JP2002308421A - 板状部材収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】薄くて大きな板状部材の端部のみ接触状態で大
きく撓ませることなく収納可能な板状部材収納装置を提
供する。 【解決手段】垂直あるいは斜めに収納された板状部材１
の上下端部のみを支持するローラーコンベア２とコロ３
と中央部分を支持する多孔質体７とを設けたものであ
り、多孔質体７を通過した空気が、板状部材１と、多孔
質体の板状部材１と対面する面との間に空気層８を形成
する。 【効果】板状部材１の端部のみしか接触状態にならず、
また板状部材１が垂直或いは斜めになっているため大き
く撓まない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体ウ
ェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどの収納に用い
られる板状部材収納装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体ウェハーや液晶表示装置用
ガラスパネルは大型化している。特に液晶表示装置用ガ
ラスパネルの大型化は著しく、さらに薄くなっているた
め、その取扱いが極めて困難になっている。

【０００３】例えば現在生産されている液晶表示装置用
ガラスパネルの代表的なものは縦・横の寸法が５５０ｍ
ｍ×６５０ｍｍで厚さが０．７ｍｍである。しかしなが
ら生産性を向上させるため、縦・横の寸法が１０００ｍ
ｍ×１２００ｍｍで厚さが０．７ｍｍのものに移行して
いる。

【０００４】１辺の長さが１０００ｍｍで厚さ０．７ｍ
ｍのガラス板の両端を持ち上げると、自重で中央部が大
きく垂れ下がり、その撓み量はほぼ１００ｍｍ程にもな
る。従って、そのような広くかつ薄いガラス板の両端を
支持して搬送などの取扱いをすることは困難である。つ
まり、そのように大きく撓んだ状態でガラス板を搬送す
ると、搬送途中の振動でガラス板が大きく波打ち、破損
する可能性が大きい。

【０００５】このために例えば特許出願公開平成１０年
第１５８６６号公報に見られるようにローラーコンベア
に板状部材を乗せて搬送する手段が開発された。このよ
うなものは、薄い板状部材であっても全面を支持して搬
送するため、搬送時の振動などで板状部材が破損される
可能性は少ない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしこのようなもの
は板状部材の全面に亘ってローラーが接触するため、液
晶用ガラス板にあっては電極などが形成される場所にも
ローラーが接触し、半導体ウェハーにあっては電子回路
が形成される場所にもローラーが接触することになる。

【０００７】このため電極や電子回路が損傷を受ける可
能性がある。このように薄くて大きな板状部材を端部の
み接触状態でしかも大きく撓ませることなく取り扱う必
要があるという問題がある。

【０００８】本発明は以上のような問題に着目されてな
されたものであり、薄くて大きな板状部材の端部のみ接
触状態で大きく撓ませることなく収納可能な板状部材収
納装置を提供しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】支持部材によって垂直あ
るいは斜めに収納された被収納板状部材の上下端部のみ
を支持するようにした。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、垂直あるいは斜めに収納された被収納板状部材の上
下端部のみを支持する支持部材を設けたものであり、板
状部材の端部のみしか支持されていなくても、板状部材
が垂直或いは斜めになっているため大きく撓まないとい
う作用を有する。

【００１１】

【実施例】以下本発明の板状部材収納装置の実施例につ
いて図に沿って詳細に説明する。図１は本発明の板状部
材収納装置の正面図である。１は被収納物である板状部
材であり、この例では液晶用ガラスである。

【００１２】２は板状部材１の下端を支持するローラー
コンベアであり、図３に示すように多数のローラーが並
列に設けられ、１つの板状部材１に対して複数のローラ
ーで支持するようになっている。またローラーコンベア
２の各ローラーは一対の鍔を両端に有し、その鍔の間が
小径となっている形状であり、その小径部で板状部材１
を支持し、鍔で板状部材１がガイドされる。

