KR20140085091A - 기판 얼라인 모듈과 이를 구비한 증착장치 - Google Patents

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Abstract

기판 얼라인 모듈 및 이를 구비한 증착장치가 제공된다. 본 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈은, 기판을 얼라인하기 위한 기판 얼라인 모듈로서, 상기 기판의 단부를 지지하는 기판 지지플레이트와; 상기 기판의 제1 코너부를 지지하도록 상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 제1 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재와; 상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 기판의 제1 코너부에 대향하는 제2 코너부를 가압하는 푸셔(pusher)를 포함하여, 간소한 장비 구성으로 기판 지지부에 로딩된 기판을 정밀하게 얼라인 할 수 있다.

Description

기판 얼라인 모듈과 이를 구비한 증착장치{Substrate align module and apparatus for deposition having the same}
본 발명은 기판 얼라인 모듈과 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 간소한 장비 구성으로 기판 지지부에 로딩된 기판을 정밀하게 얼라인할 수 있는 기판 얼라인 모듈과 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열증착방법은 진공챔버 내의 기판 지지부에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
기판이 진공챔버 내의 기판 지지부에 로딩된 후 기판을 쉐도우 마스크와 정밀하게 얼라인하는 것은 이후 공정에 있어 초석이 되므로 그 정밀도를 높이는 것은 매우 중요하다. 이에 따라 여러 가지 얼라인 방법과 장치들이 제안되고 있다.
대한민국공개 실용신안 제20-2009-0005429호의 경우, 리프트 유닛과 회전 부재 등을 사용하여 얼라이닝 하며, 등록특허 제10-0977582의 경우, 발광/수광 소자와 스핀 척에 의해 얼라이닝을 실시하는 방식을 제안하고 있다. 그 밖에 많은 얼라이너 구성이 제안되어 있으나, 좀 더 간소화된 장비와 구동 방식으로도 정밀도를 높일 수 있는 얼라인 장치가 필요하다.
본 발명은 간소한 장비 구성으로 기판 지지부에 로딩된 기판을 정밀하게 얼라인할 수 있는 기판 얼라인 모듈과 이를 구비한 증착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 얼라인하기 위한 기판 얼라인 모듈로서,
상기 기판의 단부를 지지하는 기판 지지플레이트와; 상기 기판의 제1 코너부를 지지하도록 상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 제1 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재와; 상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 기판의 제1 코너부에 대향하는 제2 코너부를 가압하는 푸셔(pusher)를 포함하는, 기판 얼라인 모듈이 제공된다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판을 얼라인하기 위한 기판 얼라인 모듈로서, 상기 기판의 단부를 지지하는 기판 지지플레이트와; 상기 기판의 제1 코너부와 상기 제1 코너부에 대향하는 제2 코너부를 각각 지지하도록 상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재와; 상기 기판 지지플레이트에 결합되며 상기 제1 코너부에 인접한 제3 코너부와 상기 제3 코너부에 대향하는 제4 코너부를 각각 가압하는 푸셔(pusher)를 포함하는, 기판 얼라인 모듈이 제공된다.
상기 기판의 상기 제1 코너부에 인접하는 제3 코너부 및 상기 제3 코너부에 대향하는 제4 코너부를 각각 지지하는 다른 핀 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 핀 부재 각각은, 곡면이 상기 기판의 코너부의 양변을 각각 지지하는 한 쌍의 콘 부재를 포함할 수 있다.
상기 원뿔의 밑면과 모선이 이루는 각도는 50° 내지 70°일 수 있다.
상기 푸셔는, 상기 기판의 코너부가 삽입되도록 가압홈이 형성되는 가압블록과; 상기 가압블록의 직선이동을 가이드하는 가이드부와; 상기 가압블록의 직선이동을 탄성복원하는 탄성부재와; 상기 가압블록에 결합되는 제1 마그넷을 포함할 수 있으며, 이 경우, 상기 푸셔는, 상기 제1 마그넷과 동일 극성을 갖는 제2 마그넷이 근접됨에 따라 직선이동할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 지지플레이트와; 상기 마스크 지지플레이트의 상부에 배치되는, 상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 기판 얼라인 모듈과; 상기 마스크 지지플레이트 하부에 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치가 제공된다.
