KR20190128475A - 기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치 - Google Patents

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Abstract

기판 얼라인 기구 및 이를 구비한 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 하면 노출되도록 상기 기판 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트와; 상기 기판의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더에 결합되며, 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부와; 상기 기판 터치플레이트에 결합되어 상기 기판 터치플레이트의 상하 이동에 따라 상기 가압부를 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부를 포함하는, 기판 얼라인 기구가 제공된다.

Description

기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치{Substrate align device and apparatus for deposition having the same}
본 발명은 기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 간소한 장비 구성으로 기판 홀더에 로딩된 기판을 정위치로 정밀하게 얼라인할 수 있는 기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열증착방법은 진공챔버 내의 기판 지지부에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
기판이 진공챔버 내의 기판 지지부에 로딩된 후 기판을 쉐도우 마스크와 정밀하게 얼라인하는 것은 이후 공정에 있어 초석이 되므로 그 정밀도를 높이는 것은 매우 중요하다. 이에 따라 여러 가지 얼라인 방법과 장치들이 제안되고 있다.
대한민국공개 실용신안 제20-2009-0005429호의 경우, 리프트 유닛과 회전 부재 등을 사용하여 얼라이닝 하며, 등록특허 제10-0977582의 경우, 발광/수광 소자와 스핀 척에 의해 얼라이닝을 실시하는 방식을 제안하고 있다. 그 밖에 많은 얼라이너 구성이 제안되어 있으나, 좀 더 간소화된 장비와 구동 방식으로도 정밀도를 높일 수 있는 얼라인 장치가 필요하다.
본 발명은 간소한 장비 구성으로 기판 홀더에 로딩된 기판을 정위치로 정밀하게 얼라인할 수 있는 기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 하면 노출되도록 상기 기판 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트와; 상기 기판의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더에 결합되며, 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부와; 상기 기판 터치플레이트에 결합되어 상기 기판 터치플레이트의 상하 이동에 따라 상기 가압부를 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부를 포함하는, 기판 얼라인 기구가 제공된다.
상기 가압부는, 상기 기판의 대각 방향으로 기판 홀더에 결합되는 가이드레일과; 상기 가이드레일을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더와; 상기 슬라이더에 일측에 결합되어 상기 기판의 코너부를 가압하는 가압단과; 상기 슬라이더에 타측에 결합되는 이동단과; 상기 이동단에 결합되는 제1 마그넷을 포함하며, 상기 작동부는, 상기 기판 터치플레이트에 결합되는 고정단과; 상기 고정단에 결합되며 상기 제1 마그넷과 동일 극성을 갖으며 상기 기판 터치플레이트의 하향이동에 따라 상기 제1 마그넷과 대향하여 척력을 가하는 제2 마그넷을 포함할 수 있다.
상기 가압부는, 상기 이동단이 전단에 위치하는 고정블록과; 상기 고정블록에 대향하여 상기 슬라이더에 결합되는 지지블록과; 상기 고정블록과 상기 지지블록 사이에 배치되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 가압부는, 상기 기판의 대각 방향으로 기판 홀더에 결합되는 가이드레일과; 상기 가이드레일을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더와; 상기 슬라이더에 일측에 결합되어 상기 기판의 코너부를 가압하는 가압단과;상기 슬라이더에 타측에 결합되며 후단에 곡면이 형성되는 이동단을 포함하며, 상기 작동부는, 상기 기판 터치플레이트에 결합되는 고정단과; 상기 고정단에 결합되며, 상기 기판 터치플레이트의 하향이동에 따라 회전에 따라 상기 곡면을 가압하는 가압롤러를 포함할 수 있다.
상기 가압부는, 상기 이동단이 전단에 위치하는 고정블록과; 상기 고정블록에 대향하여 상기 슬라이더에 결합되는 지지블록과; 상기 고정블록과 상기 지지블록 사이에 배치되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 기판의 코너부를 지지하도록 상기 기판의 코너부 중 일부에는 상기 기판의 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재가 배치되며, 상기 기판의 나머지 코너부에는 상기 가압부와, 상기 가압부에 상응하는 작동부가 배치될 수 있다.
