KR20080002238A - 기판이송시스템 - Google Patents

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KR20080002238A
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김성은
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판이송시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 평판표시장치의 제조를 위해 인라인형 스퍼터링 장치 등의 평판표시장치용 제조장비 내에서 기판을 기준면으로부터 소정각도로 세워 이송시키는 기판이송시스템에 관한 것이다.
세부적으로 본 발명은 세워진 기판의 하단 가장자리를 지지한 상태로 기준면을 따라 슬라이딩되는 벨트컨베이어와; 상기 벨트컨베이어의 이동방향 일 측방에서 상기 기준면으로부터 80°이상 90°미만의 각도로 세워져 상기 기판을 지지하는 사각의 판 형상을 나타내고, 상기 기판을 향하는 일면에 상기 기판을 향해 에어를 분출하는 복수의 분사홀과 상기 기판 이동방향을 따라 회전 가능하게 부설된 복수의 제 1 롤러가 구비된 에어쿠션플레이트와; 상기 기판 이동방향에 따른 상기 에어쿠션플레이의 양 측면을 따라 각각 장착되는 바 형상을 나타내고, 상기 기판을 향하는 일면에 상기 기판 이동방향을 따라 회전 가능하게 부설된 복수의 제 2 롤러가 구비된 한 쌍의 사이드롤러바를 포함하는 기판이송시스템을 제공하며, 이를 통해 보다 안정적인 기판이송을 가능케 한다.

Description

기판이송시스템{substrate transforting system}
도 1은 일반적인 인라인형 스퍼터링 장치의 모식도.
도 2는 일반적인 기판이송시스템을 설명하기 위한 모식도.
도 3은 본 발명에 따른 기판이송시스템의 개요를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 기판이송시스템의 일부에 대한 평면도.
도 5는 도 2의 IV-IV 선에 대한 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 기판이송시스템의 측면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
2 : 기판 102 : 롤러컨베이어
110 : 에어쿠션플레이트 112 : 철부
114 : 요부 120 : 분사홀
122 : 확장홀 126 : 흡기홀
130 : 제 1 롤러 136 : 가이드단
140 : 사이드롤러바 142 : 제 2 롤러
C : 에어컴프레셔 P : 펌프
본 발명은 기판이송시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 평판표시장치의 제조를 위해 인라인형 스퍼터링 장치 등의 평판표시장치용 제조장비 내에서 기판을 기준면으로부터 소정각도로 세워 이송시키는 기판이송시스템에 관한 것이다.
최근의 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 각종 전기적 신호에 의한 대용량의 데이터를 시각적 화상으로 표시하는 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이들 일반적인 평판표시장치는 실질적인 화상 내지는 투과율 차이를 구현하는 평판표시패널(plat display panel)을 공통의 필수 구성요소로 하며, 이는 나란한 두 기판(substrate) 사이로 고유의 형광 또는 편광 물질층을 개재한 형태를 나타내는바, 최근에는 특히 평판표시패널에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬로 배열하고 각각을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭 소자로 개별 제어하는 능동행렬 방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색 재현성에서 뛰어나 널리 이용된다.
한편, 일반적인 평판표시장치 제조공정의 대부분은 기판을 대상으로 진행되는데, 예컨대 기판 표면에 소정 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거함으로써 목적하는 형태로 패터닝(patterning) 하는 식각(etching)공정이 수차례 반복되며, 그밖에 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 수반된다. 이중에서 박막증착공정은 박막입자를 직접적으로 기판에 충돌 및 흡착시키는 물리적 증착방식의 스퍼터링(sputtering)과, 기판 상부에서 라디컬(radical)의 화학반응을 유도하여 그 반응결과물인 박막입자를 낙하 및 흡착시키는 화학적 증착방식의 화학기상증착(Chemical Vapour Deposition : CVD)으로 구분될 수 있는데, 스퍼터링은 구체적인 방식에 따라 클러스터형과 인라인형으로 대별되며, 전자의 경우 처리대상물인 기판은 수평이송되고, 후자는 수직에 가깝게 세워진 수직이동을 전제로 한다.
첨부된 도 1은 일반적인 인라인형 스퍼터링장치에 대한 분해사시도로서, 반송유닛(21), 로딩유닛(22), 버퍼유닛(23), 처리유닛(24) 그리고 회전유닛(25)으로 구분될 수 있다.
