KR20150144104A - 기판 홀더 및 이를 구비한 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 홀더 및 이를 포함하는 증발장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 지지 플레이트와, 지지 플레이트에 결합되며, 기판이 안착되어 기판의 하면을 지지하는 제 1지지부와, 제 1지지부에 단차를 이루도록 형성되며 기판의 측단이 접하는 제 1측단부를 포함하는 제 1지지블록을 포함하며, 기판의 측단과 이격되도록 제 1측단부의 양단은 라운드 처리되는 기판 홀더 및 이를 포함하는 증발장치가 제공된다.

Description

기판 홀더 및 이를 구비한 증착장치{SUBSTRATE HOLDER AND APPARATUS FOR DEPOSTION HAVING THE SAME}
본 발명은 기판 홀더와 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판이 기판 홀더에 안착되는 과정에서 기판의 파손을 방지하고, 기판이 기판 홀더에 끼여 움직이지 않는 현상을 방지할 수 있는 기판 홀더 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다.
최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.
그 중에서 유기발광소자는 빠른 응답속도, 기존의 액정표시소자 보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요없어서 초 박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열증착방법은 진공챔버 내의 기판 홀더에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
기판 홀더는 기판의 단부를 지지하기 위한 제 1지지블록을 구비하는데, 기판의 단부가 제 1지지블록에 지지되도록 기판이 기판 홀더에 안착된다. 그러나, 도 1을 참조하면, 기판이 로딩되는 과정에서 제 1지지블록의 날카로운 모서리와 기판의 측단이 충돌하여 기판의 측단에 파손이 일어나거나, 기판을 기판 홀더에 얼라인(align)하기 위해 기판을 움직이는 과정에서 기판의 양 측단이 서로 대향하는 제 1지지블록의 날카로운 모서리 사이에 끼여 기판이 움직이지 않아 기판(1)을 언로딩(unloading)할 수 없는 문제가 발생할 우려가 있다.
한국등록특허 제10-0977582호
본 발명은 기판이 기판 홀더에 안착되는 과정에서 기판의 파손을 방지하고, 기판이 기판 홀더에 끼여 움직이지 않는 현상을 방지할 수 있는 기판 홀더를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 지지 플레이트와, 지지 플레이트에 결합되며, 기판이 안착되어 기판의 하면을 지지하는 제 1지지부와, 제 1지지부에 단차를 이루도록 형성되며 기판의 측단이 접하는 제 1측단부를 포함하는 제 1지지블록을 포함하며, 기판의 측단과 이격되도록 제 1측단부의 양단은 라운드 처리되는 기판 홀더가 제공된다.
이때, 기판 모서리의 형상에 상응하는 코너부를 구비하는 코너블록을 더 포함하며, 기판의 측단과 이격되도록 코너부의 양단은 라운드 처리될 수 있다.
또한, 지지 플레이트에 결합되며, 기판이 안착되어 기판 모서리부의 하면을 지지하는 제 2지지부와, 제 2지지부에 단차를 이루도록 형성되며 기판의 측단이 접하는 제 2측단부를 포함하는 제 2지지블록을 포함하며, 제 2측단부는 기판 모서리와 이격되도록 기판의 꼭지점의 위치와 대응되는 위치에 홈이 형성될 수 있다.
이때, 제 2측단부의 양단은 라운드 처리될 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버와; 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 지지플레이트와; 마스크 지지플레이트의 상부에 배치되어 기판을 유지하는, 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 따른 기판 홀더와; 마스크 지지플레이트 하부에 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는 증착장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판이 기판 홀더에 안착되는 과정에서 기판의 파손을 방지하고, 기판이 기판 홀더 사이에 끼여 움직이지 않는 현상을 방지할 수 있다.
도 1은 종래 기판 홀더의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 홀더의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 홀더의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 홀더를 구비한 증착장치의 개략도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제 1, 제 2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.