상기 증착장치는, 상기 기판 지지플레이트의 상부에 배치되어 상하로 이동하는 백 플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 간소한 장비 구성으로 기판 지지부에 로딩된 기판을 정밀하게 얼라인 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 구성을 설명하기 위한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 핀 부재의 부분 확대도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 푸셔을 구성을 설명하기 위한 도면.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 푸셔의 작동을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈을 구비한 증착장치를 설명하기 위한 도면.
도 6는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 구성을 설명하기 위한 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 기판 얼라인 모듈 및 이를 구비한 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 구성을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 핀 부재의 부분 확대도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 푸셔을 구성을 설명하기 위한 도면이고, 도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈의 푸셔의 작동을 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈을 구비한 증착장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 4에는, 기판 얼라인 모듈(10), 기판(12), 기판 지지플레이트(14), 제1 코너부(16), 제2 코너부(18), 제3 코너부(20), 제4 코너부(22), 핀 부재(24), 푸셔(26), 경사부(27), 콘 부재(28), 가압홈(30), 가압블록(32), 가이드부(34), 탄성부재(36), 제1 마그넷(38), 제2 마그넷(40), 진공챔버(41), 마스크 지지플레이트(42), 마스크(44), 증발원(46), 백 플레이트(48)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈(10)은, 기판(12)을 얼라인하기 위한 기판 얼라인 모듈(10)로서, 상기 기판(12)의 단부를 지지하는 기판 지지플레이트(14)와; 상기 기판(12)의 제1 코너부(16)를 지지하도록 상기 기판 지지플레이트(14)에 결합되며, 상기 제1 코너부(16)가 하향 슬라이딩되도록 경사부(27)를 구비하는 핀 부재(24)와; 상기 기판 지지플레이트(14)에 결합되며, 상기 기판(12)의 제1 코너부(16)에 대향하는 제2 코너부(18)를 가압하는 푸셔(26)(pusher)를 포함하여, 간소한 장비 구성으로 기판 지지부에 로딩된 기판(12)을 정밀하게 얼라인할 수 있다.
기판 지지플레이트(14)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(12)의 증착면이 하부로 노출되도록 기판(12)의 단부를 지지한다. 본 실시예에서는 서로 쌍을 이루는 기판 지지플레이트(14)가 기판(12)의 서로 대향하는 양단부를 지지하여 기판(12)의 증착면이 하부로 노출되도록 구성된 형태를 제시하고 있으나, 하나의 기판 지지플레이트에 관통면을 형성하고, 관통면에서 기판(12)의 증착면이 하부로 노출되도록 구성하는 것도 가능하다.
기판(12)은 로봇 암 등의 이송수단에 의해 기판 지지플레이트(14)에 단부가 지지되도록 로딩된다.
핀 부재(24)는, 기판(12)의 제1 코너부(16)를 지지하도록 기판 지지플레이트(14)에 결합되며, 기판(12)의 제1 코너부(16)가 하향 슬라이딩되도록 경사부(27)를 구비한다. 기판(12)은 사각형 형상으로 4개의 코너부(16, 18, 20, 22)를 갖게 된다. 기판(12)의 코너부는, 사각형의 꼭지점을 중심으로 서로 수직을 이루는 양변으로 구성된다.
4개의 코너부는, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 코너부(16)와, 제1 코너부(16)에 대향하여 대각선 방향에 위치하는 제2 코너부(18)와, 제1 코너부(16)에 인접하는 제3 코너부(20)와, 제3 코너부(20)에 대항하여 대각선 방향에 위치하는 제4 코너부(22)로 이루어진다.
핀 부재(24)는 기판(12)의 제1 코너부(16)를 지지하게 되는데, 기판(12)의 제1 코너부(16)와 접하는 곳에 경사부(27)가 마련되어 있다. 기판(12)이 로딩되면 핀 부재(24)의 경사부(27)에 의해 기판(12)의 제1 코너부(16)가 하향 슬라이딩된다.
본 실시예에서는 핀 부재(24)로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 지지플레이트(14)를 향하여 단면이 확대되는 원뿔형상의 한 쌍의 콘 부재(28)를 제시한다. 콘 부재(28)은 밑면이 원이고, 옆면이 곡면인 뿔 모양의 입체 형상을 갖는다. 따라서, 콘 부재(28)의 옆면은 경사부(27)를 구성하게 되고, 기판(12)이 로딩되면 기판(12)의 코너부가 콘 부재(28)의 경사부(27)를 따라 하향 슬라이딩된다.
