JP7166817B2 - 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置 - Google Patents
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Description
は類似の参照符号が付され、各実施形態の説明において同一または類似の要素に関する重複する説明は省略することがある。また、各実施形態で示される特徴は、互いに矛盾しない限り他の実施形態にも適用可能である。
ロードユニット100は、研磨および洗浄などの処理が行われる前の基板WFを基板処理装置1000内へ導入するためのユニットである。図2は、一実施形態によるロードユニット100を模式的に示す側面図である。一実施形態において、ロードユニット100は筐体102を備える。筐体102は基板WFを受け入れる側に入口開口104を備える。図2に示される実施形態においては、右側が入口側である。ロードユニット100は、入口開口104から処理対象である基板WFを受け入れる。ロードユニット100の上流(図2では右側)には、本開示による基板処理装置1000による基板WFの処理より前の処理工程が実施される処理装置が配置される。図2に示される実施形態において、ロードユニット100は、IDリーダー106を備える。IDリーダー106は、入口開口104から受け入れられた基板のIDを読み取る。基板処理装置1000は、読み取ったIDに応じて、基板WFに対して各種処理を行う。一実施形態において、IDリーダー106はなくてもよい。一実施形態において、ロードユニット100は、SMEMA(Surface Mount Equipment Manufacturers Association)の機械装置インタフェー規格(IPC-SMEMA-9851)に準拠するように構成される。
る。支持部材210は、搬送ローラ202により搬送される基板WFが、搬送ローラ202の間の隙間に潜り込むことを防止する。支持部材210は、基板WFが接触する搬送ローラ202の表面の高さよりもいくぶん低い位置に配置される。
図6は一実施形態による、搬送ユニット200を模式的に示す側面図である。図1に示される基板処理装置1000は、2つの搬送ユニット200A、200Bを備えている。2つの搬送ユニット200A、200Bは同一の構成とすることができるので、以下において、一括して搬送ユニット200として説明する。
に、搬送ユニット200は、搬送ユニット200内に基板WFを受け入れるために開閉可能な入口シャッタ218を有する。なお、一実施形態において、搬送ユニット200は、ロードユニット100と同様に、基板WFが搬送方向に隣接する搬送ローラ202の間の隙間に潜り込むことを防止する支持部材210(図7に非図示)と搬送される基板WFの幅方向両側に関して基板WFを支持するための複数のガイドローラ212(図7に図示)も配置されている。
)に移動可能である。
り、さらに第2ステージ270が、第1ステージ232に対して上昇した位置にあるときを示している。基板WFをプッシャ230から後述するトップリング302に受け渡すときは、図13に示されるように、基板WFを保持する第2ステージ270を第1ステージ232に対して上昇させる。
ジ232および第2ステージ270が上位置にあるときは、回転ステージ250の突起部250aは、2本の回転ストッパ282の先端部282bにより緩く挟まれる。先端部282bは基部282aよりも直径が小さいので、先端部282bは、回転ステージ250の突起部250aの回転を緩く制限する。そのため、2本の回転ストッパ282の先端部282bが突起部250aに緩く係合すると、回転ステージ250は、2つの先端部282bの間である程度の範囲でだけ回転することができる。
図19は一実施形態による、研磨ユニット300を概略的に示す斜視図である。図1に示される基板処理装置1000は、2つの研磨ユニット300A、300Bを備えている。2つの研磨ユニット300A、300Bは同一の構成とすることができるので、以下において、一括して研磨ユニット300として説明する。
このような溝を備えた研磨パッドで基板WFを研磨することで研磨液の使用量を抑制しながら、良好な研磨レートが得られる。
ている。
8を各弾性バッグにより、それぞれ独立して各リテーナ部材308の研磨パッド352に対する押圧力を調整することができる。また、一実施形態において、略四角のリング状の1つのリテーナ部材308、および1つの弾性バッグ314を採用してもよい。
乾燥ユニットは、基板WFを乾燥させるための装置である。図1に示される基板処理装置1000においては、乾燥ユニット500は、研磨ユニット300で研磨された後に、搬送ユニット200の洗浄部で洗浄された基板WFを乾燥させる。図1に示されるように、乾燥ユニット500は、搬送ユニット200の下流に配置される。
アンロードユニット600は、研磨および洗浄などの処理が行われた後の基板WFを基板処理装置1000の外へ搬出するためのユニットである。図1に示される基板処理装置1000においては、アンロードユニット600は、乾燥ユニット500で乾燥された後の基板を受け入れる。図1に示されるように、アンロードユニット600は、乾燥ユニット500の下流に配置される。
