KR101331507B1 - 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

기판의 반송 시간을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 본 발명의 기판 세정/건조 장치는 투입되는 기판을 이송시키는 제 1 기판 이송부를 가지는 상층과 상기 기판에 대한 세정/건조 공정을 수행하는 기판 처리부를 포함하는 하층으로 구성된 기판 세정/건조 장치에 있어서, 상기 상층에서 이송되는 기판을 수직 방향으로 이송시키는 제 2 기판 이송부; 및 상기 제 2 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 상기 하층의 기판 처리부로 이송하는 제 3 기판 이송부를 포함하여 구성되며, 상기 제 2 기판 이송부는 상기 기판을 지지하는 복수의 제 1 핸드 포크; 상기 복수의 제 1 핸드 포크를 지지함과 아울러 그 길이 방향으로 상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각을 기판 지지 위치에서 좌/우측으로 대칭되게 슬라이딩시키거나, 복수의 제 1 핸드 포크 각각을 상기 기판 지지 위치에서 좌측 또는 우측으로 슬라이딩시키는 제 1 포크 지지 바; 및 상기 제 1 포크 지지 바를 승강시키는 제 1 승강 리프트를 포함하고, 상기 제 3 기판 이송부는 상기 복수의 제 1 핸드 포크의 이동 궤적을 방해하지 않는 위치에 설치되어 상기 제 1 복수의 핸드 포크로부터 상기 기판을 공급받아 상기 기판 처리부로 이송하는 복수의 제 1 롤러 프레임; 및 상기 복수의 제 1 핸드 포크의 슬라이딩시 이동 궤적의 빈 공간을 확보할 수 있도록 상기 복수의 제 1 롤러 프레임의 일측에 제공되는 제 1 포크 통과부를 포함하여 구성된다.

Description

기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법{SUBSTRATE CLEANING/DRYING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS COMPRISING THE SAME, SUBSTRATE CLEANING/DRYING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING OF DISPLAY DEVICE THE SAME}
본 발명은 기판 처리 장치 및 방법과 이를 이용한 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 기판의 반송 시간을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자, 태양전지, 디스플레이 장치 등은 수많은 공정 단계를 거쳐 제작되므로, 각각의 공정을 수행하기 위한 수많은 설비와 해당 설비를 운용하게 된다. 이로 인해 반도체 소자, 태양전지, 디스플레이 장치 등을 제작하기 위해서는 막대한 비용과 설비가 소모되는 장치와 그 장치의 운용에 필요한 드넓은 공간이 반드시 요구된다는 문제점이 있다.
특히, 반도체 소자, 태양전지, 디스플레이 장치 등의 제조 공정에서는 잔류 물질, 파티클, 오염물 등을 제거하기 위하여 기판(또는 반도체 기판)을 세정하는 기판 세정/건조 공정이 필수적으로 필요하게 된다.
기판 세정/건조 공정을 위한 종래의 기판 세정/건조 장치는 하층 및 상층으로 구분되도록 구성된 복층 구조를 갖는다.
하층은 외부로부터 투입되는 기판을 수평 방향으로 이송하는 하측 컨베이어, 하측 컨베이어 상에 설치되어 기판에 대한 세정 공정 및 건조 공정을 차례로 수행하는 기판 처리부를 구비한다.
상층은 기판 처리부에서 건조 공정을 마친 기판을 수평 방향으로 이송하여 외부로 언로딩하기 위한 상층 컨베이어를 구비한다.
상층과 하층의 일측에는 상하로 승강되는 리프트 컨베이어가 설치된다.
리프트 컨베이어는 하층에서 건조 공정을 마친 기판을 상층 컨베이어로 이송한다.
이와 같은, 종래의 기판 세정/건조 장치는 리프트 컨베이어를 이용하여 하층의 기판을 상층으로 이송하기 때문에 리프트 컨베이어의 상승 및 하강하는 시간만큼 생산성이 저하된다는 문제점이 있다. 즉, 종래의 기판 세정/건조 장치는 리프트 컨베이어가 상승한 후, 원위치로 하강할 때까지 하층의 기판 처리 공정을 중지해야만 하고, 이로 인한 택 타임(Tact Time)의 손실로 인하여 생산성이 저하된다.
한편, 반도체 소자, 태양전지, 디스플레이 장치 등의 제조를 위한 기판 처리 장치는 상술한 기판 세정/건조 장치에 의해 처리된 기판 상에 소정의 박막을 형성하는 박막 형성 장치를 포함하여 구성된다.
그리고, 상술한 기판 처리 장치는 박막 형성 장치와 기판 세정/건조 장치 각각이 서로 독립적으로 설치되어 있기 때문에, 상술한 기판 세정/건조 장치에서 처리된 기판을 카세트에 적재한 후, 카세트를 박막 형성 장치로 이송하기 위한 기판 반송 장치를 더 포함하여 구성된다.
그러나, 상술한 기판 처리 장치는 세정/건조된 기판을 카세트에 적재하는 공정, 카세트를 이송하는 공정, 및 카세트에서 기판을 인출하여 박막 형성 장치로 공급하는 공정으로 인하여 기판 반송 시간이 증가하여 생산성이 저하되고, 기판의 반송 과정에서 기판이 오염될 수 있다는 문제점이 있다.
따라서, 종래의 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치는 생산성이 저하된다는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 반송 시간을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 세정/건조 장치는 베이스 프레임의 상층에서, 기판을 수평 방향으로 이송하는 제 1 기판 이송부; 상기 제 1 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 수직 방향으로 이송하기 위한 복수의 제 1 핸드 포크를 포함하는 제 2 기판 이송부; 상기 베이스 프레임의 하층에서, 상기 제 2 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 수평 방향으로 이송하는 제 3 기판 이송부; 및 상기 제 3 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 수평 방향으로 이송시키면서 기판을 세정하고 건조시키기 위한 클리닝 공정을 수행하는 기판 처리부를 포함하여 구성되며, 상기 제 3 기판 이송부는 상기 복수의 제 1 핸드 포크가 수직 방향으로 통과하도록 일정한 간격으로 나란하게 배치된 복수의 제 1 롤러 프레임을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 기판 세정/건조 장치는 상기 기판 처리부를 통과하여 이송되는 클리닝된 기판을 이송시키는 제 4 기판 이송부; 및 상기 제 4 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 클리닝된 기판을 수직 방향으로 이송시켜 상기 제 1 기판 이송부로 공급하기 위한 복수의 제 2 핸드 포크를 포함하는 제 5 기판 이송부를 더 포함하여 구성되며, 상기 제 4 기판 이송부는 상기 복수의 제 2 핸드 포크가 수직 방향으로 통과하도록 일정한 간격으로 나란하게 배치된 복수의 제 2 롤러 프레임을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 세정/건조 장치는 기판을 수평 방향으로 이송하는 제 1 기판 이송부; 복수의 제 1 포크 핸드를 이용하여 상기 제 1 기판 이송부에 의해 수평 방향으로 이송되는 상기 기판을 수직 방향으로 이송하는 제 2 기판 이송부; 소정 간격을 가지도록 상기 수평 방향으로 나란하게 설치된 복수의 제 1 롤러 프레임을 이용하여 상기 제 2 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 상기 수평 방향으로 이송하는 제 3 기판 이송부; 및 상기 제 3 기판 이송부로부터 공급되는 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송시키면서 세정/건조 공정을 수행하는 기판 처리부를 포함하며, 상기 제 2 기판 이송부는 상기 복수의 제 1 롤러 프레임들 사이를 통과하도록 상기 복수의 제 1 포크 핸드를 하강시켜 상기 기판을 상기 제 1 롤러 프레임에 공급하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 제 1 롤러 프레임 각각은 상기 기판 처리부의 일측에 인접하도록 상기 수평 방향에 나란하게 설치된 제 1 지지 프레임; 및 상기 제 1 지지 프레임의 길이 방향에 대응되는 일측면 또는 양측면에 일정한 간격을 가지도록 설치되어 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송시켜 상기 기판 처리부에 공급하는 복수의 제 1 롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 기판 세정/건조 장치는 상기 수평 방향에 나란하도록 상기 기판 처리부의 타측에 소정 간격으로 설치되어 상기 기판 처리부에 의해 클리닝되어 배출되는 기판을 상기 수평 방향으로 이송하는 복수의 제 2 롤러 프레임을 가지는 제 4 기판 이송부; 및 상기 복수의 제 2 롤러 프레임의 사이에 삽입 가능하도록 승강되는 복수의 제 2 포크 핸드를 이용하여 상기 제 4 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 클리닝된 기판을 상승시켜 상기 제 1 기판 이송부에 공급하는 제 5 기판 이송부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 제 2 롤러 프레임 각각은 상기 기판 처리부의 타측에 인접하도록 상기 수평 방향에 나란하게 설치된 제 2 지지 프레임; 및 상기 제 2 지지 프레임의 길이 방향에 대응되는 일측면 또는 양측면에 일정한 간격을 가지도록 설치되어 상기 기판 처리부로부터 배출되는 상기 클리닝된 기판을 상기 수평 방향으로 이송시키는 복수의 제 2 롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 외부로부터 기판이 로딩되거나 처리된 기판이 외부로 언로딩되는 포트부; 기판 세정/건조 장치; 상기 기판 세정/건조 장치에서 클리닝된 기판 상에 박막을 형성하기 위한 박막 형성 장치; 및 상기 포트부와 상기 기판 세정/건조 장치 및 상기 박막 형성 장치들 간에 기판을 반송하는 기판 반송 유닛을 포함하여 구성되며, 기판 세정/건조 장치는 기판을 수평 방향으로 이송하는 제 1 기판 이송부; 복수의 제 1 포크 핸드를 이용하여 상기 제 1 기판 이송부에 의해 수평 방향으로 이송되는 상기 기판을 수직 방향으로 이송하는 제 2 기판 이송부; 소정 간격을 가지도록 상기 수평 방향으로 나란하게 설치된 복수의 제 1 롤러 프레임을 이용하여 상기 제 2 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 상기 수평 방향으로 이송하는 제 3 기판 이송부; 및 상기 제 3 기판 이송부로부터 공급되는 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송시키면서 세정/건조 공정을 수행하는 기판 처리부를 포함하며, 상기 제 2 기판 이송부는 상기 복수의 제 1 롤러 프레임들 사이를 통과하도록 상기 복수의 제 1 포크 핸드를 하강시켜 상기 기판을 상기 제 1 롤러 프레임에 공급하는 것을 특징으로 한다.