콘 부재(28)는 쌍을 이루어 기판(12)의 코너부를 구성하는 양변이 각각 지지되도록 기판 지지플레이트(14)에 부착된다. 콘 부재(28)의 경사부(27)는, 원뿔 형상의 콘 부재(28)의 밑면과 모선이 이루는 각도가 50° 내지 70°범위를 이루도록 형성될 수 있다. 또한, 콘 부재(28)는, 콘 부재(28)의 외면은 전체적으로 모나지 않은 곡면들로 이루어져 기판(12)의 손상이 발생하지 않도록 구성될 수 있다.
푸셔(26)(pusher)는, 기판(12)의 제1 코너부(16)에 대향하는 제2 코너부(18)를 가압하도록 기판 지지플레이트(14)에 부착된다.
기판(12)이 로봇 암 등에 의해 기판 지지플레이트(14)에 로딩되면 기판(12)의 자중에 의해 핀 부재(24)의 경사부(27)를 따라 기판(12)이 하향 슬라이딩되면서 일차적으로 기판(12)의 얼라인이 이루어진다. 핀 부재(24)의 경사부(27)에 의한 일차 얼라인의 정밀도는 1 내지 2 mm의 허용오차 범위 내로서 로딩 자체에 의한 위치 오차 범위에 비하면 얼라인 오차는 상당한 수준으로 감소될 수 있다.
이와 같이 일차적으로 기판(12)이 얼라인된 다음, 푸셔(26)를 동작시켜 보다 정밀한 기판(12)의 얼라인을 수행한다. 즉, 기판 지지플레이트(14)에 기판(12)이 로딩되면, 기판(12)은 핀 부재(24)에 의해 슬라이딩되면서 푸셔(26)가 설치된 제2 코너부(18) 쪽으로 밀려오게 된다. 이 상태에서 푸셔(26)를 제1 코너부(16)를 향하여 전진시켜 기판(12)의 제2 코너부(18)가 그 하부에 위치하는 마스크(44)의 코너부와 일치되도록 한다. 만일, 기판(12)이 요동하게 되면, 핀 부재(24)에 의해 다시 밀려와 푸셔(26) 와 핀 부재(24) 사이에 기판(12)이 맞물려 정지하게 되고 이에 따라 얼라인이 완료하게 된다. 이와 같이 푸셔(26)에 의한 최종 얼라인로 인해 허용오차 범위는 100 μm 정도가 될 수 있다. 따라서 비교적 간단한 유닛을 통해 원하는 수준의 정밀도로 기판(12)를 얼라인할 수 있다.
좀 더 안정된 정렬을 위해, 핀 부재(24)는 기판(12)의 제1 코너부(16)에 인접하는 제3 코너부(20) 및 제3 코너부(20)에 대향하는 제4 코너부(22)에 각각 설치될 수 있다.
본 실시예에 따른 푸셔(26)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(12)의 코너부가 삽입되도록 가압홈(30)이 형성되는 가압블록(32)과, 가압블록(32)의 직선이동을 가이드하는 가이드부(34) 및 가압블록(32)의 직선이동을 탄성복원하는 탄성부재(36) 및 가압블록(32)에 결합되는 제1 마그넷(38)을 포함할 수 있다.
가압블록(32)의 가압홈(30)은 기판(12)의 코너부가 삽입되도록 코너부의 형상에 상응하게 형성된다. 기판(12)이 로딩되면 가압블록(32)이 기판(12)의 제2 코너부(18)를 밀게 되고 기판(12)이 제1 코너부(16) 방향으로 슬라이딩되다가 핀 부재(24)의 차단으로 다시 가압블록(32)의 가압홈(30)에 맞물리게 된다. 가압블록(32)의 최종 위치를 기판(12)의 제2 코너부(18)와 정렬하기 위한 마스크(44)의 코너부와 일치되도록 설정하여 놓으면 최종적으로 기판(12)과 마스크(44)의 얼라인이 이루어진다.
가이드부(34)는 가압블록(32)의 직선이동을 가이드하게 되는데, 가압블록(32)은 대향하는 핀 부재(24)를 향하여 직선이동된다. 가이드부(34)로서는 LM 가이드(Linear motor guide) 등이 사용될 수 있다. 탄성부재(36)는 가압블록(32)의 직선이동을 탄성복원한다. 즉, 기판(12)에 대한 공정이 완료되어 기판(12)이 언로딩되면 탄성부재(36)에 의해 가압블록(32)이 원위치로 직선이동하게 된다.
