KR20110062538A - 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 - Google Patents

평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20110062538A
KR20110062538A KR1020090119290A KR20090119290A KR20110062538A KR 20110062538 A KR20110062538 A KR 20110062538A KR 1020090119290 A KR1020090119290 A KR 1020090119290A KR 20090119290 A KR20090119290 A KR 20090119290A KR 20110062538 A KR20110062538 A KR 20110062538A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
conveying
entrance
shafts
unit
Prior art date
Application number
KR1020090119290A
Other languages
English (en)
Inventor
임영재
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020090119290A priority Critical patent/KR20110062538A/ko
Publication of KR20110062538A publication Critical patent/KR20110062538A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/52—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices
    • B65G47/68—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices adapted to receive articles arriving in one layer from one conveyor lane and to transfer them in individual layers to more than one conveyor lane or to one broader conveyor lane, or vice versa, e.g. combining the flows of articles conveyed by more than one conveyor
    • B65G47/682—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices adapted to receive articles arriving in one layer from one conveyor lane and to transfer them in individual layers to more than one conveyor lane or to one broader conveyor lane, or vice versa, e.g. combining the flows of articles conveyed by more than one conveyor from a single conveyor lane consisting of one conveyor or several adjacent conveyors
    • B65G47/683—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices adapted to receive articles arriving in one layer from one conveyor lane and to transfer them in individual layers to more than one conveyor lane or to one broader conveyor lane, or vice versa, e.g. combining the flows of articles conveyed by more than one conveyor from a single conveyor lane consisting of one conveyor or several adjacent conveyors with tilting of at least part of the conveyor to make use of gravity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 세정기와 같은 2층 구조를 갖는 장비에 있어서 기판과 같은 물체를 상하로 운반하기 위한 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치를 구비한 기판처리장치에 관한 것으로, 본 발명의 기판 처리 장치는 상층에 해당되는 제1공정처리부; 상기 제1공정처리부의 아래인 하층에 해당되는 제2공정처리부; 상기 제1공정처리부와 상기 제2공정처리부 간의 기판 반송을 위한 층간 반송 장치를 포함하되; 상기 층간 반송 장치는 상기 제1공정처리부와 연결되는 제1출입구와, 상기 제2공정처리부와 연결되는 제2출입구를 갖는 하우징; 상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및 상기 엘리베이터에 의해 반송되는 기판이 일시적으로 적재되는 버퍼 유닛을 포함하ㅁ며; 상기 버퍼 유닛은 상기 제1출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에서 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 기판을 지지하는 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함한다.

Description

평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치{APPARATUS FOR TRANSFER INTER-LAYER USED IN MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 평판 디스플레이 세정기와 같은 2층 구조를 갖는 장비에 있어서 기판과 같은 물체를 상하로 운반하기 위한 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, 평판 디스플레이 장치는 액정을 이용하는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.
이와 같은 평판 디스플레이 장치는 실질적으로 영상을 표시하는 표시 패널을 포함하여 이루어진다. 상기 표시 패널의 대면적의 기판에 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 다양한 처리 공정을 반복적으로 수행하여 제조된다. 이와 같은 처리 공정들은 복수의 공정을 순차적으로 수행하는 공정라인 또는 기판 처리 설비에 의해서 행해질 수 있다.
이러한, 기판 처리 설비는 공정을 위한 복수의 처리조 또는 복수의 처리부가 일렬로 배치되는데, 최근에는 설비의 설치 공간을 최소화하기 위하여 복수의 층들로 이루어진 구조의 설비가 이용되고 있다. 복수의 층들로 이루어진 기판 설비에서는 층들간 기판의 이송을 위해 층간 반송 장치가 구비되어 사용된다.