상기 기판은 디스플레이 패널용 기판, 반도체용 기판, 및 태양전지용 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 수평 방향으로 나란하게 설치된 복수의 제 1 롤러 프레임 사이를 통과하도록 승강하는 복수의 핸드 포크를 이용하여 기판의 수평 및 수직 방향의 이송을 전환함으로써 기판의 이송을 중지하지 않아도 되므로 기판(S)의 반송 시간을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.
둘째, 복수의 핸드 포크의 접철 또는 좌/우측 슬라이딩을 통해 기판의 수직 및 수평 방향으로 이송하기 위한 복수의 핸드 포크의 승강 대기 시간을 줄임으로써 기판 반송 시간을 더욱 감소시켜 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.
셋째, 하나의 클린룸 내부에 포트부, 기판 반송 유닛, 기판 세정/건조 장치, 및 박막 형성 장치를 상호 연계되도록 통합 설치함으로써 기판 반송 시간을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있으며, 기판 반송 과정에서 발생되는 기판의 오염을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 1 및 도 2에 도시된 제 1 기판 이송부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 제 2 기판 이송부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 2에 도시된 제 3 기판 이송부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 2에 도시된 제 2 기판 이송부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 8에 도시된 제 2 기판 이송부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 도 9에 도시된 제 1 포크 지지 바를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 도 10에 도시된 I-I' 선의 단면을 나타내는 도면이다.
도 12는 도 8에 도시된 제 3 기판 이송부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 13a 내지 도 13h는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 이용한 기판의 세정/건조 방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 이용한 기판의 세정/건조 방법 중의 일부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 15a 및 도 15b는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 이용한 기판의 세정/건조 방법 중의 일부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 16은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(10)는 베이스 프레임(100), 제 1 내지 제 3 기판 이송부(200, 300, 400), 기판 처리부(500), 제 4 및 제 5 기판 이송부(600, 700)를 포함하여 구성된다.
베이스 프레임(100)은 상층(110)과 하층(120)으로 구분되도록 구성된다.
상층(110)에는 제 1 기판 이송부(200)가 설치되고, 하층(120)에는 제 2 기판 이송부(300), 기판 처리부(500), 제 4 기판 이송부(600)가 설치된다. 한편, 상층(110)의 중앙 부분에는 외부로부터 기판이 투입되거나 배출되는 기판 출입구(미도시)가 마련된다.
또한, 상층(110)과 하층(120)의 일측부에는 제 3 기판 이송부(400)이 설치되고, 상층(110)과 하층(120)의 타측부에는 제 5 기판 이송부(700)이 설치된다.
제 1 기판 이송부(200)는 베이스 프레임(100)의 상층(110)에 수평 방향으로 이송가능하게 설치된다. 이러한, 제 1 기판 이송부(200)는 기판 출입구를 통해 투입되는 기판을 수평 방향으로 이송시켜 제 2 기판 이송부(300)에 공급하거나, 제 5 기판 이송부(700)에 의해 수직 방향으로 이송되는 기판을 공급받아 기판 출입구 쪽으로 수평 이송하여 외부로 배출되도록 한다. 이를 위해, 제 1 기판 이송부(200)는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 레일(210), 이송 프레임(220), 지지 플레이트(230), 및 복수의 지지 핀(240)을 포함하여 구성된다.
한 쌍의 레일(210)은 수평 방향으로 나란하도록 베이스 프레임(100)의 상층(110)에 소정 간격으로 설치된다. 이러한, 한 쌍의 레일(210)은 이송 프레임(220)의 수평 이송을 안내한다.
이송 프레임(220)은 한 쌍의 레일(210) 상에 이송 가능하게 설치되어 한 쌍의 레일(210)의 안내에 따라 수평 방향으로 이송된다. 이를 위해, 이송 프레임(220)의 양측면에는 한 쌍의 레일(210) 상에 이송 가능하게 결합되는 이송 블록(222)이 설치된다. 이때, 이송 블록(222)과 레일(210)은 LM 가이더 모듈을 구성함으로써 이송 프레임(220)을 수평 방향으로 이송시킨다.
지지 플레이트(230)는 이송 프레임(220) 상에 설치되어 기판을 지지한다. 이때, 지지 플레이트(230)는 이송 프레임(220)에 설치된 지지축(232)에 의해 지지된다.
복수의 지지 핀(240)은 지지 플레이트(230) 상에 소정 높이를 가지는 격자 형태로 설치되어 기판을 지지한다.
한편, 제 1 기판 이송부(200)는 도 3b에 도시된 바와 같이, 기판 회전 유닛(250)을 더 포함하여 구성될 수도 있다.
기판 회전 유닛(250)은 지지축(232)에 접속되도록 이송 프레임(220)의 하부에 설치되는 것으로, 구동 모터일 수 있다. 이러한, 기판 회전 유닛(250)은 지지축(232)을 소정 각도, 예를 들어, 90도 또는 180도 회전시킴으로써 복수의 지지 핀(240)에 지지된 기판을 90도 또는 180도 회전시킨다. 여기서, 기판을 회전시키는 이유는 기판 출입구로 투입되는 기판이 기판 처리부(500)에서 세정 공정 및 건조 공정을 마친 이후에 특정 부위에서 결함이 발생될 경우, 상기의 결함이 세정 공정 및 건조 공정 과정에서 발생된 것인지, 투입 이전 공정에서 발생된 것인지 확인하기 위해서이다. 즉, 기판의 투입 방향이 항상 일정할 경우 상기의 결함이 어느 공정에서 발생된 것인지 알 수 없기 때문에 기판의 소정 각도로 회전시킨 후 세정 공정 및 건조 공정을 수행하게 되면 상기의 결함이 어느 공정에서 발생된 것인지 알 수 있게 된다.
도 1 및 도 2에서, 제 2 기판 이송부(300)는 복수의 제 1 핸드 포크(310)를 이용하여 제 1 기판 이송부(200)에 의해 수평 방향으로 이송되는 기판(S)을 수직 방향으로 이송하여 제 3 기판 이송부(400)에 공급한다. 이를 위해, 제 2 기판 이송부(300)는 복수의 제 1 핸드 포크(310), 제 1 포크 지지 바(320), 제 1 포크 프레임(330), 및 제 1 승강 리프트(340)를 포함하여 구성된다.
복수의 제 1 핸드 포크(310) 각각은 외팔보 형태를 가지도록 소정 간격으로 이격되어 기판(S)의 배면을 지지한다. 이때, 기판(S)의 하중에 의한 포크(310)의 자체 처짐을 방지하기 위하여, 복수의 제 1 핸드 포크(310) 각각의 배면은 경사지도록 형성된다. 즉, 복수의 제 1 핸드 포크(310) 각각의 두께는 일측부에서 타측부로 갈수록 얇아진다.
한편, 복수의 제 1 핸드 포크(310) 각각에는 기판(S)의 처짐을 방지하기 위한 처짐 방지 부재(317), 및 기판(S)의 유무를 감지하기 위한 센서(319)가 설치될 수 있다. 이때, 처짐 방지 부재(317)는 일정한 간격으로 가지도록 제 1 핸드 포크(310)의 상면에 설치된 복수의 블록, 복수의 핀, 또는 복수의 패드로 구성될 수 있다. 그리고, 센서(319)는 처짐 방지 부재(317) 사이마다 설치될 수 있다.
제 1 포크 지지 바(320)는 복수의 제 1 핸드 포크(310) 각각의 일측부를 공통적으로 지지한다. 이에 따라, 복수의 제 1 핸드 포크(310)는 수평 방향으로 나란하도록 소정 간격으로 이격되어 제 1 포크 지지 바(320)에 지지된다.
제 1 포크 프레임(330)은 제 1 포크 지지 바(320)의 측면 또는 배면의 중심 부분을 지지한다. 여기서, 제 1 포크 프레임(330)과 제 1 포크 지지 바(320)는 하나의 몸체로 구성될 수 있다.
제 1 승강 리프트(340)는 제 3 기판 이송부(400)의 전면부 중앙에 인접하도록 설치되어 제 1 포크 프레임(330)을 수직 방향으로 승강시킨다. 이를 위해, 제 1 승강 리프트(340)는 제 1 포크 프레임(330)을 승강시키기 위한 볼 스크류 모듈(미도시) 또는 LM 가이더 모듈(미도시)을 포함하여 구성된다.
볼 스크류 모듈은 볼 스크류 축(미도시), 회전 모터(미도시), 프레임 승강 홀(341), 및 볼 스크류 너트(미도시)를 포함하여 구성된다.
볼 스크류 축은 복수의 브라켓(미도시)에 의해 지지되도록 수직하게 설치되어 회전 모터의 회전에 따라 회전된다.
프레임 승강 홀(341)은 제 1 포크 프레임(330)이 승강될 수 있도록 제 1 승강 리프트(340)의 내측면에 형성된다.
볼 스크류 너트는 프레임 승강 홀(341)을 관통하여 볼 스크류 축에 접속되도록 제 1 포크 프레임(330)의 내측면에 설치된다.
이러한, 볼 스크류 모듈을 포함하여 구성된 제 1 승강 리프트(340)는 회전 모터를 통해 볼 스크류 축을 회전시켜 볼 스크류 너트를 승강시킴으로써 제 1 포크 프레임(330)을 승강시킨다.
또한, LM 가이더 모듈은 LM 가이더 레일(미도시), 및 LM 가이더 블록(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.
LM 가이더 레일은 제 1 승강 리프트(340)의 내측면에 수직하게 형성된다.
LM 가이더 블록은 제 1 포크 프레임(330)의 내측면에 설치됨과 아울러 LM 가이더 레일에 이동 가능하게 결합된다.
이러한, LM 가이더 모듈을 포함하여 구성된 제 1 승강 리프트(340)는 LM 가이더 블록을 LM 가이더 레일을 따라 이송시킴으로써 제 1 포크 프레임(330)을 승강시킨다.
한편, 상술한 설명에서 제 1 승강 리프트(340)는 하나로 구성되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 기판(S)의 크기가 대형화될 경우 제 1 포크 지지 바(320)를 복수의 지점에서 동시에 승강시키도록 복수로 구성될 수도 있다.
도 1 및 도 2에서, 제 3 기판 이송부(400)는 제 2 기판 이송부(300)로부터 수직 방향으로 이송되는 기판(S)을 공급받고, 공급된 기판(S)을 수평 방향으로 이송시켜 기판 처리부(500)에 공급한다. 이를 위해, 제 3 기판 이송부(400)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c), 제 1 샤프트(420), 제 1 샤프트 회전 부재(430), 및 제 1 회전 전달 부재(미도시)를 포함하여 구성된다.
복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c)은 제 2 기판 이송부(300)로부터 공급되는 기판(S)을 수평 방향으로 이송시켜 기판 처리부(500)에 공급한다. 이를 위해, 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c) 각각은 제 1 지지 프레임(412), 및 복수의 제 1 롤러(414)를 포함하여 구성된다.