가압블록(32)의 직선이동의 구동은 다양한 방식이 있을 수 있으나, 본 실시예에서는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 마그넷을 이용한 형태를 제시한다. 즉, 가압블록(32)에 결합되어 있는 제1 마그넷(38)에 제1 마그넷(38)과 동일 극성을 갖는 제2 마그넷(40)을 대향하여 근접시키게 되면 서로 척력이 작용하게 되고 이에 따라 제1 마그넷(38)이 부착된 가압블록(32)을 가이드부(34)를 따라 직선이동하게 된다. 제2 마그넷(40)을 제1 마그넷(38)과 멀어지게 하면 탄성부재(36)에 의해 가압블록(32)이 원위치로 복귀하게 된다.
보다 상세하게, 도 4에 도시된 바와 같이, 가압블록(32)의 후단에 제1 마그넷(38)을 경사지게 배치하고 제1 마그넷(38)의 상단에 제1 마그넷(38)과 동일한 경사를 갖도록 제2 마그넷(40)을 대향시킨 상태에서 제2 마그넷(40)을 하강시키면 척력이 작용하여 가압블록(32)이 기판(12)의 제1 코너부(16)를 향하여 직선이동하게 된다. 제2 마그넷(40)을 상승시키면 탄성부재(36)에 의해 가압블록(32)이 원위치로 복귀하게 된다. 제2 마그넷(40)은 도 5에 도시된 바와 같이, 기판 지지플레이트(14)의 상부에 배치되는 백 플레이트(48)에 결합될 수 있다. 백 플레이트(48)는 기판(12)과 마스크(44)의 얼라인을 위하여 상승 또는 하강을 하게 되는데, 이에 따라 백 플레이트(48)에 부착되는 제2 마그넷(40)이 제1 마그넷(38)에 대하여 상승하거나 하강하게 된다. 가압블록(32)의 구동을 소형 모터 등의 동력수단을 이용하여 자동제어시스템으로 구성할 수 있음은 물론이다.
도 5는 본 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈(10)을 장착한 증착장치를 도시하고 있다. 본 증착장치는, 기판(12)에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버(41)와, 진공챔버(41)의 내부에 배치되며, 마스크(44)의 단부를 지지하는 마스크 지지플레이트(42)와, 마스크 지지플레이트(42)의 상부에 배치되는 상술한 기판 얼라인 모듈(10) 및 마스크 지지플레이트(42) 하부에 기판(12)에 대향하여 배치되는 증발원(46)을 포함한다. 그리고, 기판 지지플레이트(14)의 상부에는 상하로 이동하는 백 플레이트(48)가 더 배치될 수 있다.
진공챔버(41)의 내부는 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(12)이 진공챔버(41) 내에 위치하는 기판 지지플레이트(14)에 로딩된다. 마스크 지지플레이트(42)의 하부의 기판(12)과 대향하는 위치에는 증발원(46)이 배치된다. 증발원(46)에서 증발되는 증발입자는 마스크 지지플레이트(42)에 지지되어 있는 마스크(44)를 관통하여 기판(12)에 증착된다.
마스크 지지플레이트(42)에는 마스크(44)가 미리 설치되어 있고, 기판(12)이 기판 지지플레이트(14)에 로딩되면 핀 부재(24)의 경사부(27)에 의해 기판(12)이 하향 슬라이딩되면서 마스크(44)에 대한 기판(12)의 일차적인 얼라인이 이루어진다. 이 상태에서 백 플레이트(48)를 하강시키면 백 플레이트(48)에 부착되어 있는 제2 마그넷(40)이 제1 마그넷(38)을 밀게 되고 이에 따라 가압블록(32)이 직선이동되면서 기판(12)의 제2 코너부(18)를 밀게 된다. 백 플레이트(48)가 완전히 하강하면 가압블록(32)이 최종 얼라인 위치로 이동되면서 기판(12)과 마스크(44)의 얼라인이 이루어진다.