상기 핀 부재는, 곡면이 상기 기판의 코너부의 양변을 각각 지지하는 한 쌍의 콘 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 홀더와; 상기 마스크 홀더의 상부에 배치되는, 상기 기판 얼라인 기구와; 상기 마스크 홀더 하부에 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 간소한 장비 구성으로 기판 홀더에 로딩된 기판을 정위치로 정밀하게 얼라인 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구를 구비한 증착장치를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 구성을 설명하기 위한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 기판 얼라인 기구 및 이를 구비한 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구를 구비한 증착장치를의 도시한 도면이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 구성을 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 3에는, 진공챔버(10), 기판(11), 기판 얼라인 기구(12), 기판 홀더(14), 기판 터치플레이트(16), 가압부(18), 작동부(20), 마스크(21), 마스크 홀더(22), 증발원(24), 지지 프레임(26), 지지구(28), 가압단(30), 슬라이더(31), 이동단(32), 가이드레일(33), 제1 마그넷(34), 고정단(36), 제2 마그넷(38), 고정블록(39), 지지블록(40), 탄성부재(42), 제1 코너부(50), 제2 코너부(52), 제3 코너부(54), 제4 코너부(56)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)를 설명하기 이전에, 기판 얼라인 기구(12)가 장착된 증착장치를 먼저 설명하기로 한다.
증착장치는, 기판(11)에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버(10)와; 상기 진공챔버(10)의 내부에 배치되며, 마스크(21)의 단부를 지지하는 마스크 홀더(22)와; 상기 마스크 홀더(22)의 상부에 배치되는, 본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)와; 상기 마스크 홀더(22) 하부에 상기 기판(11)에 대향하여 배치되는 증발원(24)을 포함한다.
진공챔버(10)의 내부는 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(11)이 진공챔버(10) 내에 위치하는 기판 홀더(14)에 로딩된다. 마스크 홀더(22)의 하부의 기판(11)과 대향하는 위치에는 증발원(24)이 배치된다. 증발원(24)에서 증발되는 증발입자는 마스크 홀더(22)에 지지되어 있는 마스크(21)를 관통하여 기판(11)에 증착된다.
마스크 홀더(22)에는 마스크(21)가 미리 설치되어 있고, 기판(11)이 기판 홀더(14)에 로딩된 후 기판 터치플레이트(16)를 하강시키면 기판 터치플레이트(16)에 부착되어 있는 작동부(20)가 가압부(18)에 접촉되면서 가압부(18)가 기판(11)의 코너부(50, 52, 54, 56)를 대각 방향으로 밀게 된다. 기판 터치플레이트(16)가 완전히 하강하면 가압부(18)가 최종 얼라인 위치로 이동되면서 기판(11)이 기판 홀더(14)의 정위치에 위치하게 된다.
이하에서는 본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)를 자세히 설명하기로 한다.
본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)는, 기판(11)의 하면 노출되도록 상기 기판(11) 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더(14)와; 상기 기판 홀더(14)의 상부에 배치되어 상기 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트(16)와; 상기 기판(11)의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더(14)에 결합되며, 상기 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부(18)와; 상기 기판 터치플레이트(16)에 결합되어 상기 기판 터치플레이트(16)의 상하 이동에 따라 상기 가압부(18)를 상기 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부(20)를 포함한다.
기판 홀더(14)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(11)의 증착면이 하부로 노출되도록 기판(11)의 단부를 지지한다. 본 실시예에 따른 기판 홀더(14)는 서로 대향하여 쌍을 이루는 지지 프레임(26)과, 지지 프레임(26)에 부착되어 있는 다수의 지지구(28)를 포함하며, 지지 프레임(26)의 지지구(28)가 기판(11)의 서로 대향하는 양단부를 지지하여 기판(11)의 증착면이 하부로 노출되도록 구성하였다. 기판(11)은 로봇 암 등의 이송수단에 의해 기판 홀더(14)에 단부가 지지되도록 로딩된다.