処理装置が配置されており、アンロードユニット600から次の処理工程の処理装置に引き渡される。
[形態1]形態1によれば、四角形の基板を搬送するための基板搬送装置が提供され、かかる基板搬送装置は、基板の下面を支持するように構成される複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラが取り付けられる複数のローラシャフトと、前記複数のローラシャフトを回転させるためのモータと、前記複数の搬送ローラの上にある基板を、前記複数の搬送ローラから離れるように持ち上げるためのプッシャと、を有し、前記プッシャは、前記複数のローラシャフトの間の隙間を通過することが可能なステージを有する。
において、さらに、前記複数の搬送ローラ上の所定の位置における基板の有無を検知するためのセンサを有する。
。
20…非パターン領域
100…ロードユニット
200…搬送ユニット
202…搬送ローラ
204…ローラシャフト
206…ギア
208…モータ
210…支持部材
212…ガイドローラ
214…補助ローラ
216…センサ
218…入口シャッタ
220…ストッパ
222…ストッパ移動機構
230…プッシャ
231…第1昇降機構
232…第1ステージ
233…第2昇降機構
234…支持柱
244…可動台座
246…固定台座
249…中間プレート
250…回転ステージ
270…第2ステージ
272…支持柱
280…XYストッパ
282…回転ストッパ
284…洗浄ノズル
286…出口シャッタ
290…押さえローラ
300…研磨ユニット
302…トップリング
306…ヘッド本体
308…リテーナ部材
310…弾性パッド
350…研磨テーブル
352…研磨パッド
500…乾燥ユニット
506…上搬送ローラ
530…ノズル
600…アンロードユニット
900…制御装置
1000…基板処理装置
WF…基板
Claims (30)
- 四角形の基板を搬送するための基板搬送装置であって、
基板の下面を支持するように構成される複数の搬送ローラと、
前記複数の搬送ローラが取り付けられる複数のローラシャフトと、
前記複数のローラシャフトを回転させるためのモータと、
前記複数の搬送ローラの上にある基板を、前記複数の搬送ローラから離れるように持ち上げるためのプッシャと、を有し、
前記プッシャは、前記複数のローラシャフトの間の隙間を通過することが可能なステージを有し、
前記プッシャは、トップリングに四角形の基板を受け渡すことが可能に構成されており、
前記プッシャの前記ステージは複数の支持柱を有し、
前記複数の支持柱は4つの角部にある支持柱を有し、前記角部にある支持柱のそれぞれは、トップリングを支持するための支持面と、トップリングを案内するための傾斜面と、を有する、
基板搬送装置。 - 請求項1に記載の基板搬送装置であって、
前記複数の搬送ローラの間に支持部材が配置されている、
基板搬送装置。 - 請求項1または2に記載の基板搬送装置であって、
基板の搬送方向に垂直である幅方向に基板を支持する複数のガイドローラを有する、
基板搬送装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
さらに、動力に接続されていない、自由に回転可能な補助ローラを有する、
基板搬送装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
基板は、デバイスとして使用されない非パターン領域を有し、
前記複数の搬送ローラは、基板の非パターン領域に接触可能に配置される、
基板搬送装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記複数の搬送ローラの少なくとも一部は導電性ポリマーから形成されている、
基板搬送装置。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、さらに、
マグネットギアを有し、
前記マグネットギアを介して前記モータは前記ローラシャフトを回転させる、
基板搬送装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、さらに、
前記複数の搬送ローラ上で搬送され基板の搬送経路に進入し、搬送中の基板が接触可能に構成されるストッパを有する、
基板搬送装置。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、さらに、
前記複数の搬送ローラ上の所定の位置における基板の有無を検知するためのセンサを有する、
基板搬送装置。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、さらに、
前記複数の搬送ローラにより搬送されている基板の上面を支持するように構成される複数の支持ローラを有する、
基板搬送装置。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記複数のローラシャフトを回転させるためのモータはサーボモータである、
