KR101863190B1 - 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 일렬로 배치되고, 기판이 순차적으로 이동하며 처리 공정이 수행되는 복수개의 처리 유닛과; 상기 처리 유닛의 상대 높이가 변경되도록 상기 처리 유닛을 승강 또는 하강시키는 구동기와; 각각의 상기 처리 유닛 내에 제공되고, 상기 기판이 이송되는 방향과 나란하게 배치되어 상기 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법{SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다층으로 제공된 챔버들을 가진 처리 유닛들이 일렬로 배치된 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 패널 등을 제작하기 위하여, 기판에 증착, 도포, 식각, 현상 및 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이와 같은 공정들은 해당 공정을 수행하기 위한 다수의 처리 유닛(또는 챔버)에서 이뤄진다. 각 처리 유닛들 사이에는 인접하는 처리 유닛으로 기판을 이송시키기 위한 컨베이어 유닛과 같은 기판 이송 장치가 설치된다. 각 처리 유닛들은 연속적으로 배치되는 인-라인(IN-LINE) 설비로 구비된다. 특허문헌 1에는 다수의 처리 유닛들이 인-라인(IN-LINE)으로 배치된 기판 처리 장치가 기재되어 있다. 그러나, 특허문헌 1의 기판 처리 장치는 일 예로, 식각유닛 내의 기판 처리 공정이 완료되어도 세정유닛 내의 기판 처리 공정이 완료되지 않으면, 식각유닛 내의 기판이 세정유닛으로 이송되지 못하므로 작업 효율이 낮다.
특허문헌 1 : 한국공개특허 10-2011-0011908 (2011. 02. 09. 공개)
본 발명의 목적은 기판 처리 효율을 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 목적은 장치 구성 비용을 절감시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 일렬로 배치되고, 기판이 순차적으로 이동하며 처리 공정이 수행되는 복수개의 처리 유닛과; 상기 처리 유닛의 상대 높이가 변경되도록 상기 처리 유닛을 승강 또는 하강시키는 구동기와; 각각의 상기 처리 유닛 내에 제공되고, 상기 기판이 이송되는 방향과 나란하게 배치되어 상기 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 처리 유닛은, 제 1 처리 유닛과; 상기 제 1 처리 유닛에 인접하여 배치된 제 2 처리 유닛을 포함하고, 상기 제 1 처리 유닛과 상기 제 2 처리 유닛 중 적어도 하나는 복수개의 챔버를 가지며, 상기 구동기는, 상기 제 1 처리 유닛과 상기 제 2 처리 유닛의 상대 높이가 변경되도록 상기 제 1 처리 유닛과 상기 제 2 처리 유닛 중 적어도 하나를 승강 또는 하강시키는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 처리 유닛은, 상기 기판에 감광액을 도포하는 도포 유닛과; 상기 감광액이 도포된 상기 기판을 건조시키는 건조 유닛과; 상기 감광액이 도포된 상기 기판을 가열 또는 냉각시키는 베이크 유닛을 포함하고, 상기 구동기는, 상기 건조 유닛을 상하로 이동시키는 건조 유닛 구동기와; 상기 베이크 유닛을 상하로 이동시키는 베이크 유닛 구동기를 포함하며, 상기 건조 유닛은 복수개의 건조 챔버가 적층된 구조이고, 상기 베이크 유닛은 복수개의 베이크 챔버가 적층된 구조인 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 건조 유닛 구동기는, 상기 도포 유닛에서 도포 공정이 완료된 상기 기판이 상기 건조 챔버 중 어느 하나로 이송되도록 상기 건조 유닛을 승강 또는 하강시키고, 상기 베이크 유닛 구동기는, 상기 건조 챔버에서 건조 공정이 완료된 상기 기판이 상기 베이크 챔버 중 어느 하나로 이송되도록 상기 베이크 유닛을 승강 또는 하강시키는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 기판 이송 유닛은, 상기 처리 유닛 내에서 상기 기판이 이송되는 방향과 나란하게 배치된 복수개의 롤러와; 상기 롤러에 결합된 이송 샤프트와; 상기 이송 샤프트에 회전 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 일렬로 배치된 복수개의 처리 유닛을 거치며 기판 처리 공정이 수행되고, 상기 복수개의 처리 유닛 중 적어도 하나는 적층된 복수개의 챔버를 가지며, 어느 하나의 처리 유닛의 챔버에서 인접한 다른 하나의 처리 유닛의 챔버로 상기 기판이 이송될 때, 상기 기판이 이송되는 처리 유닛들 사이의 상대 높이가 변경되는 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 기판은 상기 처리 유닛 내에서 상기 기판이 이송되는 방향에 나란하게 배치된 기판 이송 유닛을 통해 이송되는 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 처리 유닛들을 다층의 챔버들로 구성하여 기판 처리 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 기판 이송 로봇을 대체하여 기판 처리 장치의 구성 비용을 절감시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 평면 배치도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 측면 배치도이다.