기판 터치플레이트(16)는 기판 홀더(14)의 상부에 배치되어 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동한다. 기판 터치플레이트(16)가 하강하여 기판(11)의 상면에 접하면서 기판(11)이 마스크(21)와 합착이 이루지며, 이 상태에서 기판(11)에 대한 증착을 수행하게 된다.
기판 터치플레이트(16)는 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동하게 되며, 기판 터치플레이트(16)의 하향에 따른 힘을 이용하여 작동부(20)가 가압부(18)를 이동시켜 기판(11)의 얼라인을 수행하게 된다.
가압부(18)는, 기판(11)의 코너부에 상응하여 기판 홀더(14)에 결합되며, 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하게 된다.
기판(11)은 사각형 형상으로 4개의 코너부를 갖게 되는데, 기판(11)의 코너부는, 사각형의 꼭지점을 중심으로 서로 수직을 이루는 양변으로 구성된다. 본 실시예에서는 설명의 편의를 위하여, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(11)의 좌측 상부부터 시계 방향으로 제1 코너부(50), 제2 코너부(52), 제3 코너부(54) 및 제4 코너부(56)로 칭하기로 한다.
작동부(20)는, 기판 터치플레이트(16)에 결합되어 기판 터치플레이트(16)의 상하 이동에 따라 가압부(18)를 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시킨다. 상술한 바와 같이 기판 터치플레이트(16)는 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동하게 되는데, 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 기판 터치플레이트(16)에 결합된 작동부(20)가 하강하면서 기판 홀더(14)에 부착된 가압부(18)를 대각선 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 가압부(18)가 기판(11)의 코너부를 가압하여 기판(11)이 정위치로 자리를 잡도록 한다.
기판 터치플레이트(16)가 상승하면 작동부(20)가 가압부(18)에서 떨어지고 가압부(18)는 탄성부재(42)의 탄성력에 의해 본래의 위치로 복원하게 된다.
본 실시예에서는 마그넷의 척력을 이용하여 가압부(18)가 기판(11)의 대각 방향으로 직선이동되도록 구성하였다.
즉, 본 실시예에 따른 가압부(18)는, 기판(11)의 대각 방향으로 기판 홀더(14)에 결합되는 가이드레일(33)과; 가이드레일(33)을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더(31)와; 슬라이더(31)에 일측에 결합되어 기판(11)의 코너부를 가압하는 가압단(30)과; 상기 슬라이더(31)에 타측에 결합되는 이동단(32)과; 상기 이동단(32)에 결합되는 제1 마그넷(34)을 포함하며, 작동부(20)는, 기판(11) 터치플레이에 결합되는 고정단(36)과; 고정단(36)에 결합되며 제1 마그넷(34)과 동일 극성을 갖으며 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 제1 마그넷(34)과 대향하여 척력을 가하는 제2 마그넷(38)을 포함한다.
가이드레일(33)은 가압단(30)을 기판(11)의 대각 방향으로 이동하도록 가이드하며, 레일 형태로 기판(11)의 대각 방향으로 기판 홀더(14)에 결합된다.
슬라이더(31)는 가이드레일(33)을 따라 직선 왕복 이동하며 기판(11)의 코너부에 접촉되는 가압단(30)이 결합된다. 슬라이더(31)가 가이드레일(33)을 따라 직선왕복이동하면서 슬라이더(31)에 부착된 가압단(30)이 기판(11)의 대각방향으로 기판(11)의 코너부를 밀게 된다.
