れて配置される第２支持面とを備える請求項１又は２に記載の物体移動装置。
4. 前記第２距離は前記第１距離よりも小さい請求項３に記載の物体移動装置。
5. 前記移動体は、前記物体の端部に沿って延設された枠状の部材から成る本体部を有する請求項１〜４のいずれか一項に記載の物体移動装置。
6. 前記移動体は、前記物体の外周縁部の少なくとも一部を下方から吸着保持する保持部材を有し、
   前記保持部材は、前記本体部に対して前記物体を保持した状態で前記二次元平面に直交する方向に変位可能である請求項５に記載の物体移動装置。
7. 前記保持部材は、前記物体の下面よりも下方に張り出して設けられ、その張り出し量は、前記非接触支持装置の前記支持面と前記物体の下面との距離よりも小さい請求項６に記載の物体移動装置。
8. 前記本体部は、前記物体に対する前記二次元平面に平行な方向への相対移動により、該物体の通過を許容する開口部を有する請求項５〜７のいずれか一項に記載の物体移動装置。
9. 前記移動体は、前記本体部の内壁面のうちの互いに対向する一対の対向面の一方側から、他方側に向けて前記物体を押圧することにより、該物体を前記本体部に保持させる押圧装置を有する請求項５に記載の物体移動装置。
10. 前記駆動装置は、前記第１軸に平行に延設された第１ガイド部材と、前記第１ガイド部材上を前記第１軸に平行な方向に移動する第１移動部材と、前記第２軸に平行に延設され、前記第１移動部材に接続された第２ガイド部材と、前記移動体を保持し、前記第２ガイド部材上を前記第２軸に平行な方向に移動する第２移動部材と、を含み、
    前記第１ガイド部材及び前記第１移動部材は、前記所定の二次元平面よりも下方に配置される請求項１〜９のいずれか一項に記載の物体移動装置。
11. 前記第１ガイド部材は、前記第２軸に平行な方向に所定間隔で複数設けられ、
    前記第１移動部材は、前記複数の第１ガイド部材に対応して複数設けられ、
    前記第２ガイド部材は、前記複数の第１移動部材間に架設される請求項１０に記載の物体移動装置。
12. 前記第２ガイド部材は、前記非接触支持装置の前記支持面よりも上方に配置され、その下面が前記非接触支持装置により非接触状態で支持される請求項１０又は１１に記載の物体移動装置。
13. 前記第２移動部材は、前記第２ガイド部材に非接触支持される請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の物体移動装置。
14. 前記第２移動部材は、前記第２軸に平行な方向に所定間隔で複数設けられ、
    前記移動体は、前記複数の第２移動部材により複数部位が保持される請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の物体移動装置。
15. 前記移動体は、前記第２移動部材に非接触保持される請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の物体移動装置。
16. 前記駆動装置は、前記移動体を前記第２移動部材に対して前記二次元平面に平行な方向に微少駆動する微少駆動装置を備える請求項１５に記載の物体移動装置。
17. 前記第１移動部材は、前記二次元平面内の一軸方向に関して、前記移動体の一側及び他側それぞれに設けられ、
    前記第２ガイド部材及び前記第２移動部材は、それぞれ前記一側及び前記他側の第１移動部材に対応して設けられ、
    前記移動体は、前記一軸方向の一側と他側とが前記一側及び前記他側の第２移動部材それぞれに保持される請求項１０〜１６のいずれか一項に記載の物体移動装置。
18. 前記移動体は、前記第２移動部材に対し、該移動体と該第２移動部材との前記二次元平面に平行な方向への相対移動を制限しつつ、前記二次元平面に平行な軸線回りの回転を許容するヒンジ装置を介して接続される請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の物体移動装置。
19. 前記非接触支持装置は、前記支持面から前記物体に対して気体を噴出して前記物体を非接触支持する請求項１〜１８のいずれか一項に記載の物体移動装置。
20. 前記非接触支持装置の前記支持面は、前記駆動装置により駆動される際の前記物体の移動範囲をカバーする請求項１〜１９のいずれか一項に記載の物体移動装置。
21. 前記非接触支持装置は、前記支持面の少なくとも一部が前記二次元平面に交差する方向に移動可能に設けられ、該支持面の少なくとも一部の前記二次元平面に交差する方向への移動により、前記物体を前記移動体から分離させて前記二次元平面に交差する方向に移動させる請求項１〜２０のいずれか一項に記載の物体移動装置。
22. 前記二次元平面内の位置が固定で、前記物体の面積よりも狭い保持面を有し、前記二次元平面に沿って移動する前記物体のうち、前記保持面に対向する部分を前記物体の下方から非接触状態で保持して該部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する調整装置をさらに備える請求項１〜２１のいずれか一項に記載の物体移動装置。
23. 前記調整装置は、前記保持面から前記物体に対して気体を噴出するとともに、前記保持面と前記物体との間の気体を吸引して前記物体を非接触保持する請求項２２に記載の物体移動装置。
24. 前記調整装置は、前記物体と前記保持面との距離が一定となるように、前記物体と前記保持面との間の気体の気圧及び流量の少なくとも一方を可変させる請求項２３に記載の物体移動装置。
25. 前記調整装置は、前記保持面を有する部材を前記二次元平面に交差する方向に駆動するアクチュエータを有する請求項２２〜２４のいずれか一項に記載の物体移動装置。
26. 前記アクチュエータは、前記保持面を有する部材に設けられた可動子と、前記保持面を有する部材の位置情報を計測する計測部材とは振動的に分離された部材に設けられた固定子と、を含む請求項２５に記載の物体移動装置。
27. 前記調整装置は、前記物体の重量をキャンセルする重量キャンセル装置を有する請求項２２〜２６のいずれか一項に記載の物体移動装置。
28. 前記保持面を有する部材は、前記駆動装置と振動的に分離されている請求項２２〜２７のいずれか一項に記載の物体移動装置。
29. 前記調整装置の前記保持面と前記物体との間の距離は、前記非接触支持装置の前記支持面と前記物体との間の距離よりも短い請求項２２〜２８のいずれか一項に記載の物体移動装置。
30. 請求項２２〜２９のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
    前記物体に関して所定の処理を行うために、該物体のうち、前記調整装置に保持される部分に、前記調整装置とは反対の側から所定の動作を実行する実行装置と、を備える物体処理装置。
31. 前記実行装置は、前記物体を検査するために該物体表面を撮像する撮像装置を含む請求項３０に記載の物体処理装置。
