CN102470998A - 空气浮起式基板搬运装置 - Google Patents

Abstract

空气浮起式基板搬运装置(1)具备：多个支撑部(3)，其在相对于搬运方向正交的方向上隔开规定的间隔而相互并列地配置，喷出空气而使基板(10)维持为浮起的状态；和搬运部(6)，其在搬运方向上运送向支撑部(3)的上方浮起的基板(10)。另外，空气浮起式基板搬运装置(1)具备驱动部(9)，所述驱动部(9)在使由搬运部(6)运送到规定的位置的基板(10)在向支撑部(3)的上方浮起的状态下，以基板(10)的中心为旋转中心旋转。在基板(10)在上述规定的位置旋转时的基板(10)的角部所通过的相邻的支撑部(3)彼此之间的位置的至少一部分，设有支撑基板(10)的滚珠轴承(14)。根据该构成，可以防止在基板(10)中发生破损或损伤并可以提高产品的成品率。

Description

空气浮起式基板搬运装置

技术领域

本发明涉及空气浮起式基板搬运装置，尤其涉及在装置内使基板旋转的空气浮起式基板搬运装置。

背景技术

近年来，对液晶面板所使用的玻璃基板等进行处理的装置采用以通过从玻璃基板的下方喷射高压空气来使玻璃基板浮起的状态支撑玻璃基板的空气浮起式基板支撑装置。作为公开了该基板支撑装置的现有文献，有特开2008-147293号公报。

在特开2008-147293号公报中记载的基板支撑装置具备X方向移动装置、θ方向旋转装置以及空气浮起装置等。在该基板支撑装置中，将向空气浮起装置提供的空气的温度维持为恒定，由此抑制基板的温度的变化来防止基板的伸缩，使基板处理的加工精度提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2008-147293号公报

发明内容

发明要解决的问题

一般空气浮起装置如在特开2008-147293号公报的图1中记载的那样，在相对于基板的搬运方向正交的方向上，隔开规定的间隔而配置。其原因是，当基板被搬入基板支撑装置或从基板支撑装置取出基板时，基板由机械臂搬运。机械臂具有梳齿状臂，以比其齿宽大的间隔来配置空气浮起装置，由此当进行基板的搬入或取出时，防止空气浮起装置与机械臂相互干扰。

在专利文献1所记载的基板支撑装置中，为了进行对准处理，用θ方向旋转装置使基板旋转。此时，在用空气浮起装置使基板在浮起的状态下旋转，但是如上所述，隔开间隔来配置空气浮起装置，因此，在正在旋转的基板中，存在空气喷射不到的部位。

当空气无法喷到基板的角部周边时，在基板的角部周边发生由基板的自重导致的变位。另外，在基板的端部，在空气的喷射变得不均衡的情况下，基板的端部被倾斜地支撑。有时在基板的角部发生变位或基板的端部被倾斜地支撑的状态下，当使基板旋转时，基板的角部与空气浮起装置的上部接触。在这种情况下，基板发生破损或损伤而成为不合格品，因此，存在产品的成品率降低的问题。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供抑制在使基板浮起的状态下使基板旋转时，由基板与空气浮起装置接触导致的基板的破损或损伤的发生，并实现产品的成品率的提高的空气浮起式基板搬运装置。

用于解决问题的方案

基于本发明的空气浮起式基板搬运装置是在对矩形基板从下方喷射空气来使其浮起的状态下，搬运基板的装置。在该空气浮起式基板搬运装置中，具备：多个支撑部，其在相对于搬运方向正交的方向上隔开规定的间隔而相互并列地配置，喷出空气而使基板维持为浮起的状态；和搬运部，其在搬运方向上运送向支撑部的上方浮起的基板。另外，空气浮起式基板搬运装置具备驱动部，所述驱动部使由搬运部运送到规定的位置的基板在向支撑部的上方浮起的状态下，以基板的中心为旋转中心旋转。在基板在上述规定的位置旋转时的基板的角部所通过的相邻的支撑部彼此之间的位置的至少一部分，设有将基板支撑于基板浮起状态下的高度的辅助支撑部。