基板搬送装置。 - 請求項1から11のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記プッシャは、前記ステージを上下方向へ昇降するための昇降機構を備え、前記昇降機構は、前記ステージが上昇した位置である上位置と、前記ステージが下降した位置である下位置との間で、前記ステージを移動可能であり、前記ステージが前記下位置から前記上位置に移動するときに、前記ステージの前記複数の支持柱の少なくとも一部が前記複数のローラシャフトの間の隙間を通過して、前記複数の搬送ローラ上にある基板を前記複数の支持柱で受け取るように構成される、
基板搬送装置。 - 請求項1から12のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記プッシャは、前記ステージを水平面内に直線運動させるための直線移動機構を有する、
基板搬送装置。 - 請求項1から13のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記プッシャは、前記ステージを水平面内で回転運動させるための回転移動機構を有する、
基板搬送装置。 - 請求項13に記載の基板搬送装置であって、
前記プッシャは、前記ステージの直線運動を防止するための直線運動防止機構を有する、
基板搬送装置。 - 請求項14に記載の基板搬送装置であって、
前記プッシャは、前記ステージの回転運動を防止するための回転運動防止機構を有する、
基板搬送装置。 - 基板処理装置であって、
基板を研磨するための研磨部と、
基板を洗浄するための洗浄部と、
基板を乾燥させるための乾燥部と、
前記研磨部、前記洗浄部、および前記乾燥部の間で基板を搬送する搬送部と、を有し、
前記搬送部は、請求項1から16のいずれか一項に記載の基板搬送装置を有する、
基板処理装置。 - 請求項17に記載の基板処理装置であって、
前記研磨部は、
研磨パッドを保持するためのテーブルと、
前記テーブルを回転駆動するためのテーブル駆動機構と、
基板を保持するためのトップリングと、
前記トップリングに保持された基板を、前記テーブル上に保持された研磨パッドに対して押し付けるための押圧機構と、を有し、
前記トップリングは、前記プッシャの前記ステージから基板を受け取ることが可能であり、且つ、前記トップリングが保持する基板を前記プッシャの前記ステージに受け渡すことが可能に構成される、
基板処理装置。 - 請求項18に記載の基板処理装置であって、
前記研磨部は、
前記テーブル上の前記研磨パッド上に研磨液を供給するための研磨液供給機構を有する、
基板処理装置。 - 請求項19に記載の基板処理装置であって、
前記研磨液供給機構は、前記テーブル内に設けられた流路を有し、前記流路は前記テーブルの表面および前記研磨パッドに画定された開口部に連通する、
基板処理装置。 - 請求項18から20のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記トップリングはエアバッグを有し、前記エアバッグ内に供給される流体の圧力により、基板の前記研磨パッドへの押圧力を制御することが可能に構成される、
基板処理装置。 - 請求項18から21のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記テーブルの表面は、前記テーブルから前記研磨パッドの剥離を容易にするためのシリコーン層またはフッ素系樹脂層を有する、
基板処理装置。 - 請求項18から22のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記基板処理装置は、前記テーブル上に保持される前記研磨パッドを有し、
前記研磨パッドの表面には、前記研磨パッドの外周に連通する溝と、前記研磨パッドの外周に連通しない溝と、を有する、
基板処理装置。 - 請求項23に記載の基板処理装置であって、
前記研磨パッドの前記溝は、同心円状のパターンを形成する溝と、放射状のパターンを形成する溝と、を有する、
基板処理装置。 - 請求項23に記載の基板処理装置であって、
前記研磨パッドの前記溝は、格子状のパターンを形成する溝を有する、
基板処理装置。 - 請求項17から25のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記洗浄部は、
前記搬送ローラ上の基板に向けて洗浄液を噴射するための洗浄ノズルを有する、
基板処理装置。 - 請求項26に記載の基板処理装置であって、
前記洗浄ノズルは、前記搬送ローラ上の基板から見て上面側および下面側の両方に配置される、
基板処理装置。 - 請求項17から27のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記乾燥部は、前記搬送ローラ上の基板に向けて気体を噴きつける乾燥ノズルを有する、
基板処理装置。 - 請求項28に記載の基板処理装置であって、
前記乾燥ノズルは、前記搬送ローラ上の基板から見て上面側および下面側の両方に配置される、
基板処理装置。 - 請求項17から29のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記研磨部、前記洗浄部、前記乾燥部、および前記搬送部の少なくとも1つを収納する筐体を有し、前記筐体は外部から内部を観察するための窓を備え、前記窓は遮光部材を備える、
基板処理装置。
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