도 3은 도 2의 건조 챔버의 구조를 보여주는 정면도이다.
도 4는 도 2의 건조 챔버의 구조를 보여주는 측면도이다.
도 5는 도 2의 베이크 챔버의 구조를 보여주는 정면도이다.
도 6은 도 2의 베이크 챔버의 구조를 보여주는 측면도이다.
도 7 내지 도 9는 각 챔버들 사이에 기판이 이송되는 예를 보여주는 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 평면 배치도이다. 도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 측면 배치도이다.
기판 처리 장치는 일렬로 배치되고, 기판이 순차적으로 이동하며 처리 공정이 수행되는 복수개의 처리 유닛을 갖는다. 도 1과 도 2를 참고할 때, 기판 처리 장치(1)는 버퍼 유닛(100), 도포 유닛(200), 건조 유닛(300), 그리고 베이크 유닛들(400,500)을 가진다. 이하, 버퍼 유닛(100), 도포 유닛(200), 건조 유닛(300), 그리고 베이크 유닛들(400,500)이 배치된 방향을 제 1 방향(12)이라 하고, 상부에서 보았을 때 제 1 방향(12)에 수직인 방향을 제 2 방향(14)이라 하며, 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)에 모두 수직인 방향을 제 3 방향(16)이라 한다. 버퍼 유닛(100), 도포 유닛(200), 건조 유닛(300), 그리고 베이크 유닛들(400,500)은 제 1 방향(12)에 나란하게 일렬로 배치된다. 노광 유닛(600)은 제 2 베이크 유닛(500)에 인접하여 배치될 수 있다.
버퍼 유닛(100)은 기판(S)이 일시적으로 머무는 공간을 제공한다. 버퍼 유닛(100)은 세정 유닛(미도시)으로부터 전송된 기판(S)을 일시적으로 보관한 후, 도포 유닛(200)으로 기판(S)을 이송할 수 있다. 또한, 버퍼 유닛(100)은 처리 공정이 수행될 기판(S)을 일시적으로 보관한 후, 도포 유닛(200)으로 기판(S)을 이송할 수도 있다.
도포 유닛(200)은 버퍼 유닛(100)에 인접하게 배치된다. 도포 유닛(200)은 하우징(210), 도포 노즐(220), 그리고 기판 이송 유닛(230)을 가진다. 하우징(210)은 그 내부에서 기판(S) 상에 처리액 도포 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 도포 노즐(220)은 하우징(210)의 내부 상측에 제공된다. 도포 노즐(220)은 기판(S) 상에 처리액을 분사한다. 일 예로, 도포 노즐(220)은 기판(S) 상에 감광액을 분사할 수 있다. 기판 이송 유닛(230)은 롤러(231), 이송 샤프트(233), 그리고 구동부(미도시)를 가진다. 롤러(231)는 복수개로 제공된다. 롤러(231)는 기판(S)이 이송되는 방향과 나란하게 배치된다. 롤러(231)는 기판(S)의 하부면 가장자리를 지지한다. 이송 샤프트(233)는 롤러(231)에 결합된다. 구동부(미도시)는 이송 샤프트(233)에 회전 구동력을 제공한다.