이러한 층간 반송 장치는 일정한 속도로 상하 이동을 하는 엘리베이터 방식으로 이루어져 있기 때문에, 기판이 아래층에서 위층으로 이동할 때 엘리베이터가 아래층으로 돌아오기 전에 다음 기판을 아래층 프로세스 존에서 저속으로 운반하거나 정지하여 대기시켜야 한다. 이에 따라 각층에 설치된 모듈(module)의 조건, 택 타임(tack time), 운반속도 등을 제한적으로 설정해야 한다. 이러한 문제는 결국 작업의 지연을 가져와 수율을 떨어뜨리거나, 각 층별 프로세스 존에서의 충분한 작업을 행하지 못하는 결과를 초래하여 생산품의 성능을 저하시켜 왔다.
이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로, 각 층별 프로세스 존에 별도의 버퍼기능의 구간을 설치 운영해야 하는데, 이러한 버퍼 구간으로 설비 점유면적 증가와 처리량 감소라는 문제점을 유발시킨다.
본 발명의 목적은 기판 이송 효율을 높일 수 있는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치를 제공하는데 있다.
또 다른 본 발명의 목적은 기판의 대기 동작을 줄일 수 있는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치는 기판이 반입 및 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징; 상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및 상기 엘리베이터에 의해 반송되는 기판이 일시적으로 적재되는 버퍼 유닛을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 상기 외팔보 샤프트들을 수평한 상태로 펼치거나 또는 수직한 상태로 세우도록 상기 외팔보 샤프트들을 회동시키는 수직수평 전환부를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 기판을 양측에서 각각 지지하기 위해 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한 쌍의 버퍼 컨베이어이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 외팔보 샤프트들은 상기 제1출입구 또는 상기 제2출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에 위치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 수직수평 전환부는 상기 하우징에 힌지 결합되고, 실린더로드를 갖는 실린더; 및 일단은 상기 실린더로드에 힌지 결합되고 타단은 상기 버퍼 컨베이어에 힌지 결합되어 상기 반송 샤프트들의 수직수평 변환에 따른 편심보정을 위한 링크를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 엘리베이터는 상기 하우징의 양측벽에 길이방향으로 설치되는 승강부; 및 상기 승강부에 의해 승강되며, 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송샤프트들을 갖는 반송 컨베이어를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 반송 컨베이어는 상기 승강부와 연결되는 승강 프레임; 상기 승강 프레임에 설치되는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임으로부터 상기 반송 샤프트의 길이방향으로 연장되어 설치되고 상기 반송 샤프트의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지아암들을 갖는 샤프트 프레임들; 및 상기 샤프트 프레임들에 설치되고 상기 반송 샤프트들을 회전시키기 위한 구동부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 지지아암들을 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들이 위치할 수 있도록 서로 이격되어 설치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 반송 샤프트들 각각의 중앙에 설치되는 종동 마그네틱; 상기 반송 샤프트들에 대해 횡으로 배치되고, 모터의 회전력을 받아 회전하는 구동 샤프트; 및 상기 종동 마그네틱들과 교합되도록 상기 구동 샤프트에 설치되는 구동 마그네틱들을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 베이스 프레임에는 상기 샤프트 프레임을 경사 변환시키기 위한 경사변환부재를 더 포함한다.
상기한 과제를 달성하기 위한 평판 디스플레이 제조에 사용되는 기판 처리 장치는 상층에 해당되는 제1공정처리부; 상기 제1공정처리부의 아래인 하층에 해당되는 제2공정처리부; 상기 제1공정처리부와 상기 제2공정처리부 간의 기판 반송을 위한 층간 반송 장치를 포함하되; 상기 층간 반송 장치는 상기 제1공정처리부와 연결되는 제1출입구와, 상기 제2공정처리부와 연결되는 제2출입구를 갖는 하우징; 상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터;및 상기 엘리베이터에 의해 반송되는 기판이 일시적으로 적재되는 버퍼 유닛을 포함하며; 상기 버퍼 유닛은 상기 제1출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에서 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 기판을 지지하는 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한 쌍의 버퍼 컨베이어를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 외팔보 샤프트들을 수평한 상태로 펼치거나 또는 수직한 상태로 세우도록 상기 외팔보 샤프트들을 회동시키는 수직수평 전환부를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 버퍼 공간을 부가하여 상하 운반 시간을 조절함으로써 장비의 상하층에서의 공정시간을 조절할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명 하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 구성도이다.