제 1 지지 프레임(412) 각각은 기판 처리부(500)의 일측, 즉 전면부에 인접하도록 수평 방향으로 나란하게 설치된다. 이때, 제 1 지지 프레임(412) 각각은 승강되는 복수의 핸드 포크(310)가 통과될 수 있도록 소정 간격으로 이격된다. 즉, 제 1 지지 프레임(412) 각각은 소정 간격으로 이격되도록 설치됨으로써 기판(S)을 수직 방향으로 이송하기 위해 하강되는 복수의 핸드 포크(310)의 이동 궤적을 방해하지 않는다.
한편, 제 1 지지 프레임(412) 각각은 각기 다른 높이를 가지도록 형성되어 복수의 롤러(414)에 안착되는 기판(S)을 소정 각도(예를 들어 5°)로 틸트(Tilt)시킬 수 있다.
복수의 제 1 롤러(414)는 제 1 지지 프레임(412) 각각의 길이 방향에 대응되는 일측면 또는 양측면에 일정한 간격을 가지도록 설치된다. 이때, 복수의 제 1 롤러(414) 각각은 제 1 지지 프레임(412) 각각의 양측면에 설치되는 것이 바람직하다. 이를 위해, 복수의 제 1 롤러(414) 각각은 제 1 지지 프레임(412)을 관통하는 롤러 구동축(416)의 양 가장자리에 설치된다.
제 1 샤프트(420)는 기판 처리부(500)에 인접한 제 1 지지 프레임(412) 각각의 타측부를 관통하도록 설치된다.
제 1 샤프트 회전 부재(430)는 구동 모터로써, 복수의 제 1 지지 프레임(412) 중에서 외곽측 제 1 지지 프레임(412)에 설치되어 제 1 샤프트(420)를 회전시킨다. 이때, 제 1 샤프트 회전 부재(430)의 회전력은 도시하지 않은 벨트, 체인, 또는 복수의 기어를 통해 제 1 샤프트(420)에 전달될 수 있다.
제 1 회전 전달 부재(미도시)는 제 1 지지 프레임(412) 각각의 내부에 설치되어 제 1 샤프트(420)의 회전력을 복수의 롤러(414)에 전달한다. 이때, 제 1 샤프트(420)의 회전력은 도시하지 않은 벨트, 체인, 또는 복수의 기어를 통해 제 1 지지 프레임(412) 각각에 설치된 복수의 롤러(414)에 전달될 수 있다.
한편, 제 3 기판 이송부(400)는 복수의 제 1 반송 가이드부(440)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
복수의 제 1 반송 가이드부(440)는 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c) 중에서 외곽측 제 1 롤러 프레임(410a, 410c) 각각에 설치되어 복수의 롤러(414)에 의해 수평 방향으로 이송되는 기판(S)의 이송을 가이드한다. 이를 위해, 복수의 제 1 반송 가이드부(440)는 가이드 플레이트(442), 가이드 봉(444), 및 가이드 롤러(446)를 포함하여 구성된다.
가이드 플레이트(442)는 제 1 지지 프레임(412)의 외측면에 소정 길이를 가지도록 설치된다.
가이드 봉(444)은 기판(S)의 일측면에 대응되는 가이드 플레이트(442) 상에 수직하게 설치된다.
가이드 롤러(446)는 가이드 봉(444)의 상부에 회전 가능하게 설치되어 기판(S)의 측면에 접촉되어 기판(S)의 수평 이송을 가이드한다.
도 1 및 도 2에서, 기판 처리부(500)는 제 3 기판 이송부(400)로부터 공급되는 기판(S)을 수평 방향으로 이송시키면서 세정 공정 및 건조 공정을 수행하여 기판(S)을 클리닝한다. 이를 위해, 기판 처리부(500)는 롤러 컨베이어(510), 세정부(미도시), 및 건조부(미도시)를 포함하여 구성된다.
롤러 컨베이어(510)는 수평 방향에 직교하는 방향을 따라 일정한 간격으로 가지도록 제 1 및 제 2 컨베이어 프레임(511, 512) 사이에 회전 가능하게 설치된 복수의 롤러 구동축(513)을 이용하여 제 3 기판 이송부(400)로부터 공급되는 기판(S)을 수평 방향으로 이송시킨다. 이때, 복수의 롤러 구동축(513)에는 일정한 간격을 가지도록 복수의 반송 롤러(514)가 설치된다. 이러한, 복수의 롤러 구동축(513)은 제 1 컨베이어 프레임(511)의 일측에 설치된 구동 모터(515)의 회전에 연동되어 회전한다. 여기서, 구동 모터(515)의 회전력은 제 1 및 제 2 컨베이어 프레임(511, 512)의 일측에 설치된 구동 샤프트(516)를 통해 복수의 롤러 구동축(513)에 전달된다.
제 1 및 제 2 컨베이어 프레임(511, 512) 각각의 외측면에는 복수의 반송 롤러(514)에 의해 수평 방향으로 반송되는 기판(S)의 수평 이송을 가이드하기 위한 복수의 가이드 롤러부(517)가 설치될 수 있다. 복수의 가이드 롤러부(517)는 상술한 제 3 기판 이송부(400)의 제 1 반송 가이드부(440)와 동일하게 구성되므로 이에 대한 설명은 제 1 반송 가이드부(440)에 대한 설명으로 대신하기로 한다.
한편, 롤러 컨베이어(510)는 상술한 제 3 기판 이송부(400)와 동일한 구조를 가지도록 구성되어 기판(S)을 수평 방향으로 이송시킬 수도 있다.
세정부는 연속적으로 설치된 제 1 내지 제 3 세정 모듈(미도시)을 포함하여 구성된다.
제 1 세정 모듈은 기판(S) 상에 유기 이물질을 세정한다. 이때, 제 1 세정 모듈은 상압 플라즈마를 이용하여 기판(S) 상에 유기 이물질을 세정할 수 있다.
제 2 세정 모듈은 초순수(DI)를 분사함과 아울러 브러쉬 롤러(미도시)를 이용하여 유기 이물질이 세정된 기판(S)을 1차적으로 세정한다. 여기서, 제 2 세정 모듈의 끝단에는 에어(Air)를 이용하여 기판(S) 상의 초순수를 제거하기 위한 에어 분사노즐이 설치될 수 있다.
제 3 세정 모듈은 1차 세정된 기판(S) 상에 초순수(DI)를 분사하여 기판(S)을 2차적으로 세정한다. 여기서, 제 3 세정 모듈의 끝단에는 에어(Air)를 이용하여 기판(S) 상의 초순수를 제거하기 위한 에어 분사노즐이 설치될 수 있다.
건조부는 세정부에서 세정 공정을 마친 기판(S)을 건조한다. 이때, 건조부는 기판(S)의 상부 및 하부에 설치된 에어 나이프(Air Knife)를 이용하여 기판(S)을 건조할 수 있다.
제 4 기판 이송부(600)는 기판 처리부(500)의 후면부에 인접하도록 설치되어 기판 처리부(500)로부터 배출되는 기판(S)을 수평 방향으로 이송한다. 이를 위해, 제 4 기판 이송부(600)는 복수의 제 2 롤러 프레임(610a, 610b, 610c), 제 2 샤프트(620), 제 2 샤프트 회전 부재(630), 제 1 회전 전달 부재(미도시), 및 복수의 제 2 반송 가이드부(640)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 4 기판 이송부(600)는 도면 부호만이 다를 뿐, 제 3 기판 이송부(400)와 동일한 구조를 가지도록 구성됨과 아울러 제 3 기판 이송부(400)와 대칭되도록 기판 처리부(500)의 후면부에 인접하게 설치되는 것을 제외하고는 제 3 기판 이송부(400)와 동일하기 때문에 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
제 5 기판 이송부(700)는 제 4 기판 이송부(600)에 의해 수평 방향으로 이송된 기판(S)을 수직 방향으로 이송시켜 제 1 기판 이송부(200)에 공급한다. 이를 위해, 제 5 기판 이송부(700)는 복수의 제 2 핸드 포크(710), 제 2 포크 지지 바(720), 제 2 포크 프레임(730), 및 제 2 승강 리프트(740)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 5 기판 이송부(700)는 도면 부호만이 다를 뿐, 제 2 기판 이송부(300)와 동일한 구조를 가지도록 구성됨과 아울러 제 2 기판 이송부(300)와 대칭되도록 제 4 기판 이송부(600)의 후면부에 인접하게 설치되는 것을 제외하고는 제 2 기판 이송부(300)와 동일하기 때문에 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
한편, 제 2 승강 리프트(740)는 제 1 포크 지지 바(720)를 복수의 지점에서 동시에 승강시키도록 복수로 구성될 수도 있다.
이와 같은, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치는 수평 방향으로 나란하게 설치된 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c) 사이를 통과하도록 승강하는 복수의 핸드 포크(310)를 이용하여 기판(S)의 수평 및 수직 방향의 이송을 전환함으로써 기판(S)의 이송을 중지하지 않아도 되므로 기판(S)의 반송 시간을 감소시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치는 기판 반송 시간의 감소에 따라 택 타임(Tact Time)이 감소하므로 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)는 베이스 프레임(100), 제 1 내지 제 3 기판 이송부(200, 1300, 400), 기판 처리부(500), 제 4 및 제 5 기판 이송부(600, 1700)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 본 발명의 제 2 실시 예는 제 2 및 제 5 기판 이송부(1300, 1700)의 일부 구성을 제외하고는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예와 동일한 구성을 가지므로 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 하고, 동일한 도면 부호를 부여하기로 한다.
제 2 기판 이송부(1300)는 접철 가능한 복수의 제 1 핸드 포크(1310)의 승강을 통해 제 1 기판 이송부(200)로부터 공급되는 기판(S)을 수직 방향으로 이송하여 제 3 기판 이송부(400)에 공급한 다음, 펼쳐진 복수의 제 2 핸드 포크(1310)를 수평 방향으로 접어 제 3 기판 이송부(400)에 공급된 기판(S)을 피해 제 1 수직 이송 위치로 상승하여 복귀한다. 이를 위해, 제 2 기판 이송부(1300)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 핸드 포크(1310), 제 1 포크 지지 바(320), 제 1 포크 프레임(330), 및 제 1 승강 리프트(340)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 2 기판 이송부(1300)는 복수의 제 1 핸드 포크(1310)를 제외하고는 상술한 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(10)의 제 2 기판 이송부(300)와 동일하기 때문에 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
복수의 제 1 핸드 포크(1310) 각각은 접철 가능하게 설치된 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바(1311, 1313, 1315)를 포함하여 구성된다.
