KR101600394B1 - 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치는 육면체 형상의 프레임부재와, 상기 프레임부재의 일측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 1 상하구동부재와, 상기 프레임부재의 타측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 2 상하구동부재와, 상기 제 1 상하구동부재와 제 2 상하구동부재에 대해 수직한 방향으로 배치되는 로딩모듈부와, 상기 로딩모듈부에 대해 수직한 방향으로 배치되는 투입모듈부와, 상기 투입모듈부로부터 메거진을 열처리 공정챔버 내부로 이송시키기 위한 로봇암을 포함한다.
본 발명에 의해, 반도체 부품을 적재한 매거진 이송 효율을 상승시킬 수 있다.
또한, 매거진을 이송하기 위한 장치를 공간 효율적으로 설치가 가능하고, 열처리 공정 챔버의 구성에 대해 유연하게 변경 설치할 수 있다.

Description

반도체 부품 적재용 매거진 이송장치{TRANSPORTING APPARATUS FOR MAGAZINE ACCOMMODATING SEMICONDUCTOR COMPONENT}

본 발명은 반도체 부품을 적재하는 매거진을 이송하기 위한 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 매거진 이송 효율을 상승시키면서도 공간 효율적으로 설치가 가능하고, 열처리 공정 챔버의 구성에 대해 유연하게 변경 설치가 가능하도록 구성되는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치에 관한 발명이다.

일반적으로 반도체 부품은 웨이퍼 상에 포토리소그라피, 식각, 이온주입, 확산, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하여 복수의 회로 패턴을 적층하는 방법으로 만들어진다.

반도체 부품의 열처리를 위한 열처리장치는, 고속열처리(Rapid Thermal Anealing), 고속 열세정(Rapid Thermal Cleaning), 고속 열화학 증착(Rapid Thermal Chemical Vap. or Deposition) 등의 열처리를 위한 장비이다.

상기 열처리장치에서는 반도체 부품을 공정챔버 내부로 이송시키고, 상기 반도체 부품에 압력과 함께 열을 가하도록 구성된다.

상기와 같은 공정챔버는 챔버 내부의 온도를 승온 및 감온시킬 수 있도록 구성되며, 공정챔버 내부 각 부분의 온도가 균일하게 상승되도록 온도 제어된다.

상기와 같은 반도체 부품의 생산 및 열처리를 위한 각 단위 공정들이 절차에 따라 수행되기 위해서는 각각의 공정이 완료된 후 후속공정이 행해질 장비로 반도체 부품이 이송되어야 하는바, 이를 위해 반도체 제조장비는 복수 개의 반도체 부품들을 매거진에 적재한 상태에서 이송하고 있다.

그런데, 반도체 부품의 생산성 향상을 위해서는 각 공정장치에서 기판을 적재한 매거진을 신속히 공정장치 내부로 인입시키거나 공정장치로부터 인출 이송시켜야 한다.

상기와 같은 공정장치에 대한 매거진의 인입, 인출 속도는 공정의 생산 수율을 결정짓는 요인이 되며, 이러한 매거진 이송 속도의 제한으로 인해 작업 수율을 상승시키는 데에 한계가 되기도 한다.

본 발명의 목적은, 반도체 부품을 적재한 매거진 이송 효율을 상승시킬 수 있도록 구성되는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은, 공간 효율적으로 설치가 가능하고, 열처리 공정 챔버의 구성에 대해 유연하게 변경 설치가 가능하도록 구성되는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치는 육면체 형상의 프레임부재와, 상기 프레임부재의 일측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 1 상하구동부재와, 상기 프레임부재의 타측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 2 상하구동부재와, 상기 제 1 상하구동부재와 제 2 상하구동부재에 대해 수직한 방향으로 배치되는 로딩모듈부와, 상기 로딩모듈부에 대해 수직한 방향으로 배치되는 투입모듈부와, 상기 투입모듈부로부터 메거진을 열처리 공정챔버 내부로 이송시키기 위한 로봇암을 포함한다.

바람직하게는, 상기 제 1, 제 2 상하구동부재는 상기 프레임부재에 설치되는 이송레일부와 상기 이송레일부를 따라 상하 방향으로 구동되는 매거진리프트부를 포함하며, 상기 매거진리프트부는 동일한 평면 내에서 회전가능하도록 구성된다.