최근에는 LCD 기판의 대형화 추세에 따라 이들을 처리하는 세정기와 같은 설비들은 대형화되고 있다. 이들 설비들이 대형화되면서 장비들이 차지하는 공간의 효율성을 높이기 위하여 상하 구조 즉 2층 구조를 갖는 설비들이 채택되고 있는 실정이다. 본 발명의 층간 반송 장치는 이러한 다층 구조를 갖는 설비에 매우 유용하게 적용될 수 있다.
도 1을 참조하면, 기판 세정을 위한 2층 구조의 기판 처리 장치(10)는 인덱서(20), 상층에 해당되는 제1공정처리부(30), 하층에 해당되는 제2공정처리부(40) 그리고 제1공정처리부(30)와 제2공정처리부(40) 양단에 각각 설치되어 기판을 층간 반송시키기 위한 층간 반송 장치(10)를 포함한다. 도 1에서 표시된 화살표는 기판의 이동 경로를 보여준다.
본 실시예에서, 제1공정처리부(30)는 인덱서(20)와 연결되는 턴 컨베이어부(32), 자외선 세정부(34), 뉴트럴(Neutral)컨베이어부(36)를 포함하며, 제2공정처리부(40)는 롤브러시 세정부(42), 제트세정부(44), 에어나이프 건조부(46)를 포함한다. 제1공정처리부(30)와 제2공정처리부(40)에서는 컨베이어 방식으로 기판이 반송되면서 기판 세정 공정을 진행하게 된다.
도 2는 도 1에 도시된 층간 반송 장치를 보여주는 측면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 평면도이다. 도 4는 컨베이어의 몸체 내부 구조를 보여주는 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 도 1에 표시된 본 발명의 층간 반송 장치(10)는 하우징(100)과 엘리베이터(200) 그리고 버퍼 유닛(300)을 포함한다.
하우징(100)은 기판이 반입/반출되는 제1출입구(114)와 제2출입구(112)를 갖는데, 제1출입구(114)는 상층에 해당되는 제1공정처리부(30)(전단 설비)와 연결되며, 제2출입구(112)는 하층에 해당되는 제2공정처리부(40)(후단 설비)와 연결된다.
엘리베이터(200)는 승강부(210)와, 승강부(210)에 의해 승강되는 반송 컨베이어(220)를 포함한다.
승강부(210)는 승강수단(211)과 승강수단(211)에 의해 업다운되는 이동플레이트(214)를 포함한다. 도시하지 않았지만, 승강부(210)의 승강수단(211)은 자기(磁氣)작용을 이용한 비접촉 급전방식의 모터구동 방식, 통상의 엘리베이터 등에서 이용되고 있는 모터구동의 타이밍 벨트나, 와이어，스크루 나사를 이용한 방식, 실린더 방식 등이 사용될 수 있다. 이러한 승강수단은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다.
반송 컨베이어(220)는 승강부(210)의 이동플레이트(214)와 연결되는 승강 프레임(222), 승강 프레임(222)에 설치되는 베이스 프레임(224), 베이스 프레임(224)으로부터 반송 샤프트(230)의 길이방향으로 연장되어 설치되고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트(230)의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지아암(228)들 을 갖는 샤프트 프레임(226)들 및 샤프트 프레임(226)들에 설치되고 반송 샤프트(230)들을 회전시키기 위한 구동부(290)를 포함한다. 샤프트 프레임(226)은 베이스 프레임(224)에 힌지 결합되어 후술하는 경사변화부재(280)에 의해 경사변환된다. 한편, 지지아암(228)들을 버퍼 유닛(300)의 외팔보 샤프트들이 위치할 수 있도록 서로 이격되어 배치된다.