제 1 슬라이딩 바(1311)는 길이 방향이 수평 방향에 나란하도록 제 1 포크 지지 바(320)에 설치된다. 이러한, 제 1 슬라이딩 바(1311)의 일측면에는 제 1 LM 가이더 레일이 형성된다. 또한, 제 1 슬라이딩 바(1311)의 상측면에는 기판(S)의 처짐을 방지하기 위한 처짐 방지 부재(1317), 및 기판(S)의 유무를 감지하기 위한 센서(1319)가 설치될 수 있다. 이때, 처짐 방지 부재(1317)는 일정한 간격으로 가지도록 제 1 슬라이딩 바(1311)의 상면에 설치된 복수의 블록, 복수의 핀, 또는 복수의 패드로 구성될 수 있다. 그리고, 센서(1319)는 처짐 방지 부재(1317) 사이마다 설치될 수 있다.
제 2 슬라이딩 바(1313)는 길이 방향이 수평 방향에 나란하도록 제 1 슬라이딩 바(1311)에 형성된 제 1 LM 가이더 레일에 설치된다. 이러한, 제 2 슬라이딩 바(1313)의 일측면에는 제 1 LM 가이더 레일에 결합되는 제 1 LM 가이더 블록이 형성된다. 이에 따라, 제 2 슬라이딩 바(1313)는 제 1 가이더 레일과 제 1 가이더 블록에 의해 구성되는 제 1 LM 가이더 모듈의 구동에 의한 제 1 가이더 레일의 가이드에 따라 수평 방향으로 슬라이딩된다.
한편, 제 2 슬라이딩 바(1313)의 타측면에는 제 2 LM 가이더 블록이 형성된다. 또한, 제 2 슬라이딩 바(1313)의 상측면에는 상술한 처짐 방지 부재(1317) 및 센서(1319)가 설치될 수 있다.
제 3 슬라이딩 바(1315)는 길이 방향이 수평 방향에 나란하도록 제 2 슬라이딩 바(1313)에 형성된 제 2 LM 가이더 블록에 설치된다. 이러한, 제 3 슬라이딩 바(1315)의 일측면에는 제 2 LM 가이더 레일이 형성된다. 이에 따라, 제 3 슬라이딩 바(1315)는 제 2 가이더 블록과 제 2 가이더 레일에 의해 구성되는 제 2 LM 가이더 모듈의 구동에 의한 제 2 가이더 레일의 가이드에 따라 수평 방향으로 슬라이딩된다.
한편, 제 3 슬라이딩 바(1315)의 상측면에는 상술한 처짐 방지 부재(1317) 및 센서(1319)가 설치될 수 있다.
이러한, 복수의 제 1 핸드 포크(1310) 각각의 제 2 및 제 3 슬라이딩 바(1313, 1315)는 제 1 및 제 2 LM 가이더 모듈의 동시 구동에 따라 기판 지지 위치로 길게 펼쳐지거나, 기판 회피 위치로 짧게 접히도록 수평 방향으로 슬라이딩된다.
한편, 복수의 제 1 핸드 포크(1310) 각각은 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바(1311, 1313, 1315)로 구성되는 것을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 기판(S)의 크기 및/또는 슬라이딩 바의 길이에 따라 3개 이상의 슬라이딩 바로 구성될 수 있다.
제 5 기판 이송부(1700)는 제 4 기판 이송부(600)에 의해 수평 방향으로 이송된 기판(S)을 수직 방향으로 이송시켜 제 1 기판 이송부(200)에 공급한다. 이를 위해, 제 5 기판 이송부(1700)는 복수의 제 2 핸드 포크(1710), 제 2 포크 지지 바(720), 제 2 포크 프레임(730), 및 제 2 승강 리프트(740)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 5 기판 이송부(1700)는 도면 부호만이 다를 뿐, 제 2 기판 이송부(1300)와 동일한 구조를 가지도록 구성됨과 아울러 제 2 기판 이송부(1300)와 대칭되도록 제 4 기판 이송부(600)의 후면부에 인접하게 설치되는 것을 제외하고는 제 2 기판 이송부(1300)와 동일하기 때문에 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
이와 같은, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)는 제 2 기판 이송부(1300)의 슬라이딩 바(1311, 1313, 1315)에 안착된 기판(S)을 제 3 기판 이송부(400)에 공급한 다음, 곧바로 슬라이딩 바(1311, 1313, 1315)를 기판 회피 위치로 짧게 접히도록 슬라이딩시킨 후, 기판(S)을 피해 복수의 제 1 핸드 포크(1310)를 상승시킨다.
또한, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)는 제 5 기판 이송부(1700)의 슬라이딩 바에 안착된 기판(S)을 제 1 기판 이송부(200)에 공급한 다음, 곧바로 슬라이딩 바를 기판 회피 위치로 짧게 접히도록 슬라이딩시킨 후, 기판(S)을 피해 복수의 제 2 핸드 포크(1710)를 하강시킨다.
따라서, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)는 복수의 핸드 포크(1310, 1710)의 접철을 통해 기판(S)의 수직 및 수평 방향으로 이송하기 위한 복수의 핸드 포크(1310, 1710)의 승강 대기 시간을 줄임으로써 기판(S)의 반송 시간을 더욱 감소시켜 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(30)는 베이스 프레임(100), 제 1 내지 제 3 기판 이송부(200, 2300, 2400), 기판 처리부(500), 제 4 및 제 5 기판 이송부(2600, 2700)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 본 발명의 제 3 실시 예는 제 2 내지 제 5 기판 이송부(2300, 2400, 2600, 2700)의 일부 구성을 제외하고는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예와 동일한 구성을 가지므로 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 하고, 동일한 도면 부호를 부여하기로 한다.
제 2 기판 이송부(2300)는 복수의 제 1 핸드 포크(2310)의 승강을 통해 제 1 기판 이송부(200)로부터 공급되는 기판(S)을 수직 방향으로 이송하여 제 3 기판 이송부(2400)에 공급한 다음, 복수의 제 2 핸드 포크(1310)를 양측면 방향으로 대칭되도록 슬라이딩시켜 제 3 기판 이송부(2400)에 공급된 기판(S)을 피해 제 1 수직 이송 위치로 상승하여 복귀한다. 이를 위해, 제 2 기판 이송부(2300)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 핸드 포크(2310), 제 1 포크 지지 바(2320), 제 1 포크 프레임(2330), 및 제 1 승강 리프트(2340)를 포함하여 구성된다.
복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각은 외팔보 형태를 가지도록 소정 간격으로 이격되어 기판(S)의 배면을 지지한다. 이때, 기판(S)의 하중에 의한 포크(310)의 자체 처짐을 방지하기 위하여, 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 배면은 경사지도록 형성된다. 즉, 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 두께는 일측부에서 타측부로 갈수록 얇아진다. 한편, 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 상측면에는 상술한 처짐 방지 부재(317), 및 센서(319)가 설치될 수 있다.
이러한, 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각은 제 1 포크 지지 바(2320)에 의해 지지됨과 아울러 제 1 포크 지지 바(2320)의 길이 방향을 따라 슬라이딩된다.
제 1 포크 지지 바(2320)는 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 일측부를 공통적으로 지지함과 아울러 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각을 길이 방향의 양측면 쪽으로 슬라이딩시킨다. 이를 위해, 제 1 포크 지지 바(2320)는, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 바 프레임(2322), 슬라이딩 슬릿(2324; 도 9 참조), 및 포크 슬라이딩 모듈(2326)을 포함하여 구성된다.
바 프레임(2322)는 제 1 포크 프레임(2330)에 의해 지지되도록 사각 형태를 가지도록 형성된다.
슬라이딩 슬릿(2324)는 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각이 슬라이딩될 수 있도록 바 프레임(2322)의 일측에 길이 방향으로 길게 형성된다.
포크 슬라이딩 모듈(2326)은 슬라이딩 가이드 유닛(3110), 복수의 볼 스크류 유닛(3120), 및 슬라이딩 센서 유닛(3130)을 포함하여 구성된다.
슬라이딩 가이드 유닛(3110)은 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각에 설치됨과 아울러 바 프레임(2322)에 설치되어 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 슬라이딩을 가이드 한다. 이를 위해, 슬라이딩 가이드 유닛(3110)은 제 1 및 제 2 슬라이딩 레일(3112, 3114), 및 복수의 슬라이딩 블록(3116)을 포함하여 구성된다.
제 1 및 제 2 슬라이딩 레일(3112, 3114)은 바 프레임(2322)의 길이 방향과 나란하도록 소정 간격으로 이격되어 바 프레임(2322)의 바닥면에 설치된다.
복수의 슬라이딩 블록(3116)은 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 일측부 하부면에 설치됨과 아울러 슬라이딩 가능하도록 제 1 및 제 2 슬라이딩 레일(3112, 3114) 각각에 결합된다. 이때, 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 일측부는 "∩"자 형태를 가지도록 형성되고, "∩"자 형태의 측벽 하부에는 한 쌍의 슬라이딩 블록(3116)이 설치된다.
복수의 볼 스크류 유닛(3120)은 제 1 및 제 2 슬라이딩 레일(3112, 3114)을 따라 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각을 수평 방향으로 슬라이딩시킨다. 이를 위해, 복수의 볼 스크류 유닛(3120)은 제 1 및 제 2 슬라이딩 레일(3112, 3114) 사이에 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각에 대응되도록 바 프레임(2322)의 내부에 설치된다. 여기서, 도 10에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 핸드 포크(2310)가 4개로 구성될 경우, 복수의 볼 스크류 유닛(3120) 역시 4개로 구성될 수 있다.
복수의 볼 스크류 유닛(3120) 각각은 볼 스크류 너트(3122), 볼 스크류 축(3124), 및 구동 모터(3126)을 포함하여 구성된다.
볼 스크류 너트(3122)는 "∩"자 형태로 형성된 제 1 핸드 포크(2310)의 일측부에 설치된다.
볼 스크류 축(3124)은 볼 스크류 너트(3122)에 접속되도록 제 1 및 제 2 슬라이딩 레일(3112, 3114) 사이에 설치된다. 이때, 복수의 볼 스크류 축(3124) 각각의 일측 및 타측은 바 프레임(2322)의 바닥면에 설치된 한 쌍의 축 지지부(3123a, 3123b)에 의해 회전 가능하게 지지된다.
구동 모터(3126)는 모터 브라켓에 의해 지지되도록 바 프레임(2322)의 바닥면에 설치되어 볼 스크류 축(3124)에 접속된다. 이때, 구동 모터(3126)의 회전 축과 볼 스크류 축(3124) 사이에는 구동 모터(3126)의 회전력을 볼 스크류 축(3124)에 전달하기 위한 커플링이 설치될 수 있다.