根据上述构成，当使基板在浮起的状态下旋转时，在支撑部彼此之间未喷出空气的位置，可以用辅助支撑部来支撑基板的角部。因而，可以抑制在基板的角部发生变位以及基板的端部被倾斜地支撑。其结果是，可以抑制由基板与支撑部接触导致的基板的破损或损伤的发生，可以实现产品的成品率的提高。

优选在空气浮起式基板搬运装置中，在支撑部彼此之间的位置并且是基板在上述规定的位置旋转时基板的角部所通过的位置之中，在与基板的搬运方向正交的方向上离基板的中心最远的位置上，设有辅助支撑部。

在这种情况下，在基板的端部在最不均衡地喷射空气的位置上，可以由辅助支撑部来支撑空气喷射不到的基板的角部，因此，可以有效地抑制在基板的角部发生变位以及倾斜地支撑基板的端部。

优选辅助支撑部将基板支撑于由支撑部使基板浮起的状态下的高度。在这种情况下，可以防止在基板的角部发生变位以及倾斜地支撑基板的端部。

优选辅助支撑部能够在上下方向上移动。在这种情况下，当使基板旋转时，辅助支撑部位于对基板进行支撑的高度，除了使基板旋转时以外，辅助支撑部以从基板离开的方式下降。因而，当基板被搬入空气浮起式基板搬运装置或从装置取出时，可以防止搬运基板的机械臂与辅助支撑部相互干扰。

优选在空气浮起式基板搬运装置中，具备控制部，所述控制部，当使基板旋转时，使辅助支撑部上升而使得辅助支撑部位于支撑基板的高度，当基板的旋转结束后，使辅助支撑部下降而离开基板。在这种情况下，可以利用控制部来使驱动部的动作与辅助支撑部的动作同步，因此，可以有效地处理基板，可以缩短处理工时。

在基于本发明的空气浮起式基板搬运装置中，可以是，辅助支撑部具有用能够向所有方向旋转的球来支撑基板的滚珠轴承。在这种情况下，用滚珠轴承的球的顶点来支撑基板的角部的下面，由此可以可靠地支撑基板的角部。因而，即使在使基板旋转时的旋转速度变大的情况下，也可以可靠地防止基板与支撑部的上部接触。

或者，可以是，辅助支撑部具有对上述基板从下方喷射空气来支撑上述基板的空气喷嘴。在这种情况下，从空气喷嘴向基板的角部的下面喷射空气，由此可以不与基板直接接触，可以防止在基板的角部发生变位以及基板的端部被倾斜地支撑。因而，可以防止在基板的下面产生损伤或接触痕迹。

发明效果

根据本发明，当使基板在浮起的状态下旋转时，在支撑部彼此之间的未喷出空气的位置，可以用辅助支撑部来支撑基板的角部。因而，可以抑制在基板的角部发生变位以及基板的端部被倾斜地支撑。其结果是，可以防止由基板与支撑部接触导致的基板的破损或损伤的发生，可以实现产品的成品率的提高。