구동부(290)는 반송 샤프트(230)들 각각의 중앙에 설치되는 종동 마그네틱(292)과, 반송 샤프트(230)들에 대해 횡으로 배치되고, 모터(298)의 회전력을 받아 회전하는 구동 샤프트(294) 및 종동 마그네틱(292)들과 교합되도록 구동 샤프트(294)에 설치되는 구동 마그네틱(296)들을 포함한다. 이처럼, 구동부(290)는 버퍼 유닛(300)과의 간섭을 피하기 위해 반송 샤프트(230)들의 중앙 아래에 위치된다.
한편, 베이스 프레임(224)에는 샤프트 프레임(226)을 경사 변환시키기 위한 경사변환부재(280)가 설치된다. 경사변환부재(280)는 베이스 프레임(224)에 설치되며, 유압 또는 공압 공급원(미도시)에 연결되는 실린더(282)와, 그 실린더(282)에 왕복 가능하게 삽입되는 작동로드(284)와, 작동로드(284)에 힌지 결합되며 샤프트 프레임에 고정되는 지지로드(286)로 구성된다. 이 같은 구성에 따라, 실린더(282)가 작동하여 작동로드(284)가 실린더(282) 내부로 복귀되면 지지로드(286)가 당겨지면서 샤프트 프레임이 경사지게 되는 것이며, 실린더(282)가 역으로 작동하여 작동로드(284)가 실린더(282) 외부로 신장되면 지지로드(286)가 밀려져 샤프트 프레임이 역방향으로 회동 운동되어 수평한 상태로 복귀되는 방식으로, 경사전환을 행 할 수 있는 것이다.
버퍼 유닛(300)은 제1출입구(114)로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에 설치된다. 버퍼 유닛(300)은 엘리베이터(200)에 의해 반송된 기판을 인계받아 제1출입구(114)를 통해 반출하거나 또는 제1출입구(114)를 통해 반입되는 기판을 반송 컨베이어(220)로 인계한다.
버퍼 유닛(300)은 기판을 양측에서 각각 지지하기 위해 하우징(100)의 양측면에 서로 대향되게 설치되는 한 쌍의 버퍼 컨베이어(300-1)를 포함한다. 버퍼 컨베이어(300-1)는 몸체(310)와, 몸체(310)에 일단이 회전가능하게 설치되며 기판을 지지하는 외팔보형(cantilever type)의 외팔보 샤프트(320)들을 포함한다. 도 3에서와 같이, 버퍼 유닛(300)의 외팔보 샤프트(320)들은 반송 컨베이어(220)의 반송샤프트(230)들과 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 몸체(310)에는 외팔보 샤프트(320)들을 회전시키기 위한 모터(312)와 벨트(314)들 그리고 풀리(pulley;316)들을 포함한다.
한편, 버퍼 컨베이어(300-1)는 수평하게 펼쳐지거나 수직하게 젖혀지도록 하우징(100)에 힌지 구조로 결합되며, 이러한 버퍼 컨베어어(300-1)의 회동은 수직수평 전환부(350)에 의해 동작된다.