이와 같은, 복수의 볼 스크류 유닛(3120) 각각은 볼 스크류 축(3124)을 회전시켜 볼 스크류 너트(3122)를 직선 운동시킴으로써 해당 제 1 핸드 포크(2310)를 슬라이딩시킨다.
도 10 및 도 11에서, 슬라이딩 센서 유닛(3130)은 복수의 볼 스크류 유닛(3120) 각각의 구동에 따라 좌/우 방향으로 슬라이딩되는 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 슬라이딩 위치를 검출하여 복수의 볼 스크류 유닛(3120) 각각의 구동을 멈추기 위한 전기적인 신호를 생성한다. 이를 위해, 슬라이딩 센서 유닛(3130)은 센서 레일(3132), 복수의 센서 도그(Sensor Dog; 3134), 및 복수의 위치 센서(3136)를 포함하여 구성된다.
센서 레일(3132)은 바 프레임(2322)의 내측면에 설치된다. 이때, 센서 레일(3132)은 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 슬라이딩 거리에 상응하는 길이를 가지도록 복수로 분할되어 설치될 수도 있다.
복수의 센서 도그(3134) 각각은 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 일측부 상에 설치되어 센서 레일(3132) 쪽으로 소정 길이만큼 돌출된다.
복수의 위치 센서(3136) 각각은 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각의 좌/우측 슬라이딩 거리에 상응하는 위치에 대응되도록 센서 레일(3132) 상에 설치되어 센서 도그(3134)의 위치를 검출한다. 즉, 복수의 위치 센서(3136) 각각은 복수의 제 1 핸드 포크(2310) 각각에 설치된 센서 도그(3134) 각각의 위치를 검출함으로써 복수의 볼 스크류 유닛(3120) 각각이 좌/우측 방향으로 슬라이딩하여 바 프레임(2322)의 양측부에 모이도록 이송하거나 바 프레임(2322)에 소정 간격으로 이격시켜 기판 지지 위치로 이송되도록 한다.
도 9에서, 제 1 포크 프레임(2330)은 제 1 포크 지지 바(2320)의 측면 또는 배면의 중심 부분을 지지한다. 여기서, 제 1 포크 프레임(2300)과 제 1 포크 지지 바(2320)는 하나의 몸체로 구성될 수 있다.
제 1 승강 리프트(2340)는 제 3 기판 이송부(2400)의 전면부 중앙에 인접하도록 설치되어 제 1 포크 프레임(2330)을 수직 방향으로 승강시킨다. 이를 위해, 제 1 승강 리프트(2340)는 프레임 승강 홀(2341)을 따라 제 1 포크 프레임(2330)을 승강시키기 위한 볼 스크류 모듈(미도시) 또는 LM 가이더 모듈(미도시)을 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 1 승강 리프트(2340)는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(10)의 제 1 승강 리프트(340)와 동일하게 구성되므로 이에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
도 8에서, 제 3 기판 이송부(2400)는 제 2 기판 이송부(2300)로부터 수직 방향으로 이송되는 기판(S)을 공급받고, 공급된 기판(S)을 수평 방향으로 이송시켜 기판 처리부(500)에 공급한다. 이를 위해, 제 3 기판 이송부(2400)는, 도 12에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c), 제 1 샤프트(420), 제 1 샤프트 회전 부재(430), 제 1 회전 전달 부재(미도시), 복수의 제 1 반송 가이드부(440), 및 포크 통과부(2450)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 3 기판 이송부(2400)는 제 1 포크 통과부(2450)를 더 포함하여 구성되는 것을 제외하고는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(10)의 제 3 기판 이송부(400)와 동일하기 때문에 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
포크 통과부(2450)는 "⊂"자 형태를 가지도록 제 2 기판 이송부(2300)에 인접한 제 1 지지 프레임(412) 각각의 일측 전면부로부터 제 1 지지 프레임(412) 각각의 타측 방향으로 개구된다. 즉, 제 1 지지 프레임(412) 각각의 일측부는 수평 방향으로 "⊂"자 형태의 단면을 가지도록 형성된다. 이때, 제 1 포크 통과부(2450)의 길이는 제 1 핸드 포크들(2310)의 좌/우측 슬라이딩시 핸드 포크(2310)와 충돌되지 않는 범위에서 설정된다.
도 8에서, 제 4 기판 이송부(2600)는 기판 처리부(500)의 후면부에 인접하도록 설치되어 기판 처리부(500)로부터 배출되는 기판(S)을 수평 방향으로 이송한다. 이를 위해, 제 4 기판 이송부(2600)는 복수의 제 2 롤러 프레임(2610a, 2610b, 2610c), 제 2 샤프트(2620), 제 2 샤프트 회전 부재(2630), 제 1 회전 전달 부재(미도시), 및 복수의 제 2 반송 가이드부(2640)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 4 기판 이송부(2600)는 도면 부호만이 다를 뿐, 제 3 기판 이송부(2400)와 동일한 구조를 가지도록 구성됨과 아울러 제 3 기판 이송부(2400)와 대칭되도록 기판 처리부(500)의 후면부에 인접하게 설치되는 것을 제외하고는 제 3 기판 이송부(2400)와 동일하기 때문에 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
제 5 기판 이송부(2700)는 제 4 기판 이송부(2600)에 의해 수평 방향으로 이송된 기판(S)을 수직 방향으로 이송시켜 제 1 기판 이송부(200)에 공급한다. 이를 위해, 제 5 기판 이송부(2700)는 복수의 제 2 핸드 포크(2710), 제 2 포크 지지 바(2720), 제 2 포크 프레임(2730), 및 제 2 승강 리프트(2740)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성을 가지는 제 5 기판 이송부(2700)는 도면 부호만이 다를 뿐, 제 2 기판 이송부(2300)와 동일한 구조를 가지도록 구성됨과 아울러 제 2 기판 이송부(2300)와 대칭되도록 제 4 기판 이송부(2600)의 후면부에 인접하게 설치되는 것을 제외하고는 제 2 기판 이송부(2300)와 동일하기 때문에 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다. 또한, 제 2 포크 지지 바(2720) 역시, 도 10 및 도 11에 도시된 제 2 포크 지지 바(2320)와 동일한 구성을 가지도록 구성된다.
이와 같은, 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(30)는 제 2 기판 이송부(2300)의 제 1 핸드 포크들(2310)에 안착된 기판(S)을 제 3 기판 이송부(2400)에 공급한 다음, 곧바로 제 1 핸드 포크들(2310) 각각을 좌/우측 방향으로 슬라이딩시켜 제 1 포크 지지 바(2320)의 양측부로 모이도록 접은 후, 기판(S)을 피해 복수의 제 1 핸드 포크(2310)를 상승시킨다.
또한, 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(30)는 제 5 기판 이송부(2700)의 제 1 핸드 포크들(2710)에 안착된 기판(S)을 제 1 기판 이송부(200)에 공급한 다음, 곧바로 제 2 핸드 포크들(2710) 각각을 좌/우측 방향으로 슬라이딩시켜 제 2 포크 지지 바(2720)의 양측부로 모이도록 접은 후, 기판(S)을 피해 복수의 제 2 핸드 포크(2710)를 하강시킨다.
따라서, 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(30)는 복수의 핸드 포크(2310, 2710)의 좌/우측 슬라이딩을 통해 기판(S)의 수직 및 수평 방향으로 이송하기 위한 복수의 핸드 포크(2310, 2710)의 승강 대기 시간을 줄임으로써 기판(S)의 반송 시간을 더욱 감소시켜 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(30)에서, 제 2 및 제 5 기판 이송부(2700) 각각의 핸드 포크들(2310, 2710)이 좌/우측 방향으로 슬라이딩되어 포크 지지 바(2320, 2720)의 양측부로 모이도록 접히는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 포크 지지 바(2320, 2720)의 일측에 모두 모이도록 접힐 수도 있다.
도 13a 내지 도 13h는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 이용한 기판의 세정/건조 방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 13a 내지 도 13h를 참조하여 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 이용한 기판의 세정/건조 방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 13a에 도시된 바와 같이, 베이스 프레임(100)의 기판 출입구를 통해 외부의 기판(S)을 제 1 기판 이송부(200) 상에 투입한다(a).
그런 다음, 도 13b에 도시된 바와 같이, 제 1 기판 이송부(200) 상에 기판(S)이 지지되면, 제 1 기판 이송부(200)를 제 2 기판 이송부(300) 쪽으로 수평 이송시켜 기판(S)을 제 1 수직 이송 위치로 이송시킨다(b). 여기서, 제 1 기판 이송부(200)는 지지된 기판(S)을 소정 각도로 회전시킬 수도 있다.
그런 다음, 기판(S)이 제 1 수직 이송 위치로 이송되면, 제 1 기판 이송부(200)와 기판(S) 사이에 삽입된 제 2 기판 이송부(300)의 제 1 핸드 포크들(310)을 소정 높이로 상승시켜 제 1 기판 이송부(200)에 지지된 기판(S)을 복수의 제 1 핸드 포크(310)로 옮긴다(c).
그런 다음, 도 13c에 도시된 바와 같이, 제 1 기판 이송부(200)를 기판 출입구 쪽으로 수평 이송시킨다(d).
그리고, 제 1 기판 이송부(200)가 복수의 제 1 핸드 포크(310)의 길이를 벗어나도록 기판 출입구 쪽으로 수평 이송되면, 복수의 제 1 핸드 포크(310)를 제 1 수평 이송 위치 쪽으로 하강시킴으로써 복수의 제 1 핸드 포크(310)에 지지된 기판(S)을 제 1 수평 이송 위치로 이송한다(e). 이때, 복수의 제 1 핸드 포크(310)는 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c) 사이를 통과하여 하강함으로써 복수의 제 1 핸드 포크(310)에 지지된 기판(S)은 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c) 상에 안착된다.
그런 다음, 도 13d에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c)의 구동을 통해 제 1 수평 이송 위치에 있는 기판(S)을 기판 처리부(500) 쪽으로 수평 이송시킨다(f).
그리고, 기판(S)이 제 1 수평 이송 위치에서 복수의 제 1 핸드 포크(310)의 길이를 벗어나도록 기판 처리부(500) 쪽으로 수평 이송되면, 복수의 제 1 핸드 포크(310)를 상승시킨다(g). 이때, 기판(S)은 기판 처리부(500)에 투입된다.
그런 다음, 도 13e에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 핸드 포크(310)를 연속적으로 상승시켜 제 1 수직 이송 위치로 복귀시킨다(h). 이때, 기판 처리부(500)는 롤러 컨베이어(510)의 구동에 따라 기판(S)을 수평 방향으로 이송하면서 세정 공정 및 건조 공정을 수행한다(i). 또한, 제 1 기판 이송부(200)는 상술한 (a), 및 (b) 과정을 통해 기판 출입구로 투입되는 새로운 기판(S')을 제 1 수직 이송 위치로 이송한다.