附图说明

图1是示出本发明的实施方式1的空气浮起式基板搬运装置的构成的立体图。

图2是示出在同一实施方式的空气浮起式基板搬运装置中，基板被搬运到处理部的状态的立体图。

图3A是示出基板在规定的位置被处理的状态的平面图。

图3B是示出利用驱动部使基板旋转的状态的平面图。

图3C是示出利用驱动部使基板旋转90°的状态的平面图。

图4是示出利用驱动部使基板少量旋转的状态的平面图。

图5是从箭头V看图4的基板的短边侧的端部的图。

图6是在未设置辅助支撑部的情况下，从基板的搬运方向的前方看图4的VI部的图。

图7是示出使处理完毕的基板旋转的状态的平面图。

图8是示出了设置滚珠轴承的位置的平面图。

图9是示出同一实施方式的滚珠轴承的构成的立体图。

图10A是示出滚珠轴承对基板的角部进行支撑的状态的侧面图。

图10B是示出滚珠轴承正在待机的状态的侧面图。

图11是示出将空气喷嘴用作辅助支撑部，使基板旋转的状态的侧面图。

图12A是示出用变形例的空气喷嘴来支撑基板的状态的侧面图。

图12B是示出变形例的空气喷嘴正在待机的状态的侧面图。

具体实施方式

下面，参照图1说明本发明的实施方式1的空气浮起式基板搬运装置。

实施方式1

图1是示出本发明的实施方式1的空气浮起式基板搬运装置的构成的立体图。图2是示出在本发明的实施方式1的空气浮起式基板搬运装置中，基板被搬运到处理部的状态的立体图。在本实施方式的空气浮起式基板搬运装置中，如从图1示出的状态变为图2示出的状态那样，向图2示出的箭头方向搬运基板10。

如图1、2所示，本发明的实施方式1的空气浮起式基板搬运装置1在具有长方体形状的底座2的上面，设有喷出空气来使矩形基板10维持为浮起状态的多个支撑部3。在矩形中还包括长方形和正方形。

多个支撑部3的每一个为了不与向空气浮起式基板搬运装置1搬入基板10的未图示的机械臂相互干扰，在与基板10的搬运方向正交的方向上，相互隔开规定的间隔并列地配置。另外，多个支撑部3的每一个在基板10的搬运方向上，相互空开微小的间隙而配置。在本实施方式中，在基板10的搬运方向上，配置了7列支撑部3，在与基板10的搬运方向正交的方向上，配置了10行支撑部3，但是支撑部3的配置不限于此。

在与基板10的搬运方向正交的方向上，在配置在最外侧的支撑部3的外侧，形成有引导部5，所述引导部5包括成为对基板10进行保持的保持部4的移动路径的未图示的引导轨道和滚珠丝杆等。2个引导部5以相互相对的方式形成，在基板10的搬运方向上平行地配置。

在各个引导部5的上面，配置保持基板10的保持部4，在本实施方式中，由2个保持部4来保持并搬运基板10的角部。2个保持部4可以并行地在搬运方向上移动，因此，可以边维持基板10的对准边搬运基板10。搬运部6包括引导部5和保持部4。利用搬运部6在搬运方向上运送向支撑部3的上方浮起的基板10。

在空气浮起式基板搬运装置1的基板10的搬运方向顶端侧，以与底座2的长边侧的两方的侧面相对的方式，配置有具有四棱柱形状的2个支柱11。具有四棱柱形状的横梁12以在2个支柱11之间架桥的方式配置在每一个支柱11的上部。

在横梁12的侧面，设有向下照射光并进行曝光的处理部13。处理部13以比基板10的宽度长的方式形成，因此，可以一次性对搬运到处理部13的下方的基板10的整个宽度方向进行处理。

为了利用处理部13来处理基板10，基板10由搬运部6运送到规定的位置。在被运送到规定的位置的基板10的中心位置的下方，配置有使基板10以基板10的中心为旋转中心旋转的驱动部9。驱动部9包括：卡盘7，其吸附基板10的下面并把持基板10；轴部8，其在内部形成有用于从卡盘7的上面抽吸或喷射空气的配管；以及未图示的驱动控制部，其与轴部8连接。

在卡盘7的上面，形成有与轴部8的上述配管连通并成为空气用通过口的未图示的开口部。当抽吸基板10时，在基板10的下面与卡盘7的上面接触的状态下，空气从开口部被抽吸。当取消对基板10的抽吸时，空气从开口部被喷射。基板10的旋转结束后，驱动部9向基板10的下方少量下降并待机。接着，当使基板10旋转时，由驱动控制部来控制驱动部9，使卡盘7的上面上升到与基板10的下面接触为止。