이동단(32)은, 작동부(20)의 고정단(36)과 상응하여 슬라이더(31)에 힘을 가하게 된다. 이동단(32)에는 제1 마그넷(34)이 부착되어 있으며, 작동부(20)의 고정단(36)에는 제1 마그넷(34)과 동일 극성을 갖으며 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 제1 마그넷(34)과 대향하여 척력을 가하는 제2 마그넷(38)이 부착된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 가압부(18)의 이동단(32)의 후단에 제1 마그넷(34)이 경사지게 배치되고 작동부(20)의 고정단(36)에는 제1 마그넷(34)과 동일한 경사를 갖도록 제2 마그넷(38)을 대향시킨 상태로 결합되어 있는데, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 제2 마그넷(38)이 하강되면 제1 마그넷(34)과 제2 마그넷(38)에는 척력이 작용하여 가압부(18)가 기판(11)의 대각방향으로 이동하면서 기판(11)의 코너부를 밀게 된다.
한편, 기판 터치플레이트(16)의 상승에 따라 가압부(18)가 본래 위치로 복원될 수 있도록, 가압부(18)는, 이동단(32)이 전단에 위치하는 고정블록(39)과; 고정블록(39)에 대향하여 상기 슬라이더(31)에 결합되는 지지블록(40)과; 고정블록(39)과 지지블록(40) 사이에 배치되는 탄성부재(42)를 더 포함할 수 있다. 기판 터치플레이트(16)의 상승에 따라 제2 마그넷(38)이 상승되면 마그넷 간의 척력이 제거되고, 고정블록(39)에 의해 지지되는 탄성부재(42)에 의해 지지블록(40)이 기판(11)의 대각 방향의 외측으로 밀리면서 가압부(18)가 본래 위치로 탄성복원된다.
본 실시예에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 4개의 가압부(18)가 기판(11)의 각 코너부(50, 52, 54, 56)에 상응하여 배치된 형태를 제시한다. 각 코너부(50, 52, 54, 56)에 각각 위치한 가압부(18)는 탄성부재(42)의 탄성력에 의해 기판(11)의 코너부(50, 52, 54, 56)에 대응하여 벌어져 있으며, 기판(11)이 기판 홀더(14)의 벌어진 4개의 가압부(18) 사이에 로딩된 상태에서 기판 터치플레이트(16)가 하강하면 각 가압부(18)에 상응하는 작동부(20)가 하강하면서 기판(11)의 4개의 코너부(50, 52, 54, 56)를 대각 방향을 밀어 기판(11)이 기판 홀더(14)의 정위치에 얼라인 되도록 한다.
한편, 각 코너부(50, 52, 54, 56)에 배치되는 4개의 가압부(18) 모두에 작동부(20)를 상응하여 배치하지 않아도 된다. 예를 들면, 제1 내지 제4 코너부(56)에 각각 상응하여 제1 내지 제4 가압부(18)를 설치하고, 제1 가압부(18), 제2 가압부(18) 및 제3 가압부(18)에 대하여 작동부(20)를 설치하지 않고, 제4 가압부(18)에 대하여만 작동부(20)를 설치하는 형태로서, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 제4 가압부(18)에 상응하는 작동부(20)만이 하강하여 제4 코너부(56)를 기판(11)의 대각 방향으로 밀도록 구성하는 형태이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다. 도 4에는, 기판 홀더(14), 기판 터치플레이트(16), 가압부(18), 작동부(20), 가압단(30), 슬라이더(31), 가이드레일(33), 이동단(32), 고정단(36), 고정블록(39), 지지블록(40), 탄성부재(42), 곡면(44), 가압롤러(46)가 도시되어 있다.
상술한 일 실시예에서는 두 개의 마그넷의 척력에 의해 가압부(18)가 이동하도로 구성하였으나, 본 실시예에서는 가압롤러(46)의 직접적인 접촉에 따라 가압부(18)가 직선이동하도록 구성한 형태이다.
