JP2005126243A - 基板エレベータ及び基板昇降システム - Google Patents

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Abstract


【課題】 層間搬送時、タクトタイムを短縮する。
【解決手段】 フレームと、フレームの内部に位置する複数個の搬送プレート４０と、搬送プレートの一端部と連結されている第１ワイヤー５１と、搬送プレートの他端部と連結されている第２ワイヤー５２と、第１ワイヤー及び第２ワイヤーを上下に移動させる駆動装置と、を含む。搬送プレート４０は、第１ワイヤー及び第２ワイヤーの上下移動に従って共に上下移動する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、基板エレベータ及び基板昇降システムに関し、特に、液晶表示装置の製造のためのインライン搬送システムに用いられる基板エレベータ及び基板昇降システムに関する。
一般に、搬送システムは、コンベア上に搬送部材を乗せ、駆動モータに連結された駆動ローラを利用してコンベアをスリップさせて搬送部材を移動するコンベアシステムである。
液晶表示装置の製造の際にも、搬送システムを利用してガラス基板を搬送する。液晶表示装置は、現在最も広く用いられている平板表示装置の一つで、電界生成電極が形成されている二枚の表示板とその間に挿入されている液晶層からなり、電極に電圧を印加して、液晶層の液晶分子を再配列することによって、液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
このような液晶表示装置の二枚の表示板は、搬送システムを通じて各製造工程の工程設備に搬送されて、液晶表示装置が完成する。
特に、ガラス基板を層間搬送する際には、複数個のガラス基板が乗せられたカセットを往復型エレベータの箱に入れて層間搬送を行っている。
しかし、ガラス基板が大型化し、インライン方式の搬送システムが適用されることによって、複数個のガラス基板をカセットに入れて、複数個のガラス基板を同時に搬送する枚葉搬送法を利用しづらくなってきている。よって、ガラス基板を１枚単位で搬送し、エレベータの箱が層間を往復する１サイクルに１枚を搬送する方法が採られている。この方法だと、エレベータのタクトタイムが長くなり、層間搬送システムに要求されるタクトタイムを満足できない問題点がある。
本発明の技術的課題は、層間搬送時にタクトタイムを短縮することができる基板エレベータを提供することにある。
本発明による基板エレベータは、フレーム、前記フレーム内部に位置する複数の搬送プレート、前記搬送プレートの一端部と連結されている第１ワイヤー、前記搬送プレートの他端部と連結されている第２ワイヤー、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを上下に移動する駆動装置を含み、前記搬送プレートは、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーの上下移動に従って共に上下移動することが好ましい。
第１ワイヤー及び第２ワイヤーの全体経路上に複数個の搬送プレートが設けられているので、下層と上層の間の移送にも１枚の基板１を連続的に搬送、つまり複数個の基板１を搬送することが可能である。
また、前記搬送プレートは屈曲可能であることが好ましい。屈曲可能な複数個の搬送プレートを利用することによって、１枚の基板を連続的に層間搬送することができ、層間高さが高くても層間搬送のタクトタイムが増えない。したがって、本発明の一実施例による層間搬送のタクトタイムは、従来の基板エレベータの層間搬送のタクトタイムよりも短縮されるという長所がある。
また、前記駆動装置は、駆動モータ、前記駆動モータに連結されている複数の駆動軸を含み、前記駆動軸は、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーと接触して、前記駆動軸の回転方向に従って前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを移動することが好ましい。
また、前記複数個の駆動軸は、前記駆動モータに直接連結されている主駆動軸、前記主駆動軸と前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを通じて連結され、駆動力が伝達される複数個の補助駆動軸を含むことが好ましい。
また、前記搬送プレートの一端部は、前記搬送プレートの移動方向を基準にして前記搬送プレートの前端部であることが好ましい。
また、前記搬送プレートの他端部は、前記搬送プレートの移動方向を基準にして前記搬送プレートの後端部であることが好ましい。
また、前記搬送プレートは、複数個の駆動軸の円周面と接して、屈曲して移送されることが好ましい。
また、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーは、各々一対の副ワイヤーを含み、前記一対の副ワイヤーには、前記搬送プレートの左側端部及び右側端部と各々連結されていることが好ましい。
また、前記フレームの側壁には、ファンフィルターユニットがさらに配設されていることが好ましい。
また、前記フレームの下部には、排気口が設けられていることが好ましい。