그리고 이들 유닛(21,22,23,24,25)들 사이에서 기판은 수직에 가깝게 세워진 상태로 이송되는바, 외부에서 공급된 기판은 최초 반송유닛(21)을 통해 로딩유닛(22), 버퍼유닛(23), 처리유닛(24), 회전유닛(25)의 순서로 이송된 후 다시 역순으로 이송된다. 이중 버퍼유닛(21)은 로딩유닛(22)과 처리유닛(24) 사이의 환경 변화, 즉 진공도를 비롯한 온도와 가스분위기 등에 대한 완충역할을 하고, 처리유닛(24)은 기판을 대상으로 스퍼터링의 박막증착공정을 수행하고, 회전유닛(25)은 기판이 다시 처리유닛(24), 버퍼유닛(23), 로딩유닛(22), 반송유닛(21)의 순서로 역 진행되도록 기판을 회전시키고, 이를 통해 최종의 기판은 반송유닛(21)을 통해 외부로 반출된다.
그리고 이러한 인라인형 스퍼터링장치의 각 유닛들 사이에서 기판을 세워 이송시키는 일반적인 기판이송시스템은 도 2의 구성을 나타내는데, 본 도면은 특히 일반적인 인라인형 스퍼터링장치의 처리유닛에 구비되는 이른바 캐리어방식 기판이송시스템을 나타낸 도면이다.
즉, 보이는 것처럼 인라인형 스퍼터링장치의 처리유닛 내부 일측에는 타겟(31), 케소드(32), 마그넷(33)이 구비되고, 타겟(31)과 마주보는 타측에는 시스히터(35)가 구비되며, 이들 사이에서 기판(40)은 기판이송시스템에 의해 수직에 가깝게 세워진 상태로 이송된다. 이를 위한 기판이송시스템은 기판(40)의 상하부 가장자리에 각각 장착되는 상하부 케리어(38a,38b)를 제공하는데, 이중 상부케리어(38a)에는 소정극성을 갖는 제 1 마그넷(139)이 포함되고, 처리유닛 상부에는 제 1 마드넷(39)과 반대극성을 나타내는 제 2 마그넷(36)이 제 1 마그넷(39)과 소정거리를 유지하도록 구비되어 있다. 그리고 하부케리어(38b)는 기판(2)의 하단 가장자리에 부설된 상태로 롤러컨베이어(37)에 안착된다.
따라서 기판(40)의 상단 가장자리는 상부케리어(38a)의 제 1 마그넷(39)과 처리유닛의 제 2 마그넷(36) 간의 인력(또는 척력)에 의해 비접촉 방식으로 고정된 상태에서 롤러컨베이어(137)의 회전력을 통해 슬라이딩되며, 처리유닛 내에서 타겟(31)과 캐소드(32) 사이에 유도된 플라즈마 이온의 타겟(31)과의 충돌에 의해 타겟입자가 그 표면에 스퍼터링 증착된다.
하지만 이 같은 일반적인 기판이송시스템은 몇가지 문제점을 나타내는데, 기판(40)의 상단을 비접촉식으로 고정시키기 위해 제 1 및 제 2 마그넷(39,36)의 자기력이 정밀 제어될 필요가 있고, 이동에 따른 흔들림 등을 고려하면 이 같은 자기력의 정밀 제어는 매우 까다로운 단점을 보인다. 이에 따라 제 1 마그넷(39) 내지는 상부케리어(38a)가 제 2 마그넷(36)과 충돌하여 파티클과 같은 이물을 발생시키는 경우가 빈번하며, 충돌에 의한 충격으로 기판(40)이 파손되는 현상이 나타나기도 한다.