건조 유닛(300)은 도포 유닛(200)에 인접하게 배치된다. 건조 유닛(300)은 건조 챔버들(300a,300b)을 가진다. 건조 유닛(300)은 1개 또는 3개 이상의 건조 챔버를 가질 수 있다. 건조 챔버들(300a,300b)은 제 3 방향(16)에 나란하게 적층된 구조를 가진다. 건조 챔버들(300a,300b)은 서로 유사한 구조로 제공된다. 건조 유닛 구동기(310)는 건조 유닛(300)을 승강 또는 하강시킨다.
도 3은 도 2의 건조 챔버의 구조를 보여주는 정면도이다. 도 4는 도 2의 건조 챔버의 구조를 보여주는 측면도이다.
도 3과 도 4를 참고할 때, 건조 챔버(300a)는 하우징(320), 흡입 부재(340), 그리고 기판 이송 유닛(350)을 가진다. 하우징(320)은 그 내부에서 기판(S)의 건조 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 흡입 부재(340)는 하우징(320)에 진공라인(341)으로 연결된다. 흡입 부재(340)는 공정시 하우징(320) 내 공기를 외부로 배출시켜 기판(S)을 감압 건조시킨다. 기판 이송 유닛(350)은 롤러(351), 이송 샤프트(353), 그리고 구동부(미도시)를 가진다. 롤러(351)는 복수개로 제공된다. 롤러(351)는 기판(S)이 이송되는 방향과 나란하게 배치된다. 롤러(351)는 기판(S)의 하부면 가장자리를 지지한다. 이송 샤프트(353)는 롤러(351)에 결합된다. 구동부(미도시)는 이송 샤프트(353)에 회전 구동력을 제공한다.
베이크 유닛들(400,500)은 제 1 베이크 유닛(400)과 제 2 베이크 유닛(500)을 가진다. 제 1 베이크 유닛(400)과 제 2 베이크 유닛(500)은 인접하게 배치된다. 제 1 베이크 유닛(400)은 제 1 베이크 공정을 수행하고, 제 2 베이크 유닛(500)은 제 2 베이크 공정을 수행한다. 제 1 베이크 공정은 기판(S)을 가열하는 공정이고, 제 2 베이크 공정은 기판(S)을 냉각하는 공정일 수 있다. 제 1 베이크 유닛(400)은 3개의 베이크 챔버들(400a,400b,400c)이 제 3 방향(16)에 나란하게 적층된 구조를 가질 수 있다. 이와 달리, 제 1 베이크 유닛(400)은 2개 이하 또는 4개 이상의 베이크 챔버들을 가질 수 있다. 제 2 베이크 유닛(500)은 4개의 베이크 챔버들(500a,500b,500c,500d)이 제 3 방향(16)에 나란하게 적층된 구조를 가질 수 있다. 이와 달리, 제 2 베이크 유닛(500)은 3개 이하 또는 5개 이상의 베이크 챔버들을 가질 수 있다. 제 1 베이크 유닛(400)을 구성하는 베이크 챔버들(400a,400b,400c)은 서로 유사한 구조로 제공되고, 제 2 베이크 유닛(500)을 구성하는 베이크 챔버들(500a,500b,500c,500d)은 서로 유사한 구조로 제공된다. 구동기(410)는 제 1 베이크 유닛(400)을 승강 또는 하강시키고, 구동기(510)는 제 2 베이크 유닛(500)을 승강 또는 하강시킨다.
