TWI693871B - 立式連續蝕刻機 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種立式連續蝕刻機，其用以對一複合載板進行蝕刻加工，立式連續蝕刻機包括一基座、一輸送裝置、一載具、一第一電漿裝置及一第二電漿裝置。載具直立設置於基座；輸送裝置設置於基座，且沿一輸送方向輸送載具至第一電漿裝置及第二電漿裝置；第一電漿裝置與第二電漿裝置設置於輸送方向上，以便依序對複合載板的兩側面分別進行電漿蝕刻。

Description

立式連續蝕刻機

本發明係有關於一種蝕刻機，特別是指一種立式連續蝕刻機，其供複合載板以立式進行雙面蝕刻。

如台灣專利I584706發明專利，其揭示一種用以印刷電路板的電漿蝕刻裝置，主要採用氣流吸附板將印刷電路板吸附於其上，進而以立式方式透過電漿進行蝕刻印刷電路板之一表面。

然而，前述所揭的方式僅能單面進行蝕刻，而無法做到雙面蝕刻，若要雙面蝕刻則需要以人工進行換面，導致製程的效率不彰，耗費人力。

另外，若是同時對印刷電路板的兩面進行電漿蝕刻，則容易產生高溫，進而使印刷電路板的基板損傷或是因為高溫而彎折，故同時對印刷電路板的兩面進行蝕刻亦存在明顯的缺點。

為解決上述課題，本發明揭露一種立式連續蝕刻機，其將複合載板以直立式方式輸送至兩電漿裝置，並依序對複合載板的兩側面進行蝕刻，據以提升製程效率。

為達上述目的，本發明實施例中提供一種立式連續蝕刻機，其用以對一複合載板進行蝕刻加工，複合載板具有一上端、一下端及位於上端與下端之間的一第一側面與相反設置的一第二側面，立式連續蝕刻機包括一基座、一輸送裝置、一載具、一第一電漿裝置及一第二電漿裝置。 輸送裝置，係設置於基座；載具，係直立設置於基座上，載具夾設固定複合載板之上端與下端，且輸送裝置沿一輸送方向輸送載具；第一電漿裝置，係設置輸送方向上，用以對複合載板之第一側面進行電漿蝕刻；第二電漿裝置，係設置於輸送方向上且位於第一電漿裝置之後，用以複合載板之第二側面進行電漿蝕刻。

藉此，本發明係連續且依序分別透過第一電漿裝置、第二電漿裝置對複合載板的第一側面與第二側面進行蝕刻加工，藉以減化人工翻面作業，以提升製程效率。

再者，第一電漿裝置與第二電漿裝置內各設有一定位裝置，用以頂持於載具的兩表面，以使載具保持垂直而不晃動，實現高精度的蝕刻作業。

以下參照各附圖詳細描述本發明的示例性實施例，且不意圖將本發明的技術原理限制於特定公開的實施例，而本發明的範圍僅由申請專利範圍限制，涵蓋了替代、修改和等同物。

請參閱圖1至圖6所示，為本發明為一種立式連續蝕刻機100，係包括一基座10、一輸送裝置20、一載具30、一第一電漿裝置40及一第二電漿裝置50。其中，立式連續蝕刻機100用以對一複合載板1進行蝕刻加工，且複合載板1具有一上端、一下端及位於上端與下端之間的一第一側面1a與相反設置的一第二側面1b。其中，於本發明所指的複合載板1為印刷電路板、玻璃板或其他複合材料板等，但非為如單一純矽材料板或晶圓。

輸送裝置20，係設置於基座10，且輸送裝置20包括一滾動部21及一導引部22。於本發明實施例中，滾動部21為複數個直線排列的內凹輪體，即外周緣呈內凹狀的輪體，而導引部22則為複數個朝滾動部21方向而垂直向下設置的複數個導柱。

載具30，係直立設置於基座10，且載具30概呈框體狀，載具30更具有一中央固定部31用以夾設固定複合載板1的上端與下端，使複合載板1直立地被固定於載具30上。此外，載具30包括一底邊32及一頂邊33，頂邊33連接於導引部22，底邊32與滾動部21滾動接觸，俾使載具30透過輸送裝置20沿一輸送方向（如圖1箭頭所示）進行輸送，以將複合載板1輸送至第一電漿裝置40與第二電漿裝置50進行蝕刻作業。其中，如圖3至圖6所示，載具30的底邊32為圓球狀而容設接觸於所述的內凹輪體，使底邊32透過滾動部21的轉動而沿輸送方向前進，而載具30的頂邊33為導槽而適配於所述的導柱，藉此有利於載具30的穩固輸送。

第一電漿裝置40與第二電漿裝置50設於輸送方向上，且第二電漿裝置50位於第一電漿裝置40之後，分別用以對複合載板1的第一側面1a與第二側面1b進行電漿蝕刻。如圖3至圖6所示，於本發明實施例中，第一電漿裝置40與第二電漿裝置50為相似結構，第一電漿裝置40包括一第一腔室41，第二電漿裝置50包括一第二腔室51，以供載具30將複合載板1依序輸入於第一腔室41、第二腔室42內進行蝕刻。