이하, 본 발명에 따른 박막 증착 인라인 시스템의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 홀더의 개략도이다.
도 2에는, 기판(1), 기판 모서리(3), 지지 플레이트(11), 제 1지지블록(20), 제 1지지부(21), 제 1측단부(23), 코너블록(30), 코너부(33)가 도시되어 있다.
기판(1)은 사각형 형상으로 4개의 모서리(3)를 갖게 되며, 기판 모서리(3)는 사각형의 꼭지점을 중심으로 서로 수직을 이루는 양변으로 구성된다.
본 실시예에 따른 기판 홀더(10)는, 지지 플레이트(11)와, 지지 플레이트(11)에 결합되며, 기판(1)이 안착되어 기판(1)의 하면을 지지하는 제 1지지부(21)와, 제 1지지부(21)에 단차를 이루도록 형성되며 기판(1)의 측단이 접하는 제 1측단부(23)를 포함하는 제 1지지블록(20)을 포함하며, 기판(1)의 측단과 이격되도록 제 1측단부(23)의 양단은 라운드 처리되는 것을 특징으로 하여, 기판 홀더(10)에 기판(1) 안착시 기판(1)의 측면이 손상되거나, 기판(1)이 기판 홀더(10)에 사이에 끼이는 것을 방지할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 지지 플레이트(11)는 기판(1)의 증착면이 하부로 노출되도록 기판을 지지한다. 본 실시예에서는 서로 쌍을 이루는 지지 플레이트(11)가 기판(1)의 서로 대향하는 양단부를 지지하여 기판(1)의 증착면이 하부로 노출되도록 구성된 형태를 제시하고 있으나, 하나의 지지 플레이트(11)에 관통면을 형성하고, 관통면에서 기판(1)의 증착면이 하부로 노출되도록 구성하는 것도 가능하다.
제 1지지블록(20)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1지지부(21)와 제 1측단부(23)를 포함한다.
제 1지지블록(20)은 기판(1)을 중심으로 대향하여 지지 플레이트(11)에 복수로 구비될 수 있다.
제 1지지부(21)는, 지지 플레이트(11)에 결합되며, 기판이 안착되어 기판(1)의 하면을 지지한다. 제 1측단부(23)는 제 1지지부(21)에 단차를 이루도록 형성되며 기판(1)의 측단이 접하도록 구비된다.
기판(1)은 로봇 암 등의 이송수단에 의해 제 1지지부(21)에 양 측단이 지지되도록 제 1지지블록(20)에 로딩(loading)된다.
제 1측단부(23)는 기판(1)의 로딩(loadimg)시 기판(1)의 측단이 접하는 곳으로, 제 1측단부(23)의 양단은 기판(1)의 측단과 이격되도록 라운드 처리된다.
기판(1)이 제 1지지부(21)에 안착되는 과정에서 기판(1)이 조금씩 움직일 수 있는데, 제 1측단부(23)의 양단이 직각형상의 모서리인 경우, 제 1측단부(23)의 날카로운 모서리가 기판(1)의 측단과 충돌하여 기판(1)을 파손시키거나, 기판(1)의 양 측면이 대향하는 제 1측단부(23)의 날카로운 모서리 사이에 끼여 기판(1)이 움직이지 않는 문제가 발생할 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 홀더(10)는 제 1측단부(23)의 양단을 라운드 처리하여, 기판(1)의 측단이 제 1측단부(23)의 양단의 날카로운 모서리에 충돌하는 것을 방지한다. 또한, 기판(1)의 양 측면이 대향하는 제 1측단부(23)의 날카로운 모서리 사이에 끼여 기판(1)이 움직이지 않는 것을 방지한다.
본 실시예에 따른 기판 홀더(10)는 기판 모서리(3)의 형상에 상응하는 코너부(33)를 구비하는 코너블록(30)을 더 포함하며, 기판(1)의 측단과 이격되도록 코너부(33)의 양단은 라운드 처리된다.
코너블록(30)은 기판 모서리(3)의 수에 대응하도록 4개가 이격되어 구비될 수 있으며, 코너부(33)는 기판 모서리(3)가 위치하도록 기판(1)의 형상에 상응하게 형성되어 기판(1)의 측단을 지지한다.
코너부(33)의 양단이 직각형상의 모서리인 경우, 기판(1)이 로딩되는 과정에서 코너부(33)의 날카로운 모서리가 기판(1)의 측단과 충돌하여 기판(1)을 파손시키거나, 기판(1)의 양 측면이 대향하는 코너부(33)의 날카로운 모서리 사이에 끼여 기판(1)이 움직이지 않는 문제가 발생할 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 홀더(10)는 코너부(33)의 양단을 라운드 처리하여, 기판(1)의 측면이 코너부(33)의 양단의 날카로운 모서리에 충돌하는 것을 방지한다. 또한, 기판(1)의 양 측면이 대향하는 제 1측단부(23)의 날카로운 모서리 사이에 끼어 기판(1)이 움직이지 않는 것을 방지한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 홀더(10)의 개략도이다.