도 5는 도 2의 베이크 챔버의 구조를 보여주는 정면도이다. 도 6은 도 2의 베이크 챔버의 구조를 보여주는 측면도이다.
도 5와 도 6을 참고하면, 베이크 챔버(400a)는 하우징(420), 배기부재(430), 지지대(440), 구동기(450), 그리고 기판 이송 유닛(460)을 가진다. 하우징(420)은 그 내부에서 기판(S)의 베이크 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 배기부재(430)는 베이크 공정시 하우징(420) 내 공기를 외부로 배출시킨다. 지지대(440)는 기판(S)을 지지한다. 지지대(440)는 히터(443)를 가질 수 있다. 이 때, 지지대(440)는 기판(S)을 가열한다. 이와 달리, 지지대(440)는 냉각부재를 가질 수도 있다. 이 때, 지지대(440)는 기판(S)을 냉각시킨다. 구동기(450)는 지지대(440)를 상하로 이동시킨다. 기판 이송 유닛(460)은 롤러(461), 이송 샤프트(463), 그리고 구동부(미도시)를 가진다. 롤러(461)는 복수개로 제공된다. 롤러(461)는 기판(S)이 이송되는 방향과 나란하게 배치된다. 롤러(461)는 기판(S)의 하부면 가장자리를 지지한다. 이송 샤프트(463)는 롤러(461)에 결합된다. 구동부(미도시)는 이송 샤프트(463)에 회전 구동력을 제공한다.
도면들을 참고하여 기판 처리 장치로 기판을 처리하는 과정을 설명한다.
도 2를 참고할 때, 일부의 처리 공정이 수행된 기판(S) 또는 처리 공정이 수행될 기판(S)은 버퍼 유닛(100)에 일시적으로 보관된 후, 도포 유닛(200)의 하우징(210) 내부로 이송된다. 하우징(210) 내부에서 기판 이송 유닛(230)은 기판(S)을 제 1 방향(12)에 나란한 방향으로 이송하고, 도포 노즐(220)은 이송되는 기판(S) 상에 처리액을 분사한다. 처리액이 도포된 기판(S)은 건조 유닛(300)으로 이송된다. 이 때, 기판(S)은 건조 챔버들(300a,300b) 중 비어 있는 건조 챔버로 이송된다. 즉, 도 7을 참고할 때, 건조 챔버(300a)로 이송된 기판(S)의 건조 공정이 아직 완료되지 않은 상태에서 도포 유닛(200)으로부터 기판(S)이 건조 유닛(300)으로 이송되는 경우, 구동기(310)는 건조 유닛(300)을 하강시켜 도포 유닛(200)으로부터 이송되는 기판(S)이 건조 챔버(300b)로 이송되도록 한다. 이와 같이 건조 유닛(300)을 복수개의 적층된 건조 챔버들로 제공하고, 도포 유닛(200)으로부터 이송되는 기판(S)이 비어 있는 건조 챔버로 이송되도록 구동기(310)가 건조 유닛(300)을 승강 또는 하강시켜 건조 유닛(300)과 도포 유닛(200) 사이의 상대 높이를 변경시킴으로써, 기판 처리 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 3을 참고할 때, 기판 이송 유닛(350)은 건조 챔버(300a)의 하우징(320) 내부에서 기판(S)을 제 1 방향(12)에 나란한 방향으로 이송하고, 하우징(320)에 연결된 흡입부재(340)는 기판(S)을 감압 건조시킨다.