また、基板エレベータと、前記フレームに形成されている搬入口と対向して設けられ、前記搬送プレートの上面に基板を移送する搬入コンベアと、前記フレームに形成されている搬出口と対向して設けられ、前記搬送プレートの上面に位置する基板の移送を受ける搬出コンベアとを含む基板昇降システムは、好適に用いられる。ここで、基板エレベータは、フレームと、前記フレーム内部に位置する複数個の搬送プレートと、前記搬送プレートの一端部と連結されている第１ワイヤーと、前記搬送プレートの他端部と連結されている第２ワイヤーと、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを上下に移動する駆動装置とを含む。前記搬送プレートは、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーの上下移動に従って共に上下移動する。
第１ワイヤー及び第２ワイヤーの全体経路上に複数個の搬送プレートが設けられているので、下層と上層の間の移送にも１枚の基板１を連続的に搬送、つまり複数個の基板１を搬送することが可能である。
本発明による基板エレベータ及び基板昇降システムは、屈曲可能な搬送プレートを利用して、１枚のガラス基板を連続的に昇降させることによって、層間搬送時のタクトタイムを短縮することができる。
なお、屈曲可能な複数個の搬送プレートを複数個のワイヤーを用いて昇降させることによって、１枚のガラス基板を連続的に昇降させ、インライン搬送が可能になるという長所がある。
以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例に対して添付した図面を参考にして詳細に説明する。しかし、本発明は多様な形態で実現することができ、ここで説明する実施例に限定されない。
以下、本発明の実施例による基板エレベータ及び基板昇降システムに対して図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例による基板エレベータを含む基板昇降システムの断面図である。図２は本発明の一実施例による基板エレベータの概略的な斜視図で、Ａ経路に搬送プレートが位置する状態の図面である。図３は本発明の一実施例による基板エレベータの概略的な斜視図で、Ｂ経路に搬送プレートが位置する状態の図面である。
図１乃至図３に示すように、本発明の一実施例による基板エレベータ１００は、直方体形状のフレーム１０、フレーム１０の内部に位置する複数の搬送プレート４０、搬送プレート４０と連結される第１及び第２ワイヤー５１、５２、及び前記第１及び第２ワイヤー５１、５２を上下に移動する駆動装置６０、７０を含む。
フレーム１０の内部には、複数個の搬送プレート４０、第１及び第２ワイヤー５１、５２及び駆動装置６０、７０が設けられている。この時、駆動装置の駆動モータ７０は、フレーム１０の外部に形成することが望ましい。これは、フレーム１０の内部には基板１が位置しており、汚染物質のない清浄状態を維持することが好ましいためである。
駆動装置は、駆動モータ７０、前記駆動モータ７０に連結されている複数個の駆動軸６０を含む。駆動モータ７０と駆動軸６０との連結は、チェーンやベルトを用いることが好ましい。
そして、駆動軸６０は、第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２と接触され、駆動軸６０の回転方向に従って第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２を移動する。図２に示すように、搬送プレート４０を下層から上層に上昇させるためには、Ｄ方向に駆動軸６０を回転する必要がある。
複数個の駆動軸６０は、駆動モータ７０に直接連結されている主駆動軸６１、主駆動軸６１と第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２を通じて連結されて駆動力が伝達される複数個の補助駆動軸６２、６３、６４、６５、６６を含む。このような複数の駆動軸６０は、搬送プレート４０の経路切換え部分に位置している。
そして、第１及び第２ワイヤー５１、５２に連結された複数個の搬送プレート４０は、屈曲可能に形成されている。詳細には、図１に示すように、搬送プレート４０が経路を切り換える際に、即ち、Ａ経路からＢ経路に切り換える時、Ｂ経路からＣ経路に切り換える時、及びＣ経路から再びＡ経路に切り換える時には、駆動軸６０の円周面と接し、屈曲して経路を切り換える。そのために搬送プレート４０は、複数個の搬送ローラ４１の結合で構成されることが好ましい。
即ち、複数個の搬送ローラ４１が駆動軸６０の円周面に沿って、一つずつ屈曲して移動することにより、搬送プレート４０が全体的に移動するわけである。
ここで、Ａ経路は、水平状態の搬送プレート４０が下層から上層に垂直移送される経路であり、Ｂ経路は、垂直状態の搬送プレート４０が上層から下層に垂直移送される経路であり、Ｃ経路は水平状態の搬送プレート４０が下層で水平に移送される経路である。
搬送プレート４０の一端部４２には、第１ワイヤー５１が連結されており、搬送プレート４０の他端部４３には、第２ワイヤー５２が連結されている。