여기서, 상기 로딩모듈부에는 이송용 롤러가 설치되며, 상기 이송용 롤러는 모터에 의해 회전 구동될 수 있다.

한편, 상기 로봇암은 상하 방향으로 이송되는 베이스부재 상에서 좌우 방향으로 이송가능하도록 설치되되, 상기 로봇암은 상기 베이스부재에 설치되는 기저부와 상기 기저부에 대해 전후 방향으로 슬라이딩가능하게 설치되는 아암부를 포함할 수 있다.

또한, 상기 로딩모듈부로부터 상기 투입모듈부로 매거진을 이송하기 위한 이송모듈부를 포함할 수 있다.

바람직하게는, 상기 로딩모듈부에 대해 수직한 방향으로 배치되는 버퍼모듈부를 포함한다.

또한, 상기 로딩모듈부에 대해 수직한 방향으로 배치되는 에러배출모듈부를 포함할 수 있다.

본 발명에 의해, 반도체 부품을 적재한 매거진 이송 효율을 상승시킬 수 있다.

또한, 매거진을 이송하기 위한 장치를 공간 효율적으로 설치가 가능하고, 열처리 공정 챔버의 구성에 부합되도록 유연하게 변경 설치할 수 있다.

첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치의 후방 사시도이며,
도 2 는 상기 매거진 이송장치의 내부 구성을 도시한 또 다른 사시도이며,
도 3 은 상기 매거진 이송장치의 전방 사시도이며,
도 4 는 상기 매거진 이송장치에 포함되는 로봇암의 사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1 은 본 발명에 따른 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치의 후방 사시도이며, 도 2 는 상기 매거진 이송장치의 내부 구성을 도시한 또 다른 사시도이며, 도 3 은 상기 매거진 이송장치의 전방 사시도이며, 도 4 는 상기 매거진 이송장치에 포함되는 로봇암의 사시도이다.

본 발명에 따른 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치는 육면체 형상의 프레임부재(10)와, 상기 프레임부재(10)의 일측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 1 상하구동부재(20)와, 상기 프레임부재(10)의 타측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 2 상하구동부재(30)와, 상기 제 1 상하구동부재(20)와 제 2 상하구동부재(30)에 대해 수직한 방향으로 배치되는 로딩모듈부(40)와, 상기 로딩모듈부(40)에 대해 수직한 방향으로 배치되는 투입모듈부(50)와, 상기 투입모듈부(50)로부터 메거진(100)을 열처리 공정챔버 내부로 이송시키기 위한 로봇암(70)을 포함한다.

상기 프레임부재(10)는 본 발명에 따른 매거진 이송장치의 전체 뼈대를 이루는 구성으로서, 금속재 파이프 또는 기둥 등을 이용하여 구성되며, 전체적으로 육면체의 형상으로 형성된다.

상기 프레임부재(10)는 이전 공정으로부터 이송된 매거진(100)을 상기 공정챔버(200) 내부로 이송할 수 있도록 반도체 부품의 공정 처리를 위한 공정챔버(200) 전방에 배치된다.

육면체 형상으로 형성되는 상기 프레임부재(10)의 일측 변 부분에는 이전 공정으로부터 이송된 매거진을 상기 프레임부재(10)의 높이 방향으로 이송시키기 위한 제 1 상하구동부재(20)가 설치된다.

상기 제 1 상하구동부재(20)가 상승된 상태에서 이전의 공정장치로부터 이송된 매거진(100)을 넘겨 받고, 상기 제 1 상하구동부재(20)가 하강되어 상기 로딩모듈부(40)로 매거진(100)을 넘겨 주게 된다.

한편, 상기 육면체 형상으로 형성되는 상기 프레임부재(10)의 타측 변 부분에는, 상기 공정챔버(200)로부터 배출된 매거진(100)을 타 공정장치로 이송시키기 위한 제 2 상하구동부재(30)가 설치된다.

그리하여, 상기 제 2 상하구동부재(30)가 하강된 상태에서 상기 공정장치(200)로부터 인출된 매거진(100)을 넘겨받은 상태에서, 상기 제 2 상하구동부재(30)가 상승되어 타 공정장치로 넘겨 주게 된다.