本实施方式的卡盘7由相互正交的2个直线部形成，但是卡盘7的形状不限于此，只要在上面形成把持基板10的平面即可。驱动部9把持基板10并旋转，由此使基板10在向支撑部3的上方浮起的状态下旋转。

在上述规定的位置上，在基板10旋转时的基板10的角部所通过的相邻的支撑部3彼此之间的位置的至少一部分，设有作为对基板10进行支撑的辅助支撑部的滚珠轴承14。在后面叙述本实施方式的滚珠轴承14的配置。

下面，为了说明配置本实施方式的滚珠轴承14的目的，对空气浮起式基板搬运装置的动作进行说明。

如图1所示，被搬入空气浮起式基板搬运装置1的基板10被维持为用下面承受从支撑部3喷出的空气并浮起的状态。如图2所示，基板10由搬运部6搬运到处理部13的下方的规定位置。

图3A是示出基板在规定的位置被处理的状态的平面图。图3B是示出利用驱动部使基板旋转的状态的平面图。图3C是示出利用驱动部使基板旋转90°的状态的平面图。

在本实施方式中，在基板10的上面形成有光固化抗蚀剂，需要使基板10的周围的端部曝光。因此，首先，如图3A所示，通过从处理部13照射的光，使基板10的长边侧的两端部15曝光。当曝光时，可以使两端部15同时曝光，也可以使每一个端部分别曝光。

两端部15的曝光结束后，需要使未曝光的短边侧的两端部曝光。因此，如图3B所示，在使基板10向支撑部3的上方浮起的状态下，利用驱动部9使基板10旋转。如图3C所示，在使基板10旋转90°的状态下，由驱动部9进行的驱动结束。在该状态下，基板10的短边侧的两端部与图2示出的处理部13平行地配置，因此，通过从处理部13照射的光，可以使基板10的短边侧的两端部曝光。当曝光时，可以使基板10的短边侧的两端部同时曝光，也可以使每一个端部分别曝光。

图4是示出利用驱动部使基板少量旋转的状态的平面图。如图4所示，当从以基板10的长度方向与和基板10的搬运方向正交的方向一致的方式配置基板10的状态，使基板10少量旋转时，在基板10的短边侧的两端部各自产生2个区域。

第1区域16是在基板10的下方存在支撑部3，从支撑部3对基板10的下面喷射空气的区域。第2区域17是在基板10的下方不存在支撑部3，不从支撑部3对基板10的下面喷射空气的区域。这样，第1区域16和第2区域17产生在基板10的短边侧的两端部，由此在基板10的短边侧的两端部，空气的喷射带来的对基板10的支撑变得不均衡。

图5是从箭头V看图4的基板的短边侧的端部的图。如图5所示，在基板10的短边侧的两端部，因为承受从支撑部3喷出的空气18的量的不同，基板10被支撑的高度因为位置不同而不同并发生倾斜。另外，在第2区域17中，对基板10的下面未喷射空气，因此，易于发生由基板10的角部的自重导致的变位。例如，在利用支撑部3使长边的长度约为3m，厚度为0.7mm的基板10浮起0.5mm的情况下，发生1mm～2mm程度的变位。

图6是在未设置辅助支撑部的情况下，从基板的搬运方向的前方看图4的VI部的图。如图6所示，在基板10的短边侧的端部被倾斜地支撑的状态或在基板10的角部发生变位的状态下，当使基板10旋转时，基板10的顶端部与支撑部3的上部接触。在这种情况下，在基板10中发生破损，或在基板10的下面发生损伤。

基板10的短边侧的两端部的处理结束后，利用驱动部9使基板10从基板10被搬运到上述规定位置的状态起进行1次旋转，旋转到基板10的长度方向与和基板10的搬运方向正交的方向一致。

图7是示出使处理完毕的基板旋转的状态的平面图。如图7所示，在基板10成为以基板10的长度方向与和基板10的搬运方向正交的方向一致的方式被配置的状态之前，在基板10的短边侧的每一个端部，产生第1区域16和第2区域17。