때문에 상기의 비접촉식이 아닌 기판(40)의 상하부를 각각 롤러컨베이어와 같은 이송수단에 물리적으로 접촉시키는 접촉식이 사용되기도 하지만, 이 경우 이물의 발생가능성은 더욱 커지며, 진동과 충격 또한 심화되는 단점이 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 자기력의 정밀제어와 같은 까다로움 없이도 기판 이송 중에 발생될 수 있는 파티클 내지는 파손현상을 줄여 안정적인 이송 및 공정진행이 가능한 기판이송시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 세워진 기판의 하단 가장자리를 지지한 상태로 기준면을 따라 슬라이딩되는 벨트컨베이어와; 상기 벨트컨베이어의 이동방향 일 측방에서 상기 기준면으로부터 80°이상 90°미만의 각도로 세워져 상기 기판을 지지하는 사각의 판 형상을 나타내고, 상기 기판을 향하는 일면에 상기 기판을 향해 에어를 분출하는 복수의 분사홀과 상기 기판 이동방향을 따라 회전 가능하게 부설된 복수의 제 1 롤러가 구비된 에어쿠션플레이트와; 상기 기판 이동방향에 따른 상기 에어쿠션플레이의 양 측면을 따라 각각 장착되는 바 형상을 나타내고, 상기 기판을 향하는 일면에 상기 기판 이동방향을 따라 회전 가능하게 부설된 복수의 제 2 롤러가 구비된 한 쌍의 사이드롤러바를 포함하는 기판이송시스템을 제공한다.
이때 상기 복수의 분사홀과 제 2 롤러는 각각 상기 에어쿠션플레이트 일면에서 상기 기판 이동방향을 따라 열을 지어 배열되고, 상기 복수의 분사홀과 제 2 롤러의 열은 상기 에어쿠션플레이트의 높이 방향을 따라 동일간격으로 이격되는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 분사홀 및 제 1 롤러는 각각 서로 이웃한 두 열 내에서 엇갈려 배치되는 것을 특징으로 하고, 상기 각 열 내의 분사홀 사이 간격은 10~100mm이고, 서로 이웃한 두 열 내의 분사홀 사이 간격은 10~200mm이며, 상기 각 열 내의 제 1 롤러 사이간격과 서로 이웃한 두 열 내의 제 1 롤러 사이간격은 50~1000mm인 것을 특징으로 한다. 아울러 상기 에어쿠션플레이트 일면에는, 상기 기판 이동방향을 따라 배열되며 상기 기판과 제 1 간격을 유지하는 복수의 철부 그 리고 상기 기판 이동방향을 따라 배열되며 상기 기판과 상기 제 1 간격보다 큰 제 2 간격을 유지하는 복수의 요부가 상하 교대로 배열된 것을 특징으로 한다.
이 경우 상기 복수의 분사홀은 상기 각 철부를 따라 배치되고, 상기 복수의 제 1 롤러는 상기 각 요부를 따라 배치된 것을 특징으로 하며, 상기 에어쿠션플레이트에는, 상기 요부를 따라 상기 제 1 롤러를 사이에 두고 2열로 배열되며 에어를 흡입하는 복수의 흡기홀을 더 구비된 것을 특징으로 한다. 이때 특히 상기 요부와 철부 사이의 단차는 5~20mm인 것을 특징으로 한다.
또한 상기 분사홀의 열과 최대 근접된 상기 흡기홀 열 사이 간격은 100mm 미만인 것을 특징으로 하고, 상기 제 1 롤러는 상기 에어쿠션플레이트 일면으로부터 0.3mm~0.7mm 돌출된 것을 특징으로 하며, 상기 제 2 롤러는 상기 에어쿠션플레이트 일면으로부터 0.3~0.7mm 돌출된 것으 특징으로 한다.