그런 다음, 도 13f에 도시된 바와 같이, 제 1 내지 제 3 기판 이송부(200, 300, 400) 각각은 상술한 (a) 내지 (i) 과정을 반복적으로 수행하여 새로운 기판(S')을 소정 시간 간격으로 기판 처리부(500)에 투입한다.
그리고, 제 4 기판 이송부(600)의 제 2 롤러 프레임들(610a, 610b, 610c)을 구동하여 기판 처리부(500)에서 세정 및 건조되어 배출되는 클리닝된 기판(S)을 제 2 수직 이송 위치로 수평 이송시킨다(j).
그런 다음, 클리닝된 기판(S)이 제 2 수직 이송 위치로 이송되면, 복수의 제 2 롤러 프레임(610a, 610b, 610c) 사이를 통과하도록 하강된 복수의 제 2 핸드 포크(710)를 제 2 수평 이송 위치 쪽으로 상승시킨다(k).
그런 다음, 도 13g에 도시된 바와 같이, 복수의 제 2 핸드 포크(710)가 연속적으로 상승하여 제 2 수평 이송 위치로 이송되면(l), 제 1 기판 이송부(200)을 제 2 수평 이송 위치로 수평 이송한다(m).
그런 다음, 도 13h에 도시된 바와 같이, 제 1 기판 이송부(200)가 제 2 수평 이송 위치로 이송되면, 복수의 제 2 핸드 포크(710)를 소정 높이로 하강시켜 클리닝된 기판(S)을 제 1 기판 이송부(200)로 옮긴다.
그런 다음, 제 1 기판 이송부(200) 상에 클리닝된 기판(S)이 지지되면, 제 1 기판 이송부(200)를 기판 출입구 쪽으로 수평 이송한다(n).
그리고, 제 1 기판 이송부(200)가 복수의 제 2 핸드 포크(710)의 길이를 벗어나도록 기판 출입구 쪽으로 수평 이송되면, 복수의 제 2 핸드 포크(710)를 제 2 수직 이송 위치로 하강시킨다. 이때, 복수의 제 2 핸드 포크(710)는 복수의 제 2 롤러 프레임(610a, 610b, 610c) 사이를 통과하여 수직 이송 위치로 하강한다.
또한, 제 1 기판 이송부(200)가 기판 출입구로 이송되면, 제 1 기판 이송부(200)에 지지된 기판(S)을 외부로 배출한다(o).
본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(10)를 이용한 기판의 세정/건조 방법은 상술한 도 13a 내지 도 13h에 도시된 (a) 내지 (o) 과정을 반복함으로써 기판(S)에 대한 세정 공정 및 건조 공정을 연속적으로 수행하여 기판(S)에 대한 클리닝 공정을 수행한다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 이용한 기판의 세정/건조 방법 중의 일부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 14a 및 도 14b와 도 7을 결부하여 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)를 이용한 기판의 세정/건조 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 13a 내지 도13c에 도시된 (a) 내지 (e) 과정을 연속적으로 수행하여 기판(S)을 제 1 수평 이송 위치로 이송한다.
그런 다음, 도 14a에 도시된 바와 같이, 상술한 바와 같이 복수의 제 1 핸드 포트(1310)의 하강에 따라 제 1 핸드 포트들(1310)에 지지된 기판(S)이 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c)에 안착되면, 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c)을 구동하여 기판(S)을 기판 처리부(500) 쪽으로 수평 이송함과 동시에 제 1 핸드 포트들(1310) 각각의 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바(1311, 1313, 1315)를 수평 방향으로 슬라이딩시켜 기판 회피 위치, 즉 제 1 포크 지지 바(320) 쪽으로 짧게 접는다.
그런 다음, 도 14b에 도시된 바와 같이, 수평 이송하는 기판(S)이 접혀진 제 1 핸드 포트들(1310)의 길이를 벗어나도록 기판 처리부(500) 쪽으로 수평 이송되면, 접혀진 제 1 핸드 포트들(1310)을 제 1 수직 이송 위치로 상승시킨다.
그런 다음, 접혀진 제 1 핸드 포트들(1310)가 제 1 수직 이송 위치로 상승되면, 제 1 핸드 포트들(1310) 각각의 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바(1311, 1313, 1315)를 수평 방향으로 슬라이딩시켜 길게 펼친다. 한편, 제 1 핸드 포트들(1310) 각각의 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바(1311, 1313, 1315)는 제 1 수직 이송 위치로 상승하는 도중에 수평 방향으로 슬라이딩되어 기판 지지 위치로 길게 펼쳐질 수도 있다.
그런 다음, 제 1 내지 제 3 기판 이송부(200, 1300, 400) 각각은 도 13a 내지 도 13c에 도시된 (a) 내지 (e) 과정과 도 14a 내지 도 14b에 도시된 과정을 반복적으로 수행함으로써 기판(S)을 기판 처리부(500) 쪽으로 이송한다.
그리고, 도 13f에 도시된 바와 유사하게 제 4 기판 이송부(600)의 제 2 롤러 프레임들(610a, 610b, 610c)을 구동하여 기판 처리부(500)에서 세정 및 건조되어 배출되는 클리닝된 기판(S)을 제 2 수직 이송 위치로 수평 이송시킨다.
그런 다음, 클리닝된 기판(S)이 제 2 수직 이송 위치로 이송되면, 복수의 제 2 롤러 프레임(610a, 610b, 610c) 사이를 통과하도록 하강된 복수의 제 2 핸드 포크(1710)를 제 2 수평 이송 위치 쪽으로 상승시킨다.
그런 다음, 도 13g에 도시된 바와 유사하게, 복수의 제 2 핸드 포크(1710)가 연속적으로 상승하여 제 2 수평 이송 위치로 이송되면, 제 1 기판 이송부(200)를 제 2 수평 이송 위치로 수평 이송한다.
그런 다음, 제 1 기판 이송부(200)이 제 2 핸드 포트들(1710)과 클리닝된 기판(S) 사이로 수평 이송되면, 제 2 핸드 포트들(1710)을 소정 높이로 하강시켜 클리닝된 기판(S)을 제 1 기판 이송부(200)로 옮기고, 제 1 기판 이송부(200)를 기판 출입구 쪽으로 수평 이송시킴과 동시에 제 2 핸드 포트들(1710) 각각의 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바를 짧게 접은 후, 제 1 기판 이송부(200)가 접혀진 제 2 핸드 포트들(1710)의 길이를 벗어나도록 기판 출입구 쪽으로 수평 이송되면, 접혀진 제 2 핸드 포트들(1710)을 제 2 수직 이송 위치로 하강시킨다. 이와 동시에, 제 1 기판 이송부(200)가 기판 출입구로 이송되면, 제 1 기판 이송부(200)에 지지된 기판(S)을 외부로 배출한다.
그런 다음, 접혀진 제 2 핸드 포트들(1710)가 제 2 수직 이송 위치로 하강되면, 제 2 핸드 포트들(1710) 각각의 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바를 수평 방향으로 슬라이딩시켜 길게 펼친다. 한편, 제 2 핸드 포트들(1710) 각각의 제 1 내지 제 3 슬라이딩 바는 제 2 수직 이송 위치로 하강하는 도중에 수평 방향으로 슬라이딩되어 길게 펼쳐질 수도 있다.
도 15a 및 도 15b는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 이용한 기판의 세정/건조 방법 중의 일부를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 15a 및 도 15b와 도 9를 결부하여 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(30)를 이용한 기판의 세정/건조 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 13a 내지 도13c에 도시된 (a) 내지 (e) 과정을 연속적으로 수행하여 기판(S)을 제 1 수평 이송 위치로 이송한다.
그런 다음, 도 15a에 도시된 바와 같이, 상술한 바와 같이 복수의 제 1 핸드 포트(2310)의 하강에 따라 제 1 핸드 포트들(2310)에 지지된 기판(S)이 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c)에 안착되면, 복수의 제 1 롤러 프레임(410a, 410b, 410c)을 구동하여 기판(S)을 기판 처리부(500) 쪽으로 수평 이송함과 동시에 제 1 핸드 포트들(2310) 각각이 제 1 포크 지지 바(2320)의 양측부로 모이도록 제 1 핸드 포트들(2310) 각각을 좌/우 방향으로 대칭되도록 슬라이딩시킨 후, 곧바로 기판(S)을 피해 접혀진 제 1 핸드 포트들(2310)을 제 1 수직 이송 위치 쪽으로 상승시킨다.
그런 다음, 도 15b에 도시된 바와 같이, 접혀진 제 1 핸드 포트들(2310)가 제 1 수직 이송 위치로 상승되면, 제 1 핸드 포트들(1310) 각각이 제 1 포크 지지 바(2320)에 소정 간격으로 이격되도록 제 1 핸드 포트들(2310) 각각을 좌/우 방향으로 대칭되도록 슬라이딩시킨다. 한편, 제 1 핸드 포트들(2310) 각각을 제 1 포크 지지 바(2320)에 소정 간격으로 이격시켜 기판 지지 위치로 이송시키기 위한 슬라이딩은 제 1 수직 이송 위치로 상승하는 도중에 수행될 수 있다.
그런 다음, 제 1 내지 제 3 기판 이송부(200, 1300, 400) 각각은 도 13a 내지 도 13c에 도시된 (a) 내지 (e) 과정과 도 15a 내지 도 15b에 도시된 과정을 반복적으로 수행함으로써 기판(S)을 기판 처리부(500) 쪽으로 이송한다.
그리고, 도 13f에 도시된 바와 유사하게 제 4 기판 이송부(2600)의 제 2 롤러 프레임들(610a, 610b, 610c)을 구동하여 기판 처리부(500)에서 세정 및 건조되어 배출되는 클리닝된 기판(S)을 제 2 수직 이송 위치로 수평 이송시킨다.
그런 다음, 클리닝된 기판(S)이 제 2 수직 이송 위치로 이송되면, 복수의 제 2 롤러 프레임(610a, 610b, 610c) 사이를 통과하도록 하강된 복수의 제 2 핸드 포크(2710)를 제 2 수평 이송 위치 쪽으로 상승시킨다.
그런 다음, 도 13g에 도시된 바와 유사하게, 복수의 제 2 핸드 포크(2710)가 연속적으로 상승하여 제 2 수평 이송 위치로 이송되면, 제 1 기판 이송부(200)를 제 2 수평 이송 위치로 수평 이송한다.