다시 도 2를 참고할 때, 건조 공정이 완료된 기판(S)은 제 1 베이크 유닛(400)으로 이송된다. 이 때, 기판(S)은 베이크 챔버들(400a,400b,400c) 중 비어 있는 베이크 챔버로 이송된다. 즉, 도 8을 참고할 때, 베이크 챔버(400a)로 이송된 기판(S)의 제 1 베이크 공정이 아직 완료되지 않은 상태에서 건조 유닛(300)으로부터 기판(S)이 제 1 베이크 유닛(400)으로 이송되는 경우, 구동기(410)는 제 1 베이크 유닛(400)을 하강시켜 건조 유닛(300)으로부터 이송되는 기판(S)이 베이크 챔버들(400b,400c) 중 비어 있는 베이크 챔버로 이송되도록 한다. 이와 같이 제 1 베이크 유닛(400)을 복수개의 적층된 베이크 챔버들로 구성하고, 건조 유닛(300)으로부터 이송되는 기판(S)이 비어 있는 베이크 챔버로 이송되도록 구동기(410)가 제 1 베이크 유닛(400)을 승강 또는 하강시켜 제 1 베이크 유닛(400)과 건조 유닛(300) 사이의 상대 높이를 변경시킴으로써, 기판 처리 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 5를 참고할 때, 베이크 챔버(400a)의 하우징(420) 내부에서 기판 이송 유닛(460)은 기판(S)을 제 1 방향(12)에 나란한 방향으로 이송하고, 지지대(440)는 기판(S)의 하부면을 지지하며 제 1 베이크 공정을 수행한다.
다시 도 2를 참고할 때, 제 1 베이크 공정이 완료된 기판(S)은 제 2 베이크 유닛(500)으로 이송된다. 이 때, 기판(S)은 베이크 챔버들(500a,500b,500c,500d) 중 비어 있는 베이크 챔버로 이송된다. 즉, 도 9를 참고할 때, 베이크 챔버(500a)로 이송된 기판(S)의 제 2 베이크 공정이 아직 완료되지 않은 상태에서 제 1 베이크 유닛(400)으로부터 기판(S)이 제 2 베이크 유닛(500)으로 이송되는 경우, 구동기(510)는 제 2 베이크 유닛(500)을 하강시켜 제 1 베이크 유닛(400)으로부터 이송되는 기판(S)이 베이크 챔버들(500b,500c,500d) 중 비어 있는 베이크 챔버로 이송되도록 한다. 이와 같이 제 2 베이크 유닛(500)을 복수개의 적층된 베이크 챔버들로 구성하고, 제 1 베이크 유닛(400)으로부터 이송되는 기판(S)이 비어 있는 베이크 챔버로 이송되도록 구동기(510)가 제 2 베이크 유닛(500)을 승강 또는 하강시켜 제 2 베이크 유닛(500)과 제 1 베이크 유닛(400) 사이의 상대 높이를 변경시킴으로써, 기판 처리 공정의 효율을 향상시킬 수 있다. 베이크 챔버들(500a,500b,500c,500d) 내에서 기판(S)이 이송되는 방식은 상술한 베이크 챔버들(400a,400b,400c) 내에서 기판(S)이 이송되는 방식과 유사하다. 한편, 제 2 베이크 유닛(500)을 구성하는 베이크 챔버들(500a,500b,500c,500d)의 지지대(540)에는 냉각부재(543)가 제공되어, 기판(S)을 냉각한다. 도 2에서 도면번호 560은 기판 이송 유닛, 561은 롤러, 563은 이송 샤프트이다. 제 2 베이크 유닛(500)에서 제 2 베이크 공정이 완료된 기판(S)은 노광 유닛(600)으로 이송된다.
한편, 상술한 실시예에서 기판 처리 장치는 기판 상에 도포 공정이 수행되는 경우를 예로 들었으나, 이와 달리 기판 상에 증착 공정, 식각 공정, 현상 공정, 세정 공정 등 다양한 공정이 수행되는 기판 처리 장치에 적용될 수 있다.