상기 제 1, 제 2 상하구동부재(20, 30)는 상기 프레임부재(10)에 설치되는 이송레일부(22, 32)와 상기 이송레일부(22, 32)를 따라 상하 방향으로 구동되는 매거진리프트부(24, 34)를 포함한다.

여기서, 상기 매거진리프트부(24, 34)는 동일한 평면 내에서 90도 회전가능하도록 구성된다.

그리하여, 예를 들어 도 1 에 도시된 우측 매거진리프트부(24)에 대해 최초 도 1 에 도시된 바와 같이 배치된 상태로 이전 공정으로부터 이송된 매거진(100)을 전달받고, 상기 매거진리프트부(24)가 하강되어 90도 회전됨으로써, 상기 로딩모듈부(40)로 매거진(100)을 넘겨줄 수 있다.

상기 로딩모듈부(40, 42)는 상기 제 1 상하구동부재(20)와 제 2 상하구동부재(30)에 대해 수직한 방향으로 배치된다.

상기 로딩모듈부(40, 42)는 상기 매거진리프트부(24)로부터 매거진(100)을 전달받는 구성으로서, 상기 로딩모듈부(40, 42)에는 이송용 롤러가 설치되며, 상기 이송용 롤러는 모터에 의해 회전 구동된다.

그리하여, 상기 로딩모듈부(40)에 설치되는 이송용 롤러를 회전시킴으로써, 상기 로딩모듈부(40, 42) 상에서 좌, 우 방향으로 상기 매거진(100)을 이동시킬 수 있다.

한편, 상기 투입모듈부(50)는 상기 로딩모듈부(40, 42)에 대해 수직한 방향으로 배치된다.

상기 투입모듈부(50)는 상기 로봇암(70)을 이용하여 상기 매거진(100)을 공정챔버(200) 내부로 이송시키기 이전에 매거진을 예를 들어, 6개 단위로 적재하기 위한 구성이다.

여기서, 상기 로딩모듈부(40, 42)로부터 상기 투입모듈부(50)로 매거진을 이송하기 위해 이송모듈부(60)가 설치된다.

상기 이송모듈부(60)는 도 2 에 도시된 바와 같이, 베이스부(66)에 상하 방향으로 이동될 수 있도록 설치된다.

또한, 상기 베이스부(66)는 상기 횡방향슬라이딩축(64) 상에서 횡방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다.

이러한 상태에서, 상기 횡방향슬라이딩축(64)은 전후방향슬라이딩축(62) 상에서 전후방향으로 슬라이딩가능하게 설치된다.

그리하여, 상기 이송모듈부(60)는 전, 후, 좌, 우 및 수직 상하방으로 이동될 수 있도록 구성되며, 상기 로딩모듈부(40, 42)에 놓여진 매거진(100)을 들어올려 상기 투입모듈부(50)로 이동시키도록 구성된다.

한편, 상기 투입모듈부(50) 상에 적재되어진 매거진(100)은 로봇암(70)에 의해 상기 공정챔버(200) 내부로 이송된다.

도 3 에 도시된 바와 같이, 상기 로봇암(70)은 수직슬라이딩축(80) 상에서 상하 방향으로 이송되도록 설치되는 베이스부재(90) 상에 설치된다.

여기서, 상기 베이스부재(90)에는 좌우 수평슬라이딩축(92)이 설치되어, 상기 로봇암(70)이 상기 수평슬라이딩축(92) 상에 설치됨으로써, 상기 로봇암(70)이 좌, 우, 상, 하 방향으로 이동될 수 있다.

또한, 상기 로봇암(70)은 도 3, 4 에 도시된 바와 같이, 상기 베이스부재(90)에 설치되는 기저부(72)와 상기 기저부(72)에 대해 전후 방향으로 슬라이딩가능하게 설치되는 복수 개의 아암부(74, 76, 78)를 포함한다.

그리하여, 상기 복수 개의 아암부(74, 76, 78)들이 서로에 대해 전후 방향으로 슬라이딩됨으로써, 상기 투입모듈부(50)에 놓여진 매거진(100)을 상기 공정챔버(200) 내부로 이송할 수 있다.