그런 다음, 제 1 기판 이송부(200)이 제 2 핸드 포트들(2710)과 클리닝된 기판(S) 사이로 수평 이송되면, 제 2 핸드 포트들(2710)을 소정 높이로 하강시켜 클리닝된 기판(S)을 제 1 기판 이송부(200)로 옮기고, 제 1 기판 이송부(200)를 기판 출입구 쪽으로 수평 이송시킴과 동시에 제 2 핸드 포트들(2710) 각각이 제 2 포크 지지 바(2720)의 양측부로 접히도록 제 2 핸드 포트들(2710) 각각을 좌/우 방향으로 대칭되도록 슬라이딩시킨 후, 곧바로 기판(S)을 피해 접혀진 제 2 핸드 포트들(2710)을 제 2 수직 이송 위치 쪽으로 하강시킨다. 이와 동시에, 제 1 기판 이송부(200)가 기판 출입구로 이송되면, 제 1 기판 이송부(200)에 지지된 기판(S)을 외부로 배출한다.
그런 다음, 접혀진 제 2 핸드 포트들(2710)가 제 2 수직 이송 위치로 하강되면, 제 2 핸드 포트들(2710) 각각이 제 2 포크 지지 바(2720)에 소정 간격으로 이격되어 기판 지지 위치로 이송되도록 제 2 핸드 포트들(2710) 각각을 좌/우 방향으로 대칭되도록 슬라이딩시킨다. 한편, 제 2 핸드 포트들(2710) 각각을 제 2 포크 지지 바(2720)에 소정 간격으로 이격시켜 기판 지지 위치로 이송시키기 위한 슬라이딩은 제 2 수직 이송 위치로 하강하는 도중에 수행될 수 있다.
도 16은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 16을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 클린룸(1); 포트부(2), 기판 반송 유닛(3), 기판 세정/건조 장치(10, 20, 30), 및 박막 형성 장치(5)를 포함하여 구성된다.
클린룸(1)은 소정의 청정도를 가지도록 공간을 제공하고, 그 내부에는 포트부(2), 기판 반송 유닛(3), 기판 세정/건조 장치(10, 20, 30), 및 박막 형성 장치(5)가 설치된다.
포트부(2)는 클린룸(1)의 내부에 설치되어 기판이 로딩되거나 처리된 기판을 외부로 언로딩한다. 이때, 포트부(2)에는 복수의 기판이 적재되는 카세트(미도시)가 로딩되거나 언로딩될 수 있다.
기판 반송 유닛(3)은 포트부(2), 기판 세정/건조 장치(10, 20, 30), 및 박막 형성 장치(5) 사이에 설치된다.
이러한, 기판 반송 유닛(3)은 포트부(2)에서 기판을 인출하여 기판 세정/건조 장치(10, 20, 30)에 반송한다. 여기서, 기판은 디스플레이 패널용 기판, 반도체용 기판, 및 태양전지용 기판 중 어느 하나가 될 수 있다.
또한, 기판 반송 유닛(3)은 기판 세정/건조 장치(10, 20, 30)에서 클리닝된 기판을 인출하여 박막 형성 장치(5)에 반송함과 아울러 박막 형성 장치(5)에서 박막이 형성된 기판을 인출하여 포트부(2)에 반송한다.
제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(10)는 도 1 내지 도 5에 도시된 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 포함하도록 구성되어 도 13a 내지 도 13h에 도시된 기판 세정/건조 방법을 통해 기판 반송 유닛(3)으로부터 투입되는 기판에 대한 세정 공정 및 건조 공정을 수행하는 것으로, 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)는 도 1 내지 도 3b, 및 도 6 및 도 7에 도시된 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 포함하도록 구성되어 도 14a 및 도 14b에 도시된 기판 이송 방법을 포함하는 기판 세정/건조 방법을 통해 기판 반송 유닛(3)으로부터 투입되는 기판에 대한 세정 공정 및 건조 공정을 수행하는 것으로, 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치(20)는 도 1 내지 도 3b, 및 도 8 내지 도 12에 도시된 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 기판 세정/건조 장치를 포함하도록 구성되어 도 15a 및 도 15b에 도시된 기판 이송 방법을 포함하는 기판 세정/건조 방법을 통해 기판 반송 유닛(3)으로부터 투입되는 기판에 대한 세정 공정 및 건조 공정을 수행하는 것으로, 이에 대한 상세한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
박막 형성 장치(5)는 기판 반송 유닛(3)을 통해 로딩되는 클리닝된 기판 상에 소정의 박막을 형성한다. 이를 위해, 박막 형성 장치(5)는 트랜스퍼 챔버(51), 로드락 챔버(52), 예열 챔버(53), 복수의 공정 챔버(54), 및 냉각 챔버(55)를 포함하여 구성될 수 있다.
트랜스퍼 챔버(51)는 각 챔버들(52 내지 55)의 중앙 부분에 배치되어 챔버들(52 내지 55) 사이에서 기판을 반송한다. 이를 위해, 트랜스퍼 챔버(51)는 기판을 반송하는 반송 로봇(56)을 포함하여 구성된다. 이러한, 트랜스퍼 챔버(51)의 주위에는 로드락 챔버(52), 예열 챔버(53), 복수의 공정 챔버(54), 및 냉각 챔버(55)가 클러스터 형태로 배치된다.
로드락 챔버(52)는 기판 반송 유닛(3)과 인접하도록 트랜스퍼 챔버(51)에 접속된다. 이러한, 로드락 챔버(52)에는 기판 반송 유닛(3)에 의해 공급되는 기판을 임시 보관하거나, 트랜스퍼 챔버(51)에 의해 공급되는 박막 형성 공정이 완료된 기판을 임시 보관한다.
예열 챔버(53)는 반송 로봇(56)에 의해 로드락 챔버(52)로부터 공급되는 기판을 설정된 박막 증착 공정의 온도보다 높은 온도를 가지도록 예열한다. 이때, 기판의 예열 온도는 반송 로봇(56)에 의해 예열 챔버(53)에서 복수의 공정 챔버(54)로 반송 시간, 복수의 공정 챔버(54)에서의 공정 시간, 공정 온도 등의 냉각 마진을 고려하여 설정될 수 있다. 이러한, 예열 챔버(53)는 코일 히터, 램프 히터 등의 가열장치를 이용하여 기판을 설정된 온도로 예열할 수 있다.
한편, 로드락 챔버(52)와 예열 챔버(53)는 적층 구조를 가질 수 있다. 즉, 하부에 로드락 챔버(52)가 배치되고, 로드락 챔버(52)의 상부에 예열 챔버(53)가 배치될 수 있다.
복수의 공정 챔버(54)는 반송 로봇(56)을 통해 예열 챔버(53)에서 예열된 기판을 투입받아 예열된 기판 상에 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition) 공정 또는 스퍼터링(Sputtering) 공정을 이용한 박막 증착 공정을 수행한다.
냉각 챔버(55)는 반송 로봇(56)을 통해 복수의 공정 챔버(54)에서 박막이 형성된 기판을 투입받아 박막 증착 공정에 의해 가열된 기판의 온도를 소정의 온도로 낮춘다. 한편, 제조 공정 및 후속 공정에 따라 기판의 온도를 소정의 온도로 낮추는 공정이 필요 없을 경우에 냉각 챔버(55)는 공정 챔버(54)로 대체될 수 있다.
한편, 기판 세정/건조 장치(10, 20, 30)는 박막 형성 장치(5)에 의해 박막이 형성된 기판에 대한 세정 공정 및 건조 공정을 수행할 수도 있다.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 하나의 클린룸(1) 내부에 포트부(2), 기판 반송 유닛(3), 기판 세정/건조 장치(10, 20, 30), 및 박막 형성 장치(5)를 상호 연계되도록 통합 설치함으로써 기판 반송 시간을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있으며, 기판 반송 과정에서 발생되는 기판의 오염을 방지할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 클린룸 2: 포트부
3: 기판 반송 유닛 5: 박막 형성 장치
10, 20, 30: 기판 세정/건조 장치 100: 베이스 프레임
200: 제 1 기판 이송부 300, 1300, 2300: 제 2 기판 이송부
400, 2400: 제 3 기판 이송부 500: 기판 처리부
600, 2600: 제 4 기판 이송부 700, 1700, 2700: 제 5 기판 이송부

Claims (26)

  1. 베이스 프레임의 상층에서, 기판을 수평 방향으로 이송하는 제 1 기판 이송부;
    상기 제 1 기판 이송부로부터 이송된 기판을 지지하고 지지된 기판을 수직 방향으로 이송하기 위한 복수의 제 1 핸드 포크를 포함하는 제 2 기판 이송부;
    상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각의 길이 방향과 나란하도록 일정한 간격으로 배치된 복수의 제 1 롤러 프레임을 포함하며, 상기 베이스 프레임의 하층에서 상기 제 2 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 수평 방향으로 이송하는 제 3 기판 이송부; 및
    상기 제 3 기판 이송부로부터 공급되는 기판을 수평 방향으로 이송시키면서 기판을 세정하고 건조시키기 위한 클리닝 공정을 수행하는 기판 처리부를 포함하여 구성되며,
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임 각각은,
    상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각의 길이 방향과 나란하도록 상기 기판 처리부의 일측에 설치된 제 1 지지 프레임; 및
    상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각의 이동 궤적을 방해하지 않도록 상기 제 1 지지 프레임의 일측면 또는 양측면에 설치되어 상기 복수의 제 1 핸드 포크에 의해 수직 이송된 기판을 상기 수평 방향으로 이송시켜 상기 기판 처리부에 공급하는 복수의 제 1 롤러를 포함하며,
    상기 복수의 제 1 핸드 포크는 상기 복수의 제 1 롤러 프레임 각각의 제 1 지지 프레임들 사이사이를 통과하도록 연속적으로 하강되어 상기 제 1 기판 이송부로부터 이송된 기판을 상기 복수의 제 1 롤러에 직접적으로 안착시키는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 처리부를 통과하여 이송되는 클리닝된 기판을 수평 방향으로 이송시키기 위해 일정한 간격으로 배치된 복수의 제 2 롤러 프레임을 포함하는 제 4 기판 이송부; 및
    상기 제 4 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 클리닝된 기판을 수직 방향으로 이송시켜 상기 제 1 기판 이송부로 공급하기 위한 복수의 제 2 핸드 포크를 포함하는 제 5 기판 이송부를 더 포함하여 구성되며,
    상기 복수의 제 2 롤러 프레임 각각은,
    상기 복수의 제 2 핸드 포크 각각의 길이 방향과 나란하도록 상기 기판 처리부의 타측에 설치된 제 2 지지 프레임; 및
    상기 복수의 제 2 핸드 포크 각각의 이동 궤적을 방해하지 않도록 상기 제 2 지지 프레임의 일측면 또는 양측면에 설치되어 상기 클리닝된 기판을 수평 방향으로 이송시켜 상기 제 5 기판 이송부에 공급하는 복수의 제 2 롤러를 포함하며,
    상기 복수의 제 2 핸드 포크는 상기 복수의 제 2 롤러 프레임 각각의 제 2 지지 프레임들 사이사이를 통과하도록 연속적으로 상승하여 상기 복수의 제 2 롤러에 지지되어 있는 상기 클리닝된 기판을 상기 제 1 기판 이송부로 이송시키는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 기판 이송부는,
    상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각의 이동 궤적을 방해하지 않는 상기 복수의 제 1 롤러 프레임 각각의 제 1 지지 프레임들의 일측을 관통하도록 설치된 제 1 샤프트;
    상기 제 1 샤프트를 회전시키는 샤프트 회전 부재; 및
    상기 제 1 샤프트의 회전력을 상기 복수의 제 1 롤러 프레임 각각의 제 1 지지 프레임들 각각에 설치된 복수의 제 1 롤러에 전달하여 회전시키는 제 1 회전 전달 부재를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 기판 이송부는,
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임의 사이를 통과하도록 일정한 간격으로 이격되어 상기 기판을 지지하는 상기 복수의 제 1 핸드 포크;
    상기 복수의 제 1 핸드 포크의 일측부를 공통적으로 지지하는 제 1 포크 지지 바; 및