수직수평 전환부(350)는 하우징(100)에 힌지 결합되고, 실린더로드(354)를 갖는 실린더(352) 및 일단은 실린더로드(354)에 힌지 결합되고 타단은 버퍼 컨베이어(300-1)에 힌지 결합되어 반송 샤프트(320)들의 수직수평 변환에 따른 편심보정을 위한 링크(3356)를 포함한다. 이 같은 구성에 따라, 실린더(352)가 작동하여 실 린더로드(354)가 실린더(352) 내부로 복귀되면 링크(356)가 당겨지면서 버퍼 컨베이어(300-1)가 경사지게 되는 것이며, 실린더(352)가 역으로 작동하여 실린더로드(354)가 실린더(352) 외부로 신장되면 링크(356)가 밀려져 버퍼 컨베이어(300-1)가 역방향으로 회동 운동되어 수평한 상태로 복귀되는 방식으로, 수직수평 전환을 행할 수 있는 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 층간 반송 장치(10)는 제1출입구(114)에서 제2출입구(112)로 기판을 반송하는 경우 엘리베이터(200)가 하강하여 제2공정처리부(40)로 기판을 반출하는 동안 버퍼 유닛(300)이 제1공정처리부(30)로부터 반입되는 기판을 인계받을 수 있다. 본 발명에 따른 층간 반송 장치(10)는 제2출입구(112)에서 제1출입구(114)로 기판을 반송하는 경우 엘리베이터(200)가 제2공정처리부(40)로부터 반입되는 기판을 인계받는 동안 버퍼 유닛(300)에서 대기중인 기판이 제1공정처리부(30)로 기판을 반출할 수 있다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치에서 제1출입구에서 제2출입구로 기판을 반송하는 과정을 설명하기 위한 도면들이다.
우선, 도 5a에서와 같이 제1출입구(114)를 통해 반입되는 기판(w-1)은 버퍼 유닛(300)에서 대기한다. 도 5b와 같이 엘리베이터(200)의 반송 컨베이어(220)가 상승하여 버퍼유닛(300)과 동일 수평면상에 위치되면, 버퍼 유닛(300)의 버퍼 컨베이어(300-1)는 수직수평전환부(350)에 의해 수직한 방향으로 젖혀지게 되고 기판(w-1)은 반송 컨베이어(220)의 반송 샤프트(230)들 상에 지지된다(도 5c 참조). 이 상태에서 반송 컨베이어(220)는 제2출입구(112) 위치로 하강하게 된다(도 5d 참 조). 반송 컨베이어(220)가 제2출입구(112)를 통해 기판(w-1)을 반출하는 동안 버퍼 유닛(300)은 버퍼 컨베이어(300-1)를 수평한 방향으로 펼쳐서 다음 기판(w-2)을 인계받아 대기시킨다(도 5e 참조). 버퍼 유닛(300)에서 대기중인 기판(w-2)은 앞에서 언급한 과정을 통해 반송 컨베이어(220)로 인계되어 제2출입구(114)로 반출된다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치에서 제2출입구에서 제1출입구로 기판을 반송하는 과정을 설명하기 위한 도면들이다.
우선, 도 6a에서와 같이 제2출입구(112)를 통해 반입되는 기판(w-1)은 엘리베이터의 반송 컨베이어(220)가 인계받는다. 반송 컨베이어(220)는 기판을 지지한 상태에서 제1출입구(114) 위치로 상승이동하게 되고, 이때 버퍼 유닛(300)의 버퍼 컨베이어(300-1)는 기판과의 충돌을 방지하기 위해 수직한 방향으로 젖혀진 상태에서 대기하고(도 6b 참조), 반송 컨베이어(220)가 제1출입구(114) 위치에 오면 수평한 상태로 펼쳐진다(도 6c 참조). 버퍼 유닛(300)의 버퍼 컨베이어(300-1)가 수평 상태로 펼쳐지면 반송 컨베이어(220)는 제2출입구(112)로부터 다음 기판(w-2)을 인계받기 위해 하강하게 되고, 기판(w-1)은 버퍼 유닛(300)의 버퍼 컨베이어(300-1)에 의해 지지된 상태에서 제1출입구(114)로 반출된다. 한편, 제2출입구(112)로 이동된 반송 컨베이어(220)는 다음 기판(w-2)을 인계받아 앞에서 언급한 바와 같은 과정을 반복하게 된다.
본 발명의 층간 반송 장치는 엘리베이터 이외에 버퍼 유닛을 추가함으로써 기판 반송 과정에서 발생될 수 있는 정체 현상을 방지할 수 있고, 제1,2공정처리부 에 설치되었던 버퍼 컨베이어부를 생략할 수 있다.