즉, 상기 복수 개의 아암부(74, 76, 78)들이 상기 투입모듈부(50)쪽으로 신장되어 매거진을 최외부 아암부(78) 상에 거치시킨 상태에서, 상기 복수 개의 아암부(74, 76, 78)들이 반대편 상기 공정챔버(200) 방향으로 신장됨으로써, 매거진(100)을 상기 공정챔버(200) 내로 이동시킬 수 있다.

한편, 상기 로딩모듈부(40, 42)의 측부에는 상기 로딩모듈부(40, 42)에 대해 수직한 방향으로 배치되는 버퍼모듈부(48)가 배치된다.

상기 버퍼모듈부(48)는 상기 로딩모듈부(40, 42) 상에 매거진(100)을 배치시키기에 무리가 될 정도로 적체되는 경우 일시적으로 매거진(100)을 적재하기 위한 구성으로서, 상기 버퍼모듈부(48)에 놓여지는 매거진(100)은 상기 제 1 상하구동부재(20)를 통해 상기 로딩모듈부(40, 42)로 이송하게 된다.

또한, 상기 로딩모듈부(40, 42)의 측부에는 상기 로딩모듈부(40, 42)에 대해 수직한 방향으로 배치되는 에러배출모듈부(44)가 설치된다.

상기 매거진(100)에는 매거진 식별을 위한 알에프아이디(RFID) 테그가 부착되며, 상기 알에프아이디 테그에 의해 불량 매거진으로 식별될 경우에는 상기 제 1 상하구동부재(20)에 의해 매거진(100)이 상기 에러배출모듈부(44)로 이송된다.

그리하여, 상기 에러배출모듈부(44)로 이송되는 매거진(100)을 식별하여 외부로 배출할 수 있다.

또한, 상기 로딩모듈부(40, 42)의 측부에는 매거진(100)을 인력에 의해 적재하기 위한 수동투입부(46)가 설치되어, 사람의 인력에 의해 상기 수동투입부(46)에 매거진(100)을 적재하고 이를 상기 제 1 구동부재(20)를 통해 상기 로딩모듈부(40, 42)로 이송할 수 있도록 구성된다.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.

10: 프레임부재
20: 제 1 상하구동부재
30: 제 2 상하구동부재
40, 42: 로딩모듈부
50: 투입모듈부
60: 이송모듈부
70: 로봇암
90: 베이스부재
100: 매거진
200: 공정챔버

Claims (7)

1. 육면체 형상의 프레임부재와;
   상기 프레임부재의 일측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 1 상하구동부재와;
   상기 프레임부재의 타측에서 상하 방향으로 구동되도록 설치되는 제 2 상하구동부재와;
   상기 제 1 상하구동부재와 제 2 상하구동부재에 대해 수직한 방향으로 배치되는 로딩모듈부와;
   상기 로딩모듈부에 대해 수직한 방향으로 배치되는 투입모듈부와;
   상기 투입모듈부로부터 메거진을 열처리 공정챔버 내부로 이송시키기 위한 로봇암을 포함하는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1, 제 2 상하구동부재는 상기 프레임부재에 설치되는 이송레일부와 상기 이송레일부를 따라 상하 방향으로 구동되는 매거진리프트부를 포함하며,
   상기 매거진리프트부는 동일한 평면 내에서 회전가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 로딩모듈부에는 이송용 롤러가 설치되며, 상기 이송용 롤러는 모터에 의해 회전 구동되는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 로봇암은 상하 방향으로 이송되는 베이스부재 상에서 좌우 방향으로 이송가능하도록 설치되되,
   상기 로봇암은 상기 베이스부재에 설치되는 기저부와 상기 기저부에 대해 전후 방향으로 슬라이딩가능하게 설치되는 아암부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 로딩모듈부로부터 상기 투입모듈부로 매거진을 이송하기 위한 이송모듈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 로딩모듈부에 대해 수직한 방향으로 배치되는 버퍼모듈부를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 로딩모듈부에 대해 수직한 방향으로 배치되는 에러배출모듈부을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 적재용 매거진 이송장치.

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