그리고 상기 한 쌍의 사이드롤러바 중 어느 하나의 길이방향을 따라서는 외부 에어컴프레셔에 연결된 에어공급영역이 정의되고, 상기 에어쿠션플레이트 내에는 상기 에어공급영역과 상기 복수의 분사홀을 연통시키는 적어도 하나의 에어공급유로가 더 구비된 것을 특징으로 하며, 상기 한 쌍의 사이드롤러바 중 어느 하나의 길이방향을 따라서는 외부 흡입펌프에 연결된 에어배기영역이 정의되고, 상기 에어쿠션플레이트 내에는 상기 에어배기영역과 상기 복수의 흡기홀을 연통시키는 적어도 하나의 에어배기유로가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한 상기 에어쿠션플레이트 일면 중 상기 기판 하단 가장자리에 대응되는 부분을 따라 부설되며, 상기 기판과의 간격이 상대적으로 더 먼 가이드단이 더 구 비된 것을 특징으로 하고, 상기 가이드단은 피크(peek)재질인 것을 특징으로 하며, 상기 에어쿠션플레이트 일면에는 상기 각 분사홀 주변을 따라 만입 형성된 확장홀이 더 구비된 것을 특징으로 하고, 상기 확장홀은 상기 에어쿠션플레이트 일면으로부터 0.4mm~0.8mm 만입된 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조해서 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
첨부된 도 3은 본 발명에 따른 기판이송시스템에 대한 개요도로서, 세워진 기판(2)의 하단 가장자리를 지지한 상태로 일방향으로 슬라이딩되는 벨트컨베이어(102)와, 이의 일 측방에서 기판(2) 이동방향을 따라 연이어 배치되는 에어쿠션플레이트(110)를 포함하는바, 이중 벨트컨베이어(102)는 기판(2)의 전체하중을 지탱함과 동시에 일방향으로 이동시키기 위한 직접적인 이동력을 제공하고, 에어쿠션플레이트(110)는 기판(2)이 소정각도로 세워진 채 이동될 수 있도록 벨트컨베이어(102)의 일 측방을 따라 기판(2)을 지지하는 역할을 한다.
이때 벨트컨베이어(102)가 기준면을 따라 이동된다 가정하면, 에어쿠션플레이트(110)는 기준면으로부터 80°이상 90°미만의 각도, 바람직하게는 85°이상 89°이하의 각도(a)를 유지하도록 비스듬히 세워진 사각의 판(plate) 형상을 나타내며, 기판(2)을 향하는 일면에는 기판(2)을 향해 에어(air)를 분사하는 복수의 분사홀(120)과 기판(2) 이동방향을 따라 회전이 가능한 복수의 제 1 롤러(130)가 장착되어 있다. 따라서 기판(2)은 벨트컨베이어(102)에 의한 이동중에 에어의 분사력에 의해 에어쿠션플레이트(110)와 소정간격, 바람직하게는 0.3~0.5mm 정도의 간 격을 두고 평행하게 대면되어 기준면으로부터 85°이상 89°미만의 각도를 유지한다. 그리고 이 과정 중에 복수의 제 1 롤러(130)는 기판(2)의 자중에 의한 휘어짐 내지는 외부 압력 등으로 인해 기판(2)이 에어쿠션플레이트(110) 일면에 접촉될 때 마찰력을 최소한으로 줄여 스크래치(scratch) 등을 방지하는 역할을 한다.
아울러 기판(2) 이동방향에 따른 에어쿠션플레이트(110)의 양 측면을 따라서는 각각 바(bar) 형상의 사이드롤러바(140)가 부설되고, 여기에는 기판(2) 이동방향을 따라 회전 가능한 복수의 제 2 롤러(142)가 장착되는바, 이 같은 한 쌍의 사이드롤러바(140)는 에어쿠션플레이트(110)의 연속배치에 따른 이음새 부분을 메우며, 동시에 복수의 제 2 롤러(142)를 제공함으로써 해당 부분에서 나타날 수 있는 기판(2)과의 마찰력을 최소한으로 줄이는 역할을 한다.
좀더 구체적으로, 첨부된 도 4는 본 발명에 따른 기판이송시스템 중 에어쿠션플레이트(110) 및 한 쌍의 사이드롤러바(140)에 대한 평면도이고, 도 5는 도 4의 IV-IV 선에 대한 일부 단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 기판이송시스템에 대한 측면도로서, 앞서 도 3을 함께 참조한다.
보이는 것처럼 본 발명에 따른 에어쿠션플레이트(110)의 일면에는 복수의 분사홀(120)과 제 1 롤러(130)가 장착되고, 더불어 에어구션플레이트(110)와 기판(2) 사이의 과잉에어를 흡기 및 배출시키는 복수의 흡기홀(126)이 구비되어 있다. 이때 기판(2)의 원활한 이동을 위한 직접적인 부양력은 복수의 분사홀(120)을 통해 기판(2)으로 분사되는 에어에 의하고, 복수의 제 1 롤러(130)와 흡기홀(126)은 보 다 안정적인 기판(2) 이송을 위한 구성요소인바, 이들 사이의 적절한 배치구조를 통해 기판(2) 이송에 대한 신뢰성을 크게 좌우할 수 있다.