도 6는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈(10)의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 5에는 기판 얼라인 모듈(10), 기판(12), 기판 지지플레이트(14), 제1 코너부(16), 제2 코너부(18), 제3 코너부(20), 제4 코너부(22), 핀 부재(24), 푸셔(26), 경사부(27), 콘 부재(28), 가압홈(30), 가압블록(32), 가이드부(34), 탄성부재(36), 제1 마그넷(38)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈(10)은, 기판(12)의 단부를 지지하는 기판 지지플레이트(14)와, 기판(12)의 제1 코너부(16)와 상기 제1 코너부(16)에 대향하는 제2 코너부(18)를 각각 지지하도록 기판 지지플레이트(14)에 결합되며, 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부(27)를 구비하는 핀 부재(24) 및 기판 지지플레이트(14)에 결합되며 제1 코너부(16)에 인접한 제3 코너부(20)와 제3 코너부(20)에 대향하는 제4 코너부(22)를 각각 가압하는 푸셔(26)(pusher)를 포함한다.
본 실시예에 따른 기판 얼라인 모듈(10)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(12)의 제1 코너부(16) 및 이에 대향하는 제2 코너부(18)를 각각 지지하도록 기판 지지플레이트(14)에 두 개의 핀 부재(24)를 결합하고, 제3 코너부(20) 및 이에 대향하는 제4 코너부(22)를 각각 가압하도록 두 개의 푸셔(26)를 둔 형태이다.
일 실시예와 마찬 가지로 기판(12)이 기판 지지플레이트(14)에 로딩되면 제1 코너부(16) 및 제2 코너부(18) 쪽에 각각 배치되어 있는 핀 부재(24)의 경사부(27)에 의해 기판(12)이 하향 슬라이딩되면서 일차적인 얼라인이 이루어진다. 이후 제3 코너부(20) 및 제4 코너부(22) 쪽에 설치되어 있는 푸셔(26)가 각 코너부를 밀면서 마스크(44)에 대한 기판(12)의 정렬을 수행한다.
이외의 구성은 상술한 바와 같으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
10: 기판 얼라인 모듈 12: 기판
14: 기판 지지플레이트 16, 18, 20, 22: 코너부
24: 핀 부재 26: 푸셔
27: 경사부 28: 콘 부재
30: 가압홈 32: 가압블록
34: 가이드부 36: 탄성부재
38: 제1 마그넷 40: 제2 마그넷
41: 진공챔버 42: 마스크 지지플레이트
44: 마스크 46: 증발원
48: 백 플레이트

Claims (8)

  1. 기판을 얼라인하기 위한 기판 얼라인 모듈로서,
    상기 기판의 단부를 지지하는 기판 지지플레이트와;
    상기 기판의 제1 코너부를 지지하도록 상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 제1 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재와;
    상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 기판의 제1 코너부에 대향하는 제2 코너부를 가압하는 푸셔(pusher)를 포함하는, 기판 얼라인 모듈.
  2. 기판을 얼라인하기 위한 기판 얼라인 모듈로서,
    상기 기판의 단부를 지지하는 기판 지지플레이트와;
    상기 기판의 제1 코너부와 상기 제1 코너부에 대향하는 제2 코너부를 각각 지지하도록 상기 기판 지지플레이트에 결합되며, 상기 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재와;
    상기 기판 지지플레이트에 결합되며 상기 제1 코너부에 인접한 제3 코너부와 상기 제3 코너부에 대향하는 제4 코너부를 각각 가압하는 푸셔(pusher)를 포함하는, 기판 얼라인 모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 상기 제1 코너부에 인접하는 제3 코너부 및 상기 제3 코너부에 대향하는 제4 코너부를 각각 지지하는 다른 핀 부재를 더 포함하는, 기판 얼라인 모듈.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 핀 부재 각각은,
    곡면이 상기 기판의 코너부의 양변을 각각 지지하는 한 쌍의 콘 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 모듈.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 원뿔의 밑면과 모선이 이루는 각도는 50° 내지 70°인 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 모듈.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 푸셔는,
    상기 기판의 코너부가 삽입되도록 가압홈이 형성되는 가압블록과;
    상기 가압블록의 직선이동을 가이드하는 가이드부와;
    상기 가압블록의 직선이동을 탄성복원하는 탄성부재와;
    상기 가압블록에 결합되는 제1 마그넷을 포함하되,
    상기 푸셔는,
    상기 제1 마그넷과 동일 극성을 갖는 제2 마그넷이 근접됨에 따라 직선이동하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 모듈.
  7. 기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서,
    진공챔버와;
    상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 지지플레이트와;
    상기 마스크 지지플레이트의 상부에 배치되는, 상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 기판 얼라인 모듈과;
    상기 마스크 지지플레이트 하부에 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판 지지플레이트의 상부에 배치되어 상하로 이동하는 백 플레이트를 더 포함하는, 증착장치.
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