청구항에 따라 건조 유닛(300)이 제 1 처리 유닛으로, 제 1 베이크 유닛(400)이 제 2 처리 유닛으로 표현되거나, 또는 제 1 베이크 유닛(400)이 제 1 처리 유닛으로, 제 2 베이크 유닛(500)이 제 2 처리 유닛으로 표현될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 **
1 : 기판 처리 장치
100 : 버퍼 유닛
200 : 도포 유닛
300 : 건조 유닛
400 : 제 1 베이크 유닛
500 : 제 2 베이크 유닛
600 : 현상 유닛

Claims (7)

  1. 일렬로 배치되고, 기판이 순차적으로 이동하며 처리 공정이 수행되는 복수개의 처리 유닛과;
    상기 처리 유닛의 상대 높이가 변경되도록 상기 처리 유닛을 승강 또는 하강시키는 구동기와;
    각각의 상기 처리 유닛 내에 제공되고, 상기 기판이 이송되는 방향과 나란하게 배치되어 상기 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 포함하며,
    상기 처리 유닛은,
    제 1 처리 유닛과;
    상기 제 1 처리 유닛에 인접하여 배치된 제 2 처리 유닛을 포함하고,
    상기 제 1 처리 유닛과 상기 제 2 처리 유닛 중 적어도 하나는 복수개의 챔버를 가지며,
    상기 구동기는,
    상기 제 1 처리 유닛 또는 상기 제 2 처리 유닛 중 기판을 처리한 챔버와, 다른 처리 유닛 중 비워진 챔버를 수평하게 나열시키는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동기는, 상기 제 1 처리 유닛과 상기 제 2 처리 유닛의 상대 높이가 변경되도록 상기 제 1 처리 유닛과 상기 제 2 처리 유닛 중 적어도 하나를 승강 또는 하강시키는 기판 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 처리 유닛은,
    상기 기판에 감광액을 도포하는 도포 유닛과;
    상기 감광액이 도포된 상기 기판을 건조시키는 건조 유닛과;
    상기 감광액이 도포된 상기 기판을 가열 또는 냉각시키는 베이크 유닛을 포함하고,
    상기 구동기는,
    상기 건조 유닛을 상하로 이동시키는 건조 유닛 구동기와;
    상기 베이크 유닛을 상하로 이동시키는 베이크 유닛 구동기를 포함하며,
    상기 건조 유닛은 복수개의 건조 챔버가 적층된 구조이고,
    상기 베이크 유닛은 복수개의 베이크 챔버가 적층된 구조인 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 건조 유닛 구동기는,
    상기 도포 유닛에서 도포 공정이 완료된 상기 기판이 상기 건조 챔버 중 어느 하나로 이송되도록 상기 건조 유닛을 승강 또는 하강시키고,
    상기 베이크 유닛 구동기는,
    상기 건조 챔버에서 건조 공정이 완료된 상기 기판이 상기 베이크 챔버 중 어느 하나로 이송되도록 상기 베이크 유닛을 승강 또는 하강시키는 기판 처리 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 이송 유닛은,
    상기 처리 유닛 내에서 상기 기판이 이송되는 방향과 나란하게 배치된 복수개의 롤러와;
    상기 롤러에 결합된 이송 샤프트와;
    상기 이송 샤프트에 회전 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 일렬로 배치된 복수개의 처리 유닛을 거치며 기판 처리 공정이 수행되고, 상기 복수개의 처리 유닛 중 적어도 하나는 적층된 복수개의 챔버를 가지며, 어느 하나의 처리 유닛의 챔버에서 인접한 다른 하나의 처리 유닛의 챔버로 상기 기판이 이송될 때, 상기 기판이 이송되는 처리 유닛들 사이의 상대 높이가 변경되며,
    상기 기판이 처리된 챔버와 다른 처리 유닛의 비워진 챔버가 수평하게 나열된 후, 상기 기판이 처리된 챔버로부터 수평하게 나열된 상기 다른 처리 유닛의 챔버로 상기 기판이 이송되는 기판 처리 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기판은 상기 처리 유닛 내에서 상기 기판이 이송되는 방향에 나란하게 배치된 기판 이송 유닛을 통해 이송되는 기판 처리 방법.
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