본 발명은 상하층의 2층 구조로 이루어진 설비에 있어서, 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) FPD(LCD, PDP, 유기EL) 등을 상하로 운반하는 반송 장치에 모두 적용될 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 층간 반송 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 층간 반송 장치를 보여주는 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 평면도이다.
도 4는 컨베이어의 몸체 내부 구조를 보여주는 도면이다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치에서 제1출입구에서 제2출입구로 기판을 반송하는 과정을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치에서 제2출입구에서 제1출입구로 기판을 반송하는 과정을 설명하기 위한 도면들이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 층간 반송 장치 30 : 제1공정처리부
40 : 제2공정처리부 100 : 하우징
200 : 엘리베이터 300 : 버퍼 유닛

Claims (19)

  1. 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 있어서:
    기판이 반입 및 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징;
    상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및
    상기 엘리베이터에 의해 반송되는 기판이 일시적으로 적재되는 버퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 유닛은
    상기 외팔보 샤프트들을 수평한 상태로 펼치거나 또는 수직한 상태로 세우도록 상기 외팔보 샤프트들을 회동시키는 수직수평 전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 버퍼 유닛은
    기판을 양측에서 각각 지지하기 위해 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한 쌍의 버퍼 컨베이어인 것 을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 외팔보 샤프트들은
    상기 제1출입구 또는 상기 제2출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에 위치되는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 수직수평 전환부는
    상기 하우징에 힌지 결합되고, 실린더로드를 갖는 실린더; 및
    일단은 상기 실린더로드에 힌지 결합되고 타단은 상기 버퍼 컨베이어에 힌지 결합되어 상기 반송 샤프트들의 수직수평 변환에 따른 편심보정을 위한 링크를 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 엘리베이터는
    상기 하우징의 양측벽에 길이방향으로 설치되는 승강부; 및
    상기 승강부에 의해 승강되며, 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송샤프트들을 갖는 반송 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 반송 컨베이어는
    상기 승강부와 연결되는 승강 프레임;
    상기 승강 프레임에 설치되는 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임으로부터 상기 반송 샤프트의 길이방향으로 연장되어 설치되고 상기 반송 샤프트의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지아암들을 갖는 샤프트 프레임들; 및
    상기 샤프트 프레임들에 설치되고 상기 반송 샤프트들을 회전시키기 위한 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 지지아암들을
    상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들이 위치할 수 있도록 서로 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 반송 샤프트들 각각의 중앙에 설치되는 종동 마그네틱;
    상기 반송 샤프트들에 대해 횡으로 배치되고, 모터의 회전력을 받아 회전하는 구동 샤프트; 및
    상기 종동 마그네틱들과 교합되도록 상기 구동 샤프트에 설치되는 구동 마그네틱들을 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 베이스 프레임에는 상기 샤프트 프레임을 경사 변환시키기 위한 경사변환부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  12. 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 있어서:
    기판이 반입 및 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징;
    상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및
    상기 제1출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에 설치되고, 상기 엘리베이터에 의해 반송된 기판을 인계받아 상기 제1출입구를 통해 반출하거나 또는 상기 제1출입구를 통해 반입되는 기판을 상기 엘리베이터로 인계하는 버퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 버퍼 유닛은
    상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 기판을 지지하는 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한 쌍의 버퍼 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,;
    상기 버퍼 컨베이어는 수평하게 펼쳐지거나 수직하게 젖혀지도록 상기 하우징에 힌지 구조로 결합되는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,;
    상기 버퍼 유닛은
    상기 버퍼 컨베이어를 수평하게 펼치거나 수직하게 젖혀지도록 90도 회동시키는 수직수평 전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조 에 사용되는 층간 반송 장치.