在这种情况下，也与图4所示情况同样地，在基板10的短边侧的两端部，由空气的喷射导致的对基板10的支撑变得不均衡，因此，基板10被支撑的高度因为位置不同而不同并发生倾斜。另外，在第2区域17中，未向基板10的下面喷射空气，因此，易于发生由基板10的角部的自重导致的变位。

图8是示出了设置滚珠轴承的位置的平面图。如图8所示，在本实施方式的空气浮起式基板搬运装置1中，在图4所示基板10的第2区域17的位置和在图7所示基板10的第2区域17的位置上，配置有作为辅助支撑部的滚珠轴承14。

在上述位置配置滚珠轴承14的理由如下所示。因为上述位置是使基板10旋转期间，在对基板10的端部的下面喷射的空气量的不均衡程度最大的区域中，成为未对基板10的角部下面喷射空气的位置。具体地说，上述位置在基板10的短边侧的端部这一较短的区间内，在由空气造成的浮力急剧地发生变化的区域中，成为支撑部3彼此之间的未喷出空气的位置。

因此，基板10的短边侧的端部在上述位置被最倾斜地支撑。另外，基板10的短边侧的端部离由驱动部9固定支撑的基板10的中心最远，因此，变形自由度较大且易于发生变位。

因而，在本实施方式中，滚珠轴承14被配置在支撑部3彼此之间的位置，且在上述规定的位置中，配置在当基板10旋转时，基板10的角部所通过的位置中，在与基板10的搬运方向正交的方向上离基板10的中心最远的位置。

换言之，滚珠轴承14在上述规定的位置上，被设置在从基板10旋转时的基板10的中心到支撑部3彼此之间的位置且基板10的角部所通过的位置为止的距离矢量中，与基板10的搬运方向正交的方向的成分成为最大的位置。

将滚珠轴承14配置在上述位置，由此可以有效地抑制在基板10的角部发生变位以及基板10的短边侧的端部被倾斜地支撑。其结果是，可以防止基板10的角部与支撑部3的上部接触。

在本实施方式中，在4个部位的第2区域17内配置了滚珠轴承14，但是滚珠轴承14所配置的位置和数量不限于此。滚珠轴承14被设置为在规定的位置上，在基板10旋转时基板10的角部所通过的、相邻的支撑部3彼此之间的位置的至少一部分上支撑基板10即可。

图9是示出本实施方式的滚珠轴承的构成的立体图。如图9所示，本实施方式的滚珠轴承14具备：球19，其与基板10的下面接触并支撑基板10；和收纳部20，其以可以使球19向所有方向旋转的方式来支撑球19。由收纳部20支撑的所有的球19的顶点的高度以成为同一高度的方式来配置。另外，球19以当与正在旋转的基板10接触时，与基板10旋转接触的方式被收纳部20保持。

在本实施方式中，作为球19，为了难以对基板10造成损伤，使用对钢球的表面涂覆树脂的球，作为球19也可以使用由树脂制成的球。

收纳部20在平板状支撑板21的上面形成。在本实施方式中，收纳部20和球19在支撑板21的上面形成有9个，但是所形成的收纳部20和球19的数量不限于此。

在支撑板21的下面连接有轴部22。轴部22与引导部23连接，所述引导部23形成有未图示的引导轨道和滚珠丝杆等。轴部22以可以沿着引导部23向上下方向滑动的方式连接。引导部23的滚珠丝杆通过配线24与步进电机25连接，所述步进电机25是控制滚珠丝杆的驱动的控制部。

图10A是示出滚珠轴承对基板的角部进行支撑的状态的侧面图。图10B是示出滚珠轴承正在待机的状态的侧面图。如图10A所示，当使基板10旋转时，滚珠轴承14被调节到球19的顶点的高度与基板10的浮起状态下的基板10下面的高度一致。

