JP2016006511A - 物体移動装置、物体処理装置、露光装置、物体検査装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Pは、枠状に形成された軽量な基板保持枠60により吸着保持され、基板保持枠60は、リニアモータを含む駆動ユニット70により水平面に沿って駆動される。基板保持枠60の下方には、基板Pの下面にエアを噴出して、その基板Pが概ね水平となるように非接触浮上支持する複数のエア浮上ユニット50が配置されている。複数のエア浮上ユニット50は、基板保持枠60の移動範囲をカバーしているので、駆動ユニット70は、高速且つ高精度で基板保持枠60(基板P)を水平面に沿って案内できる。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図6(C)に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態の液晶露光装置について説明する。本第2の実施形態の液晶露光装置は、基板Pを保持する基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、前述の第1の実施形態の液晶露光装置10と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。ここで、重複説明を避ける観点から、上記第1の実施形態と同等の機能を有するものについては、上記第1の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第3の実施形態について説明する。第3の実施形態の液晶露光装置は、基板Pを保持する基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、前述した第1、第2の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1、第2の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1、第2の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第4の実施形態について図9及び図10に基づいて、説明する。第4の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1、第2、第3の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第3の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第3の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第5の実施形態について図11、図12に基づいて、説明する。第5の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第4の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第4の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第4の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第6の実施形態について図13に基づいて、説明する。第6の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第5の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第5の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第5の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第7の実施形態について、図14,図15に基づいて、説明する。第7の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第6の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第6の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第6の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第8の実施形態について、図16に基づいて、説明する。第8の実施形態の液晶露光装置は、基板ステージ装置の構成が異なる点を除き、第1〜第7の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有しているため、以下では、基板ステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1〜第7の実施形態と同様の機能を有するものについては、上記第1〜第7の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に第9の実施形態について説明する。上記第1〜第8の実施形態に係る基板ステージ装置が液晶露光装置に設けられていたのに対し、図17に示されるように、本第9の実施形態に係る基板ステージ装置PST9は、基板検査装置900に設けられている。
次に、上記各実施形態の露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記各実施形態の露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上述した各実施形態の露光装置を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (48)
- 互いに直交する第1及び第2軸を含む所定の二次元平面に沿って配置された平板状の物体を移動させる物体移動装置であって、
前記物体の端部を保持し、前記二次元平面に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体を少なくとも前記二次元平面内の一軸方向に駆動する駆動装置と、
前記移動体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体の下面に支持面を対向させて前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置と、