도 3에는, 기판(1), 모서리(3), 모서리부(5), 지지 플레이트(11), 제 1지지블록(20), 제 2지지블록(50), 제 2지지부(51), 제 2측단부(53), 홈(55)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 기판 홀더(10)의 지지 플레이트(11), 제 1지지블록(20), 제 1지지부(21) 및 제 1측단부(23)의 구성은 앞선 실시예와 동일하므로, 동일한 구성에 관하여는 앞선 실시예의 설명에 갈음한다.
제 2지지블록(50)은 제 2지지부(51)와 제 2측단부(53)를 포함한다.
제 2지지블록(50)은 기판 모서리(3)의 수에 대응하여 4개가 이격되어 구비될 수 있다.
제 2지지부(51)는 지지 플레이트(11)에 결합되며, 기판(1)이 안착되어 기판 모서리부(5)의 하면을 지지하여, 기판 모서리부(5)가 처지는 것을 방지한다.
이때, 기판 모서리부(5)는 기판 모서리(3) 주위의 부분을 의미한다.
제 2측단부(53)는 제 2지지부(51)에 단차를 이루도록 형성되고 기판(1)의 로딩(loading)시 기판(1)의 측단이 접하게 된다.
제 2측단부(53)는 기판 모서리(3)와 이격되도록 기판(1)의 꼭지점의 위치와 대응되는 위치에 홈(55)이 형성된다.
홈(55)은 제 2측단부(53)에 대략 U자 형상으로 두께부를 따라 하방으로 형성되며, 제 2측단부(53)에 형성된 홈(55)이 제 2지지부(51)를 관통하여 형성될 수도 있다.
홈(55)은 기판(1)이 제 2지지블록(50)에 안착되는 과정에서 기판 모서리(3)와 제 2측단부(53)가 접하지 않고 이격되도록 한다. 홈(55)은 기판 모서리(3)가 제 2측단부(53)와 충돌하는 것을 방지하여 기판(1)의 손상을 막고, 날카로운 기판 모서리(3)에 의해 기판(1)이 대향하는 제 2측단부(53) 사이에 끼여 기판(1)이 움직이지 않는 것을 방지한다.
본 실시예에 따른 기판 홀더(10)의 제 2측단부(53)의 양단은 라운드 처리된다.
제 2측단부(53)의 양단이 직각형상의 모서리인 경우, 기판(1)이 제 2측단부(53)에 의해 가이드되는 과정에서 제 2측단부(53)의 날카로운 모서리가 기판(1)의 측면과 충돌하여 기판(1)을 파손시키거나, 기판(1)의 양 측면이 대향하는 제 2측단부(53)의 날카로운 모서리 사이에 끼여 기판(1)이 움직이지 않는 문제가 발생할 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 홀더(10)는 제 2지지블록(50)의 제 2측단부(53)의 양단을 라운드 처리하여, 기판(1)의 측면이 제 2측단부(53)의 양단의 날카로운 모서리에 충돌하는 것을 방지한다. 또한, 기판(1)의 양 측면이 대향하는 제 2측단부(53)의 날카로운 모서리 사이에 끼어 기판(1)이 움직이지 않는 것을 방지한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 홀더(10)를 장착한 증착장치를 도시하고 있다.
본 증착장치는, 기판(1)에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버(61)와, 진공챔버(61)의 내부에 배치되며, 마스크(65)의 단부를 지지하는 마스크 지지 플레이트(63)와, 마스크 지지 플레이트(63)의 상부에 배치되어 기판(1)을 유지하는, 상술한 기판 홀더(10)와, 마스크 지지 플레이트(63) 하부에 기판(1)에 대향하여 배치되는 증발원(67)을 포함한다. 그리고, 기판 홀더(10)의 상부에는 상하로 이동하는 백 플레이트(69)가 더 배치될 수 있다.
진공챔버(61)의 내부는 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(1)이 진공챔버(61) 내에 위치하는 기판 홀더(10)에 로딩된다. 마스크 지지 플레이트(63)의 하부의 기판(1)과 대향하는 위치에는 증발원(67)이 배치된다. 증발원(67)에서 증발되는 증발입자는 마스크 지지 플레이트(63)에 지지되어 있는 마스크(65)를 관통하여 기판(1)에 증착된다.
기판 홀더(10)는, 기판(1)의 측단의 파손을 방지하기 위해 제 1측단부(23)의 양단, 코너부(33)의 양단, 제 2측단부(53)의 양단을 라운드 처리하고, 제 2측단부(53)에 홈을 형성하여 기판 모서리(3)가 제 2측단부(53)와 충돌하는 것을 방지한다.
따라서, 본 실시예에 따른 기판 홀더(10)는 기판(1)이 기판 홀더(10)에 안착되는 과정에서 기판(1)이 손상되거나, 기판(1)이 기판 홀더(10)에 끼어 움직이지 않는 현상을 방지할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
1: 기판 3: 기판 모서리
5: 기판 모서리부 10: 기판 홀더
11: 지지 플레이트 20: 제 1지지블록
21: 제 1지지부 23: 제 1측단부
30: 코너블록 33: 코너부
50: 제 2지지블록 51: 제 2지지부
53: 제 2측단부 55: 홈
61: 진공챔버 63: 마스크 지지 플레이트
65: 마스크 67: 증발원
69: 백 플레이트