이에 본 발명에서는 복수의 분사홀(120)과 제 1 롤러(130) 및 흡기홀(126)의 적절한 배열구조를 제공하는데, 이를 위해 에어쿠션플레이트(110) 일면에는 기판(2) 이동방향을 따르는 철(凸)부(112)와 요(凹)부(114)가 스트라이브(stripe) 형태로 교대로 반복 정의되어 있다.
그리고 각각의 철부(112)를 따라서는 복수의 분사홀(120)이 일정간격을 유지하도록 일렬로 배열되고, 각각의 요부(114)를 따라서는 복수의 제 1 롤러(130)가 일정간격의 일렬로 배열되며, 각각의 요부(114)를 따라서는 제 1 롤러(130)를 사이에 둔 상하 2 열의 흡기홀(126)이 각 열 별로 일정간격을 유지하고 있다. 아울러 각 철부(112)를 따라 일렬로 배열된 분사홀(120)은 철부(112) 별로 그 사이사이의 중간지점에 엇갈려 배치되고, 각 요부(114) 내에 2열로 배열된 분사홀(126)은 각 열 별로 그 사이사이의 중간지점에 엇갈려 배치되는바, 임의의 철부(112)를 기준으로 이의 상하 요부(114)에 각각 2열, 총 4열로 배열된 복수의 흡기홀(126) 중에서 해당 철부(112)에 근접한 2열 내의 흡기홀(126)은 상하 일직선상에 위치한다. 또한 각 요부(114)를 따라 일렬로 배열된 제 1 롤러(130)는 요부(114) 별로 그 사이사이의 중간지점에 엇갈려 배치된다.
그리고 이 경우 철부(112)와 요부(114) 사이의 단차(T3)는 5~20mm 정도를 유지하고, 임의의 제 1 분사홀(120)을 기준으로 인접한 다른 제 1 분사홀(120) 사이의 간격은 좌우 10~100mm, 상하 10~200mm이며, 임의의 제 1 롤러(130)를 기준으로 인접한 다른 제 1 롤러(130) 사이의 간격은 상하좌우 50~1000mm를 유지하는 것이 알맞다. 또한 임의의 철부(112)를 기준으로 이의 상하 요부(114)에 각각 2열로 배열된 복수의 흡기홀(126) 중에서 해당 철부(112)에 근접한 2열 내의 흡기홀(120)은 해당 철부(112)의 분사홀(120)이 이루는 열로부터 100mm 이내에 위치하고, 임의의 제 1 롤러(130)를 기준으로 인접한 다른 제 1 롤러(130) 사이의 간격은 상하좌우 50~1000mm, 보다 정확하게는 76~100mm를 유지하며, 각각의 제 1 롤러(130)는 요부(114)보다 0.3~0.7mm (T1)높게 돌출되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 기판이송시스템은 에어쿠션플레이트(110)의 분사홀(120)로부터 에어가 분사될 수 있도록 하는 에어컴프레셔(C) 그리고 흡기홀(126)을 통해 에어가 흡입될 수 있도록 하는 펌프(P)를 구비하는바, 이들 에어컴프레셔(C)와 펌프(P)는 각각 한 쌍의 사이드롤러바(140)를 통해 분사홀(120) 및 흡기홀(126)에 연통된다.
이를 위해 임의의 사이드롤러바(140) 내부 상하방향을 따라서는 외부의 에어컴프레셔(C)에 의해 에어가 공급되는 에어공급영역이 정의되고, 에어쿠션플레이트 (110) 내부로는 복수의 분사홀(120)을 해당 사이드롤러바(140)의 에어공급영역에 연통시키는 에어공급유로(124)가 마련된다. 아울러 또 다른 사이드롤러바(140) 내부 상하방향을 따라서는 외부의 펌프(P)에 의해 흡입력을 나타내는 에어배기영역이 정의되고, 에어쿠션플레이트(110) 내부로는 복수의 흡기홀(126)을 해당 사이드롤러바(140)의 에어배기영역에 연통시키는 에어공급유로(128)가 마련된다.