【００１３】３はコロであり、板状部材１の上端部で板
状部材１の平面を支持するものである。このコロ３も図
３に示すように多数並列に設けられ、１つの板状部材１
に対して複数のコロ３で支持するようになっている。

【００１４】４は電動モーターであり、ローラーコンベ
ア２に駆動力を与えるものである。５は流体支持ユニッ
トであり、図２に示すように圧力室６の一面に多孔質体
７が取り付けられている。多孔質体７は少なくとも板状
部材１と対面する面が平面状であり、多孔質体７を通過
した空気が板状部材１とこの平面との間に空気層８を形
成する。

【００１５】多孔質体７は全体に亘って一様な細孔が形
成され、また粉塵などを発生せず、かつ酸化などしない
安定した材料で作るのが好ましく、ポーラスなセラミッ
クが適する。ポーラスなセラミック以外には、銅などの
金属の粉体を燒結したものやポリテトラフルオロエチレ
ンなどの合成樹脂も考えられる。

【００１６】流体支持ユニット５には圧力パイプ９が連
結され、この圧力パイプ９を介して高圧空気が供給され
る。また流体支持ユニット５は本体板１０に取り付けら
れている。さらに上記のローラーコンベア２やコロ３も
この本体板１０に取り付けられ、板状部材１を水平面に
対して８０度の角度で支持するように本体板１０は水平
面に対して８０度の角度を有している。また図１に示す
ように、本体板１０は５つの板状部材１を支持できるよ
うに本体台１１に５つ平行に並んで設けられている。

【００１７】１２は本体板１０の端部に取り付けられた
光学センサーであり、これによって板状部材１の端を検
出する。板状部材１としてはガラス板などの透明な材料
で出来ていても、板状部材１の端が光学センサー１２の
前を通過するときに光の透過特性が大きく変化するた
め、光学センサー１２は板状部材１の通過を検出するこ
とができる。１３は本体台１１を支持する基台である。

【００１８】１４は板状部材１の搬送手段であり、板状
部材１に電極や回路などを形成する処理装置（図示せ
ず）などから本発明の板状部材収納装置へ板状部材１を
移送するものである。この搬送装置も板状部材収納装置
と同様のローラーコンベア２、コロ３、電動モーター
４、流体支持ユニット５、圧力室６、多孔質体７、圧力
パイプ９、光学センサー１２が設けられており、同じ構
成部材であるため重複した説明は省略する。また当然空
気層８も形成される。

【００１９】搬送手段１４はさらに搬送台１５によって
支持され、搬送台１５には一対のレール１６が設けられ
ている。また搬送台１５は中央にボールネジ１７を有
し、このボールネジ１７の回転によって移動される。こ
の移動方向は図４の紙面に対して垂直方向である。

【００２０】１８は駆動モーターであり、タイミングベ
ルト１９を介してボールネジ１７を回転駆動するもので
ある。また駆動モーター１８は搬送台１５に取り付けら
れている。

【００２１】本発明の板状部材収納装置は上記の如く構
成され、以下その動作や使用法について説明する。先ず
板状部材の洗浄装置やその他の処理装置（図示せず）か
ら板状部材１が搬送手段１４に受け渡される。つまり、
搬送手段１４のローラーコンベア２が回転をしていると
板状部材１はローラーコンベア２によって洗浄装置やそ
の他の処理装置から搬送手段１４に移送される。

【００２２】この時、圧縮空気が多孔質体７を通過し、
その前面の全面に亘って一様な吐き出し圧で吐き出さ
れ、多孔質体７と板状部材１との間に空気層が形成され
る。板状部材の中央部はこの空気層によって支持され
る。また板状部材１の上端はコロ３によって支持され
る。

【００２３】板状部材１の末端が光学センサー１２の前
を通過すると、光学センサー１２がそれを検出し、ロー
ラーコンベア２の動作が停止する。これによって板状部
材１は搬送手段１４上の定位置で止まる。