另外，第一電漿裝置40與第二電漿裝置50各別於第一腔室41與第二腔室51內各設有一第一電極42、52、一第二電極43、53，且第一電極42、52與第二電極43、53隔開設置，以提供電漿處理區域使複合載板1位於第一電極42、52與第二電極43、53之間進行蝕刻，而第一腔室41內的第一電極42、第二電極43與第二腔室51內的第一電極52、第二電極53的設置位置互為相反，在本發明實施例中，第一腔室41的第一電極42相對位於基座10的外側，第二電極43位於基座10的內側；而第二腔室51的第一電極52相對位於基座10的內側，第二電極53位於基座10的外側。

進一步地，載具30包括一第一表面34及一第二表面35位於底邊32與頂邊33之間的兩側。而在第一腔室41與第二腔室51內的第一電極42、52的周緣具有一延伸面44、54，當載具30於第一腔室41內時，第一電極42能夠受驅動而朝載具30方向移動，並使延伸面44抵靠於載具30的第一表面34，藉以控制第一電極42與複合載板1之間的距離；同理，當載具30移至第二腔室51內時，相對位於基座10內側的第一電極52移動而使延伸面54抵靠於載具30的第二表面35，以控制第一電極52與複合載板1之間的距離。

本發明更於第一腔室41與第二腔室51內相對於載具30頂邊33設有一定位裝置60，定位裝置60用以頂持載具30的第一表面34與第二表面35，俾使載具30進入第一腔室41或第二腔室51內後，載具30的兩側面受定位裝置60頂持而定位，以確保垂直而不晃動。其中，定位裝置60包括一頂持輪61、一可移動式頂推件62及一動力源63，動力源63驅動可移動式頂推件62作動，使可移動式頂推件62相對於載具30的第一表面34頂持或退回，而頂持輪61則頂持於載具30的第二表面35。

本發明之基座10具有一加工段11及一連接加工段11的輸送段12，前述的第一電漿裝置40與第二電漿裝置50設置於加工段11，輸送段12提供載具30輸送複合載板1至加工段11，以便使第一電漿裝置40與第二電漿裝置50進行電漿蝕刻後而再經由輸送段12運回，並供工作者搬離完成蝕刻後的載具30。其中，本發明實施例中，基座10為封閉矩形狀，並於加工段11與輸送段12之間連接設置一入料段13及一轉向段14，用以入料並移轉載具30，透過基座10封閉狀的設計，可使本發明立式連續蝕刻機100所佔空間較小，有利於工廠的空間安排。

以下係說明本發明實際運作狀態，如圖1至圖6所示，基座10之入料段13提供進料，以供裝載複合載板1的載具30受輸送裝置20而沿著輸送方向而輸送至加工段11，隨後進入第一腔室41內，並透過定位裝置60頂持於載具30的第一表面34與第二表面35而能垂直定位，確保不晃動，實現高精度的蝕刻作業，另外，第一電極42朝載具30移動而使延伸面44抵靠於載具30的第一表面34，藉以控制第一電極42與複合載板1之間的距離，接著透過第二電極43對複合載板1的第二側面1b進行電漿轟擊，於完成後再經由輸送裝置20移送至第二腔室51內，同樣地再利用定位裝置60垂直定位，以及透過第一電極52頂觸於載具30的第二表面35而控制第一電極52與複合載板1之間的距離後，緊接著再透過第二腔室51內的第二電極53對複合載板1的第一側面1a進行電漿轟擊，以對複合載板1完成雙面蝕刻作業，之後再經由轉向段14、輸送段12而回送至入料段14，以提供作業者取出。

綜上所述，本案具有下列特點：

一、本發明採用直立式的方式進行蝕刻，而不會有水平蝕刻因重力向下而產生翹曲的問題，故本發明能夠進行高精準度的蝕刻製程。

二、本發明係連續且依序分別透過第一電漿裝置40、第二電漿裝置50對複合載板1的第一側面1a與第二側面1b進行蝕刻加工，不但不會有同時對複合載板1的兩面蝕刻而產生高溫彎折的情形，且更無須透過人力翻面，以減少人工損耗，提升製程效率。

三、利用輸送裝置20之滾動部21與載具30的底邊32呈滾動接觸，再加上輸送裝置20的導引部22為導柱，載具30的頂邊32為導槽而相互適配於導引部22，藉此能穩固地輸送載具30，且避免輸送中產生過多的晃動。

四、本發明之定位裝置60能夠於載具30進入第一腔室41與第二腔室51內後，定位裝置60頂持於載具30的第一表面34與第二表面35，以使載具30被定位並保持垂直而不晃動，有利於提升產品的良率。

以上，雖然本發明是以一個最佳實施例作說明，精於此技藝者能在不脫離本發明精神與範疇下作各種不同形式的改變。前述所舉實施例僅用以說明本發明而已，非用以限制本發明之範圍。舉凡不違本發明精神所從事的種種修改或改變，俱屬本發明申請專利範圍。