아울러 이들 한 쌍의 사이드롤러바(140)에 각각 부설된 복수의 제 2 롤 러(142)는 해당 사이드롤러바(140)의 상하 길이방향에 따른 일렬로 배열되는데, 이들 각 제 2 롤러(142)는 에어쿠션플레이트(110) 내의 제 1 롤러(130)와 마찬가지로 에어쿠션플레이트(110)의 철부(112) 보다 0.3~0.7mm 높게 돌출되고, 상하간격은 50~1000mm, 보다 정확하게는 76~100mm의 간격을 유지하는 것이 알맞다.
또한 에어쿠션플레이트(110) 내의 분사홀(126)을 통해서 기판(2)으로 분사되는 에어는 직접적으로 기판(2)을 향하기 보다는 소정의 버퍼영역을 매개로 할때 보다 균일한 지지력을 발휘할 수 있고, 이를 위해 각각의 분사홀(126) 주변을 따라서는 해당 분사홀(126) 직경의 수배 내지 수십배에 이르며 0.5 내지 1mm 정도의 깊이(T2)를 나타내는 확장홀(122)이 구비되어 그 내부 중심에 각각의 분사홀(120)이 위치할 수 있다.
이상의 설명을 정리하면, 본 발명에 따른 기판이송시스템은 기준면을 따라 일방향으로 슬라이딩 되는 롤러컨베이어(102)의 일 측방을 따라 기준면으로부터 85~89°의 각도로 세워진 에어쿠션플레이트(110)가 연이어 배치되는 형태를 나타내는바, 기판(2)은 롤러컨베이어(102)에 하단 가장자리가 지지된 상태로 롤러컨베이어(102)의 이동력을 토대로 일방향으로 이송되며, 이 과정 중에 에어쿠션플레이트(110)의 분사홀(120)로부터 분사되는 에어에 의해 에어쿠션플레이트(110)와 평행한 일정간격을 유지한다. 그리고 이러한 기판(2) 이송 중에 나타날 수 있는 여러 가지 요인, 즉 기판(2) 자중에 의한 휨이나 외부 압력 등을 원인으로 기판(2)이 에어쿠션플레이트(110)와 밀착될 경우, 복수의 제 1 및 제 2 롤러(130,142)의 회전 을 통해 마찰력을 최소화 할 수 있다.
이때 특히 기판(2)의 휨이나 외부 압력이 크게 나타나면 롤러컨베이어(102)에 안착된 기판(2) 하단 가장자리로 극심한 휨이 나타날 수 있는데, 이로 인한 이탈 등을 방지하기 위해 기판(2)의 하단 가장자리에 대응되는 에어쿠션플레이트(110) 하단으로는 기판(2)과의 간격이 상대적으로 먼 피크(peek) 재질의 가이드단(136)이 개재될 수 있고, 미설명 부호 136은 이 같은 가이드단을 표시하고 있다.
이상의 본 발명에 따른 기판이송시스템은 안정적으로 기판을 이송시킬 수 있는 잇점을 나타낸다. 즉 본 발명에 따른 기판이송시스템은 기존의 이송시스템에서 문제시 되었던 자기력의 정밀제어의 문제 등을 전혀 고려할 필요가 없고, 기판 이송 중에 기판과 접촉되는 부분은 롤러컨베이어에만 한정되는바, 이물발생가능성 내지는 스크래치 발생 가능성 또한 극히 적은 잇점이 있다. 아울러 예기치 못한 외압 등으로 인해 기판의 휨 현상 등이 나타나더라도 제 1 및 제 2 롤러를 통해 에어쿠션플레이트와의 마찰력을 최소한으로 줄이며, 이에 따른 기판의 손상을 예방할 수 있는 효과가 있다.