【００２４】次にボールネジ１７が駆動モーター１８に
よって回転駆動されると、搬送手段１４は搬送台１５の
レール１６に沿って本体板１０と一致するまで移動し、
図４の状態となる。ここで圧力パイプ９から浄化された
圧縮空気を流体支持ユニット５の圧力室６３へ供給す
る。すると圧縮空気は多孔質体７を通過し、多孔質体７
の流体抵抗によってその前面の全面に亘って一様な吐き
出し圧で吐き出される。そして電動モーター４に通電し
て搬送手段１４及び本体板１０双方のローラーコンベア
２を図４の矢印方向に回転させる。

【００２５】これによって搬送手段１４上の板状部材１
は本体板１０上へと移動する。この時、板状部材１の上
端部はコロ３によって支持され、板状部材１の中央部付
近は流体支持ユニット５によって支持される。

【００２６】そして本体板１０の左端の光学センサー１
２が板状部材１の先端を検出したときに電動モーター４
の駆動を停止する。これによって板状部材１は本体板１
０上の定位置に収納される。

【００２７】板状部材１が本体板１０に収納されている
間、圧力パイプ９から浄化された圧縮空気を流体支持ユ
ニット５の圧力室６３へ供給し続けると、板状部材１は
両端のみ接触状態で、中央部分は非接触状態で支持され
る。板状部材１は薄く撓み易いものであるため、多孔質
体７の表面との間の空気層は薄くなり、僅かの空気量で
支持することができる。

【００２８】

【発明の効果】本発明の板状部材収納装置は上記の如く
構成したので、板状部材が斜めに保持され、板状部材の
自重によって撓む量が少ないため、薄い板状部材であっ
ても両端部付近のみ接触状態にして保管することができ
る。また板状部材の中心付近を流体によって支持するた
め、さらに撓みを少なくすることができる。

【００２９】しかも流体によって支持するのは板状部材
の中心部付近のみであり、その支持は撓みを少なくする
のみでよいため、大きな支持力は必要とせず、よって少
ない量の圧力流体によって支持することができるもので
ある。このため、圧力流体をつくるためのエネルギーは
僅かでよい。

【００３０】さらに本発明の板状部材収納装置は移送手
段と共通の構成物を有するため、設計や製造が合理化で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の板状部材収納装置の実施例を示す側面
図である。

【図２】本発明の板状部材収納装置の実施例を示す拡大
側面図である。

【図３】本発明の板状部材収納装置の実施例を示す正面
図である。

【図４】本発明の板状部材収納装置と搬送手段を示す正
面図である。

【図５】本発明の板状部材収納装置及び搬送手段の側面
図である。

【符号の説明】

１ 板状部材 ２ ローラーコンベア ３ コロ ４ 電動モーター ５ 流体支持ユニット ６ 圧力室 ７ 多孔質体 ８ 空気層 ９ 圧力パイプ １０ 本体板 １１ 本体台 １２ 光学センサー １３ 基台 １４ 搬送手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA30 MA20 2H090 JB02 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA18 GA15 GA30 GA53 GA62 JA05 LA13 MA23 PA13 PA18 PA20

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】垂直あるいは斜めに収納された被収納板状
   部材の上下端部のみを支持する支持部材を設けた板状部
   材収納装置。
2. 【請求項２】上端部の支持部材はローラーである請求項
   １記載の板状部材収納装置。
3. 【請求項３】下端部の支持部材はローラーコンベアであ
   る請求項１記載の板状部材収納装置。
4. 【請求項４】少なくとも１つの平面部を有する多孔質体
   を設け、前記多孔質体を通して圧力流体を吐出するよう
   にし、前記多孔質体から吐出された圧力流体層によって
   被収納板状部材の両端部の間を支持するようにした請求
   項１記載の板状部材収納装置。
5. 【請求項５】複数の被収納板状部材に対応するように複
   数組の支持部材を設けた請求項１記載の板状部材収納装
   置。