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임 중 일부의 제 1 롤러 프레임의 전면부에 인접하도록 수직하게 설치되어 상기 제 1 포크 지지 바를 승강시키는 제 1 승강 리프트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 기판 이송부는,
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임의 사이를 통과하도록 일정한 간격으로 이격되어 상기 기판을 지지하는 상기 복수의 제 1 핸드 포크;
    상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각의 일측부를 지지함과 아울러 상기 지지된 복수의 제 1 핸드 포크 각각을 기판 지지 위치에서 일측부 또는 양측부로 슬라이딩시키는 제 1 포크 지지 바; 및
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임 중 일부의 제 1 롤러 프레임의 전면부에 인접하도록 설치되어 상기 제 1 포크 지지 바를 승강시키는 제 1 승강 리프트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임 각각은 상기 제 1 포크 지지 바의 일측부 또는 양측부로 슬라이딩되는 상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각이 통과하도록 상기 제 1 지지 프레임의 가장자리 부분의 일부가 제거되어 형성된 제 1 포크 통과부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 기판 이송부는,
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임의 사이에 삽입 가능하도록 일정한 간격으로 이격되어 수평 방향으로 슬라이딩되는 상기 복수의 제 1 핸드 포크;
    상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각의 일측부를 지지하는 제 1 포크 지지 바; 및
    상기 복수의 제 1 롤러 프레임 중 일부의 제 1 롤러 프레임의 전면부에 인접하도록 설치되어 상기 제 1 포크 지지 바를 승강시키는 제 1 승강 리프트를 포함하여 구성되며,
    상기 복수의 제 1 핸드 포크 각각은 상기 기판을 지지하기 위한 기판 지지 위치로 펼쳐지거나 상기 기판을 회피하기 위한 기판 회피 위치로 접히도록 슬라이딩되는 복수의 제 1 슬라이딩 바를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 이송부는 외부로부터 투입되는 기판 또는 상기 제 5 기판 이송부로부터 공급되는 클리닝된 기판을 지지하고, 지지된 기판을 소정 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 장치.
  22. 삭제
  23. 외부로부터 기판이 로딩되거나 처리된 기판이 외부로 언로딩되는 포트부;
    제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 9 항, 제 10 항, 및 제 21 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 세정/건조 장치;
    상기 기판 세정/건조 장치에서 클리닝된 기판 상에 박막을 형성하기 위한 박막 형성 장치; 및
    상기 포트부와 상기 기판 세정/건조 장치 및 상기 박막 형성 장치들 간에 기판을 반송하는 기판 반송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 기판은 디스플레이 패널용 기판, 반도체용 기판, 및 태양전지용 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  25. 제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 9 항, 제 10 항, 및 제 21 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 세정/건조 장치를 이용하여 기판을 클리닝하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 세정/건조 방법.
  26. 제 23 항에 기재된 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 클리닝한 후, 클리닝된 기판 상에 박막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 디스플레이 패널의 제조 방법.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180025075A (ko) 2016-08-31 2018-03-08 씨디에스(주) 기판 부상 건조 장치
KR20180025074A (ko) 2016-08-31 2018-03-08 씨디에스(주) 경사구조를 이용한 기판 부상 이송장치
KR101927102B1 (ko) 2018-08-10 2018-12-10 김은호 컴팩트형 기판 건조 장치
KR101927105B1 (ko) 2018-04-16 2018-12-10 김은호 기판 건조 장치
KR101958111B1 (ko) 2017-09-29 2019-03-14 씨디에스(주) 경사구조를 이용한 기판 부상 이송장치
KR102113084B1 (ko) * 2020-02-04 2020-05-20 (주)케이엔디시스템 Lng 선박 내부 패널 설치용 전면 입출입식 소형 접착제 자동 도포 장치

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102610548A (zh) * 2011-01-20 2012-07-25 佶新科技股份有限公司 基板交换装置
TWI538871B (zh) * 2012-03-28 2016-06-21 巴柏斯特麥克斯合資公司 用於轉換機的非間斷齒條裝置
KR101375348B1 (ko) * 2012-08-22 2014-03-27 (주)와이티에스 디스플레이 패널용 글라스 세정공정 자동화장치
KR102094520B1 (ko) * 2012-10-24 2020-03-27 엘지디스플레이 주식회사 기판 처리 장치 및 방법과 이를 이용한 표시장치 제조방법
EP3061127A1 (de) * 2013-10-24 2016-08-31 Meyer Burger (Germany) AG Multimagnetronanordnung
CN103977986B (zh) * 2014-05-14 2016-01-13 昆山龙腾光电有限公司 清洁装置及其清洁方法
EP2991460B1 (en) * 2014-08-29 2018-11-21 Nokia Technologies OY An apparatus and associated methods for deformable electronics
CA2871376A1 (en) * 2014-11-14 2016-05-14 Northern Mat & Bridge (Gp) Ltd. Mat washing system
TWI735438B (zh) * 2015-03-30 2021-08-11 日商尼康股份有限公司 物體搬運裝置、曝光裝置、平板顯示器的製造方法、元件製造方法、物體搬運方法以及曝光方法
JP6598242B2 (ja) * 2015-08-19 2019-10-30 芝浦メカトロニクス株式会社 基板処理装置、および基板処理方法
KR101964150B1 (ko) 2017-01-10 2019-04-02 삼성디스플레이 주식회사 기판 세정 장치 및 그것을 이용한 기판 세정 방법
CN108666232B (zh) * 2017-03-28 2021-11-12 雷仲礼 基板处理系统、基板翻转装置和方法
JP7166817B2 (ja) * 2018-07-12 2022-11-08 株式会社荏原製作所 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置
KR102222263B1 (ko) * 2018-09-06 2021-03-04 세메스 주식회사 기판 처리 장치
CN109835715A (zh) * 2019-02-02 2019-06-04 威海瑞翼德机械制造有限公司 一种玻璃基板搬送装置
CN112239069A (zh) * 2019-07-19 2021-01-19 亚智科技股份有限公司 牙叉式基板运输装置及其方法
CN112495879B (zh) * 2020-11-17 2022-01-25 佳木斯大学 一种医疗钛合金接骨板清洗装置
JP7419320B2 (ja) 2021-09-30 2024-01-22 芝浦メカトロニクス株式会社 基板処理装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050004347A (ko) * 2003-07-02 2005-01-12 주식회사 디엠에스 도킹형 기판 이송 및 처리 시스템과, 그를 이용한 이송 및처리 방법
KR20050104457A (ko) * 2004-04-28 2005-11-03 세메스 주식회사 반도체 제조 설비
KR100962362B1 (ko) * 2008-06-27 2010-06-10 주식회사 디엠에스 기판세정장치

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5672040A (en) * 1994-03-07 1997-09-30 Sony Corporation Parts feeding apparatus and parts feeding process
TW318258B (ko) * 1995-12-12 1997-10-21 Tokyo Electron Co Ltd
US6921467B2 (en) * 1996-07-15 2005-07-26 Semitool, Inc. Processing tools, components of processing tools, and method of making and using same for electrochemical processing of microelectronic workpieces
JP2001113441A (ja) * 1999-10-18 2001-04-24 Juki Corp 軸の位置決め処理方法
US20020025244A1 (en) * 2000-04-12 2002-02-28 Kim Ki-Sang Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
EP1452473A3 (en) * 2003-02-27 2006-01-11 Fuji Photo Film Co., Ltd. Sheet-processing apparatus
KR100949502B1 (ko) * 2005-06-20 2010-03-24 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치
KR100674882B1 (ko) * 2005-10-24 2007-01-29 주식회사 디엠에스 기판 이송용 트랜스퍼
JP4950745B2 (ja) * 2007-04-19 2012-06-13 株式会社ダイヘン 搬送装置
KR101427596B1 (ko) * 2007-07-26 2014-08-08 삼성디스플레이 주식회사 기판이송장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050004347A (ko) * 2003-07-02 2005-01-12 주식회사 디엠에스 도킹형 기판 이송 및 처리 시스템과, 그를 이용한 이송 및처리 방법
KR20050104457A (ko) * 2004-04-28 2005-11-03 세메스 주식회사 반도체 제조 설비
KR100962362B1 (ko) * 2008-06-27 2010-06-10 주식회사 디엠에스 기판세정장치

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180025075A (ko) 2016-08-31 2018-03-08 씨디에스(주) 기판 부상 건조 장치
KR20180025074A (ko) 2016-08-31 2018-03-08 씨디에스(주) 경사구조를 이용한 기판 부상 이송장치
KR101958111B1 (ko) 2017-09-29 2019-03-14 씨디에스(주) 경사구조를 이용한 기판 부상 이송장치
KR101927105B1 (ko) 2018-04-16 2018-12-10 김은호 기판 건조 장치
KR101927102B1 (ko) 2018-08-10 2018-12-10 김은호 컴팩트형 기판 건조 장치
KR102113084B1 (ko) * 2020-02-04 2020-05-20 (주)케이엔디시스템 Lng 선박 내부 패널 설치용 전면 입출입식 소형 접착제 자동 도포 장치

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CN102376526A (zh) 2012-03-14
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US9087866B2 (en) 2015-07-21
CN102376526B (zh) 2014-06-18
US20120031438A1 (en) 2012-02-09

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