  17. 평판 디스플레이 제조에 사용되는 기판 처리 장치에 있어서:
    상층에 해당되는 제1공정처리부;
    상기 제1공정처리부의 아래인 하층에 해당되는 제2공정처리부;
    상기 제1공정처리부와 상기 제2공정처리부 간의 기판 반송을 위한 층간 반송 장치를 포함하되;
    상기 층간 반송 장치는 상기 제1공정처리부와 연결되는 제1출입구와, 상기 제2공정처리부와 연결되는 제2출입구를 갖는 하우징;
    상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및
    상기 엘리베이터에 의해 반송되는 기판이 일시적으로 적재되는 버퍼 유닛을 포함하며;
    상기 버퍼 유닛은
    상기 제1출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에서 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 기판을 지지하는 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한 쌍의 버퍼 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 외팔보 샤프트들을 수평한 상태로 펼치거나 또는 수직한 상태로 세우도록 상기 외팔보 샤프트들을 회동시키는 수직수평 전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 기판 처리 장치.
KR1020090119290A 2009-12-03 2009-12-03 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 KR20110062538A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090119290A KR20110062538A (ko) 2009-12-03 2009-12-03 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090119290A KR20110062538A (ko) 2009-12-03 2009-12-03 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20110062538A true KR20110062538A (ko) 2011-06-10

Family

ID=44396707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090119290A KR20110062538A (ko) 2009-12-03 2009-12-03 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20110062538A (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021005093A1 (de) * 2019-07-09 2021-01-14 NICE Solar Energy GmbH Substratfördereinrichtung und verfahren zum fördern eines substrats
CN112470177A (zh) * 2018-07-31 2021-03-09 米其林集团总公司 混合操作站中的自动化流动管理
CN113894027A (zh) * 2021-11-23 2022-01-07 东莞市鑫华智能制造有限公司 一种uv固化设备
CN112470177B (zh) * 2018-07-31 2024-05-10 米其林集团总公司 混合操作站中的自动化流动管理

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112470177A (zh) * 2018-07-31 2021-03-09 米其林集团总公司 混合操作站中的自动化流动管理
CN112470177B (zh) * 2018-07-31 2024-05-10 米其林集团总公司 混合操作站中的自动化流动管理
WO2021005093A1 (de) * 2019-07-09 2021-01-14 NICE Solar Energy GmbH Substratfördereinrichtung und verfahren zum fördern eines substrats
CN113894027A (zh) * 2021-11-23 2022-01-07 东莞市鑫华智能制造有限公司 一种uv固化设备
CN113894027B (zh) * 2021-11-23 2024-03-22 东莞市鑫华智能制造有限公司 一种uv固化设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101331507B1 (ko) 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법
WO2019029078A1 (zh) 显示面板的检查设备和显示面板检测方法
WO2009090743A1 (ja) 基板搬送装置
JP2011155156A (ja) 物品搬送装置
US20050115773A1 (en) Lift for substrate
KR101105416B1 (ko) 기판 처리 장치
CN1847117A (zh) 叠层基板输送装置
KR100962362B1 (ko) 기판세정장치
KR20110062538A (ko) 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치
KR101031105B1 (ko) 소형 디스플레이 패널 세정장치
JP4638755B2 (ja) 露光装置および露光方法
KR100832472B1 (ko) 기판이송장치
KR20100041453A (ko) 기판 이송시스템
KR20150072260A (ko) 기판 턴장치
KR101000494B1 (ko) 이송장치
KR20110062539A (ko) 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치
KR20070082433A (ko) 층간 리프트
JPH10310240A (ja) 基板処理装置および基板処理方法
KR101099531B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
CN101882565B (zh) 一种在线处理设备
JP2011168363A (ja) 基板搬送装置及び基板搬送方法
KR20100001557A (ko) 기판 이송장치
KR20130098750A (ko) 스토커
KR20070120763A (ko) 기판 처리 장치
KR100862232B1 (ko) 기판 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application