を備える物体移動装置。 - 前記移動体は、前記物体の端部に沿って延設された枠状の部材から成る本体部を有する請求項1に記載の物体移動装置。
- 前記移動体は、前記物体の外周縁部の少なくとも一部を下方から吸着保持する保持部材を有し、
前記保持部材は、前記本体部に対して前記物体を保持した状態で前記二次元平面に直交する方向に変位可能である請求項2に記載の物体移動装置。 - 前記保持部材は、前記物体の下面よりも下方に張り出して設けられ、その張り出し量は、前記非接触支持装置の前記支持面と前記物体の下面との距離よりも小さい請求項3に記載の物体移動装置。
- 前記本体部は、前記物体に対する前記二次元平面に平行な方向への相対移動により、該物体の通過を許容する開口部を有する請求項2〜4のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記移動体は、前記本体部の内壁面のうちの互いに対向する一対の対向面の一方側から、他方側に向けて前記物体を押圧することにより、該物体を前記本体部に保持させる押圧装置を有する請求項2に記載の物体移動装置。
- 前記本体部の前記第1軸に直交する第1外側面、及び前記第2軸に直交する第2外側面それぞれに測長ビームを照射するとともにその反射光を受光することにより、前記本体部の前記二次元平面内の位置情報を求める光干渉計システムをさらに備える請求項2〜6のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記移動体に設けられた反射面に測長ビームを照射するとともにその反射光を受光することにより、前記移動体の前記二次元平面内の位置情報を求める光干渉計システムをさらに備える請求項1〜6のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記駆動装置は、前記第1軸に平行に延設された第1ガイド部材と、前記第1ガイド部材上を前記第1軸に平行な方向に移動する第1移動部材と、前記第2軸に平行に延設され、前記第1移動部材に接続された第2ガイド部材と、前記移動体を保持し、前記第2ガイド部材上を前記第2軸に平行な方向に移動する第2移動部材と、を含み、
前記第1ガイド部材及び前記第1移動部材は、前記所定の二次元平面よりも下方に配置される請求項1〜8のいずれか一項に記載の物体移動装置。 - 前記第1ガイド部材は、前記第2軸に平行な方向に所定間隔で複数設けられ、
前記第1移動部材は、前記複数の第1ガイド部材に対応して複数設けられ、
前記第2ガイド部材は、前記複数の第1移動部材間に架設される請求項9に記載の物体移動装置。 - 前記第2ガイド部材は、前記非接触支持装置の前記支持面よりも上方に配置され、その下面が前記非接触支持装置により非接触状態で支持される請求項9又は10に記載の物体移動装置。
- 前記第2移動部材は、前記第2ガイド部材に非接触支持される請求項9〜11のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記第2移動部材は、前記第2軸に平行な方向に所定間隔で複数設けられ、
前記移動体は、前記複数の第2移動部材により複数部位が保持される請求項9〜12のいずれか一項に記載の物体移動装置。 - 前記移動体は、前記第2移動部材に非接触保持される請求項9〜13のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記駆動装置は、前記移動体を前記第2移動部材に対して前記二次元平面に平行な方向に微少駆動する微少駆動装置を備える請求項14に記載の物体移動装置。
- 前記第1移動部材は、前記二次元平面内の一軸方向に関して、前記移動体の一側及び他側それぞれに設けられ、
前記第2ガイド部材及び前記第2移動部材は、それぞれ前記一側及び前記他側の第1移動部材に対応して設けられ、
前記移動体は、前記一軸方向の一側と他側とが前記一側及び前記他側の第2移動部材それぞれに保持される請求項9〜15のいずれか一項に記載の物体移動装置。 - 前記移動体は、前記第2移動部材に対し、該移動体と該第2移動部材との前記二次元平面に平行な方向への相対移動を制限しつつ、前記二次元平面に平行な軸線回りの回転を許容するヒンジ装置を介して接続される請求項9〜11のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記非接触支持装置は、前記支持面から前記物体に対して気体を噴出して前記物体を非接触支持する請求項1〜17のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記非接触支持装置の前記支持面は、前記駆動装置により駆動される際の前記物体の移動範囲をカバーする請求項1〜18のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記非接触支持装置は、前記支持面の少なくとも一部が前記二次元平面に交差する方向に移動可能に設けられ、該支持面の少なくとも一部の前記二次元平面に交差する方向への移動により、前記物体を前記移動体から分離させて前記二次元平面に交差する方向に移動させる請求項1〜19のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記二次元平面内の位置が固定で、前記物体の面積よりも狭い保持面を有し、前記二次元平面に沿って移動する前記物体のうち、前記保持面に対向する部分を前記物体の下方から非接触状態で保持して該部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する調整装置をさらに備える請求項1〜20のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記調整装置は、前記保持面から前記物体に対して気体を噴出するとともに、前記保持面と前記物体との間の気体を吸引して前記物体を非接触保持する請求項21に記載の物体移動装置。
- 前記調整装置は、前記物体と前記保持面との距離が一定となるように、前記物体と前記保持面との間の気体の気圧及び流量の少なくとも一方を可変させる請求項22に記載の物体移動装置。