Claims (5)

  1. 지지 플레이트와;
    상기 지지 플레이트에 결합되며, 기판이 안착되어 상기 기판의 하면을 지지하는 제 1지지부와, 상기 제 1지지부에 단차를 이루도록 형성되며 상기 기판의 측단이 접하는 제 1측단부를 포함하는 제 1지지블록을 포함하며,
    상기 기판의 측단과 이격되도록 상기 제 1측단부의 양단은 라운드 처리되는 것을 특징으로 하는, 기판 홀더.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 기판 모서리의 형상에 상응하는 코너부를 구비하는 코너블록을 더 포함하며,
    상기 기판의 측단과 이격되도록 상기 코너부의 양단은 라운드 처리되는 것을 특징으로 하는, 기판 홀더.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 플레이트에 결합되며, 상기 기판이 안착되어 상기 기판 모서리부의 하면을 지지하는 제 2지지부와, 상기 제 2지지부에 단차를 이루도록 형성되며 상기 기판의 측단이 접하는 제 2측단부를 포함하는 제 2지지블록을 포함하며,
    상기 제 2측단부는 상기 기판 모서리와 이격되도록 상기 기판의 꼭지점의 위치와 대응되는 위치에 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는, 기판 홀더.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제 2측단부의 양단은 라운드 처리되는 것을 특징으로 하는, 기판 홀더.
  5. 기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서,
    진공챔버와;
    상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 지지플레이트와;
    상기 마스크 지지플레이트의 상부에 배치되어 상기 기판을 유지하는, 상기 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 따른 기판 홀더와;
    상기 마스크 지지플레이트 하부에 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는 증착장치.
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KR20240018041A (ko) 2022-08-02 2024-02-13 주식회사 선익시스템 기판 홀딩 유닛을 갖는 증착 장치 및 그 기판 및 마스크의 고정 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100977582B1 (ko) 2008-03-12 2010-08-23 세메스 주식회사 반도체 제조 장비의 기판 정렬 과정에서 기판 이송 방법 및반도체 제조 장비

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100977582B1 (ko) 2008-03-12 2010-08-23 세메스 주식회사 반도체 제조 장비의 기판 정렬 과정에서 기판 이송 방법 및반도체 제조 장비

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230171761A (ko) 2022-06-14 2023-12-21 주식회사 선익시스템 기판 홀딩 유닛을 갖는 증착 장치
KR20240018041A (ko) 2022-08-02 2024-02-13 주식회사 선익시스템 기판 홀딩 유닛을 갖는 증착 장치 및 그 기판 및 마스크의 고정 방법

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