본 실시예에 따른 가압부(18)는, 기판(11)의 대각 방향으로 기판 홀더(14)에 결합되는 가이드레일(33)과; 가이드레일(33)을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더(31)와; 슬라이더(31)에 일측에 결합되어 상기 기판(11)의 코너부를 가압하는 가압단(30)과; 슬라이더(31)에 타측에 결합되며 후단에 곡면(44)이 형성되는 이동단(32)을 포함하며, 작동부(20)는, 기판 터치플레이트(16)에 결합되는 고정단(36)과; 고정단(36)에 결합되며, 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 회전에 따라 곡면(44)을 가압하는 가압롤러(46)를 포함한다.
가이드레일(33), 슬라이더(31), 가압단(30), 고정단(36)의 구성은 위의 일 실시예와 동일하므로 설명을 생략하기로 한다.
본 실시에에 따른 이동단(32)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 후단으로 돌출되는 곡면(44)이 형성되어 있고, 고정단(36)에는 이동단(32)의 곡면(44)에 접촉되어 회전하는 가압롤러(46)가 결합되어 있다. 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 고정단(36)의 가압롤러(46)가 하향으로 이동하면서 이동단(32)의 곡면(44)을 밀게 되고 이에 따라 이동단(32)이 부착된 슬라이더(31)가 기판(11)의 대각방향으로 이동하면서 가압단(30)이 기판(11)의 코너부를 밀게 된다. 그리고, 가압롤러(46)가 상승하면 가압롤러(46)가 곡면(44)으로 부터 떨어지면서 탄성부재(42)에 의해 다시 슬라이더(31)가 원위치로 복귀하게 된다.
이외의 구성은 상술한 바와 같으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 따른 기판 얼라인 기구(12)의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 5에는 기판(11), 기판 홀더(14), 핀 부재(47), 콘 부재(48), 경사부(49),제4 코너부(56)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)는, 상술한 바와 같이, 기판(11)의 4개의 코너부(50, 52, 54, 56)에 가압부 및 작동부를 설치하지 않고, 4개 중 일부(52, 54, 56)에 핀 부재(47)를 설치하고, 나머지 코너부(50)에 가압부(18)와 고정부를 설치하도록 구성한 형태이다. 본 실시예에서는 제1 코너부(50)에는 가압부와 작동부를 설치하고, 나머지 제2 내지 제4 코너부(52, 54, 56)에는 콘 부재(48)를 설치한 형태를 제시한다.
핀 부재(47)는, 기판(11)의 코너부(50)를 지지하도록 기판 홀더(14)에 결합되며, 기판(11)의 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부(27)를 구비한다. 핀 부재(47)는 기판(11)의 코너부를 지지하게 되는데, 기판(11)의 코너부와 접하는 곳에 경사부(49)가 마련되어 있다. 기판(11)이 로딩되면 핀 부재(47)의 경사부(49)에 의해 기판(11)의 코너부가 하향 슬라이딩된다.
본 실시예에서는 핀 부재(47)로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 하향으로 단면이 확대되는 원뿔 형상의 한 쌍의 콘 부재(48)를 제시한다. 콘 부재(48)는 밑면이 원이고, 옆면이 곡면(44)인 뿔 모양의 입체 형상을 갖는다. 따라서, 콘 부재(48)의 옆면은 경사부(49)를 구성하게 되고, 기판(11)이 로딩되면 기판(11)의 코너부가 콘 부재(48)의 경사부(49)를 따라 하향 슬라이딩된다. 콘 부재(48)는 쌍을 이루어 기판(11)의 코너부를 구성하는 양변이 각각 지지되도록 기판 홀더(14)에 부착된다.
핀 부재(47)가 설치되지 않은 나머지 기판(11)의 코너부에는 상술한 가압부(18)와 작동부(20)가 쌍을 이루어 설치되고, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 작동부(20)가 하강하면서 가압부(18)가 기판(11)의 나머지 코너부를 밀면서 기판(11)을 정위치에 얼라인하게 된다.