- 前記調整装置は、前記保持面を有する部材を前記二次元平面内に交差する方向に駆動するアクチュエータを有する請求項21〜23のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記アクチュエータは、前記保持面を有する部材に設けられた可動子と、前記保持面を有する部材の位置情報を計測する計測部材とは振動的に分離された部材に設けられた固定子と、を含む請求項24に記載の物体移動装置。
- 前記調整装置は、前記物体の重量をキャンセルする重量キャンセル装置を有する請求項21〜25のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記保持面を有する部材は、前記駆動装置と振動的に分離されている請求項21〜26のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 前記調整装置の前記保持面と前記物体との間の距離は、前記非接触支持装置の前記支持面と前記物体との間の距離よりも短い請求項21〜27のいずれか一項に記載の物体移動装置。
- 請求項21〜28のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
前記物体に関して所定の処理を行うために、該物体のうち、前記調整装置に保持される部分に、前記調整装置とは反対の側から所定の動作を実行する実行装置と、を備える物体処理装置。 - 前記実行装置は、前記物体を検査するために該物体表面を撮像する撮像装置を含む請求項29に記載の物体処理装置。
- 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項29又は30に記載の物体処理装置。
- 前記実行装置は、エネルギビームを用いて前記物体を露光することにより所定のパターンを該物体上に形成するパターン形成装置である請求項29に記載の物体処理装置。
- 請求項32に記載の物体処理装置を用いて前記物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 請求項1〜20のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
エネルギビームを用いて前記物体を露光することにより所定のパターンを該物体上に形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項34に記載の露光装置。
- 請求項1〜20のいずれか一項に記載の物体移動装置と、
前記物体を検査するために該物体表面を撮像する撮像部と:を有する物体検査装置。 - 前記物体は、ディスプレイ装置の表示パネルに用いられる基板である請求項36に記載の物体検査装置。
- エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光装置であって、
互いに直交する第1及び第2軸を含む所定の二次元平面に沿って配置された平板状の物体の端部を保持し、前記二次元平面に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体を少なくとも前記二次元平面内の一軸方向に駆動する駆動装置と、
前記移動体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置と、を備える露光装置。 - 前記二次元平面内の位置が固定で、前記物体の面積よりも狭い保持面を有し、前記二次元平面に沿って移動する前記物体のうち、前記保持面に対向する部分を前記物体の下方から非接触状態で保持して該部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する調整装置をさらに備える請求項38に記載の露光装置。
- エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光装置であって、
水平面に平行な所定の二次元平面内の一部の領域に、前記パターンを介した前記エネルギビームを照射する光学系と、
前記二次元平面に沿って配置された平板状の物体を、前記二次元平面内の前記一部の領域を含む所定の領域内で少なくともの一軸方向に駆動する駆動装置と、
前記物体が前記駆動装置により駆動される際に、前記物体の前記エネルギビームが照射される一部の領域を含む部分を、前記物体の下方から非接触状態で保持し、前記部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する定点ステージと、を備える露光装置。 - 前記物体の前記定点ステージに保持される部分を除く他の領域に支持面を対向させて前記物体を下方から非接触支持する非接触支持装置を、さらに備える請求項40に記載の露光装置。
- 前記所定の領域内の一部で、前記物体の上面の前記二次元平面に垂直な方向の面位置の分布を計測する面位置計測系をさらに備える請求項40又は41に記載の露光装置。
- 前記物体は、サイズが500mm以上の基板である請求項38〜42のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項34、35、38〜43のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 請求項34、35、38〜43のいずれか一項に記載の露光装置を用いてフラットパネルディスプレイ用の基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - エネルギビームを用いて物体を露光することにより所定のパターンを前記物体上に形成する露光方法であって、
前記パターンを介した前記エネルギビームが光学系により照射される一部の領域を含む水平面に平行な所定の二次元平面内の所定の領域内で、前記二次元平面に沿って配置された平板状の物体を、少なくとも一軸方向に駆動することと、
前記物体が駆動される際に、前記物体の前記エネルギビームが照射される一部の領域を含む部分を、前記物体の下方から非接触状態で保持し、前記部分の前記二次元平面に交差する方向の位置を調整することと、を含む露光方法。 - 前記物体の前記部分を除く他の領域を下方から非接触支持することを、さらに含む請求項46に記載の露光方法。
- 請求項46又は47に記載の露光方法を用いて前記物体を露光することと、
前記露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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