32. 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項３０又は３１に記載の物体処理装置。
33. 前記実行装置は、エネルギビームを用いて前記物体を露光することにより所定のパターンを該物体上に形成するパターン形成装置である請求項３０に記載の物体処理装置。
34. 請求項３３に記載の物体処理装置を用いて前記物体を露光することと、
    前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
35. 請求項１〜２１のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
    エネルギビームを用いて前記物体を露光することにより所定のパターンを該物体上に形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。
36. 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項３５に記載の露光装置。
37. 請求項１〜２１のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
    前記物体を検査するために該物体表面を撮像する撮像部と：を有する物体検査装置。
38. 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項３７に記載の物体検査装置。
39. エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光装置であって、
    互いに直交する第１及び第２軸を含む所定の二次元平面に沿って配置された平板状の物体の端部を保持し、前記二次元平面に沿って移動可能な移動体と、
    前記移動体を少なくとも前記二次元平面内の一軸方向に駆動する駆動装置と、
    前記移動体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置と、
    複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得する取得部と、を備える露光装置。
40. 前記二次元平面内の位置が固定で、前記物体の面積よりも狭い保持面を有し、前記二次元平面に沿って移動する前記物体のうち、前記保持面に対向する部分を前記物体の下方から非接触状態で保持して該部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する調整装置をさらに備える請求項３９に記載の露光装置。
41. 前記物体は、サイズが５００ｍｍ以上の基板である請求項３９又は４０に記載の露光装置。
42. 請求項３９又は４０に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
    前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
43. 請求項３９又は４０に記載の露光装置を用いてフラットパネルディスプレイ用の基板を露光することと、
    露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。
44. エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光装置であって、
    水平面に平行な所定の二次元平面内の一部の領域に、前記パターンを介した前記エネルギビームを照射する光学系と、
    前記二次元平面に沿って配置された平板状の物体を、前記二次元平面内の前記一部の領域を含む所定の領域内で少なくとも一軸方向に駆動する駆動装置と、
    前記物体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体の前記エネルギビームが照射される一部の領域を含む部分を、前記物体の下方から非接触状態で保持し、前記部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する定点ステージと、
    複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得する取得部と、を備える露光装置。
45. 前記物体の前記定点ステージに保持される部分を除く他の領域に支持面を対向させて前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置を、さらに備える請求項４４に記載の露光装置。
46. 前記所定の領域内の一部で、前記物体の上面の前記二次元平面に垂直な方向の面位置の分布を計測する面位置計測系をさらに備える請求項４４又は４５に記載の露光装置。
47. 前記物体は、サイズが５００ｍｍ以上の基板である請求項４４〜４６のいずれか一項に記載の露光装置。
48. 請求項４４〜４７のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
    前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
49. 請求項４４〜４７のいずれか一項に記載の露光装置を用いてフラットパネルディスプレイ用の基板を露光することと、
    露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。
50. エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光方法であって、
    前記パターンを介した前記エネルギビームが光学系により照射される一部の領域を含む水平面に平行な所定の二次元平面内の所定の領域内で、移動体により保持され前記二次元平面に沿って配置された平板状の物体を、少なくとも一軸方向に駆動することと、
    前記物体が駆動される際に、前記物体の前記エネルギビームが照射される一部の領域を含む部分を、前記物体の下方から非接触状態で保持し、前記部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整することと、
    複数の格子領域が設けられる格子部材と、前記格子部材に対して計測ビームを照射するヘッドとの一方が前記移動体に設けられ、前記計測ビームの前記格子領域への照射により前記移動体の位置に関する情報を取得することと、を含む露光方法。
51. 前記物体の前記部分を除く他の領域を下方から非接触支持することを、さらに含む請求項５０に記載の露光方法。
52. 請求項５０又は５１に記載の露光方法を用いて前記物体を露光することと、
    露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。