Claims (17)

  1. 세워진 기판의 하단 가장자리를 지지한 상태로 기준면을 따라 슬라이딩되는 벨트컨베이어와;
    상기 벨트컨베이어의 이동방향 일 측방에서 상기 기준면으로부터 80°이상 90°°만의 각도로 세워져 상기 기판을 지지하는 사각의 판 형상을 나타내고, 상기 기판을 향하는 일면에 상기 기판을 향해 에어를 분출하는 복수의 분사홀과 상기 기판 이동방향을 따라 회전 가능하게 부설된 복수의 제 1 롤러가 구비된 에어쿠션플레이트와;
    상기 기판 이동방향에 따른 상기 에어쿠션플레이의 양 측면을 따라 각각 장착되는 바 형상을 나타내고, 상기 기판을 향하는 일면에 상기 기판 이동방향을 따라 회전 가능하게 부설된 복수의 제 2 롤러가 구비된 한 쌍의 사이드롤러바
    를 포함하는 기판이송시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 분사홀과 제 2 롤러는 각각 상기 에어쿠션플레이트 일면에서 상기 기판 이동방향을 따라 열을 지어 배열되고, 상기 복수의 분사홀과 제 2 롤러의 열은 상기 에어쿠션플레이트의 높이 방향을 따라 동일간격으로 이격되는 기판이송시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 분사홀 및 제 1 롤러는 각각 서로 이웃한 두 열 내에서 엇갈려 배치되는 기판이송시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 각 열 내의 분사홀 사이 간격은 10~100mm이고, 서로 이웃한 두 열 내의 분사홀 사이 간격은 10~200mm이며, 상기 각 열 내의 제 1 롤러 사이간격과 서로 이웃한 두 열 내의 제 1 롤러 사이간격은 50~1000mm인 기판이송시스템.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,
    상기 에어쿠션플레이트 일면에는, 상기 기판 이동방향을 따라 배열되며 상기 기판과 제 1 간격을 유지하는 복수의 철부 그리고 상기 기판 이동방향을 따라 배열되며 상기 기판과 상기 제 1 간격보다 큰 제 2 간격을 유지하는 복수의 요부가 상하 교대로 배열된 기판이송시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 복수의 분사홀은 상기 각 철부를 따라 배치되고, 상기 복수의 제 1 롤러는 상기 각 요부를 따라 배치된 기판이송시스템.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 에어쿠션플레이트에는, 상기 요부를 따라 상기 제 1 롤러를 사이에 두고 2열로 배열되며 에어를 흡입하는 복수의 흡기홀을 더 구비된 기판이송시스템.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 요부와 철부 사이의 단차는 5~20mm인 기판이송시스템.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 분사홀의 열과 최대 근접된 상기 흡기홀 열 사이 간격은 100mm 미만인 기판이송시스템.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 롤러는 상기 에어쿠션플레이트 일면으로부터 0.3mm~0.7mm 돌출된 기판이송시스템.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 롤러는 상기 에어쿠션플레이트 일면으로부터 0.3~0.7mm 돌출된 기판이송시스템.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 사이드롤러바 중 어느 하나의 길이방향을 따라서는 외부 에어컴프레셔에 연결된 에어공급영역이 정의되고,
    상기 에어쿠션플레이트 내에는 상기 에어공급영역과 상기 복수의 분사홀을 연통시키는 적어도 하나의 에어공급유로가 더 구비된 기판이송시스템.
  13. 제 7항에 있어서,
    상기 한 쌍의 사이드롤러바 중 어느 하나의 길이방향을 따라서는 외부 흡입펌프에 연결된 에어배기영역이 정의되고,
    상기 에어쿠션플레이트 내에는 상기 에어배기영역과 상기 복수의 흡기홀을 연통시키는 적어도 하나의 에어배기유로가 더 구비된 기판이송시스템.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 에어쿠션플레이트 일면 중 상기 기판 하단 가장자리에 대응되는 부분을 따라 부설되며, 상기 기판과의 간격이 상대적으로 더 먼 가이드단이 더 구비된 기판이송시스템.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 가이드단은 피크(peek)재질인 기판이송시스템.
  16. 제 1항에 있어서,
    상기 에어쿠션플레이트 일면에는 상기 각 분사홀 주변을 따라 만입 형성된 확장홀이 더 구비된 기판이송시스템.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 확장홀은 상기 에어쿠션플레이트 일면으로부터 0.4mm~0.8mm 만입된 기판이송시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101040695B1 (ko) * 2008-11-25 2011-06-10 세메스 주식회사 기판 이송 장치
CN102470998A (zh) * 2009-08-07 2012-05-23 夏普株式会社 空气浮起式基板搬运装置
KR20190123558A (ko) * 2018-04-24 2019-11-01 한국항공우주산업 주식회사 단절된 공간에서 공작물 이송이 가능한 공작물 이송장치

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