기판(11)이 로봇 암 등에 의해 기판 홀더(14)에 로딩되면 기판(11)의 자중에 의해 핀 부재(47)의 경사부(49)를 따라 기판(11)이 하향 슬라이딩되면서 일차적으로 기판(11)의 얼라인이 이루어지고, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 가압부(18)가 기판(11)의 코너부를 밀면서 기판(11)이 기판 홀더(14)의 정위치에 위치하도록 얼라인하게 된다.
이외의 구성은 상술한 바와 같으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
10: 진공챔버 11: 기판
12: 기판 얼라인 기구 14: 기판 홀더
16: 기판 터치플레이트 18: 가압부
20: 작동부 21: 마스크
22: 마스크 홀더 24: 증발원
26: 지지 프레임 28: 지지구
30: 가압단 31: 슬라이더
32: 이동단 34: 제1 마그넷
36: 고정단 38: 제2 마그넷
39: 고정블록 40: 지지블록
42: 탄성부재 44: 곡면
46: 롤러 47: 핀 부재
48: 콘 부재 49: 경사부
50, 52, 54, 56: 코너부

Claims (8)

  1. 기판의 하면 노출되도록 상기 기판 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더와;
    상기 기판 홀더의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트와;
    상기 기판의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더에 결합되며, 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부와;
    상기 기판 터치플레이트에 결합되어 상기 기판 터치플레이트의 상하 이동에 따라 상기 가압부를 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부를 포함하는, 기판 얼라인 기구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가압부는,
    상기 기판의 대각 방향으로 기판 홀더에 결합되는 가이드레일과;
    상기 가이드레일을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더와;
    상기 슬라이더에 일측에 결합되어 상기 기판의 코너부를 가압하는 가압단과;
    상기 슬라이더에 타측에 결합되는 이동단과;
    상기 이동단에 결합되는 제1 마그넷을 포함하며,
    상기 작동부는,
    상기 기판 터치플레이트에 결합되는 고정단과;
    상기 고정단에 결합되며 상기 제1 마그넷과 동일 극성을 갖으며 상기 기판 터치플레이트의 하향이동에 따라 상기 제1 마그넷과 대향하여 척력을 가하는 제2 마그넷을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가압부는,
    상기 이동단이 전단에 위치하는 고정블록과;
    상기 고정블록에 대향하여 상기 슬라이더에 결합되는 지지블록과;
    상기 고정블록과 상기 지지블록 사이에 배치되는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가압부는,
    상기 기판의 대각 방향으로 기판 홀더에 결합되는 가이드레일과;
    상기 가이드레일을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더와;
    상기 슬라이더에 일측에 결합되어 상기 기판의 코너부를 가압하는 가압단과;
    상기 슬라이더에 타측에 결합되며 후단에 곡면이 형성되는 이동단을 포함하며,
    상기 작동부는,
    상기 기판 터치플레이트에 결합되는 고정단과;
    상기 고정단에 결합되며, 상기 기판 터치플레이트의 하향이동에 따라 회전에 따라 상기 곡면을 가압하는 가압롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 가압부는,
    상기 이동단이 전단에 위치하는 고정블록과;
    상기 고정블록에 대향하여 상기 슬라이더에 결합되는 지지블록과;
    상기 고정블록과 상기 지지블록 사이에 배치되는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 코너부를 지지하도록 상기 기판의 코너부 중 일부에는 상기 기판의 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재가 배치되며,
    상기 기판의 나머지 코너부에는 상기 가압부와, 상기 가압부에 상응하는 작동부가 배치되는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 핀 부재는,
    곡면이 상기 기판의 코너부의 양변을 각각 지지하는 한 쌍의 콘 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
  8. 기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서,
    진공챔버와;
    상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 홀더와;
    상기 마스크 홀더의 상부에 배치되는, 상기 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 기판 얼라인 기구와;
    상기 마스크 홀더 하부에 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치.
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