具体地说，当使基板10旋转时，由步进电机25来驱动引导部23的滚珠丝杆，使轴部22上升。当球19的顶点高度与利用支撑部3而浮起的基板10下面的高度一致时，步进电机25停止。本实施方式的滚珠轴承14按照基板10的浮起状态下的高度来支撑基板10。

因而，可以防止在基板10的角部发生变位以及倾斜地支撑基板10的短边侧的端部。但是，如果用滚珠轴承14来支撑基板10的角部，可以防止基板10与支撑部3的上部接触即可，而无需一定利用滚珠轴承14按照基板10的浮起状态下的高度来支撑基板10。

如图10B所示，当未使基板10旋转时，滚珠轴承14在比基板10浮起状态下的基板10的下面靠下方的位置待机。在该待机状态下，进行调整，使得滚珠轴承14不位于回避区域26内，所述回避区域26是机械臂等侵入的区域。

具体地说，当基板10的旋转结束后，由步进电机25驱动引导部23的滚珠丝杆，使轴部22下降。当球19的顶点的位置从回避区域26离开时，步进电机25停止。

如上所述，当由作为控制部的步进电机25使基板10旋转时，使滚珠轴承14上升，使其配置在基板10的支撑位置上，当基板10的旋转结束后，使滚珠轴承14下降，使其从基板10离开。这样，驱动部9的动作与滚珠轴承14的动作同步。其结果是，基板10被有效地处理，基板10的处理时间被缩短。

另外，基板10的角部的下面被滚珠轴承14的球19的顶点支撑，因此，基板10的角部被可靠地支撑。因而，即使在使基板10旋转时的旋转速度变大的情况下，也可以可靠地防止基板10与支撑部3的上部接触。

下面，边参照附图边说明本发明的实施方式2的空气浮起式基板搬运装置。

实施方式2

图11是示出将空气喷嘴用作辅助支撑部，使基板旋转的状态的侧面图。辅助支撑部以外的构成与实施方式1相同，因此，不进行重复说明。如图11所示，在本发明的实施方式2的空气浮起式基板搬运装置中，作为辅助支撑部而设有空气喷嘴31。

空气喷嘴31包括：喷嘴部27，其作为喷出空气29的喷出口；和配管部28，其在内部形成有空气用配管。配管部28与提供空气29的未图示的泵连接。空气喷嘴31在相邻的支撑部3彼此之间，配置在回避区域26以外的区域。因此，对于空气喷嘴31，不一定必须设置使空气喷嘴31向上下方向移动的移动装置，因此，可以削减装置成本。

当使基板10旋转时，空气29从空气喷嘴31的喷嘴部27向上喷出。当不使基板10旋转时，空气29的喷出被停止。根据该构成，空气喷嘴31当基板10的角部通过空气喷嘴31的上方时，可以对基板10的下面喷射空气29。因而，在图4或图7示出的第2区域17内，对基板10的下面喷射空气29，由此可以解除空气的喷射的不均衡。其结果是，可以抑制在基板10的角部发生变位以及基板10的短边侧的端部被倾斜地支撑。

这样，由空气喷嘴31对基板10的下面喷射空气29来支撑基板10，由此可以不与基板10的下面直接接触地支撑基板10。因而，可以防止在基板10的下面产生损伤和接触痕迹。

图12A是示出用变形例的空气喷嘴来支撑基板的状态的侧面图。图12B是示出变形例的空气喷嘴正在待机的状态的侧面图。如图12A所示，作为变形例的空气喷嘴32包括：喷嘴部27，其作为喷出空气29的喷出口；和配管部28，其在内部形成有空气用配管。配管部28与提供空气29的未图示的泵连接。