100:立式連續蝕刻機

11:加工段

13:入料段

14:轉向段

21:滾動部

30:載具

32:底邊

34:第一表面

40:第一電漿裝置

42:第一電極

44:延伸面

51:第二腔室

53:第二電極

60:定位裝置

62:可移動式頂推件

1:複合載板

1b:第二側面

10:基座

12:輸送段

20:輸送裝置

22:導引部

31:中央固定部

33:頂邊

35:第二表面

41:第一腔室

43:第二電極

50:第二電漿裝置

52:第一電極

54:延伸面

61:頂持輪

63:動力源

1a:第一側面

[圖1]係為本發明立式連續蝕刻機之上視圖，顯示基座呈封閉矩形狀。 [圖2]係為本發明立式連續蝕刻機之輸送裝置承載配合載具之示意圖。 [圖3]係為本發明立式連續蝕刻機之第一電漿裝置的側剖視圖，顯示載具承載複合載板而位於第一電極與第二電極之間的示意圖。 [圖4]係為本發明立式連續蝕刻機之第一電漿裝置的側剖視圖，顯示第一電極的延伸面抵靠於載具的第一表面，並且第二電極對複合載板的第二側面進行蝕刻動作示意圖。 [圖5]係為係為本發明立式連續蝕刻機之第二電漿裝置的側剖視圖，顯示載具承載複合載板而位於第一電極與第二電極之間的示意圖。 [圖6]係為本發明立式連續蝕刻機之第二電漿裝置的側剖視圖，顯示第一電極的延伸面抵靠於載具的第一表面，並且第二電極對複合載板的第一側面進行蝕刻動作示意圖。

100:立式連續蝕刻機

10:基座

11:加工段

12:輸送段

13:入料段

14:轉向段

50:第二電漿裝置

40:第一電漿裝置

Claims (11)

1. 一種立式連續蝕刻機，其用以對一複合載板進行蝕刻加工，該複合載板具有一上端、一下端及位於該上端與該下端之間的一第一側面與相反設置的一第二側面，該立式連續蝕刻機包括：一基座；一輸送裝置，係設置於該基座；一載具，係直立設置於該基座上，該載具夾設固定該複合載板之上端與下端，且該輸送裝置沿一輸送方向輸送該載具；一第一電漿裝置，係設置該輸送方向上，該第一電漿裝置包括一第一腔室，以供該載具將該複合載板輸入該第一腔室，用以對該複合載板之第一側面進行電漿蝕刻；以及一第二電漿裝置，係設置於該輸送方向上且位於該第一電漿裝置之後，該第二電漿裝置包括一第二腔室與該第一腔室連續且連通設置，以供該載具將該複合載板輸入該第二腔室，用以該複合載板之第二側面進行電漿蝕刻。
2. 如請求項1所述之立式連續蝕刻機，其中，該載具係為框體狀並夾設固定該複合載板之上端與下端。
3. 如請求項1所述之立式連續蝕刻機，其中，該第一電漿裝置與該第二電漿裝置各包括一第一電極與一第二電極，該複合載板位於該第一電極與該第二電極之間進行蝕刻，且該第一腔室內的第一電極、第二電極的設置位置與該第二腔室內的第一電極、第二電極的設置位置互為相反。
4. 如請求項3所述之立式連續蝕刻機，其中，該載具包括一第一表面及一第二表面，各該第一電極的周緣具有一延伸面，當該載具於該第一腔室 內時，該延伸面用以抵靠於該第一表面，當該載具於該第二腔室內時，該延伸面用以抵靠於該第二表面。
5. 如請求項2所述之立式連續蝕刻機，其中，該輸送裝置包括一滾動部及一導引部，該導引部為複數個導柱，該載具包括一底邊及一頂端，該頂邊為導槽而適配於該些導柱，該底邊滾動接觸於該滾動部。
6. 如請求項5所述之立式連續蝕刻機，其中，該滾動部為複數個直線排列的內凹輪體，該底邊為圓球狀而容設接觸於該等內凹輪體。
7. 如請求項1所述之立式連續蝕刻機，其中，該第一腔室與該第二腔室設有一定位裝置，該載具包括一第一表面及一相反設置的一第二表面，該定位裝置用以頂持於該第一表面與該第二表面。
8. 如請求項7所述之立式連續蝕刻機，其中，該定位裝置包括一頂持輪及一可移動式頂推件，該頂持輪頂持於該第二表面，該可移動式頂推件頂持於該第一表面。
9. 如請求項8所述之立式連續蝕刻機，更包括一動力源，用以驅使該可移動式頂推件相對該第一表面頂持或退回。
10. 如請求項1所述之立式連續蝕刻機，其中，該基座具有一加工段及一連接於該加工段的輸送段，該第一電漿裝置與該第二電漿裝置設於該加工段。
11. 如請求項10所述之立式連續蝕刻機，其中，該基座為封閉矩形狀，並於該加工段與該輸送段之間連接設置一轉向段及一入料段。

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