このような搬送プレート４０の一端部４２について詳細に示すと、図１及び図３に示されたＢ経路に位置する搬送プレート４０の移動方向を基準にして搬送プレート４０の前端部４２であり、搬送プレート４０の他端部４３は、Ｂ経路に位置する搬送プレート４０の移動方向を基準にして搬送プレート４０の後端部４３である。
即ち、Ｂ経路に位置する搬送プレート４０の移動方向を基準にして搬送プレート４０の前端部４２に第１ワイヤー５１が連結されており、Ｂ経路に位置する搬送プレート４０の移動方向を基準にして搬送プレート４０の後端部４３に第２ワイヤー５２が連結されている。
そして、図１及び図２に示されるＡ経路に位置する搬送プレート４０の一端部４２は、主駆動軸６１に隣接する部分であり、Ａ経路に位置する搬送プレート４０の他端部４３は、主駆動軸６１と水平に対向する補助駆動軸６６に隣接する部分である。
したがって、Ａ経路に位置する搬送プレート４０は、主駆動軸６１に隣接する搬送プレート４０の一部分４２に第１ワイヤー５１が連結されており、Ｂ経路に位置する搬送プレート４０は、主駆動軸６１と水平に対向する補助駆動軸６６に隣接する搬送プレート４０の一部分４３に第２ワイヤー５２が連結されている。
このような第１ワイヤー５１は、一対の副ワイヤーで構成されており、一対の副ワイヤーは、搬送プレート４０の左側端部及び右側端部と各々連結されている。
即ち、第１ワイヤー５１のいずれか一つの副ワイヤーは、搬送プレート４０の前端部であり左側端部である部分４２aに連結されており、第１ワイヤー５１のもう一つの副ワイヤーは、搬送プレート４０の前端部であり右側端部である部分４２bに連結されている。
そして、第２ワイヤー５２は一対の副ワイヤーで構成されており、一対の副ワイヤーは、搬送プレート４０の左側端部及び右側端部と各々連結されている。
即ち、第２ワイヤー５２のいずれか一つの副ワイヤーは、搬送プレート４０の後端部であり左側端部である部分４３aに連結されており、第２ワイヤー５２のもう一つの副ワイヤーは、搬送プレート４０の後端部であり右側端部である部分４３bに連結されている。
このように、第１及び第２ワイヤー５１、５２は、搬送プレート４０の４角部４２a、４２b、４３a、４３bに連結されているので、Ａ経路上に位置する場合、水平状態を維持し、搬送プレート４０を層間搬送する。
したがって、搬送プレート４０は、Ａ経路上で第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２の上下移動に従って共に上下移動する。
そして、フレーム１０の側壁には、ファンフィルターユニット（Fan Filter Unit：ＦＦＵ）８０が設けられていること好ましい。これは、フレーム１０の内部を清浄に維持することためである。
そして、このようなファンフィルターユニット８０により内部に流入する空気は、フレーム１０の下部に形成されている排気口１３を通じて流出する。
本発明の一実施例による基板エレベータを含む基板昇降システムは、図１に示すように、基板エレベータ１００、搬入コンベア２００及び搬出コンベア３００を含む。
まず、基板エレベータ１００のフレーム１０に形成されている搬入口１１と対向して設けられる搬入コンベア２０は、支持台２１と搬入ローラ２２で構成されている。
搬入コンベア２００は、搬入コンベア２００の上面に位置している基板１を基板エレベータの搬送プレート４０の上面に移送する。これは、第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２の移動に従って、これに連結された搬送プレート４０が前進しながら基板１をフレーム１０の内部に搬入するものである。
したがって、搬入コンベア２００により移送された基板１は、基板エレベータ１００の複数個の搬送プレート４０のうちのいずれか一つの上面に位置する。そして、このような工程が連続的に繰り返されるため、一定の上下間隔を維持して複数の基板１が各々複数個の搬送プレート４０に搭載される。
次に、駆動モータ７０に連結された主駆動軸６１のＤ方向への回転に従って第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２が移動し、これにより、Ａ経路に位置する搬送プレート４０は、下層から上層に上昇して基板１を層間移送し、Ｂ経路に位置する搬送プレート４０は、上層から下層に下降し、水平経路であるＣ経路に移動して、再び基板１を層間移送する準備をする。
この時、図１に示されるように、第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２の全体経路上に複数個の搬送プレート４０が設けられているので、下層と上層の間の移送にも１枚の基板１を連続的に搬送、つまり複数個の基板１を搬送することが可能である。
即ち、従来のカセット方式によって１枚の基板を層間搬送する場合、１サイクル（cycle）に１枚または２枚の搬送が可能であった。したがって、搬送タクトタイム（Tact Time）が層間の高さによって決まる。従来のカセット方式は、層間高さが高いほど層間搬送のタクトタイムが長くなるという問題点があり、これを防止するために、本発明の一実施例では、屈曲可能な複数個の搬送プレート４０を利用することによって、１枚の基板を連続的に層間搬送することができ、層間高さが高くても層間搬送のタクトタイムが増えない。したがって、本発明の一実施例による層間搬送のタクトタイムは、従来の基板エレベータの層間搬送のタクトタイムよりも短縮されるという長所がある。