配管部28与形成有未图示的引导轨道和滚珠丝杆的引导部30连接。配管部28以可以沿着引导部30滑动的方式连接，并利用作为控制部的步进电机25向上下方向移动。

变形例的空气喷嘴32配置在支撑部3的侧面附近，所述支撑部3是基板10在基板10的旋转方向在上方先通过的支撑部。另外，喷嘴部27朝向支撑部3彼此之间的中间的上方。这样，配置空气喷嘴32，由此可以对由从支撑部3喷出的空气导致的浮力为最小的部位喷射空气29。因而，可以有效地防止在基板10的角部发生变位以及基板10的短边侧的端部被倾斜地支撑。

如图12B所示，当基板10的旋转结束后，空气喷嘴32以从基板10离开的方式下降。具体地说，配管部28利用作为控制部的步进电机25而沿着引导部30滑动，下降到喷嘴27的顶端位于回避区域26以外的位置为止。此时，来自喷嘴部27的空气29的喷出被停止。这样，除了使基板10旋转时以外，使空气喷嘴32待机，由此可以防止机械臂与空气喷嘴32相互干扰。

此外，此次公开的上述实施方式在所有方面均是示例，而不是限制性解释的根据。因此，本发明的技术范围不是仅由上述实施方式来解释，而是根据权利要求的记载来划定。另外，包括与权利要求均等的含义和在权利要求范围内的所有变更。

附图标记说明

1：空气浮起式基板搬运装置、2：底座、3：支撑部、4：保持部、5：引导部、6：搬运部、7：卡盘、8：轴部、9：驱动部、10：基板、11：支柱、12：横梁、13：处理部、14：滚珠轴承、15：两端部、16：第1区域、17：第2区域、18、29：空气、19：球、20：收纳部、21：支撑板、22：轴部、23、30：引导部、24：配线、25：步进电机、26：回避区域、27：喷嘴部、28：配管部、31、32：空气喷嘴。

Claims (7)

1.一种空气浮起式基板搬运装置(1)，其在对矩形基板(10)从该基板(10)的下方喷射空气来使其浮起的状态下搬运上述基板(10)，

所述空气浮起式基板搬运装置(1)具备：

多个支撑部(3)，其在相对于上述搬运方向正交的方向上隔开规定的间隔而相互并列地配置，喷出空气而使上述基板(10)维持为浮起的状态；

搬运部(6)，其在搬运方向上运送向上述支撑部(3)的上方浮起的上述基板(10)；以及

驱动部(9)，其使由上述搬运部(6)运送到规定的位置的上述基板(10)在向上述支撑部(3)的上方浮起的状态下，以上述基板(10)的中心为旋转中心旋转，

在上述基板(10)在上述规定的位置旋转时的上述基板(10)的角部所通过的相邻的上述支撑部(3)彼此之间的位置的至少一部分，设有支撑上述基板(10)的辅助支撑部。

2.根据权利要求1所述的空气浮起式基板搬运装置(1)，

在上述支撑部(3)彼此之间的位置并且是上述基板(10)在上述规定的位置旋转时上述基板(10)的角部所通过的位置之中，在与上述基板(10)的搬运方向正交的方向上离上述基板(10)的中心最远的位置上，设有上述辅助支撑部。

3.根据权利要求1或2所述的空气浮起式基板搬运装置(1)，

上述辅助支撑部将上述基板(10)支撑于由上述支撑部(3)使上述基板(10)浮起的状态下的高度。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的空气浮起式基板搬运装置，

上述辅助支撑部能够在上下方向上移动。

5.根据权利要求4所述的空气浮起式基板搬运装置(1)，

具备控制部(25)，所述控制部(25)，当使上述基板(10)旋转时，使上述辅助支撑部上升而使得上述辅助支撑部位于支撑上述基板(10)的高度，当上述基板(10)的旋转结束后，使上述辅助支撑部下降而离开上述基板(10)。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的空气浮起式基板搬运装置，

上述辅助支撑部具有用能够向所有方向旋转的球来支撑上述基板(10)的滚珠轴承(14)。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的空气浮起式基板搬运装置，

上述辅助支撑部具有对上述基板(10)从下方喷射空气来支撑上述基板(10)的空气喷嘴(31、32)。

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