次に、上層に到達した搬送プレート４０は、フレーム１０に形成されている搬出口１２と対向して設けられている搬出コンベア３００の上面に基板１を移送する。これは、第１ワイヤー５１及び第２ワイヤー５２の移動に従って、これに連結された搬送プレート４０が前進しながら基板１をフレーム１０の外部に搬出するものである。搬出コンベア３０は、支持台３１と搬出ローラ３２で構成されている。
本発明について、添付された図面に示される一実施例に基づいて説明したが、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、これによる様々な変形及び均等な他の実施例が可能であることが理解できるであろう。よって、本発明の真の技術的保護範囲は添付された特許請求の範囲の技術的思想によって決まらなければならない。
本発明は、フラットパネルディスプレイ用の基板などを搬送するための基板移動用システムに適用可能である。
本発明の一実施例による基板昇降システムの断面図 本発明の一実施例による基板エレベータの概略的な斜視図で、Ａ経路に搬送プレートが位置する状態の図面 本発明の一実施例による基板エレベータの概略的な斜視図で、Ｂ経路に搬送プレートが位置する状態の図面
符号の説明
１０ フレーム
４０ 搬送プレート
４１ 搬送ローラ
４２ 前端部
４３ 後端部
５１、５２ 第１ワイヤー及び第２ワイヤー
６０、７０ 駆動装置
７０ 駆動モータ
６０ 駆動軸
６１ 主駆動軸
６２、６３、６４、６５、６６ 補助駆動軸
８０ ファンフィルターユニット
１００ 基板エレベータ
２００ 搬入コンベア
３００ 搬出コンベア

Claims (11)

  1. フレームと、
    前記フレームの内部に位置する複数の搬送プレートと、
    前記搬送プレートの一端部に連結されている第１ワイヤーと、
    前記搬送プレートの他端部に連結されている第２ワイヤーと、
    前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを上下に移動させる駆動装置と、
    を含み、
    前記搬送プレートは、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーの上下移動に従って共に上下移動する、基板エレベータ。
  2. 前記搬送プレートは屈曲可能である、請求項１に記載の基板エレベータ。
  3. 前記駆動装置は、駆動モータと、前記駆動モータに連結されている複数個の駆動軸と、を含み、
    前記駆動軸は、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーと接触し、前記駆動軸の回転方向に従って前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを移動させる、請求項１に記載の基板エレベータ。
  4. 前記複数個の駆動軸は、
    前記駆動モータに直接連結されている主駆動軸と、
    前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを通じて前記主駆動軸と連結されて駆動力が伝達される複数個の補助駆動軸と、
    を含む請求項３に記載の基板エレベータ。
  5. 前記搬送プレートの一端部は、前記搬送プレートの移動方向を基準にして前記搬送プレートの前端部である、請求項１に記載の基板エレベータ。
  6. 前記搬送プレートの他端部は、前記搬送プレートの移動方向を基準にして前記搬送プレートの後端部である、請求項１に記載の基板エレベータ。
  7. 前記搬送プレートは、複数個の駆動軸の円周面と接し、屈曲して移送される、請求項４に記載の基板エレベータ。
  8. 前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーは、各々一対の副ワイヤーを含み、前記一対の副ワイヤーは、前記搬送プレートの左側端部及び右側端部と各々連結されている、請求項１に記載の基板エレベータ。
  9. 前記フレームの側壁には、ファンフィルターユニットがさらに設けられている、請求項１に記載の基板エレベータ。
  10. 前記フレームの下部には、排気口が設けられている、請求項１に記載の基板エレベータ。
  11. フレームと、前記フレームの内部に位置する複数個の搬送プレートと、前記搬送プレートの一端部と連結されている第１ワイヤーと、前記搬送プレートの他端部と連結されている第２ワイヤーと、前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーを上下に移動する駆動装置と、を含み、前記搬送プレートは前記第１ワイヤー及び第２ワイヤーの上下移動に従って共に上下移動する基板エレベータと、
    前記フレームに形成されている搬入口と対向して設けられ、前記搬送プレートの上面に基板を移送する搬入コンベアと、
    前記フレームに形成されている搬出口と対向して設けられ、前記搬送プレートの上面に位置する基板の移送を受ける搬出コンベアと、
    を含む基板昇降システム。
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